KR100919573B1 - One transistor type DRAM - Google Patents
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Abstract
본 발명은 1-트랜지스터형 디램에 관한 것으로서, 플로팅 바디(Floating Body) 저장 소자를 이용한 1-트랜지스터형 디램에 있어서 레퍼런스 셀 어레이를 이용하여 메인 셀의 멀티-비트 데이터 특성을 반영한 복수개의 레퍼런스 전압을 발생하도록 하는 기술을 개시한다. 이러한 본 발명은 비트라인과 소스 라인 사이에 연결되어 워드라인에 의해 제어되는 플로팅 바디(Floating Body) 저장 소자를 이용한 1-트랜지스터형 디램에 있어서, 로오 방향으로 복수개 배열된 소스라인 및 워드라인과, 컬럼 방향으로 복수개 배열된 비트라인과, 컬럼 방향으로 복수개 배열된 레퍼런스 비트라인과, 플로팅 바디 저장 소자를 포함하며, 소스라인, 워드라인, 및 비트라인이 교차하는 영역에 각각 형성된 셀 어레이와, 플로팅 바디 저장 소자를 포함하고, 소스라인, 워드라인, 레퍼런스 비트라인이 교차하는 영역에 각각 형성되며, 복수개의 서로 다른 레퍼런스 전압을 출력하는 레퍼런스 셀 어레이, 및 비트라인에 각각 연결되어 복수개의 서로 다른 레퍼런스 전압이 각각 인가되는 센스앰프 및 라이트 구동부를 포함한다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a 1-transistor type DRAM, wherein a 1-transistor type DRAM using a floating body storage element is used to generate a plurality of reference voltages reflecting multi-bit data characteristics of a main cell using a reference cell array. Disclosed is a technique that causes it to occur. The present invention relates to a 1-transistor DRAM using a floating body storage element connected between a bit line and a source line and controlled by a word line, comprising: a plurality of source lines and word lines arranged in a row direction; A cell array including a plurality of bit lines arranged in a column direction, a reference bit line arranged in a column direction, a floating body storage element, each of which is formed in an area where source lines, word lines, and bit lines cross each other; A reference cell array including a body storage element and formed in an area where the source line, the word line, and the reference bit line cross each other, and outputting a plurality of different reference voltages; and a plurality of different references respectively connected to the bit lines. And a sense amplifier and a write driver to which voltage is applied, respectively.
Description
본 발명은 1-트랜지스터형 디램에 관한 것으로서, 플로팅 바디(Floating Body) 저장 소자를 이용한 1-트랜지스터형 디램에 있어서 레퍼런스 셀 어레이를 이용하여 메인 셀의 멀티-비트 데이터 특성을 반영한 복수개의 레퍼런스 전압을 발생하도록 하는 기술이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a 1-transistor type DRAM, wherein a 1-transistor type DRAM using a floating body storage element is used to generate a plurality of reference voltages reflecting multi-bit data characteristics of a main cell using a reference cell array. It is a technology that causes it to occur.
일반적으로 디램(DRAM)과 같은 반도체 소자는 실리콘 웨이퍼 상에 집적된다. 그러나, 반도체 소자에서 사용되고 있는 실리콘 웨이퍼는 전체 실리콘이 소자의 동작에 이용되는 것이 아니라 단지 표면으로부터 수 ㎛의 제한된 두께만 소자 동작에 이용된다. 결국, 소자의 동작에 필요한 일부를 제외한 나머지 실리콘 웨이퍼는 전력 소비를 증가시키고, 구동속도(Driving Speed)를 떨어뜨리는 요인이 된다. In general, semiconductor devices such as DRAM are integrated on a silicon wafer. However, silicon wafers used in semiconductor devices are not used for the operation of the device but only a limited thickness of several micrometers from the surface for device operation. As a result, the remaining silicon wafers, except for those required for the operation of the device, increase power consumption and reduce driving speeds.
이에, 실리콘 기판에 절연층을 개재해서 수 ㎛ 두께의 실리콘 단결정층을 형성하여 구성한 SOI(Silicon On Insulator) 웨이퍼의 필요성이 대두되었다. SOI 웨이퍼에 집적된 반도체 소자는 통상의 실리콘 웨이퍼에 집적된 반도체 소자와 비교해서 작은 접합 용량에 의한 고속화가 가능하고, 낮은 문턱전압에 의한 저전압화로 인해 고속화 및 저전압화를 충족시킬 있는 장점이 있다. Accordingly, there is a need for a silicon on insulator (SOI) wafer formed by forming a silicon single crystal layer having a thickness of several μm through an insulating layer on a silicon substrate. The semiconductor device integrated on the SOI wafer can be speeded up by the small junction capacity compared to the semiconductor device integrated on the conventional silicon wafer, and has the advantages of speeding up and voltage reduction due to the low voltage due to the low threshold voltage.
하지만, 이러한 SOI 웨이퍼에 집적된 반도체 소자에서 레퍼런스 전압을 효과적으로 제어하지 못할 경우 센스앰프의 센싱 효율이 저하된다. 이에 따라, 칩 전체의 데이터 센싱 마진 및 수율이 저하되는 문제점이 있다. 또한, 종래의 1-트랜지스터형 디램 셀은 멀티 레벨로 데이터를 저장할 수 없으므로 리드/라이트 동작을 효율적으로 수행할 수 없게 된다. However, if the reference voltage is not effectively controlled in the semiconductor device integrated in the SOI wafer, the sensing efficiency of the sense amplifier is reduced. Accordingly, there is a problem that the data sensing margin and yield of the entire chip is reduced. In addition, since the conventional 1-transistor type DRAM cell cannot store data at multiple levels, the read / write operation cannot be efficiently performed.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 플로팅 바디(Floating Body) 저장 소자를 이용한 1-트랜지스터형 디램에 있어서 레퍼런스 셀 어레이를 이용하여 메인 셀의 멀티-비트 데이터 특성을 반영하는 복수개의 레퍼런스 전압을 발생하여 센스앰프의 효율을 증가시킬 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and includes a plurality of reflecting multi-bit data characteristics of a main cell using a reference cell array in a 1-transistor DRAM using a floating body storage element. The purpose is to generate two reference voltages to increase the efficiency of the sense amplifier.
또한, 본 발명은 복수개의 데이터를 용이하게 리드/라이트할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다. In addition, an object of the present invention is to be able to easily read / write a plurality of data.
또한, 본 발명은 1-트랜지스터형 디램에 NDRO(Non Destructive Read Out) 방식을 적용하여 리드 동작시 셀의 데이터가 파괴되지 않도록 함으로써 셀의 신뢰성을 향상시킬 수 있도록 하는데 그 목적이 있다. In addition, an object of the present invention is to improve the reliability of the cell by applying a non-destructive read out (NDRO) method to the 1-transistor DRAM so that the data of the cell is not destroyed during the read operation.
또한, 본 발명은 1-트랜지스터형 디램을 구현하여 셀 사이즈를 획기적으로 줄일 수 있도록 하는데 그 목적이 있다. In addition, an object of the present invention is to implement a 1-transistor type DRAM to significantly reduce the cell size.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 1-트랜지스터형 디램은, 비트라인과 소스 라인 사이에 연결되어 워드라인에 의해 제어되는 플로팅 바디(Floating Body) 저장 소자를 이용한 1-트랜지스터형 디램에 있어서, 로오 방향으로 복수개 배열된 소스라인 및 워드라인; 컬럼 방향으로 복수개 배열된 비트라인; 컬럼 방향으로 복수개 배열된 레퍼런스 비트라인; 플로팅 바디 저장 소자를 포함하며, 소스라인, 워드라인, 및 비트라인이 교차하는 영역에 각각 형성된 셀 어레이; 플로팅 바디 저장 소자를 포함하고, 소스라인, 워드라인, 레퍼런스 비트라인이 교차하는 영역에 각각 형성되며, 복수개의 서로 다른 레퍼런스 전압을 출력하는 레퍼런스 셀 어레이; 및 비트라인에 각각 연결되어 복수개의 서로 다른 레퍼런스 전압이 각각 인가되는 센스앰프 및 라이트 구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다. In the 1-transistor type DRAM of the present invention for achieving the above object, in the 1-transistor type DRAM using a floating body storage element connected between the bit line and the source line controlled by the word line, A plurality of source lines and word lines arranged in a row direction; A plurality of bit lines arranged in a column direction; A plurality of reference bit lines arranged in a column direction; A cell array including a floating body storage element, each cell array formed in an area where a source line, a word line, and a bit line cross each other; A reference cell array including a floating body storage device and formed in regions where source lines, word lines, and reference bit lines cross each other, and output a plurality of different reference voltages; And a sense amplifier and a write driver connected to the bit lines, respectively, to which a plurality of different reference voltages are respectively applied.
본 발명은 다음과 같은 효과를 제공한다. The present invention provides the following effects.
첫째, 플로팅 바디(Floating Body) 저장 소자를 이용한 1-트랜지스터형 디램에 있어서 레퍼런스 셀 어레이를 이용하여 메인 셀의 멀티-비트 데이터 특성을 반영하는 복수개의 레퍼런스 전압을 발생하여 센스앰프의 효율을 증가시킬 수 있도록 한다. First, in a 1-transistor DRAM using a floating body storage element, a reference cell array is used to generate a plurality of reference voltages that reflect the multi-bit data characteristics of the main cell to increase the efficiency of the sense amplifier. To help.
둘째, 본 발명은 복수개의 데이터를 용이하게 리드/라이트할 수 있도록 한다. Second, the present invention makes it possible to easily read / write a plurality of data.
셋째, 본 발명은 1-트랜지스터형 디램에 NDRO(Non Destructive Read Out) 방식을 적용하여 리드 동작시 셀의 데이터가 파괴되지 않도록 함으로써 셀의 신뢰성을 향상시킬 수 있도록 하는데 그 목적이 있다. Third, an object of the present invention is to improve cell reliability by applying a non-destructive read out (NDRO) method to a 1-transistor type DRAM so that data of a cell is not destroyed during a read operation.
넷째, 본 발명은 1-트랜지스터형 디램을 구현하여 셀 사이즈를 획기적으로 줄일 수 있도록 하는 효과를 제공한다. Fourth, the present invention implements a 1-transistor type DRAM to provide an effect of significantly reducing the cell size.
아울러 본 발명의 바람직한 실시예는 예시의 목적을 위한 것으로, 당업자라면 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상과 범위를 통해 다양한 수정, 변경, 대체 및 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정 변경 등은 이하의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다. In addition, a preferred embodiment of the present invention is for the purpose of illustration, those skilled in the art will be able to various modifications, changes, substitutions and additions through the spirit and scope of the appended claims, such modifications and changes are the following claims It should be seen as belonging to a range.
도 1은 본 발명에 따른 1-트랜지스터형 디램의 단위 셀을 도시한 단면도. 1 is a cross-sectional view showing a unit cell of a 1-transistor type DRAM according to the present invention.
도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 1-트랜지스터형 디램의 셀 데이터 저장 상태를 보여주는 도면. 2A and 2B show cell data storage states of a 1-transistor DRAM according to the present invention;
도 3은 본 발명에 따른 1-트랜지스터형 디램의 셀 리드 전류의 특성을 나타낸 파형도. Figure 3 is a waveform diagram showing the characteristics of the cell lead current of the 1-transistor DRAM according to the present invention.
도 4a는 본 발명에 따른 1-트랜지스터형 디램의 리드 방법을 설명하기 위한 회로도. 4A is a circuit diagram for explaining a method of reading a 1-transistor type DRAM according to the present invention.
도 4b는 도 4a의 동작을 설명하기 위한 타이밍도. 4B is a timing diagram for explaining the operation of FIG. 4A.
도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 1-트랜지스터형 디램의 회로도. 5 and 6 are circuit diagrams of a 1-transistor type DRAM according to the present invention.
도 7은 본 발명에 따른 1-트랜지스터형 디램의 레퍼런스 전류를 설명하기 위한 파형도. 7 is a waveform diagram illustrating a reference current of a 1-transistor DRAM according to the present invention.
도 8a 내지 도 8c는 도 5 및 도 6의 레퍼런스 오프셋 전류 조정부에 관한 상세 회로도. 8A to 8C are detailed circuit diagrams related to the reference offset current adjuster of FIGS. 5 and 6.
도 9는 도 5 및 도 6의 센스앰프에 관한 회로도. 9 is a circuit diagram of the sense amplifiers of FIGS. 5 and 6.
도 10은 도 9의 센스앰프에 관한 상세 회로도. 10 is a detailed circuit diagram of the sense amplifier of FIG.
도 11은 도 10의 센스앰프에서 1차 및 2차 증폭단의 동작 파형도. FIG. 11 is an operational waveform diagram of a first and a second amplifying stage in the sense amplifier of FIG. 10; FIG.
도 12a 내지 도 12c는 도 5 및 도 6의 레퍼런스 전압 발생부에 관한 상세 회로도. 12A to 12C are detailed circuit diagrams related to the reference voltage generator of FIGS. 5 and 6.
도 13은 도 10의 센스앰프에서 동작 전압을 설명하기 위한 타이밍도. FIG. 13 is a timing diagram for describing an operating voltage in the sense amplifier of FIG. 10. FIG.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 상세히 설명하고자 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail an embodiment of the present invention.
도 1은 본 발명에 따른 1-트랜지스터형 디램의 단위 셀을 도시한 단면도이다. 1 is a cross-sectional view illustrating a unit cell of a 1-transistor DRAM according to the present invention.
SOI(Silicon On Insulator) 웨이퍼(10)는 실리콘 기판(1)과 매몰 산화막(Buried Oxide Layer;2) 및 실리콘층(3)의 적층 구조로 이루어진다. 이러한 SOI 웨이퍼(10)의 실리콘층(3)에 활성영역을 한정하는 소자분리막(11)이 매몰산화막(2)과 접하도록 형성된다. The silicon on insulator (SOI) wafer 10 has a stacked structure of a silicon substrate 1, a buried oxide layer 2, and a silicon layer 3. An isolation layer 11 defining an active region in the silicon layer 3 of the SOI wafer 10 is formed in contact with the buried oxide film 2.
그리고, 실리콘층(3)의 활성영역 상부에는 게이트(12)가 형성된다. 또한, 게이트(12) 양측의 실리콘층(3) 내에 매몰산화막(2)과 접하도록 소스/드레인 영역(13a,13b)이 형성된다. The gate 12 is formed on the active region of the silicon layer 3. In addition, source / drain regions 13a and 13b are formed in the silicon layer 3 on both sides of the gate 12 to contact the buried oxide film 2.
SOI 웨이퍼(10)에 구현된 디램 셀은, 게이트(12) 아래의 채널영역에 해당하는 플로팅 바디(Floating Body;15)에 정공(Hole)과 전자(Electron)가 포획되는 것에 의해 데이터 저장이 이루어진다. In the DRAM cell implemented in the SOI wafer 10, data is stored by trapping holes and electrons in a floating body 15 corresponding to a channel region under the gate 12. .
예컨대, 도 2a에 도시된 바와 같이, 데이터 "1" 저장(Store) 상태는 플로팅 바디(15)에 정공이 많은 상태로 이해될 수 있다. 그리고, 도 2b에 도시된 바와 같이, 데이터 "0" 저장 상태는 플로팅 바디(15)에 정공이 적은 상태 또는 전자가 많은 상태로 이해될 수 있다. For example, as shown in FIG. 2A, the data “1” store state may be understood as a state where there are many holes in the floating body 15. As shown in FIG. 2B, the data “0” storage state may be understood as a state in which the floating body 15 has few holes or a lot of electrons.
도 3은 본 발명에 따른 1-트랜지스터형 디램의 멀티 레벨 리드 전류의 특성을 나타낸 파형도이다. 3 is a waveform diagram illustrating characteristics of a multi-level read current of a 1-transistor DRAM according to the present invention.
도 3은 SOI 웨이퍼(10)에 구현된 디램 셀에 대하여 셀 드레인 전압(Vd)을 0.2V로 하고, 셀 소스 전압을 그라운드(GND)로 하면서 셀 게이트 전압을 스윕(Sweep) 했을 때의 셀 읽기 전류를 나타낸 그래프이다. 3 shows a cell read when the cell gate voltage is set to 0.2V for the DRAM cell implemented in the SOI wafer 10, and the cell gate voltage is sweeped while the cell source voltage is set to ground GND. A graph showing the current.
본 발명의 실시예에서는 4 레벨의 전류를 이용하여 2비트 데이터를 저장하는 것을 그 실시예로 설명한다. In the embodiment of the present invention, storing 2-bit data using four levels of current is described as the embodiment.
즉, 워드라인(WL)에 워드라인 리드전압이 인가되면 리드전류가 비트라인(BL)에서 소스라인(SL) 쪽으로 흐른다. 이때, 흐르는 센싱 전류의 양이 기준전류 ref2 보다 크면 데이터 "11"이 리드되고, 기준전류 ref1 보다 크면 데이터 "10"이 리드된다. 그리고, 리드 전류의 값이 기준전류 ref0 보다 크면 데이터 "01"이 리드되고, 리드전류의 값이 기준전류 ref0 보다 작으면 데이터 "00"이 리드된다. That is, when the word line read voltage is applied to the word line WL, the read current flows from the bit line BL toward the source line SL. At this time, if the amount of the sensing current flowing is larger than the reference current ref2, the data "11" is read. If the amount of sensing current is greater than the reference current ref1, the data "10" is read. If the value of the read current is larger than the reference current ref0, the data "01" is read. If the value of the read current is smaller than the reference current ref0, the data "00" is read.
데이터 "11"의 전류 레벨이 가장 높고, 데이터 "10"의 전류 레벨이 데이터 "11"의 전류 레벨보다 낮다. 그리고, 데이터 "01"의 전류 레벨이 데이터 "10"의 전류 레벨보다 낮고, 데이터 "00"의 전류 레벨이 데이터 "01"의 전류 레벨보다 낮다. 각각의 4레벨 전류 사이에 기준전류 ref0,ref1,ref2의 값이 존재하여 멀티 레벨의 리드 동작이 수행된다. The current level of data "11" is the highest, and the current level of data "10" is lower than the current level of data "11". Then, the current level of data "01" is lower than the current level of data "10", and the current level of data "00" is lower than the current level of data "01". Values of the reference currents ref0, ref1, and ref2 exist between the four level currents to perform the multi-level read operation.
도 4a는 본 발명에 따른 1-트랜지스터형 디램의 데이터 리드 방법을 설명하기 위한 회로도이다. 4A is a circuit diagram illustrating a data read method of a 1-transistor DRAM according to the present invention.
본 발명의 1-트랜지스터형 디램은 플로팅 바디 트랜지스터 FBT의 소스(13a)와 드레인(13b)에 각각 소스 라인 SL과 비트라인 BL이 연결되고, 게이트(12)에 워드라인 WL이 연결된다. In the 1-transistor DRAM of the present invention, the source line SL and the bit line BL are connected to the source 13a and the drain 13b of the floating body transistor FBT, respectively, and the word line WL is connected to the gate 12.
도 4b는 도 4a의 동작을 설명하기 위한 타이밍도이다. 4B is a timing diagram for describing the operation of FIG. 4A.
본 발명의 1-트랜지스터형 디램 셀은 데이터를 리드 하기 위한 타이밍이 t0 내지 t2 구간으로 구분된다. 여기서, t0,t2 구간은 데이터를 유지하는 홀드(Hold) 구간이다. 그리고, t1 구간은 데이터 리드를 수행하는 구간이다. In the 1-transistor type DRAM cell of the present invention, the timing for reading data is divided into t0 to t2 sections. Here, the t0 and t2 sections are hold sections that hold data. The t1 section is a section for performing data read.
먼저, t0 구간 즉, 제 1홀드 구간에서는 워드라인 WL이 그라운드 GND 레벨을 유지한다. 그리고, 소스 라인 SL과, 비트라인 BL이 프리차지 전압 Vpre 레벨을 유지한다. 이에 따라, t0 구간에서는 플로팅 바디(15)에 데이터가 유지되는 동작을 수행한다. First, the word line WL maintains the ground GND level in the t0 period, that is, the first hold period. The source line SL and the bit line BL maintain the precharge voltage Vpre level. Accordingly, the data is maintained in the floating body 15 in the t0 section.
그 후, t1 구간에서는 셀에 저장된 데이터를 리드하기 위해 워드라인 WL의 전압이 워드라인 센싱 전압 Vwlsense 레벨로 천이한다. 이때, 소스 라인 SL이 소스라인 센싱 전압 Vslsense 레벨로 천이하고, 비트라인 BL이 프리차지 전압 Vpre 레벨을 유지한다. 이에 따라, 비트라인 BL에서 소스 라인 SL 쪽으로 센싱 전류를 감지하기 위한 센싱 전류 Isense가 흐르게 된다. Thereafter, in the period t1, the voltage of the word line WL transitions to the word line sensing voltage Vwlsense level to read data stored in the cell. At this time, the source line SL transitions to the source line sensing voltage Vslsense level, and the bit line BL maintains the precharge voltage Vpre level. As a result, a sensing current Isense flows from the bit line BL toward the source line SL.
즉, 비트라인 BL과 소스 라인 SL 사이에 센싱전류 Isense를 감지하기 위한 드레인 소스 전압 Vds이 걸리도록 하여 셀 데이터를 리드하게 된다. That is, the cell data is read between the bit line BL and the source line SL by applying the drain source voltage Vds for sensing the sensing current Isense.
이어서, t2 구간, 즉 제 2홀드 구간에서는 워드라인 WL이 그라운드 전압 GND 레벨로 천이한다. 그리고, 소스 라인 SL이 프리차지 전압 Vpre 레벨로 천이하고, 비트라인 BL이 프리차지 전압 Vpre 레벨을 유지한다. Subsequently, in the t2 period, that is, the second hold period, the word line WL transitions to the ground voltage GND level. The source line SL transitions to the precharge voltage Vpre level, and the bit line BL maintains the precharge voltage Vpre level.
본 발명의 실시예에서 워드라인 센싱 전압 Vwlsense은 그라운드 전압 GND 보다 높은 레벨을 가지며, 소스라인 센싱 전압 Vslsense은 프리차지 전압 Vpre 보다 낮고 그라운드 전압 GND 보다 높은 레벨을 갖는 것이 바람직하다. In an embodiment of the present invention, the word line sensing voltage Vwlsense has a level higher than the ground voltage GND, and the source line sensing voltage Vslsense preferably has a level lower than the precharge voltage Vpre and higher than the ground voltage GND.
도 5는 본 발명에 따른 1-트랜지스터형 디램의 제 1실시예이다. 도 5의 실시예는 4 레벨의 전류를 이용하여 2 비트 데이터를 저장하는 경우를 나타낸다. 5 is a first embodiment of a one-transistor DRAM according to the present invention. 5 illustrates a case of storing 2-bit data using four levels of current.
본 발명은 레퍼런스(Reference) 셀 어레이(20)와, 셀 어레이(30)와, 복수개의 레퍼런스 오프셋 전류 조정부(40~60)와, 복수개의 레퍼런스 전압 발생부(70~90)와, 센스앰프 S/A 및 라이트 구동부 W/D를 포함한다. The present invention provides a reference cell array 20, a cell array 30, a plurality of reference offset current adjusters 40 to 60, a plurality of reference voltage generators 70 to 90, and a sense amplifier S. / A and the light driver W / D.
여기서, 레퍼런스 셀 어레이(20)는 복수개의 소스라인 SL0~SL2과 복수개의 워드라인 WL0~WL3이 로오 방향으로 배치된다. 그리고, 복수개의 레퍼런스 비트라인 RBL0~RBL2이 컬럼 방향으로 배치된다. 이러한 레퍼런스 셀 어레이(20)는 메인 셀의 특성을 반영하는 레퍼런스 셀 RC1,RC2을 구현하여 복수개의 레퍼런스 전압 Nref0~Nref2을 발생시킴으로써 센스앰프의 효율을 증가시킬 수 있도록 한다. In the reference cell array 20, a plurality of source lines SL0 to SL2 and a plurality of word lines WL0 to WL3 are arranged in a row direction. The plurality of reference bit lines RBL0 to RBL2 are arranged in the column direction. The reference cell array 20 implements the reference cells RC1 and RC2 reflecting the characteristics of the main cell to generate a plurality of reference voltages Nref0 to Nref2 to increase the efficiency of the sense amplifier.
레퍼런스 셀 어레이(20)에서 각각의 레퍼런스 셀 RC1,RC2은 소스라인 SL0과 소스라인 SL1 사이에 연결되어 공통 드레인 단자가 레퍼런스 비트라인 RBL0을 공유한다. 그리고, 레퍼런스 셀 RC1,RC2은 게이트 단자가 워드라인 WL0,WL1과 각각 연결된다. 상하로 배치된 레퍼런스 셀 RC1,RC2은 소스 단자가 서로 다른 소스라인 SL0,SL1과 연결된다. In the reference cell array 20, each reference cell RC1, RC2 is connected between the source line SL0 and the source line SL1 so that the common drain terminal shares the reference bit line RBL0. The gate terminals of the reference cells RC1 and RC2 are connected to the word lines WL0 and WL1, respectively. The reference cells RC1 and RC2 disposed up and down are connected to source lines SL0 and SL1 having different source terminals.
이러한 레퍼런스 셀 어레이(20)에 포함된 셀 들은 모두 데이터 "0"을 저장하게 된다. 이에 따라, 복수개의 레퍼런스 비트라인 RBL0~RBL2을 통해 셀 데이터 "0"과 동일한 전류가 흐르게 된다. All cells included in the reference cell array 20 store data "0". Accordingly, the same current as the cell data "0" flows through the plurality of reference bit lines RBL0 to RBL2.
그리고, 셀 어레이(30)는 복수개의 소스 라인 SL0~SL2과 복수개의 워드라인 WL0~WL3이 로오 방향으로 배치된다. 그리고, 복수개의 비트라인 BL0,BL1이 컬럼 방향으로 배치된다. In the cell array 30, a plurality of source lines SL0 to SL2 and a plurality of word lines WL0 to WL3 are arranged in the row direction. A plurality of bit lines BL0 and BL1 are arranged in the column direction.
셀 어레이(30)에서 각각의 셀 C1,C2은 소스라인 SL0과 소스라인 SL1 사이에 연결되어 공통 드레인 단자가 비트라인 BL0을 공유한다. 그리고, 셀 C1,C2은 게이트 단자가 워드라인 WL0,WL1과 각각 연결된다. 상하로 배치된 셀 C1,C2은 소스단자가 서로 다른 소스라인 SL0,SL1과 연결된다. Each cell C1, C2 in the cell array 30 is connected between the source line SL0 and the source line SL1 so that the common drain terminal shares the bit line BL0. The gate terminals of the cells C1 and C2 are connected to the word lines WL0 and WL1, respectively. The cells C1 and C2 disposed up and down are connected to source lines SL0 and SL1 having different source terminals.
여기서, 비트라인 BL과 소스라인 SL 사이에는 셀의 센싱 전류를 감지하기 위한 센싱 바이어스 전압인, 소스라인 센싱 전압 Vslsense이 인가된다. 이에 따라, 셀 데이터의 저장 상태에 따라 셀 센싱 전류 Icell가 흐르게 된다. Here, a source line sensing voltage Vslsense, which is a sensing bias voltage for sensing a sensing current of a cell, is applied between the bit line BL and the source line SL. Accordingly, the cell sensing current Icell flows according to the storage state of the cell data.
그리고, 복수개의 레퍼런스 오프셋 전류 조정부(40~60)는 복수개의 레퍼런스 비트라인 RBL0~RBL2과 일대일 대응하여 연결된다. 그리고, 복수개의 레퍼런스 오프셋 전류 조정부(40~60)는 복수개의 레퍼런스 비트라인 RBL0~RBL2에 흐르는 복수개의 레퍼런스 오프셋 전류 Iref_offset0~Iref_offset2를 조정한다. The plurality of reference offset current adjusters 40 to 60 are connected in one-to-one correspondence with the plurality of reference bit lines RBL0 to RBL2. The plurality of reference offset current adjusting units 40 to 60 adjust the plurality of reference offset currents Iref_offset0 to Iref_offset2 flowing through the plurality of reference bit lines RBL0 to RBL2.
또한, 복수개의 레퍼런스 전압 발생부(70~90)는 복수개의 레퍼런스 비트라인 RBL0~RBL2과 일대일 대응하여 연결된다. 그리고, 복수개의 레퍼런스 전압 발생부(70~90)는 복수개의 레퍼런스 비트라인 RBL0~RBL2에 흐르는 레퍼런스 전류 Iref0~Iref2를 각각 제어하여 복수개의 레퍼런스 전압 Nref0~Nref2을 발생시킨다. In addition, the plurality of reference voltage generators 70 to 90 are connected in one-to-one correspondence with the plurality of reference bit lines RBL0 to RBL2. The plurality of reference voltage generators 70 to 90 respectively control the reference currents Iref0 to Iref2 flowing through the plurality of reference bit lines RBL0 to RBL2 to generate the plurality of reference voltages Nref0 to Nref2.
각각의 비트라인 BL0,BL1에는 센스앰프 S/A 및 라이트 구동부 W/D가 일대일 대응하여 연결된다. 여기서, 센스앰프 S/A 및 라이트 구동부 W/D에는 센싱 전압을 판별하기 위한 복수개의 레퍼런스 전압 Nref0~Nref2이 인가되어 셀 전류 Icell를 제어한다. A sense amplifier S / A and a write driver W / D are connected to each bit line BL0 and BL1 in a one-to-one correspondence. Here, a plurality of reference voltages Nref0 to Nref2 for determining a sensing voltage are applied to the sense amplifier S / A and the write driver W / D to control the cell current Icell.
센스앰프 S/A는 셀 데이터를 감지하여 데이터 "11"과, 데이터 "10"과, 데이터 "01", 및 데이터 "00"을 구별한다. 그리고, 라이트 구동부 W/D는 셀에 데이터를 라이트할 때 비트라인 BL에 라이트 데이터에 대응하는 구동 전압을 공급한다. The sense amplifier S / A senses cell data to distinguish data "11", data "10", data "01", and data "00". The write driver W / D supplies a driving voltage corresponding to the write data to the bit line BL when writing data to the cell.
도 6은 본 발명에 따른 1-트랜지스터형 디램의 제 2실시예이다. 6 is a second embodiment of a one-transistor DRAM according to the present invention.
본 발명은 레퍼런스(Reference) 셀 어레이(100)와, 셀 어레이(110)와, 복수개의 레퍼런스 오프셋 전류 조정부(120~140)와, 복수개의 레퍼런스 전압 발생부(150~170)와, 센스앰프 S/A 및 라이트 구동부 W/D를 포함한다. The present invention provides a reference cell array 100, a cell array 110, a plurality of reference offset current adjusters 120 to 140, a plurality of reference voltage generators 150 to 170, and a sense amplifier S. / A and the light driver W / D.
여기서, 레퍼런스 셀 어레이(100)는 복수개의 소스라인 SL0~SL3과 복수개의 워드라인 WL0~WL5이 로오 방향으로 배치된다. 그리고, 복수개의 레퍼런스 비트라인 RBL0~RBL2이 컬럼 방향으로 배치된다. In the reference cell array 100, a plurality of source lines SL0 to SL3 and a plurality of word lines WL0 to WL5 are arranged in a row direction. The plurality of reference bit lines RBL0 to RBL2 are arranged in the column direction.
레퍼런스 셀 어레이(100)에서 각각의 레퍼런스 셀 RC1,RC2은 소스라인 SL0과 소스라인 SL1 사이에 연결되어 공통 드레인 단자가 레퍼런스 비트라인 RBL0을 공유한다. 그리고, 레퍼런스 셀 RC1,RC2은 게이트 단자가 워드라인 WL0,WL1과 각각 연결된다. 상하로 배치된 레퍼런스 셀 RC1,RC2은 소스 단자가 서로 다른 소스라인 SL0,SL1과 연결된다. In the reference cell array 100, each reference cell RC1, RC2 is connected between the source line SL0 and the source line SL1 so that the common drain terminal shares the reference bit line RBL0. The gate terminals of the reference cells RC1 and RC2 are connected to the word lines WL0 and WL1, respectively. The reference cells RC1 and RC2 disposed up and down are connected to source lines SL0 and SL1 having different source terminals.
이러한 레퍼런스 셀 어레이(100)에 포함된 셀 들은 모두 데이터 "0"을 저장하게 된다. 이에 따라, 복수개의 레퍼런스 비트라인 RBL0~RBL2을 통해 셀 데이터 "0"과 동일한 전류가 흐르게 된다. All cells included in the reference cell array 100 store data "0". Accordingly, the same current as the cell data "0" flows through the plurality of reference bit lines RBL0 to RBL2.
그리고, 셀 어레이(110)는 복수개의 소스 라인 SL0~SL3과 복수개의 워드라인 WL0~WL5이 로오 방향으로 배치된다. 그리고, 복수개의 비트라인 BL0,BL1이 컬럼 방향으로 배치된다. In the cell array 110, a plurality of source lines SL0 to SL3 and a plurality of word lines WL0 to WL5 are arranged in a row direction. A plurality of bit lines BL0 and BL1 are arranged in the column direction.
셀 어레이(110)에서 각각의 셀 C1,C2은 소스라인 SL0과 소스라인 SL1 사이에 연결되어 공통 드레인 단자가 비트라인 BL0을 공유한다. 그리고, 셀 C1,C2은 게이트 단자가 워드라인 WL0,WL1과 각각 연결된다. 상하로 배치된 셀 C1,C2은 소스단자가 서로 다른 소스라인 SL0,SL1과 연결된다. In the cell array 110, each of the cells C1 and C2 is connected between the source line SL0 and the source line SL1 so that the common drain terminal shares the bit line BL0. The gate terminals of the cells C1 and C2 are connected to the word lines WL0 and WL1, respectively. The cells C1 and C2 disposed up and down are connected to source lines SL0 and SL1 having different source terminals.
여기서, 비트라인 BL과 소스라인 SL 사이에는 셀의 센싱 전류를 감지하기 위한 센싱 바이어스 전압인, 소스라인 센싱 전압 Vslsense이 인가된다. 이에 따라, 셀 데이터의 저장 상태에 따라 셀 센싱 전류 Icell가 흐르게 된다. Here, a source line sensing voltage Vslsense, which is a sensing bias voltage for sensing a sensing current of a cell, is applied between the bit line BL and the source line SL. Accordingly, the cell sensing current Icell flows according to the storage state of the cell data.
그리고, 복수개의 레퍼런스 오프셋 전류 조정부(120~140)는 복수개의 레퍼런스 비트라인 RBL0~RBL2과 일대일 대응하여 연결된다. 그리고, 복수개의 레퍼런스 오프셋 전류 조정부(120~140)는 각각의 레퍼런스 비트라인 RBL0~RBL2에 흐르는 레퍼런스 오프셋 전류 Iref_offset0~Iref_offset2를 조정한다. The plurality of reference offset current adjusters 120 to 140 are connected in one-to-one correspondence with the plurality of reference bit lines RBL0 to RBL2. The plurality of reference offset current adjusting units 120 to 140 adjust the reference offset currents Iref_offset0 to Iref_offset2 flowing through the respective reference bit lines RBL0 to RBL2.
그리고, 레퍼런스 전압 발생부(150~170)는 복수개의 레퍼런스 비트라인 RBL0~RBL2과 일대일 대응하여 연결된다. 그리고, 레퍼런스 전압 발생부(150~170)는 복수개의 레퍼런스 비트라인 RBL0~RBL2에 흐르는 레퍼런스 전류 Iref0~Iref2를 제어하여 복수개의 레퍼런스 전압 Nref0~Nref2을 발생시킨다. The reference voltage generators 150 to 170 are connected in one-to-one correspondence with the plurality of reference bit lines RBL0 to RBL2. The reference voltage generators 150 to 170 generate the plurality of reference voltages Nref0 to Nref2 by controlling the reference currents Iref0 to Iref2 flowing through the plurality of reference bit lines RBL0 to RBL2.
각각의 비트라인 BL0,BL1에는 센스앰프 S/A 및 라이트 구동부 W/D가 연결된다. 비트라인 BL0,BL1에는 센스앰프 S/A 및 라이트 구동부 W/D가 각각 일대일 대응하여 연결된다. 여기서, 각각의 센스앰프 S/A 및 라이트 구동부 W/D에는 센싱 전압을 판별하기 위한 복수개의 레퍼런스 전압 Nref0~Nref2이 인가되어 셀 전류 Icell를 제어한다. A sense amplifier S / A and a write driver W / D are connected to each of the bit lines BL0 and BL1. The sense amplifiers S / A and the write driver W / D are respectively connected to the bit lines BL0 and BL1 in a one-to-one correspondence. Here, a plurality of reference voltages Nref0 to Nref2 for determining a sensing voltage are applied to each of the sense amplifiers S / A and the write driver W / D to control the cell current Icell.
센스앰프 S/A는 셀 데이터를 감지하여 데이터 "11"과, 데이터 "10"과, 데이터 "01", 및 데이터 "00"을 구별한다. 그리고, 라이트 구동부 W/D는 셀에 데이터를 라이트할 때 비트라인 BL에 라이트 데이터에 대응하는 구동 전압을 공급한다. The sense amplifier S / A senses cell data to distinguish data "11", data "10", data "01", and data "00". The write driver W / D supplies a driving voltage corresponding to the write data to the bit line BL when writing data to the cell.
이러한 구성을 갖는 본 발명의 레퍼런스 셀 어레이(100)는 레퍼런스 비트라인 RBL0과 연결된 복수개의 레퍼런스 셀 그룹 RCG1,RCG2과, 레퍼런스 비트라인 RBL1과 연결된 복수개의 레퍼런스 셀 그룹 RCG3,RCG4 및, 레퍼런스 비트라인 RBL2과 연결된 복수개의 레퍼런스 셀 그룹 RCG5,RCG6을 포함한다. 그리고, 셀 어레이(110)는 비트라인 BL에 연결된 복수개의 셀 그룹 CG1,CG2을 포함한다. The reference cell array 100 of the present invention having such a configuration includes a plurality of reference cell groups RCG1 and RCG2 connected to the reference bit line RBL0, a plurality of reference cell groups RCG3 and RCG4 connected to the reference bit line RBL1 and a reference bit line RBL2. It includes a plurality of reference cell groups RCG5, RCG6 connected to. The cell array 110 includes a plurality of cell groups CG1 and CG2 connected to the bit line BL.
여기서, 레퍼런스 비트라인 RBL0과 연결된 복수개의 레퍼런스 셀 그룹 RCG1,RCG2은 로오 및 컬럼 방향으로 하나 건너 하나씩 배치된다. 즉, 레퍼런스 비트라인 RBL0을 기준으로 하여 좌/우 지그재그 패턴으로 배치된다. Here, the plurality of reference cell groups RCG1 and RCG2 connected to the reference bit line RBL0 are arranged one by one in the row and column directions. That is, the left and right zigzag patterns are arranged based on the reference bit line RBL0.
그리고, 레퍼런스 비트라인 RBL1과 연결된 복수개의 레퍼런스 셀 그룹 RCG3,RCG4은 로오 및 컬럼 방향으로 하나 건너 하나씩 배치된다. 즉, 레퍼런스 비트라인 RBL1을 기준으로 하여 좌/우 지그재그 패턴으로 배치된다. The plurality of reference cell groups RCG3 and RCG4 connected to the reference bit line RBL1 are arranged one by one in the row and column directions. That is, the left and right zigzag patterns are arranged based on the reference bit line RBL1.
또한, 레퍼런스 비트라인 RBL2과 연결된 레퍼런스 셀 그룹 RCG5,RCG6은 로오 및 컬럼 방향으로 하나 건너 하나씩 배치된다. 즉, 레퍼런스 비트라인 RBL2을 기준으로 하여 좌/우 지그재그 패턴으로 배치된다. 또한, 비트라인 BL과 연결된 복수개의 셀 그룹 CG1,CG2은 로오 및 컬럼 방향으로 하나 건너 하나씩 배열된다. In addition, the reference cell groups RCG5 and RCG6 connected to the reference bit line RBL2 are arranged one by one in the row and column directions. That is, the left and right zigzag patterns are arranged based on the reference bit line RBL2. In addition, the plurality of cell groups CG1 and CG2 connected to the bit line BL are arranged one by one in the row and column directions.
또한, 상하로 배치된 두 개의 레퍼런스 셀 그룹 RCG1,RCG2은 하나의 소스 라인 SL1을 공유한다. 그리고, 동일한 로오 라인에 배열된 복수개의 레퍼런스 셀 그룹 RCG1,RCG3,RCG5 및 셀 그룹 CG1은 하나의 소스 라인 SL1을 공유하게 된다. In addition, two reference cell groups RCG1 and RCG2 disposed up and down share one source line SL1. The plurality of reference cell groups RCG1, RCG3, RCG5 and the cell group CG1 arranged on the same row line share one source line SL1.
동일한 컬럼 라인에 배열된 복수개의 레퍼런스 셀 그룹 RCG2,RCG3들 중, 소스 라인 SL1을 기준으로 상하로 인접하여 배치된 레퍼런스 셀 그룹 CCG2,CCG3은 각각 다른 레퍼런스 비트라인 RBL0 또는 레퍼런스 비트라인 RBL1에 연결된다. 즉, 소스 라인 SL1의 위쪽에 배치된 레퍼런스 셀 그룹 RCG3은 레퍼런스 비트라인 RBL1에 연결되고, 소스 라인 SL1의 아래쪽에 배치된 레퍼런스 셀 그룹 RCG2은 레퍼런스 비트라인 RBL0에 연결된다. Of the plurality of reference cell groups RCG2 and RCG3 arranged on the same column line, the reference cell groups CCG2 and CCG3 arranged up and down adjacent to the source line SL1 are connected to different reference bit lines RBL0 or reference bit lines RBL1, respectively. . That is, the reference cell group RCG3 disposed above the source line SL1 is connected to the reference bit line RBL1, and the reference cell group RCG2 disposed below the source line SL1 is connected to the reference bit line RBL0.
상하에 배치된 여러 개의 셀이 동일한 비트라인을 공유하는 경우 라이트 동작 모드시 소스 라인 SL1을 공유하는 상태에서 비트라인 BL에 바이어스 전압을 인가하게 되면, 상하에 배치된 플로팅 바디 셀 들에 공통으로 같은 전압이 인가된다. 이에 따라, 선택된 셀과 선택되지 않은 셀에서 모두 동일한 바이어스 전압이 인가되어 비 선택된 셀에 동작 오류가 발생하게 된다. When a plurality of cells arranged above and below share the same bit line When a bias voltage is applied to the bit line BL while sharing the source line SL1 in the write operation mode, the same voltage is applied to the floating body cells arranged above and below. Voltage is applied. Accordingly, the same bias voltage is applied to both the selected cell and the unselected cell, thereby causing an operation error in the unselected cell.
이에 따라, 본 발명은 상하에 배치된 셀 그룹 CG3,CG2이 각각 서로 다른 레퍼런스 비트라인 RBL1,RBL0과 연결되도록 한다. 따라서, 선택된 셀에만 바이어스 전압이 인가되고, 선택되지 않은 셀에는 비트라인으로부터의 바이어스 전압이 인가되지 않도록 하여 셀의 동작 오류를 방지할 수 있게 된다. Accordingly, the present invention allows the cell groups CG3 and CG2 arranged above and below to be connected to different reference bit lines RBL1 and RBL0, respectively. Therefore, the bias voltage is applied only to the selected cell, and the bias voltage from the bit line is not applied to the unselected cell, thereby preventing an operation error of the cell.
여기서, 레퍼런스 셀 그룹 RCG7은 실질적으로 레퍼런스 비트라인 RBL과 연결되지는 않지만, 프로세스(Process) 상에서의 셀 연속성을 유지하기 위해 셀 어레이에 구현된다. 이에 따라, 셀 그룹의 배치를 도 6과 같이 변경함으로써 각 셀에 인가되는 바이어스 조건을 달리할 수 있게 된다. Here, the reference cell group RCG7 is not substantially connected to the reference bit line RBL, but is implemented in a cell array to maintain cell continuity on a process. Accordingly, the bias condition applied to each cell can be changed by changing the arrangement of the cell groups as shown in FIG. 6.
도 7은 본 발명에 따른 1-트랜지스터형 디램의 멀티 레퍼런스 전류를 설명하기 위한 파형도이다. 7 is a waveform diagram illustrating a multi-reference current of a 1-transistor DRAM according to the present invention.
도 4b의 센싱 구간 t1에서 워드라인 WL의 전압이 워드라인 센싱 전압 Vwlsense 레벨로 천이하면, 레퍼런스 셀 어레이(20)의 레퍼런스 셀 RC에서 셀 데이터 "0"과 동일한 레퍼런스 전류 Iref_cell가 흐르게 된다. When the voltage of the word line WL transitions to the word line sensing voltage Vwlsense level in the sensing period t1 of FIG. 4B, the reference current Iref_cell equal to the cell data “0” flows in the reference cell RC of the reference cell array 20.
그리고, 레퍼런스 오프셋 전류 조정부(40)에서는 셀 데이터 "00"과 셀 데이터 "01"의 중간값에 해당하는 레퍼런스 전류 Iref0를 발생시키기 위한 추가 전류 성분을 발생시키게 된다. 이 추가 전류 성분을 레퍼런스 오프셋 전류 Iref_offset0로 정의한다. In addition, the reference offset current adjusting unit 40 generates an additional current component for generating the reference current Iref0 corresponding to the intermediate value of the cell data “00” and the cell data “01”. This additional current component is defined as the reference offset current Iref_offset0.
그리고, 레퍼런스 오프셋 전류 조정부(50)에서는 셀 데이터 "01"과 셀 데이터 "10"의 중간값에 해당하는 레퍼런스 전류 Iref1를 발생시키기 위한 추가 전류 성분을 발생시키게 된다. 이 추가 전류 성분을 레퍼런스 오프셋 전류 Iref_offset1로 정의한다. In addition, the reference offset current adjusting unit 50 generates an additional current component for generating the reference current Iref1 corresponding to the intermediate value of the cell data "01" and the cell data "10". This additional current component is defined as the reference offset current Iref_offset1.
또한, 레퍼런스 오프셋 전류 조정부(60)에서는 셀 데이터 "10"과 셀 데이터 "11"의 중간값에 해당하는 레퍼런스 전류 Iref2를 발생시키기 위한 추가 전류 성분을 발생시키게 된다. 이 추가 전류 성분을 레퍼런스 오프셋 전류 Iref_offset2로 정의한다. In addition, the reference offset current adjusting unit 60 generates an additional current component for generating the reference current Iref2 corresponding to the intermediate value of the cell data “10” and the cell data “11”. This additional current component is defined as the reference offset current Iref_offset2.
따라서, 전체 레퍼런스 전류 Iref0는 셀에 흐르는 레퍼런스 전류 Iref_cell와 레퍼런스 오프셋 전류 Iref_offset0를 합한 값이 된다. 그리고, 전체 레퍼런스 전류 Iref1는 셀에 흐르는 레퍼런스 전류 Iref_cell와 레퍼런스 오프셋 전류 Iref_offset1를 합한 값이 된다. 전체 레퍼런스 전류 Iref2는 셀에 흐르는 레퍼런스 전류 Iref_cell와 레퍼런스 오프셋 전류 Iref_offset2를 합한 값이 된다. Therefore, the total reference current Iref0 is the sum of the reference current Iref_cell flowing in the cell and the reference offset current Iref_offset0. The total reference current Iref1 is the sum of the reference current Iref_cell flowing in the cell and the reference offset current Iref_offset1. The total reference current Iref2 is the sum of the reference current Iref_cell and the reference offset current Iref_offset2 flowing in the cell.
도 8a 내지 도 8c는 도 5의 레퍼런스 오프셋 전류 조정부(40~60)에 관한 상세 회로도이다. 본 발명에서는 레퍼런스 오프셋 전류 조정부(40~60)의 구성을 그 실시예로 설명한다. 8A to 8C are detailed circuit diagrams of the reference offset current adjusters 40 to 60 of FIG. 5. In the present invention, the configuration of the reference offset current adjusting units 40 to 60 will be described in the embodiment.
여기서, 도 8a의 레퍼런스 오프셋 전류 조정부(40)는 레퍼런스 비트라인 RBL0과 그라운드(GND) 전압단 사이에 연결된 오프셋 전류 제어 소자를 포함한다. 오프셋 전류 제어 소자는 레퍼런스 전압 발생부(70)에서 레퍼런스 비트라인 RBL0을 통해 그라운드(GND)로 흐르는 레퍼런스 오프셋 전류 Iref_offset0의 흐름을 조정한다. Here, the reference offset current adjuster 40 of FIG. 8A includes an offset current control element connected between the reference bit line RBL0 and the ground (GND) voltage terminal. The offset current control element adjusts the flow of the reference offset current Iref_offset0 flowing from the reference voltage generator 70 to the ground GND through the reference bit line RBL0.
그리고, 도 8b의 레퍼런스 오프셋 전류 조정부(50)는 레퍼런스 비트라인 RBL1과 그라운드(GND) 전압단 사이에 연결된 오프셋 전류 제어 소자를 포함한다. 오프셋 전류 제어 소자는 레퍼런스 전압 발생부(80)에서 레퍼런스 비트라인 RBL1을 통해 그라운드(GND)로 흐르는 레퍼런스 오프셋 전류 Iref_offset1의 흐름을 조정한다. The reference offset current adjuster 50 of FIG. 8B includes an offset current control element connected between the reference bit line RBL1 and the ground (GND) voltage terminal. The offset current control element adjusts the flow of the reference offset current Iref_offset1 flowing from the reference voltage generator 80 to the ground GND through the reference bit line RBL1.
또한, 도 8c의 레퍼런스 오프셋 전류 조정부(60)는 레퍼런스 비트라인 RBL2과 그라운드(GND) 전압단 사이에 연결된 오프셋 전류 제어 소자를 포함한다. 오프셋 전류 제어 소자는 레퍼런스 전압 발생부(90)에서 레퍼런스 비트라인 RBL2을 통해 그라운드(GND)로 흐르는 레퍼런스 오프셋 전류 Iref_offset2의 흐름을 조정한다. In addition, the reference offset current adjuster 60 of FIG. 8C includes an offset current control element connected between the reference bit line RBL2 and the ground (GND) voltage terminal. The offset current control element adjusts the flow of the reference offset current Iref_offset2 flowing from the reference voltage generator 90 to the ground GND through the reference bit line RBL2.
본 발명에서는 오프셋 전류 제어 소자가 저항 R1~R3으로 구성된 것을 그 실시예로 설명한다. 여기서, 각각의 저항 R1~R3 값은 서로 다른 저항값을 갖는 것이 바람직하다. 이러한 오프셋 전류 제어 소자의 구성은 이에 한정되는 것이 아니라, 저항 R 뿐만 아니라, 모스(MOS) 소자 또는 저항값이 조절되는 그 어떤 소자로 이루어질 수도 있다. In the present invention, the offset current control element is composed of the resistors R1 to R3 in the embodiment. Here, each of the resistors R1 to R3 preferably has a different resistance value. The configuration of the offset current control element is not limited to this, but may be made of not only the resistor R but also a MOS element or any element whose resistance value is adjusted.
도 9는 도 5 및 도 6의 전류 센스앰프 S/A0~S/A2에 관한 상세 회로도이다. 9 is a detailed circuit diagram of the current sense amplifiers S / A0 to S / A2 of FIGS. 5 and 6.
본 발명에서는 4 레벨의 전류를 감지하기 위해서 3개의 센스앰프 S/A0~S/A2가 필요하게 된다. 각각의 센스앰프 S/A0~S/A2는 노드 Nbl의 신호가 공통으로 입력되며, 각각 서로 다른 레퍼런스 전압 Nref0~Nref2이 인가된다. 메인 셀의 비트라인 전류 Icell은 클램프 소자와 로드 소자를 이용하여 제어되고, 노드 Nbl 단자에서 메인 셀의 신호 전압을 만들게 된다. In the present invention, three sense amplifiers S / A0 to S / A2 are required to sense four levels of current. Each sense amplifier S / A0 to S / A2 has a signal of the node Nbl input in common, and different reference voltages Nref0 to Nref2 are applied. The bit line current Icell of the main cell is controlled using the clamp and load elements, which produce the signal voltage of the main cell at the node Nbl terminal.
도 10은 도 9의 센스앰프 S/A0에 관한 상세 회로도이다. FIG. 10 is a detailed circuit diagram of the sense amplifier S / A0 of FIG. 9.
센스앰프 S/A는 이퀄라이징부(200)와, 증폭부(210)와, 풀업부(220)와, 증폭부(230)와, 증폭 활성화 제어부(240)와, 전류 감지 로드부(250) 및 비트라인 전압 바이어스 제어부(260)를 포함한다. The sense amplifier S / A includes an equalizing unit 200, an amplifier 210, a pull-up unit 220, an amplifier 230, an amplification activation controller 240, a current sensing rod unit 250, and the like. And a bit line voltage bias controller 260.
여기서, 이퀄라이징부(200)는 PMOS트랜지스터 P1~P3를 포함한다. PMOS트랜지스터 P1는 전원전압 VDD 인가단과 출력단 OUT 사이에 연결된다. PMOS트랜지스터 P2는 전원전압 VDD 인가단과 출력단 /OUT 사이에 연결된다. PMOS트랜지스터 P3는 출력단 OUT,/OUT 사이에 연결된다. 그리고, PMOS트랜지스터 P1~P3는 공통 게이트 단자를 통해 센스앰프 인에이블 신호 SEN가 인가된다. Here, the equalizing unit 200 includes PMOS transistors P1 to P3. The PMOS transistor P1 is connected between the supply voltage VDD supply stage and the output terminal OUT. The PMOS transistor P2 is connected between the supply voltage VDD terminal and the output terminal / OUT. PMOS transistor P3 is connected between outputs OUT and / OUT. The sense amplifier enable signal SEN is applied to the PMOS transistors P1 to P3 through the common gate terminal.
증폭부(210)는 PMOS트랜지스터 P4,P5와, NMOS트랜지스터 N1,N2를 포함한다. PMOS트랜지스터 P4,P5와, NMOS트랜지스터 N1,N2는 크로스 커플드 연결된다. The amplifier 210 includes PMOS transistors P4 and P5 and NMOS transistors N1 and N2. PMOS transistors P4 and P5 and NMOS transistors N1 and N2 are cross coupled.
풀업부(220)는 PMOS트랜지스터 P6~P8를 포함한다. 여기서, PMOS트랜지스터 P6는 전원전압 VDD 인가단과 노드 Nsabl 사이에 연결된다. PMOS트랜지스터 P7는 노드 Nsabl와 노드 Nsaref 사이에 연결된다. PMOS트랜지스터 P8는 전원전압 VDD 인가단과 노드 Nsaref 사이에 연결된다. PMOS트랜지스터 P6~P8는 공통 게이트 단자를 통해 센스앰프 인에이블 신호 SEN가 인가된다. The pull-up unit 220 includes PMOS transistors P6 to P8. Here, the PMOS transistor P6 is connected between the supply voltage VDD terminal and the node Nsabl. PMOS transistor P7 is connected between node Nsabl and node Nsaref. The PMOS transistor P8 is connected between the supply voltage VDD terminal and the node Nsaref. The PMOS transistors P6 to P8 receive a sense amplifier enable signal SEN through a common gate terminal.
증폭부(230)는 NMOS트랜지스터 N3,N4를 포함한다. NMOS트랜지스터 N3는 노드 Nsabl와 NMOS트랜지스터 N5 사이에 연결되어 게이트 단자가 노드 Nbl에 연결된다. 그리고, NMOS트랜지스터 N4는 노드 Nsaref와 NMOS트랜지스터 N5 사이에 연결되어 게이트 단자를 통해 레퍼런스 전압 Nref0이 인가된다. The amplifier 230 includes NMOS transistors N3 and N4. NMOS transistor N3 is connected between node Nsabl and NMOS transistor N5 so that the gate terminal is connected to node Nbl. The NMOS transistor N4 is connected between the node Nsaref and the NMOS transistor N5 so that the reference voltage Nref0 is applied through the gate terminal.
증폭 활성화 제어부(240)는 증폭부(230)와 그라운드 전압 GND 인가단 사이에 연결되어 게이트 단자를 통해 센스앰프 인에이블 신호 SEN가 인가된다. The amplification activation control unit 240 is connected between the amplifying unit 230 and the ground voltage GND applying terminal to receive the sense amplifier enable signal SEN through the gate terminal.
전류 감지 로드부(250)는 PMOS트랜지스터 P9를 포함한다. 여기서, PMOS트랜지스터 P9는 전원전압 VDD 인가단과 노드 Nbl 사이에 연결되어 게이트 단자를 통해 로드전압 Vload이 인가된다. The current sensing load unit 250 includes a PMOS transistor P9. Here, the PMOS transistor P9 is connected between the power supply voltage VDD applying terminal and the node Nbl so that the load voltage Vload is applied through the gate terminal.
비트라인 전압 바이어스 제어부(260)는 NMOS트랜지스터 N6를 포함한다. 여기서, NMOS트랜지스터 N6는 노드 Nbl와 비트라인 BL 사이에 연결되어 게이트 단자를 통해 클램프 전압 VCLMP이 인가된다. The bit line voltage bias controller 260 includes an NMOS transistor N6. Here, the NMOS transistor N6 is connected between the node Nbl and the bit line BL so that the clamp voltage VCLMP is applied through the gate terminal.
이러한 구성을 갖는 센스앰프 S/A의 동작 과정을 도 11의 파형도를 참조하여 설명하면 다음과 같다. An operation process of the sense amplifier S / A having such a configuration will be described with reference to the waveform diagram of FIG. 11 as follows.
클램프 전압 VCLMP이 상승하게 되면 NMOS트랜지스터 N6가 턴온되어 메인 셀의 비트라인 전류가 노드 Nbl에 전달된다. 여기서, NMOS트랜지스터 N6의 게이트 전압은 클램프 전압 VCLMP에 의해 제어된다. When the clamp voltage VCLMP rises, the NMOS transistor N6 is turned on to transfer the bit line current of the main cell to the node Nbl. Here, the gate voltage of the NMOS transistor N6 is controlled by the clamp voltage VCLMP.
전류 감지 로드부(250)는 로드전압 Vload에 의해 제어되는 PMOS트랜지스터 P9를 포함한다. PMOS트랜지스터 P9의 로드 값에 의해 비트라인 BL의 전류가 노드 Nbl에서 센싱 전압 값으로 변환된다. The current sensing load unit 250 includes a PMOS transistor P9 controlled by the load voltage Vload. The current of the bit line BL is converted into a sensing voltage value at the node Nbl by the load value of the PMOS transistor P9.
증폭 활성화 제어부(240)는 센스앰프 인에이블 신호 SEN에 의해 제어된다. 증폭 활성화 제어부(240)의 상태에 따라 증폭부(210,230)가 활성화된다. 여기서, 증폭부(230)는 NMOS트랜지스터 N3,N4의 이득(Gain)을 이용하여 노드 Nbl와 레퍼런스 전압 Nref 단의 전압을 증폭한다. The amplification activation control unit 240 is controlled by the sense amplifier enable signal SEN. The amplification units 210 and 230 are activated according to the state of the amplification activation control unit 240. Here, the amplifier 230 amplifies the voltage of the node Nbl and the reference voltage Nref stage by using gains of the NMOS transistors N3 and N4.
양 노드 Nsabl,Nsaref 단은 풀업부(220)의 동작에 따라 프리차지 기간 동안 하이 레벨로 프리차지된다. 이에 따라, 센스앰프 S/A의 1차 증폭 특성을 개선하게 된다. 즉, t1 구간 동안 양 노드 Nsabl,Nsaref 단은 풀다운 하면서 증폭된 전압 값을 갖게 된다. 증폭부(230)에서 증폭된 전압은 증폭부(210)에 전달되어 2차 증폭부의 증폭 특성을 개선하게 된다. Both nodes Nsabl and Nsaref are precharged to a high level during the precharge period according to the operation of the pull-up unit 220. This improves the primary amplification characteristics of the sense amplifier S / A. That is, during the t1 period, both nodes Nsabl and Nsaref have pulled-down voltage values. The voltage amplified by the amplifier 230 is transmitted to the amplifier 210 to improve the amplification characteristics of the secondary amplifier.
증폭부(210)는 증폭부(230)의 이득을 다시 한번 증폭하는 역할을 수행하여 센스앰프 S/A의 오프셋 특성을 개선할 수 있도록 한다. 이퀄라이징부(200)는 프치차지 구간 동안 증폭부(210)의 출력을 하이 레벨로 프리차지하게 된다. The amplifier 210 serves to amplify the gain of the amplifier 230 once again to improve the offset characteristics of the sense amplifier S / A. The equalizing unit 200 precharges the output of the amplifying unit 210 to a high level during the patch charging period.
도 12a 내지 도 12c는 도 5 및 도 6의 레퍼런스 전압 발생부(70~90)에 관한 상세 회로도이다. 본 발명에서는 레퍼런스 전압 발생부(70~90)의 구성을 그 실시예로 설명한다.12A to 12C are detailed circuit diagrams of the reference voltage generators 70 to 90 of FIGS. 5 and 6. In the present invention, the configuration of the reference voltage generators 70 to 90 will be described in the embodiment.
레퍼런스 전압 발생부(70)는 전류 감지 로드부(71)와, 비트라인 전압 바이어스 제어부(72)를 포함한다. The reference voltage generator 70 includes a current sensing rod 71 and a bit line voltage bias controller 72.
여기서, 전류 감지 로드부(71)는 전원전압 VDD 인가단과 레퍼런스 전압 Nref0 단 사이에 연결되어 게이트 단자를 통해 로드전압 Vload이 인가되는 PMOS트랜지스터 P10를 포함한다. Here, the current sensing load unit 71 includes a PMOS transistor P10 connected between the supply voltage VDD terminal and the reference voltage Nref0 terminal to which the load voltage Vload is applied through the gate terminal.
그리고, 비트라인 전압 바이어스 제어부(72)는 레퍼런스 전압 Nref0 단과 레퍼런스 비트라인 RBL0 사이에 연결되어 게이트 단자를 통해 클램프 전압 VCLMP이 인가되는 NMOS트랜지스터 N7를 포함한다. The bit line voltage bias control unit 72 includes an NMOS transistor N7 connected between the reference voltage Nref0 terminal and the reference bit line RBL0 to which the clamp voltage VCLMP is applied through the gate terminal.
이러한 구성을 갖는 레퍼런스 전압 발생부(70)는 NMOS트랜지스터 N7의 게이트 전압이 클램프 전압 VCLMP에 의해 제어된다. 그리고, PMOS트랜지스터 P10의 로드 값에 의해 레퍼런스 전류 Iref0가 레퍼런스 전압 Nref0 단에서 레퍼런스 전압 값으로 변환된다. In the reference voltage generator 70 having such a configuration, the gate voltage of the NMOS transistor N7 is controlled by the clamp voltage VCLMP. The reference current Iref0 is converted into the reference voltage value at the reference voltage Nref0 stage by the load value of the PMOS transistor P10.
레퍼런스 전압 발생부(80)는 전류 감지 로드부(81)와, 비트라인 전압 바이어스 제어부(82)를 포함한다. The reference voltage generator 80 includes a current sensing rod 81 and a bit line voltage bias controller 82.
여기서, 전류 감지 로드부(81)는 전원전압 VDD 인가단과 레퍼런스 전압 Nref1 단 사이에 연결되어 게이트 단자를 통해 로드전압 Vload이 인가되는 PMOS트랜지스터 P11를 포함한다. Here, the current sensing load unit 81 includes a PMOS transistor P11 connected between the supply voltage VDD terminal and the reference voltage Nref1 terminal to which the load voltage Vload is applied through the gate terminal.
그리고, 비트라인 전압 바이어스 제어부(82)는 레퍼런스 전압 Nref1 단과 레퍼런스 비트라인 RBL1 사이에 연결되어 게이트 단자를 통해 클램프 전압 VCLMP이 인가되는 NMOS트랜지스터 N8를 포함한다. The bit line voltage bias controller 82 includes an NMOS transistor N8 connected between the reference voltage Nref1 terminal and the reference bit line RBL1 to which the clamp voltage VCLMP is applied through the gate terminal.
이러한 구성을 갖는 레퍼런스 전압 발생부(80)는 NMOS트랜지스터 N8의 게이트 전압이 클램프 전압 VCLMP에 의해 제어된다. 그리고, PMOS트랜지스터 P11의 로드 값에 의해 레퍼런스 전류 Iref1가 레퍼런스 전압 Nref1 단에서 레퍼런스 전압 값으로 변환된다. In the reference voltage generator 80 having such a configuration, the gate voltage of the NMOS transistor N8 is controlled by the clamp voltage VCLMP. The reference current Iref1 is converted into the reference voltage value at the reference voltage Nref1 stage by the load value of the PMOS transistor P11.
레퍼런스 전압 발생부(90)는 전류 감지 로드부(91)와, 비트라인 전압 바이어스 제어부(92)를 포함한다. The reference voltage generator 90 includes a current sensing rod 91 and a bit line voltage bias controller 92.
여기서, 전류 감지 로드부(91)는 전원전압 VDD 인가단과 레퍼런스 전압 Nref2 단 사이에 연결되어 게이트 단자를 통해 로드전압 Vload이 인가되는 PMOS트랜지스터 P12를 포함한다. Here, the current sensing load unit 91 includes a PMOS transistor P12 connected between the supply voltage VDD terminal and the reference voltage Nref2 terminal to which the load voltage Vload is applied through the gate terminal.
그리고, 비트라인 전압 바이어스 제어부(92)는 레퍼런스 전압 Nref2 단과 레퍼런스 비트라인 RBL2 사이에 연결되어 게이트 단자를 통해 클램프 전압 VCLMP이 인가되는 NMOS트랜지스터 N9를 포함한다. The bit line voltage bias controller 92 includes an NMOS transistor N9 connected between the reference voltage Nref2 terminal and the reference bit line RBL2 to which the clamp voltage VCLMP is applied through the gate terminal.
이러한 구성을 갖는 레퍼런스 전압 발생부(90)는 NMOS트랜지스터 N9의 게이트 전압이 클램프 전압 VCLMP에 의해 제어된다. 그리고, PMOS트랜지스터 P12의 로드 값에 의해 레퍼런스 전류 Iref2가 레퍼런스 전압 Nref2 단에서 레퍼런스 전압 값으로 변환된다. In the reference voltage generator 90 having such a configuration, the gate voltage of the NMOS transistor N9 is controlled by the clamp voltage VCLMP. The reference current Iref2 is converted into the reference voltage value at the reference voltage Nref2 stage by the load value of the PMOS transistor P12.
여기서, 복수개의 레퍼런스 비트라인 RBL0~RBL2에 동일한 로드 조건을 형성하기 위해 각각의 레퍼런스 전압 발생부(70~90)에 클램프 전압 VCLMP을 인가하게 된다. Here, the clamp voltage VCLMP is applied to each of the reference voltage generators 70 to 90 to form the same load condition on the plurality of reference bit lines RBL0 to RBL2.
도 13은 도 10의 전류 센스앰프 S/A에서 동작 전압을 설명하기 위한 타이밍도이다. FIG. 13 is a timing diagram illustrating an operating voltage in the current sense amplifier S / A of FIG. 10.
도 13는 두 개의 리드 사이클에서의 데이터 "1"과 데이터 "0"의 전류 센싱 동작에 관한 타이밍도이다. FIG. 13 is a timing diagram of a current sensing operation of data "1" and data "0" in two read cycles.
리드 사이클 n에서 컬럼 선택 스위치(CS) 및 레퍼런스 컬럼 선택 스위치(REFCS)가 활성화되면 셀(Cell)과 레퍼런스(REF) 전류가 흐르기 시작한다. 일정 시간 이후에 센스앰프 인에이블 신호 SEN가 활성화되면, 출력단 OUT,/OUT의 전압이 증폭된다. 이때, 셀의 전류 Icell가 레퍼런스 전류 Iref 보다 크므로 출력단 OUT이 하이로, 출력단 /OUT이 로우 전압 레벨로 출력된다. When the column select switch CS and the reference column select switch REFCS are activated in the read cycle n, the cell and the reference REF currents start to flow. When the sense amplifier enable signal SEN is activated after a certain time, the voltage at the output terminals OUT and / OUT is amplified. At this time, since the current Icell of the cell is greater than the reference current Iref, the output terminal OUT is high and the output terminal / OUT is output at a low voltage level.
이후에, 리드 사이클 n+1에서 컬럼 선택 스위치(CS) 및 레퍼런스 컬럼 선택 스위치(REFCS)가 활성화되면 셀(Cell)과 레퍼런스(REF) 전류가 흐르기 시작한다. 일정 시간 이후에 센스앰프 인에이블 신호 SEN가 활성화되면, 출력단 OUT,/OUT의 전압이 증폭된다. 이때, 셀의 전류 Icell가 레퍼런스 전류 Iref 보다 작으므로 출력단 OUT이 로우로, 출력단 /OUT이 하이 전압 레벨로 출력된다. Thereafter, when the column select switch CS and the reference column select switch REFCS are activated in the read cycle n + 1, the cell and the reference REF currents start to flow. When the sense amplifier enable signal SEN is activated after a certain time, the voltage at the output terminals OUT and / OUT is amplified. At this time, since the current Icell of the cell is smaller than the reference current Iref, the output terminal OUT is low and the output terminal / OUT is output at a high voltage level.
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