KR101317696B1 - Bellows protect structure for gate valve - Google Patents
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Abstract
본 발명은 게이트 밸브의 실 유니트에서 개폐 실린더 내의 진퇴하는 로드부를 감싸고 있는 벨로우즈에 대하여 내부에서 일정 이상의 공기압이 가해지더라도 이를 감지해 해당 공기압을 해소시킴으로서 가압으로 인한 벨로우즈의 손상이나 수명 단축을 미연에 방지할 수 있는 게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조에 관한 것으로, 공기압의 유입에 따라 씰유니트부가 작동하여 밸브 케이싱의 개구부를 개폐하는 게이트 밸브에 있어서 프리 구동압과 록 구동압에 따라 진퇴하는 로드부를 감싸는 벨로우즈의 보호 구조로서, 상기 씰유니트부는 상기 로드부가 구비되는 개폐 실린더와, 상기 개폐 실린더가 고정되며 개폐를 위한 프리 구동압과 록 구동압을 전달받아 각각 프리 구동압 배출구와 록 구동압 배출구를 통해 배출하여 상기 개폐 실린더로 전달하는 백플레이트와, 상기 개폐 실린더의 로드부가 부착되는 씰플레이트로 구성되며, 상기 개폐 실린더에는 벨로우즈의 내기를 감지하는 안전밸브가 구비되며, 상기 벨로우즈에 가해지는 내기가 기준 압력을 초과하면 벨로우즈의 내기를 해당 안전밸브를 통해 외부로 배기시키는 것을 특징으로 한다. The present invention detects even if a predetermined air pressure is applied to the bellows surrounding the rod part retracting in the opening / closing cylinder in the seal unit of the gate valve, thereby relieving the corresponding air pressure, thereby preventing damage to the bellows or shortening of the life due to pressure. The bellows protection structure of the gate valve which can be used, and in the gate valve for opening and closing the opening of the valve casing by operating the seal unit part in accordance with the inflow of air pressure of the bellows surrounding the rod part retreating according to the free driving pressure and the lock driving pressure As a protection structure, the seal unit is received by the opening and closing cylinder with the rod, the opening and closing cylinder is fixed and receives the free drive pressure and the lock drive pressure for opening and closing through the free drive pressure outlet and the lock drive pressure outlet, respectively Delivered to the opening and closing cylinder It consists of a plate and a seal plate attached to the rod portion of the opening and closing cylinder, the opening and closing cylinder is provided with a safety valve for detecting the bet of the bellows, if the bet applied to the bellows exceeds the reference pressure corresponds to the bet of the bellows It is characterized in that the exhaust through the safety valve to the outside.
Description
본 발명은 게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조에 관한 것으로, 보다 상세하게는 게이트 밸브의 실 유니트에서 개폐 실린더 내의 진퇴하는 로드부를 감싸고 있는 벨로우즈에 대하여 내부에서 일정 이상의 공기압이 가해지더라도 이를 감지해 해당 공기압을 해소시킴으로서 가압으로 인한 벨로우즈의 손상이나 수명 단축을 미연에 방지할 수 있는 게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조에 관한 것이다.
The present invention relates to a bellows protection structure of a gate valve, and more particularly, to detect a bellows surrounding a rod part advancing in an opening / closing cylinder in a seal unit of the gate valve even if a predetermined air pressure is applied therein, thereby relieving the corresponding air pressure. The present invention relates to a bellows protection structure of a gate valve that can prevent the bellows damage or shorten the life due to pressurization.
일반적으로 LCD 기판이나 반도체 소자, 솔라셀 등을 제조하기 위한 공정의 대부분은 진공 상태에서 진행된다. 따라서 LCD 기판이나 반도체 소자를 제조하기 위한 공정을 수행하는 장비는 진공 장비가 대부분이며, 이러한 진공 장비에는 진공 장비 내부의 고진공을 유지하기 위하여 진공 펌프가 사용되며, 진공 장비의 챔버와 챔버 사이에서 챔버의 진공도를 유지 또는 진공 챔버의 목적물이 통과될 수 있도록 개폐의 역할을 하기 위해 게이트 밸브(Gate Valve)가 구비된다.In general, most of the processes for manufacturing LCD substrates, semiconductor devices, and solar cells are performed in a vacuum state. Therefore, most of the equipment that performs the process for manufacturing the LCD substrate or semiconductor device is a vacuum equipment, a vacuum pump is used to maintain a high vacuum inside the vacuum equipment, the chamber between the chamber and the chamber of the vacuum equipment Gate valve is provided to maintain the degree of vacuum or to open and close the object of the vacuum chamber to pass through.
이러한 게이트 밸브는 기술의 발전 및 생산성의 향상 등을 위해서 웨이퍼 또는 글라스 기판 등의 대형화로 인하여 그에 따른 게이트 밸브도 대형화되고 있지만, 기존의 캠 구조 또는 슬릿 밸브로의 대응은 중량 증가, 다수의 구동부 필요, 유지 보수 개소의 증가, 작동 속도의 지연 등으로 인하여 실현이 매우 어려운 문제점이 있다. In order to improve the technology and improve the productivity of the gate valve, the gate valve is also enlarged due to the enlargement of the wafer or the glass substrate, but the conventional cam structure or the slit valve is required to increase the weight and the number of driving parts. There is a problem that is difficult to realize due to the increase in maintenance points, delay in operating speed, and the like.
일반적으로 게이트 밸브의 구성은 진공 챔버의 사이에 설치되는 밸브 케이싱, 진공 챔버의 개구부를 개폐하는 씰유니트부, 씰유니트부를 승강시키는 승강 구동부, 그리고 공압 공급 및 동작을 제어하기 위한 제어반으로 구성된다. In general, the configuration of the gate valve is composed of a valve casing provided between the vacuum chamber, a seal unit for opening and closing the opening of the vacuum chamber, a lift drive unit for lifting and lowering the seal unit, and a control panel for controlling pneumatic supply and operation.
여기에서 씰유니트부의 내부에는 백플레이트와 씰플레이트 사이에 개재되어 로드부를 통해 백플레이트와 씰플레이트를 전후진시켜 개폐 동작을 수행하는 개폐 실린더가 구비되게 되는데, 이러한 개폐 실린더의 로드부에는 밀봉(Seal) 동작에서 압력으로부터 로드부를 보호하기 위하여 벨로우즈와 같은 탄성체가 삽입된다. Here, the seal unit part is provided between the back plate and the seal plate interposed between the back plate and the seal plate is provided with an opening and closing cylinder for performing the opening and closing operation by moving the back plate and the seal plate, the sealing portion (Seal) An elastic body such as a bellows is inserted to protect the rod from pressure in operation.
하지만, 이러한 벨로우즈와 로드부 사이의 내기가 대기압 이상으로 올라가게 되면, 해당 벨로우즈의 수명에 현격한 저하가 발생하게 되어 수명 예측이 어려우며, 더불어 재료의 특성상 이러한 대기압에 의해 심각한 변형이나 손상이 발생되기 때문에 현장에서는 예기치 않은 기능 이상으로 인해 작업 지연과 불량 발생으로 큰 손실을 보고 있으며 유지 보수가 필요한 경우에 게이트 밸브 전체를 해체하여야 하는 어려움도 있다.
However, when the bet between the bellows and the rod portion rises above atmospheric pressure, a significant drop in the life of the bellows occurs, making it difficult to predict the service life, and due to the characteristics of the material, serious deformation or damage may occur. Therefore, in the field, there is a big loss due to work delay and failure due to unexpected malfunction and there is a difficulty in dismantling the entire gate valve in case of maintenance.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 그 목적은 게이트 밸브의 실 유니트에서 개폐 실린더 내의 진퇴하는 로드부를 감싸고 있는 벨로우즈에 대하여 내부에서 일정 이상의 공기압이 가해지더라도 이를 감지해 해당 공기압을 해소시킴으로서 가압으로 인한 벨로우즈의 손상이나 수명 단축을 미연에 방지할 수 있는 게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조를 제공하는 것이다. The present invention has been made to solve the above problems, the object of the present invention is to detect the bellows surrounding the rod portion retracted in the opening and closing cylinder in the seal unit of the gate valve even if a predetermined air pressure is applied to the inside to detect the corresponding air pressure By eliminating the damage, the bellows protection structure of the gate valve can be prevented in advance to prevent the bellows damage or shorten the life due to the pressurization.
또한, 벨로우즈 보호를 위한 공기압 해소 시 실린더 개폐를 위한 기존의 공기압 유로를 그대로 사용함으로써 구성의 간소화와 기존 제품에의 적용성을 높일 수 있는 게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조를 제공하는 것이다.
In addition, it provides a bellows protection structure of the gate valve that can simplify the configuration and increase the applicability to the existing product by using the existing pneumatic flow path for opening and closing the cylinder when the air pressure for the bellows protection is released.
본 발명의 일측면에 따르면, 공기압의 유입에 따라 씰유니트부가 작동하여 밸브 케이싱의 개구부를 개폐하는 게이트 밸브에 있어서 프리 구동압과 록 구동압에 따라 진퇴하는 로드부를 감싸는 벨로우즈의 보호 구조로서, 상기 씰유니트부는 상기 로드부가 구비되는 개폐 실린더와, 상기 개폐 실린더가 고정되며 개폐를 위한 프리 구동압과 록 구동압을 전달받아 각각 프리 구동압 배출구와 록 구동압 배출구를 통해 배출하여 상기 개폐 실린더로 전달하는 백플레이트와, 상기 개폐 실린더의 로드부가 부착되는 씰플레이트로 구성되며, 상기 개폐 실린더에는 벨로우즈의 내기를 감지하는 안전밸브가 구비되며, 상기 벨로우즈에 가해지는 내기가 기준 압력을 초과하면 벨로우즈의 내기를 해당 안전밸브를 통해 외부로 배기시키는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조를 제공한다. According to one aspect of the present invention, in the gate valve for opening and closing the opening of the valve casing by operating the seal unit part in response to the inflow of air pressure as a protective structure of the bellows surrounding the rod part retreating according to the free driving pressure and the lock driving pressure, The seal unit has an opening / closing cylinder provided with the rod, and the opening / closing cylinder is fixed, and receives a free driving pressure and a lock driving pressure for opening and closing, respectively, and discharges them through the free driving pressure discharge port and the lock driving pressure discharge port to be delivered to the opening and closing cylinder. It consists of a back plate and a seal plate attached to the rod portion of the opening and closing cylinder, the opening and closing cylinder is provided with a safety valve for detecting the bet of the bellows, bet of the bellows if the bet applied to the bellows exceeds the reference pressure Gay to the outside through the safety valve Provides a bellows protection structure for the valve.
바람직하게는, 상기 안전밸브는, 일측의 개방구를 통해 상기 벨로우즈에 가해지는 내기를 받아들이는 측정구; 상기 측정구와 연결되어 측정구를 통해 인입되는 공기압에 따라 개폐되는 몸체부; 및 상기 몸체부와 연결되어 몸체부의 개방시 해당 공기압을 배기시키는 배기구; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. Preferably, the safety valve, measuring opening for receiving the bet applied to the bellows through the opening on one side; A body part connected to the measuring tool and opened / closed according to the air pressure introduced through the measuring tool; And an exhaust port connected to the body part to exhaust the air pressure when the body part is opened. And a control unit.
바람직하게는, 상기 몸체부는, 일측이 고정단으로서 고정설치되는 탄성부재; 및 상기 탄성부재의 자유단에 일측이 결합되며 타측이 상기 측정구를 막고 있는 게이트; 를 포함하여 구성되며, 측정구를 따라 인입되는 벨로우즈의 내기가 기준 압력을 초과하면 게이트가 후퇴하여 상기 측정구와 배기구를 연통시키는 것을 특징으로 한다. Preferably, the body portion, one side of the elastic member is fixed as a fixed end; And a gate having one side coupled to the free end of the elastic member and the other side blocking the measurement sphere. It is configured to include, characterized in that the gate is retracted when the bet of the bellows drawn along the measuring port exceeds the reference pressure to communicate the measuring port and the exhaust port.
바람직하게는, 상기 배기구는 록 구동압 배출구를 통해 벨로우즈의 내기를 배기시키는 것을 특징으로 한다. Preferably, the exhaust port exhausts the bet of the bellows through the lock driving pressure outlet port.
바람직하게는, 상기 배기구는 프리 구동압 배출구를 통해 벨로우즈의 내기를 배기시키는 것을 특징으로 한다.
Preferably, the exhaust port is characterized in that for venting the bet of the bellows through the free drive pressure outlet.
본 발명에 따르면, 게이트 밸브의 실 유니트에서 개폐 실린더 내의 진퇴하는 로드부를 감싸고 있는 벨로우즈에 대하여 내부에서 일정 이상의 공기압이 가해지더라도 이를 감지해 해당 공기압을 해소시킴으로서 가압으로 인한 벨로우즈의 손상이나 수명 단축을 미연에 방지할 수 있게 되는 효과가 있다. According to the present invention, even if a certain air pressure is applied to the bellows surrounding the rod part advancing in the opening / closing cylinder in the seal unit of the gate valve, the air pressure is sensed to relieve the corresponding air pressure, thereby preventing damage to the bellows due to pressurization or shortening of life. There is an effect that can be prevented.
또한, 벨로우즈 보호를 위한 공기압 해소 시 실린더 개폐를 위한 기존의 공기압 유로를 그대로 사용함으로써 구성의 간소화와 기존 제품에의 적용성을 높일 수 있게 되는 효과가 있다.
In addition, by using the existing pneumatic flow path for opening and closing the cylinder as it is when the air pressure for the protection of the bellows as it is effective to simplify the configuration and increase the applicability to the existing product.
도 1은 본 발명이 적용되는 게이트 밸브의 씰유니트부 승강 상태를 나타내는 도면.
도 2는 본 발명이 적용되는 게이트 밸브의 씰유니트부 하강 상태를 나타내는 도면.
도 3은 본 발명이 적용되는 게이트 밸브의 씰유니트부를 나타내는 사시도.
도 4는 본 발명에 따른 벨로우즈 보호 구조가 적용된 씰유니트부의 개방 상태를 나타내는 단면도.
도 5는 본 발명에 따른 벨로우즈 보호 구조가 적용된 씰유니트부의 폐쇄 상태를 나타내는 단면도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 안전 밸브의 구조를 설명하기 위한 도면. 1 is a view showing a lifting state of the seal unit of the gate valve to which the present invention is applied.
Figure 2 is a view showing a seal unit lowering state of the gate valve to which the present invention is applied.
Figure 3 is a perspective view showing a seal unit of the gate valve to which the present invention is applied.
4 is a cross-sectional view showing an open state of a seal unit to which a bellows protection structure according to the present invention is applied.
5 is a cross-sectional view showing a closed state of a seal unit to which a bellows protection structure according to the present invention is applied.
6 is a view for explaining the structure of a safety valve according to an embodiment of the present invention.
이하 본 발명에 따른 게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조에 대한 실시 예를 첨부한 도면을 참고하여 더 상세히 설명한다.Hereinafter, an embodiment of a bellows protection structure of a gate valve according to the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명이 적용되는 게이트 밸브의 씰유니트부 승강 상태를 나타내는 도면이고, 도 2는 본 발명이 적용되는 게이트 밸브의 씰유니트부 하강 상태를 나타내는 도면이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a view showing a state in which the seal unit portion of a gate valve is lifted, to which the present invention is applied.
본 발명이 적용되는 게이트 밸브는 진공 챔버의 사이에 설치되며 소정의 개구부를 갖는 밸브 케이싱(100)과, 상기 밸브 케이싱(100) 내에 내장되며 개구부를 개폐하는 씰유니트부(300)와, 상기 씰유니트부(300)를 승강 또는 하강시키는 승강 구동부(200)와, 공급 공급 및 동작 제어를 수행하는 제어반(400)을 포함하여 구성된다. The gate valve to which the present invention is applied is provided between the vacuum chamber and has a
상기 승강 구동부(200)는 승강 실린더와 가이드 블럭으로 구성되어 공압에 의해 상기 씰유니트부(300)를 승하강시킨다. 여기에서 상기 승강 실린더는 공압 실린더가 사용될 수 있다. 이러한 승강 구동부(200)와 밸브 케이싱(100)과는 오링 등의 기밀유지 수단에 의하여 기밀이 유지된다. The lifting
그리고 이러한 승강 구동부(200)에는 별도의 밸브 로드(도시 않음)가 공기압 공급로로서 축방향으로 평행하게 가공되며, 이를 통해 공급되는 공기압에 의해 상기 씰유니트부(300)가 밀착(Lock) 및 해체(Free)를 할 수 있다. 해당 밸브 로드는 씰유니트부(300)의 백플레이트(310)에 결합되어 백플레이트(310)의 공압유로와 연결된다. In addition, a separate valve rod (not shown) is processed in the axial direction as an air pressure supply path to the elevating
상기 승강 구동부(200) 및 씰유니트부(300)의 공압의 조정은 상기 제어반(400) 내에 있는 공기압 유닛 및 솔레노이드 밸브에 의해 이루어질 수 있다. Adjustment of the pneumatic pressure of the
도 3에는 본 발명이 적용되는 게이트 밸브의 씰유니트부가 도시되어 있다. 3 shows a seal unit of a gate valve to which the present invention is applied.
상기 씰유니트부(300)는 개폐 실린더(320)를 중심으로 전후에 각각 백플레이트(310)와 실플레이트(330)가 설치되는 구조를 가지며, 해당 개폐 실린더(320)의 실린더 몸체(321) 부분은 백플레이트(310)에 고정되고 로드부(323)의 말단에는 씰플레이트(330)가 부착되는 구조를 가진다. 이러한 씰유니트부(300)는 공기압의 전달에 따라 전후 방향으로 상기 백플레이트(310)와 씰플레이트(330)를 가압하여 해당 백플레이트(310)와 씰플레이트(330)가 밸브 케이싱(100)의 개구부를 개폐할 수 있도록 구성된다. The
상기 백플레이트(310)에는 공압유로가 되는 통로용 구멍을 가공하여 개폐 실린더(320)의 작동에 필요한 공압의 공급 및 배기 통로로 사용하게 되며, 그 구멍의 위치는 급기, 배기 구멍의 위치에 따라 변경될 수 있으며, 필요에 따라 그 수를 증감할 수 있다. 이하의 설명 및 도면에서는 설명의 편의를 위해 급기 및 배기에 필요한 유로를 하나씩만 설치한 경우를 보여줄 것이다. The
도 3에 도시된 바와 같이 백플레이트(310)에는 밸브 케이싱(100)의 개구부의 크기에 따라 필요한 수만큼의 개폐 실린더(320)가 부착될 수 있으며, 그 수에는 제한이 없다. 또한 씰 유니트부(300)의 중량 변화에 따라 해당 개폐 실린더(320)의 용량 또는 수는 변경 가능하다. As shown in FIG. 3, as many opening and
상술한 개폐 실린더(320)의 상세한 구성에 대하여 도 4 및 도 5를 참조하여 설명하면 다음과 같다. The detailed configuration of the opening and closing
상기 개폐 실린더(320)는 해당 백플레이트(310)의 내측면에 결합되며 공기압이 공급될 수 있는 소정의 내부 공간을 가지게 구성되는 실린더 몸체(321) 및 실린더 덮개(322)와, 상기 실린더 몸체(321) 내에 구비되어 공급되는 공압에 따라 실린더 몸체(321) 내에서 진퇴되는 피스톤 패드(324)와, 상기 실린더 덮개(322)를 관통하여 구비되며 일측이 상기 피스톤 패드(324)에 결합되고 타측이 상기 씰플레이트(330)에 결합되어 상기 피스톤 패드(324)의 움직임에 따라 연동하여 진퇴하는 로드부(323)를 포함하여 구성된다. The opening and closing
도 4를 참조하여 개폐 실린더(320)에 의해 해당 밸브 케이싱(100)의 개구부를 개방하는 프리(Free) 상태를 살펴보면, 상기 백플레이트(310)로 공급되는 프리 구동압은 프리 구동압 배출구(311)를 통해 배출되며, 해당 프리 구동압 전달시에는 프리 구동압 배출유로(312)를 따라 개폐 실린더(320)의 실린더 몸체(321)의 내부로 배출되어 피스톤 패드(324)를 백플레이트(310)의 방향으로 가압하게 되며, 이러한 가압에 따라 로드부(323)가 백플레이트(310)로 전진하면서 백플레이트(310)와 씰플레이트(330)가 해당 밸브 케이싱(100)의 개구부로부터 떨어져 밸브 케이싱(100)의 개방이 이루어지게 된다. Looking at the free state of opening the opening of the
도 5를 참조하여 개폐 실린더(320)에 의해 해당 밸브 케이싱(100)의 개구부를 폐쇄하는 록(Lock) 상태를 살펴보면, 상기 백플레이트(310)로 공급되는 록 구동압은 록 구동압 배출구(313)를 통해 배출되며, 해당 록 구동압 전달시에는 록 구동압 배출유로(314)를 따라 개폐 실린더(320)의 실린더 몸체(321)의 내부로 배출되어 피스톤 패드(324)를 씰플레이트(330) 방향으로 가압하게 되며, 이러한 가압에 따라 로드부(323)가 백플레이트(310)와 이격되면서 백플레이트(310)와 씰플레이트(330)가 해당 밸브 케이싱(100)의 개구부로 밀려져 밸브 케이싱(100)의 폐쇄가 이루어지게 된다. Looking at the lock state of closing the opening of the
여기에서 프리 구동압과 록 구동압에 따라 전후진하게 되는 상기 로드부(323)에는 벨로우즈(Bellows)(326)가 삽입된다. 이러한 벨로우즈(326)는 탄성체로 이루어질 수 있으며, 용접 벨로우즈, 성형 벨로우즈 또는 로드부를 감싸기 위한 탄성체로 이루어진다. Here, a
통상 밸브 케이싱(100)의 내부는 진공 상태이므로 상기 로드부(323)에 벨로우즈(326)와 같은 탄성체로 감싸서 개폐 실린더(320)의 내부와 밸브 케이싱(100) 내부의 공간을 각각 분리 및 기밀 유지를 하게 된다. 이러한 기밀 유지에 의해 진공 공간 내에 대기의 진입을 차단하게 된다. Since the inside of the
본 발명에서는 상기 벨로우즈(326)를 보호하기 위하여 안전 밸브(327, 328)를 개폐 실린더(320) 내에 구비시키고, 이러한 안전 밸브(327, 328)를 통해 개폐 실린더(320) 내의 공기압, 보다 정확하게는 로드부(323)와 벨로우즈(326) 사이의 내기를 감지하여 일정압을 초과하는 압력이 벨로우즈(326)에 가해지면 자동으로 열려서 해당 공기압을 배기시켜줌으로써 벨로우즈(326)의 변형 및 손상을 방지할 수 있게 된다. In the present invention, in order to protect the
실제 벨로우즈(326)는 내측으로 이상 공기압(약 0.101 Mpa 이상)이 발생하게 되면, 해당 벨로우즈(326)의 수명에 현격한 저하가 발생하게 되며, 실제 사용 공기압은 3~5 Kg/㎠ 이므로 대기압 대비 3~5배의 압력이 가해지면 해당 벨로우즈는 심각한 변형이나 손상이 발생한다. When the
이를 방지하기 위하여 해당 개폐 실린더(320)의 내부에는 프리 구동압 시 벨로우즈(326)의 내기를 감지하여 기준압을 초과하는 내기 발생시 해당 벨로우즈(326)에 가해지는 내기를 배기시켜 해소하는 제 1 안전밸브(327)가 구비된다. In order to prevent this, the inside of the opening / closing
마찬가지로, 해당 개폐 실린더(320)의 내부에는 록 구동압 시 벨로우즈(326)의 내기를 감지하여 기준압을 초과하는 내기 발생시 해당 벨로우즈(326)에 가해지는 내기를 배기시켜 해소하는 제 2 안전밸브(328)가 구비된다. Similarly, a second safety valve inside the opening /
먼저 도 4 및 도 6을 참조하면, 상기 제 1 안전밸브(327)는 피스톤 패드(324)에 설치되며, 일측의 개방구를 통해 상기 벨로우즈(326)의 내기를 받아들이는 측정구(327a)와, 상기 측정구(327a)와 연결되어 측정구(327a)를 통해 인입되는 공기압에 따라 개폐되는 몸체부(327b)와, 상기 몸체부(327b)와 연결되어 몸체부(327b)의 개방시 해당 공기압을 배기시키는 배기구(327c)로 이루어진다. 여기에서 상기 제 1 안전밸브(327)를 이루는 측정구(327a), 몸체부(327b) 및 배기구(327c)는 일렬로 배열되는 것이 바람직하다. First, referring to FIGS. 4 and 6, the
여기에서 상기 측정구(327a)는 그 말단이 상기 벨로우즈(326)의 내기를 받아들일 수 있는 위치까지 연장형성된다. 이러한 연장구는 상기 로드부(323)에 내장될 수 있다. 또한 상기 몸체부(327b)는 내부에 스프링과 같은 탄성부재(327d)가 일측이 고정단으로서 고정설치되며 해당 탄성부재(327d)의 자유단에는 상기 측정구(327a)를 개폐할 수 있는 게이트(327e)가 결합된다. 따라서 상기 게이트(327e)는 상기 탄성부재(327d)의 탄성력에 의해 평상시 해당 측정구(327a)를 막고 있으며(도 6의 (a) 참조), 해당 측정구(327a)로 기준 압력(RP)을 초과하는 벨로우즈(326)의 내기가 인입되면 해당 공기압에 밀려 측정구(327a)를 개방시킴으로써 측정구(327a)와 배기구(327c)를 연통시켜 이상 공기압이 배기구(327c)를 통해 배기(도 6의 (b) 참조)되도록 하는 구조이다. Here, the measuring
이때, 상기 기준 압력(RP)은 1.3 기압일 수 있으며, 해당 기준 압력(RP)은 탄성부재(327d)의 탄성계수로 조절될 수 있다. At this time, the reference pressure RP may be 1.3 atm, and the reference pressure RP may be adjusted by the elastic modulus of the
그리고 상기 제 1 안전밸브(327)의 배기구(327c)는 프리 구동압 발생시 사용되지 않는 록 구동압 배출구(313)로 연통될 수 있다. 보다 구체적으로는 제 1 안전밸브(327)의 배기구(327c)는 백플레이트(310)와 피스톤 패드(324) 사이의 공간을 따라 배기되어 록 구동압 배출유로(314)를 통과해 록 구동압 배출구(313)를 따라 외부로 배기되게 된다. In addition, the
다음으로 도 5 및 도 6을 참조하면, 상기 제 2 안전밸브(328)는 실린더 덮개(322)에 설치되며, 일측의 개방구를 통해 상기 벨로우즈(326)의 내기를 받아들이는 측정구(328a)와, 상기 측정구(328a)와 연결되어 측정구(328a)를 통해 인입되는 공기압에 따라 개폐되는 몸체부(328b)와, 상기 몸체부(328b)와 연결되어 몸체부(328b)의 개방시 해당 공기압을 배기시키는 배기구(328c)로 이루어진다. 여기에서 상기 제 2 안전밸브(328)를 이루는 측정구(328a), 몸체부(328b) 및 배기구(328c)는 일렬로 배열되는 것이 바람직하다. Next, referring to FIGS. 5 and 6, the second safety valve 328 is installed in the
여기에서 상기 측정구(328a)는 그 말단이 상기 벨로우즈(326)의 내기를 받아들일 수 있는 위치에 형성된다. 또한 상기 몸체부(328b)는 내부에 스프링과 같은 탄성부재(328d)가 일측이 고정단으로서 고정설치되며 해당 탄성부재(328d)의 자유단에는 상기 측정구(328a)를 개폐할 수 있는 게이트(328e)가 결합된다. 따라서 상기 게이트(328e)는 상기 탄성부재(328d)의 탄성력에 의해 평상시 해당 측정구(328a)를 막고 있으며(도 6의 (a) 참조), 해당 측정구(328a)로 기준 압력(RP)을 초과하는 벨로우즈(326)의 내기가 인입되면 해당 내기에 밀려 측정구(328a)를 개방시킴으로써 측정구(328a)와 배기구(328c)를 연통시켜 이상 내기가 배기구(328c)를 통해 배기(도 6의 (b) 참조)되도록 하는 구조이다. Here, the measuring
이때, 상기 기준 압력(RP)은 1.3 기압일 수 있으며, 해당 기준 압력(RP)은 탄성부재(328d)의 탄성계수로 조절될 수 있다. In this case, the reference pressure RP may be 1.3 atm, and the reference pressure RP may be adjusted by the elastic modulus of the
그리고 상기 제 2 안전밸브(328)의 배기구(328c)는 록 구동압 발생시 사용되지 않는 프리 구동압 배출구(311)로 연통될 수 있다. 보다 구체적으로는 제 2 안전밸브(328)의 배기구(328c)는 프리 구동압 배출유로(312)를 따라 배기되어 프리 구동압 배출구(311)를 따라 외부로 배기되게 된다. In addition, the
실제 벨로우즈(326)로 차단된 벨로우즈(326)의 내부는 로드부(323)의 진퇴시에 체적 변화가 발생하므로 이에 따라 발생되는 공기압을 적절히 배기시키지 않을 경우 심각한 기능 이상을 초래할 수 있는데, 본 발명에 따른 제 1 안전밸브(327) 및 제 2 안전밸브(328)를 통해 기준을 초과하는 내기 발생 시 외부로 해당 공기압을 배기시킴으로써 벨로우즈의 손상 또는 수명 단축을 방지할 수 있게 된다. Since the inside of the
여기에서 상술한 설명 및 도면에서는 개폐 실린더(320) 내에 제 1 안전밸브(327) 및 제 2 안전밸브(328)가 각각 하나씩 구비되는 것으로 설명되고 도시되었지만, 본 발명은 이에 제한되는 것은 아니며, 하나 이상의 제 1 안전밸브(327) 및 제 2 안전밸브(328)가 각각 개폐 실린더(320) 내에 구비될 수 있음은 물론이다. In the above description and drawings, the
이상과 같이 도면과 명세서에서 최적 실시 예가 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
As described above, an optimal embodiment has been disclosed in the drawings and specification. Although specific terms have been employed herein, they are used for purposes of illustration only and are not intended to limit the scope of the invention as defined in the claims or the claims. Therefore, those skilled in the art will appreciate that various modifications and equivalent embodiments are possible without departing from the scope of the present invention. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.
100 : 밸브 케이싱 200 : 승강 구동부
300 : 씰유니트부 400 : 제어반
310 : 백플레이트 320 : 개폐 실린더
330 : 씰플레이트 323 : 로드부
326 : 벨로우즈 327 : 제 1 안전밸브
328 : 제 2 안전밸브100
300: seal unit 400: control panel
310: back plate 320: opening and closing cylinder
330: seal plate 323: rod
326: bellows 327: the first safety valve
328: second safety valve
Claims (5)
상기 씰유니트부는 상기 로드부가 구비되는 개폐 실린더와, 상기 개폐 실린더가 고정되며 개폐를 위한 프리 구동압과 록 구동압을 전달받아 각각 프리 구동압 배출구와 록 구동압 배출구를 통해 배출하여 상기 개폐 실린더로 전달하는 백플레이트와, 상기 개폐 실린더의 로드부가 부착되는 씰플레이트로 구성되며,
상기 개폐 실린더에는 벨로우즈의 내기를 감지하는 안전밸브가 구비되며, 상기 벨로우즈에 가해지는 내기가 기준 압력을 초과하면 벨로우즈의 내기를 해당 안전밸브를 통해 외부로 배기시키며,
상기 안전밸브는,
일측의 개방구를 통해 상기 벨로우즈에 가해지는 내기를 받아들이는 측정구;
상기 측정구와 연결되어 측정구를 통해 인입되는 공기압에 따라 개폐되는 몸체부; 및
상기 몸체부와 연결되어 몸체부의 개방시 해당 공기압을 배기시키는 배기구; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조.
In the gate valve for opening and closing the opening of the valve casing by operating the seal unit part in response to the inflow of air pressure, a bellows protection structure surrounding the rod part retreating according to the free driving pressure and the lock driving pressure,
The seal unit has an opening / closing cylinder provided with the rod portion, and the opening / closing cylinder is fixed, and receives a free driving pressure and a lock driving pressure for opening and closing, respectively, and discharges them through the free driving pressure outlet and the lock driving pressure outlet to the opening and closing cylinder. Consists of a back plate for transmitting and a seal plate attached to the rod portion of the opening and closing cylinder,
The opening and closing cylinder is provided with a safety valve for detecting the bet of the bellows, and if the bet applied to the bellows exceeds the reference pressure to exhaust the bet of the bellows to the outside through the corresponding safety valve,
The safety valve,
A measuring tool receiving a bet applied to the bellows through an opening on one side;
A body part connected to the measuring tool and opened / closed according to the air pressure introduced through the measuring tool; And
An exhaust port connected to the body to exhaust the air pressure when the body is opened; Bellows protection structure of the gate valve comprising a.
상기 몸체부는,
일측이 고정단으로서 고정설치되는 탄성부재; 및
상기 탄성부재의 자유단에 일측이 결합되며 타측이 상기 측정구를 막고 있는 게이트; 를 포함하여 구성되며,
측정구를 따라 인입되는 벨로우즈의 내기가 기준 압력을 초과하면 게이트가 후퇴하여 상기 측정구와 배기구를 연통시키는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조.
The method of claim 1,
The body portion
An elastic member having one side fixed as a fixed end; And
A gate having one side coupled to a free end of the elastic member and the other side blocking the measurement sphere; And,
The bellows protection structure of the gate valve characterized in that the gate is retracted to communicate the measuring port and the exhaust port when the bet of the bellows drawn along the measuring port exceeds the reference pressure.
상기 배기구는 록 구동압 배출구를 통해 벨로우즈의 내기를 배기시키는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조.
The method of claim 3, wherein
And said exhaust port exhausts the bet of the bellows through the lock drive pressure outlet port.
상기 배기구는 프리 구동압 배출구를 통해 벨로우즈의 내기를 배기시키는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브의 벨로우즈 보호 구조.
The method of claim 3, wherein
And said exhaust port exhausts the bet of the bellows through the free drive pressure outlet.
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