KR100903624B1 - Mask assembly for thin film vapor deposition of flat panel display - Google Patents

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Abstract

본 발명은 증착 과정에서 모기판의 처짐과 단위 마스크들의 변형을 억제하여 증착 정밀도를 높일 수 있는 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체를 제공한다. 본 발명에 따른 마스크 조립체는 개구부를 둘러싸는 한 쌍의 제1 지지부와 한 쌍의 제2 지지부를 구비하는 프레임과, 적어도 하나의 패턴 개구부를 형성하며 인장력이 가해진 상태로 양단이 제1 지지부에 고정되는 복수의 단위 마스크와, 프레임과 단위 마스크 사이에서 개구부를 가로지르며 위치하여 단위 마스크를 지지하는 적어도 하나의 지지대를 포함한다.The present invention provides a mask assembly for thin film deposition of a flat panel display device which can increase deposition accuracy by suppressing deflection of a mother substrate and deformation of unit masks in a deposition process. The mask assembly according to the present invention has a frame including a pair of first support portions and a pair of second support portions surrounding the opening, and at least one pattern opening portion, and both ends thereof are fixed to the first support portion in a state where a tensile force is applied. And a plurality of unit masks and at least one supporter positioned across the opening between the frame and the unit mask to support the unit mask.

단위마스크, 프레임, 패턴개구부, 증착, 지지대, 유기발광표시장치, 모기판 Unit mask, frame, pattern opening, deposition, support, organic light emitting display, mother substrate

Description

평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체 {MASK ASSEMBLY FOR THIN FILM VAPOR DEPOSITION OF FLAT PANEL DISPLAY}Mask assembly for thin film deposition of flat panel display {MASK ASSEMBLY FOR THIN FILM VAPOR DEPOSITION OF FLAT PANEL DISPLAY}

본 발명은 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 인장력이 가해진 복수의 단위 마스크를 고정 및 지지하여 단위 마스크와 함께 마스크 조립체를 구성하는 프레임에 관한 것이다.The present invention relates to a mask assembly for thin film deposition of a flat panel display, and more particularly, to a frame for fixing and supporting a plurality of unit masks to which a tensile force is applied to form a mask assembly together with a unit mask.

최근들어 음극선관의 단점을 극복하여 경량화 및 소형화가 가능한 평판 표시장치가 각광을 받고 있다. 이러한 평판 표시장치의 대표적인 예로 유기발광 표시장치(organic light emitting display), 액정 표시장치(liquid crystal display) 및 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel) 등이 있다.Recently, a flat panel display device capable of reducing weight and size by overcoming a disadvantage of a cathode ray tube has been in the spotlight. Representative examples of such flat panel displays include organic light emitting displays, liquid crystal displays, and plasma display panels.

평판 표시장치, 특히 유기발광 표시장치를 제조하기 위해서는 특정 패턴을 가지는 전극과 발광층 등을 형성해야 하며, 이의 형성법으로 마스크 조립체를 이용한 증착법이 적용될 수 있다.In order to manufacture a flat panel display, particularly an organic light emitting display, an electrode having a specific pattern, a light emitting layer, and the like must be formed, and a deposition method using a mask assembly may be applied as a method of forming the flat panel display.

공지의 마스크 조립체는 개구부를 구비하는 프레임과, 길이 방향을 따라 인장력이 가해진 상태로 양단이 프레임에 고정되는 띠 모양의 단위 마스크들로 이루어진다. 단위 마스크는 모기판에 복수의 유기발광 표시장치를 제작할 수 있도록 복 수의 패턴 개구부를 구비할 수 있다. 각 패턴 개구부는 하나의 표시장치에 대응하며, 표시장치에 형성할 전극 또는 발광층과 같은 모양으로 형성된다.The known mask assembly consists of a frame having an opening, and band-shaped unit masks whose both ends are fixed to the frame with a tensile force applied along the longitudinal direction. The unit mask may include a plurality of pattern openings to manufacture a plurality of organic light emitting display devices on the mother substrate. Each pattern opening corresponds to one display device, and is formed in the same shape as an electrode or a light emitting layer to be formed on the display device.

전술한 마스크 조립체는 증착 설비 내에 고정되고, 복수의 단위 마스크 위로 모기판이 놓인다. 이 상태에서 마스크 조립체 하부에 위치한 증착원으로부터 전극 재료 또는 발광층 재료가 증발하면, 패턴 개구부를 통해 모기판에 패턴 개구부와 동일한 형상으로 재료가 증착된다.The above-described mask assembly is fixed in the deposition apparatus, and the mother substrate is placed over the plurality of unit masks. In this state, when the electrode material or the light emitting layer material evaporates from the deposition source located under the mask assembly, the material is deposited on the mother substrate through the pattern opening in the same shape as the pattern opening.

그런데 전술한 마스크 조립체에서는 단위 마스크의 중앙부가 프레임의 개구부 위에 떠 있는 상태에서 단위 마스크 위로 모기판이 바로 위치함에 따라, 증착 과정에서 복수의 단위 마스크는 모기판의 무게에 의해 눌리게 된다. 즉, 모기판은 자체 무게에 의해 중앙부가 아래로 처지며, 이 처짐에 의해 단위 마스크가 힘을 받아 변형될 수 있다.However, in the above-described mask assembly, as the mother substrate is positioned directly on the unit mask while the center of the unit mask is floating on the opening of the frame, the plurality of unit masks are pressed by the weight of the mother substrate during the deposition process. That is, the mother substrate sags downward due to its own weight, and the unit mask may be deformed by the force.

단위 마스크의 변형은 모기판이 대형화 할수록 커지고, 증착 정밀도 저하로 이어져 증착 불량을 발생시키는 요인으로 작용한다.The deformation of the unit mask becomes larger as the mother substrate becomes larger, leading to a decrease in deposition accuracy, which acts as a factor that causes deposition failure.

본 발명은 증착 과정에서 모기판의 처짐과 단위 마스크들의 변형을 억제하여 증착 정밀도를 높일 수 있는 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체를 제공하고자 한다.An object of the present invention is to provide a mask assembly for thin film deposition of a flat panel display device, which can increase deposition accuracy by suppressing deflection of a mother substrate and deformation of unit masks in a deposition process.

본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체는 개구부를 둘러싸는 한 쌍의 제1 지지부와 한 쌍의 제2 지지부를 구비하는 프레임과, 적어도 하나의 패턴 개구부를 형성하며 인장력이 가해진 상태로 양단이 제1 지지부에 고정되는 복수의 단위 마스크와, 프레임과 단위 마스크 사이에서 개구부를 가로지르며 위치하여 단위 마스크를 지지하는 적어도 하나의 지지대를 포함한다.A thin film deposition mask assembly of a flat panel display device according to an embodiment of the present invention is a frame having a pair of first support parts and a pair of second support parts surrounding the opening, and at least one pattern opening and forming a tensile force A plurality of unit masks, both ends of which are fixed to the first support unit in the applied state, and at least one supporter positioned across the opening between the frame and the unit mask to support the unit mask.

지지대는 단위 마스크와 직교하도록 양단이 제2 지지부에 고정될 수 있다. 지지대는 복수개로 구비될 수 있으며, 단위 마스크의 길이 방향을 따라 서로간 거리를 두고 위치할 수 있다.Both ends of the support may be fixed to the second support so as to be orthogonal to the unit mask. The support may be provided in plurality, and may be positioned at a distance from each other along the length direction of the unit mask.

패턴 개구부는 단위 마스크의 길이 방향을 따라 서로간 거리를 두고 복수개로 배치되고, 지지대는 패턴 개구부들 사이에 대응하여 위치할 수 있다. 지지대는 프레임과 같은 재질로 형성될 수 있다.The pattern openings may be provided in plural numbers with a distance from each other along the length direction of the unit mask, and the support may be positioned correspondingly between the pattern openings. The support may be formed of the same material as the frame.

제2 지지부는 지지대를 수용하는 홈을 형성할 수 있으며, 홈의 깊이가 지지대의 두께와 동일하게 형성되어 지지대의 윗면과 프레임의 윗면이 같은 높이를 유지할 수 있다.The second support portion may form a groove for accommodating the support, and the depth of the groove is formed to be the same as the thickness of the support so that the upper surface of the support and the upper surface of the frame may maintain the same height.

본 발명에 의한 박막 증착용 마스크 조립체에서는 증착 과정에서 모기판이 복수의 단위 마스크 위에 배치될 때 지지대가 복수의 단위 마스크와 모기판을 아래에서 받쳐 지지함에 따라, 증착 과정에서 모기판의 자중에 의한 처짐과 이에 따른 단위 마스크들의 변형을 억제할 수 있다. 따라서 정밀한 증착을 가능하게 하여 증착 품질을 향상시킬 수 있다.In the mask assembly for thin film deposition according to the present invention, when the mother substrate is disposed on the plurality of unit masks in the deposition process, as the support supports the plurality of unit masks and the mother substrate from below, sag caused by the weight of the mother substrate in the deposition process And thus the deformation of the unit masks can be suppressed. Therefore, the deposition quality can be improved by enabling precise deposition.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention.

도 1과 도 2는 각각 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체의 분해 사시도와 평면도이고, 도 3은 도 2의 I-I선을 기준으로 절개한 단면을 나타낸 마스크 조립체의 단면도이다.1 and 2 are an exploded perspective view and a plan view of a thin film deposition mask assembly of a flat panel display device according to a first embodiment of the present invention, respectively, Figure 3 is a mask assembly showing a cross-section cut on the line II of FIG. It is a cross section of.

도 1 내지 도 3을 참고하면, 본 실시예의 마스크 조립체(100)는 개구부(201)를 구비하는 프레임(20)과, 증착을 위한 복수의 패턴 개구부(401)를 구비하며 길이 방향을 따라 인장력이 가해진 상태로 프레임(20)에 나란히 고정되는 띠 모양의 단위 마스크들(40)과, 프레임(20)과 단위 마스크들(40) 사이에서 개구부(201)를 가로지르며 위치하는 지지대(60)를 포함한다.1 to 3, the mask assembly 100 according to the present embodiment includes a frame 20 having an opening 201, a plurality of pattern openings 401 for deposition, and a tensile force along a length direction. And strip-shaped unit masks 40 fixed side by side to the frame 20 in an applied state, and a support 60 positioned across the opening 201 between the frame 20 and the unit masks 40. do.

프레임(20)은 단위 마스크(40)의 양단을 고정 및 지지하고, 개구부(201)를 통해 단위 마스크(40)에 구비된 패턴 개구부들(401)을 노출시킨다. 이때, 프레임(20)에는 단위 마스크(40)에 인가된 인장력에 의해 단위 마스크(40)의 길이 방향을 따라 압축력이 작용하므로, 프레임(20)은 압축력에 의한 변형이 일어나지 않도록 강성이 큰 금속 재료로 형성된다.The frame 20 fixes and supports both ends of the unit mask 40, and exposes the pattern openings 401 provided in the unit mask 40 through the opening 201. At this time, since the compressive force acts along the longitudinal direction of the unit mask 40 by the tensile force applied to the unit mask 40, the frame 20 is a metal material having a high rigidity so that deformation due to the compressive force does not occur. Is formed.

프레임(20)은 개구부(201)를 사이에 두고 단위 마스크(40)의 길이 방향(도면의 y축 방향)을 따라 서로 마주하는 한 쌍의 제1 지지부(22)와, 개구부(201)를 사이에 두고 단위 마스크(40)의 폭 방향(도면의 x축 방향)을 따라 서로 마주하는 한 쌍의 제2 지지부(24)를 포함한다. 단위 마스크(40)는 용접 등의 방법으로 양단이 제1 지지부(22)에 고정된다.The frame 20 is provided between the opening 201 and the pair of first supporting portions 22 facing each other along the longitudinal direction (y-axis direction of the drawing) of the unit mask 40 with the opening 201 interposed therebetween. A pair of second support portions 24 facing each other along the width direction (x-axis direction of the drawing) of the unit mask 40. Both ends of the unit mask 40 are fixed to the first support part 22 by welding or the like.

제1 지지부(22)와 제2 지지부(24)는 같은 길이로 형성되거나 다른 길이로 형성될 수 있다. 도 1과 도 2에서는 일례로 제1 지지부(22)가 제2 지지부(24)보다 큰 길이로 형성되어 제1 지지부(22)가 프레임(20)의 장변을 구성하고, 제2 지지부(24)가 프레임(20)의 단변을 구성하는 경우를 도시하였다.The first support part 22 and the second support part 24 may have the same length or different lengths. 1 and 2, for example, the first support part 22 is formed to have a length greater than the second support part 24 so that the first support part 22 constitutes a long side of the frame 20, and the second support part 24 is formed. Illustrates a case that constitutes a short side of the frame 20.

이와 같이 시트 모양의 마스크를 띠 모양의 단위 마스크(40)로 분할하여 프레임(20)에 고정시키는 구조에서는 패턴 정밀도가 우수한 단위 마스크(40)를 선별하여 사용할 수 있으므로 패턴 개구부(401)의 형상 오차를 줄일 수 있다. 그리고 증착 과정에서 일어날 수 있는 열팽창에 의한 단위 마스크(40)의 변형과 패턴 개구부(401)의 왜곡을 억제할 수 있으며, 단위 마스크(40)의 길이 방향을 따라 균일한 인장력이 가해지므로 단위 마스크(40)의 특정 부위에 변형량이 집중하는 것을 최소화할 수 있다.As described above, in the structure in which the sheet-shaped mask is divided into a band-shaped unit mask 40 and fixed to the frame 20, the unit mask 40 having excellent pattern precision can be selected and used, thereby causing a shape error of the pattern opening 401. Can be reduced. In addition, deformation of the unit mask 40 and distortion of the pattern opening 401 due to thermal expansion that may occur in the deposition process may be suppressed, and a uniform tensile force is applied along the longitudinal direction of the unit mask 40. It is possible to minimize the concentration of the strain on a specific site of 40).

단위 마스크(40)에 구비된 패턴 개구부(401)는 하나의 표시장치에 대응할 수 있으며, 각 패턴 개구부(401)는 표시장치에 형성될 전극 또는 발광층과 같은 모양으로 형성된다. 이와 같이 마스크 조립체(100)가 단위 마스크(40)의 길이 방향 및 폭 방향을 따라 복수의 패턴 개구부(401)를 구비함에 따라, 하나의 마스크 조립체(100)를 이용하여 모기판에 복수의 표시장치를 동시에 제작할 수 있다.The pattern opening 401 provided in the unit mask 40 may correspond to one display device, and each pattern opening 401 is formed in the shape of an electrode or a light emitting layer to be formed in the display device. As the mask assembly 100 includes the plurality of pattern openings 401 along the length direction and the width direction of the unit mask 40, the plurality of display devices on the mother substrate using one mask assembly 100. Can be produced at the same time.

지지대(60)는 복수의 단위 마스크(40) 하부에서 프레임(20)의 개구부(201)를 가로지르며 위치하여 개구부(201) 위에 떠 있는 단위 마스크(40)의 중앙 부위를 받 쳐 지지한다. 이를 위해 지지대(60)는 양단이 제2 지지부(24)에 고정되어 복수의 단위 마스크(40)와 직교한다.The support 60 is positioned across the opening 201 of the frame 20 under the plurality of unit masks 40 to support the central portion of the unit mask 40 floating on the openings 201. To this end, both ends of the support 60 are fixed to the second support 24 to be orthogonal to the plurality of unit masks 40.

지지대(60)는 강성이 큰 재료, 일례로 프레임(20)과 동일한 금속으로 형성될 수 있다. 프레임(20)과 지지대(60)가 같은 재료로 형성되면 같은 열팽창 특성을 보이기 때문에 열팽창 특성 차이에 의한 변형을 예방할 수 있다.The support 60 may be formed of a material having high rigidity, for example, the same metal as the frame 20. When the frame 20 and the support 60 are formed of the same material, since the same thermal expansion characteristics are exhibited, deformation due to difference in thermal expansion characteristics can be prevented.

지지대(60)는 하나 또는 복수개로 구비되며, 원형, 사각형 또는 기타 형상의 단면을 갖도록 형성된다. 복수의 지지대(60)가 구비되는 경우 이들은 단위 마스크(40)의 길이 방향(도면의 y축 방향)을 따라 서로간 거리를 두고 위치한다. 또한, 지지대(60)는 패턴 개구부들(401) 사이에 위치하여 증착 과정에서 패턴 개구부(401)를 가리지 않도록 한다.Support 60 is provided with one or a plurality, it is formed to have a cross section of a circular, square or other shape. When a plurality of supports 60 are provided, they are positioned at a distance from each other along the longitudinal direction (y-axis direction of the drawing) of the unit mask 40. In addition, the support 60 is positioned between the pattern openings 401 so as not to cover the pattern openings 401 during the deposition process.

도 1에서는 일례로 사각 단면 형상을 가지는 2개의 지지대(60)가 구비되는 경우를 도시하였으나, 지지대(60)의 단면 형상과 개수는 도시한 예에 한정되지 않는다.In FIG. 1, two support 60 having a rectangular cross-sectional shape is provided as an example, but the cross-sectional shape and the number of the support 60 are not limited to the illustrated example.

도 4는 상기 마스크 조립체를 이용한 평판 표시장치의 증착 과정을 나타낸 개략도이다.4 is a schematic diagram illustrating a deposition process of a flat panel display using the mask assembly.

도 4를 참고하면, 프레임(20)은 증착 설비 내의 프레임 홀더(12)에 고정되고, 복수의 단위 마스크(40) 위로 모기판(14)이 놓인다. 이 상태에서 증착원(16)으로부터 전극 재료 또는 발광층 재료가 증발하면, 패턴 개구부(401, 도 1 참조)를 통해 모기판(14)에 패턴 개구부(401)와 동일한 형상으로 재료가 증착된다. 이와 같이 마스크 조립체(100)를 이용하여 한 장의 모기판(14)에 복수의 평판 표시장치, 일례로 복수의 유기발광 표시장치를 제작할 수 있다.Referring to FIG. 4, the frame 20 is fixed to the frame holder 12 in the deposition apparatus, and the mother substrate 14 is placed on the plurality of unit masks 40. When the electrode material or the light emitting layer material evaporates from the deposition source 16 in this state, the material is deposited on the mother substrate 14 through the pattern opening 401 (see FIG. 1) in the same shape as the pattern opening 401. As described above, a plurality of flat panel display devices, for example, a plurality of organic light emitting display devices, may be manufactured on the single mother substrate 14 using the mask assembly 100.

이러한 증착 과정에서 모기판(14)은 프레임(20)의 개구부(201) 위에 떠 있는 단위 마스크들(40) 위에 직접 놓이기 때문에 모기판(14)의 무게에 의해 단위 마스크(40)가 눌리게 된다. 이때, 본 실시예의 마스크 조립체(100)에서는 지지대(60)가 복수의 단위 마스크(40)를 지지하므로, 모기판(14)의 자중에 의한 처짐과 이에 따른 단위 마스크들(40)의 변형을 억제할 수 있으며, 그 결과 증착 정밀도를 높일 수 있다.In this deposition process, since the mother substrate 14 is directly placed on the unit masks 40 floating on the opening 201 of the frame 20, the unit mask 40 is pressed by the weight of the mother substrate 14. . At this time, in the mask assembly 100 of the present embodiment, since the support 60 supports the plurality of unit masks 40, the sag caused by the weight of the mother substrate 14 and the deformation of the unit masks 40 accordingly are suppressed. As a result, the deposition accuracy can be improved.

상기에서는 마스크 조립체(100)가 유기발광 표시장치의 전극과 발광층을 형성하는데 사용되는 것으로 기재하였으나, 본 발명은 여기에 한정되지 않으며, 마스크 조립체(100)는 다른 평판 표시장치의 전극 등을 형성하는데 유효하게 적용될 수 있다.Although the mask assembly 100 is described as being used to form the electrode and the light emitting layer of the organic light emitting display device, the present invention is not limited thereto, and the mask assembly 100 may be used to form electrodes of other flat panel display devices. It can be applied effectively.

도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체의 분해 사시도이고, 도 6은 도 5의 II-II선을 기준으로 절개한 단면을 나타낸 마스크 조립체의 단면도이다.FIG. 5 is an exploded perspective view of a thin film deposition mask assembly of a flat panel display device according to a second exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a cross-sectional view of the mask assembly having a cross section taken along line II-II of FIG. 5.

도 5와 도 6을 참고하면, 본 실시예의 마스크 조립체(101)는 프레임(20)의 제2 지지부(24)가 지지대(60)에 대응하는 홈(26)을 형성하며, 지지대(60)가 이 홈(26)에 끼워지는 구조를 제외하고 전술한 제1 실시예의 마스크 조립체(100)와 동일한 구조로 이루어진다. 제1 실시예와 같은 부재에 대해서는 같은 인용부호를 사용한다.5 and 6, in the mask assembly 101 of the present embodiment, the second support 24 of the frame 20 forms a groove 26 corresponding to the support 60, and the support 60 is Except for the structure fitted into the groove 26, the same structure as the mask assembly 100 of the first embodiment described above. The same reference numerals are used for the same members as those in the first embodiment.

홈(26)의 깊이는 지지대(60)의 두께와 실질적으로 동일하여 지지대(60)가 제 2 지지부(24)에 고정된 이후 지지대(60)의 윗면과 제2 지지부(24)의 윗면이 같은 높이를 유지하도록 한다.The depth of the groove 26 is substantially equal to the thickness of the support 60 so that after the support 60 is fixed to the second support 24, the top of the support 60 and the top of the second support 24 are the same. Keep it high.

이와 같이 지지대(60)가 제2 지지부(24)의 홈(26)에 끼워지는 구조에서는 프레임(20) 위로 복수의 단위 마스크(40)가 고정될 때, 지지대(60)가 설치된 부위로 단위 마스크(40)가 상승하지 않고 자신의 길이 방향을 따라 평행을 유지할 수 있다. 따라서 증착 과정에서 복수의 단위 마스크(40) 위로 모기판(14)이 놓일 때, 단위 마스크(40)와 모기판(14)의 밀착성을 높여 증착 정밀도를 더욱 향상시킬 수 있다.In such a structure in which the support 60 is fitted into the groove 26 of the second support 24, when the plurality of unit masks 40 are fixed onto the frame 20, the unit mask is a portion where the support 60 is installed. It is possible for 40 to remain parallel along its longitudinal direction without rising. Therefore, when the mother substrate 14 is placed on the plurality of unit masks 40 in the deposition process, the adhesion accuracy of the unit mask 40 and the mother substrate 14 may be increased to further improve deposition accuracy.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto, and various modifications and changes can be made within the scope of the claims and the detailed description of the invention and the accompanying drawings. Naturally, it belongs to the range of.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체의 분해 사시도이다.1 is an exploded perspective view of a mask assembly for thin film deposition of a flat panel display device according to a first embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체의 평면도이다.2 is a plan view of a thin film deposition mask assembly of a flat panel display device according to a first embodiment of the present invention.

도 3은 도 2의 I-I선을 기준으로 절개한 단면을 나타낸 마스크 조립체의 단면도이다.FIG. 3 is a cross-sectional view of the mask assembly showing a cross section taken along the line II of FIG. 2.

도 4는 도 2에 도시한 마스크 조립체를 이용한 평판 표시장치의 증착 과정을 나타낸 개략도이다.4 is a schematic diagram illustrating a deposition process of a flat panel display using the mask assembly shown in FIG. 2.

도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체의 분해 사시도이다.5 is an exploded perspective view of a mask assembly for thin film deposition of a flat panel display device according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 6은 도 5의 II-II선을 기준으로 절개한 단면을 나타낸 마스크 조립체의 단면도이다.FIG. 6 is a cross-sectional view of the mask assembly having a cross section taken along line II-II of FIG. 5.

<도면의 주요 부분에 대한 참조 부호의 설명><Description of reference numerals for the main parts of the drawings>

100, 101: 마스크 조립체 20: 프레임100, 101: mask assembly 20: frame

22: 제1 지지부 24: 제2 지지부22: first support 24: second support

26: 홈 40: 단위 마스크26: groove 40: unit mask

401: 패턴 개구부 60: 지지대401: pattern opening 60: support

Claims (7)

개구부를 둘러싸는 한 쌍의 제1 지지부와 한 쌍의 제2 지지부를 구비하는 프레임;A frame having a pair of first supports and a pair of second supports surrounding the opening; 패턴 개구부를 형성하며 인장력이 가해진 상태로 양단이 상기 제1 지지부에 고정되는 복수의 단위 마스크; 및A plurality of unit masks forming pattern openings and both ends of which are fixed to the first support part in a state where a tensile force is applied; And 상기 프레임과 상기 단위 마스크 사이에서 상기 개구부를 가로지르며 위치하여 상기 단위 마스크를 지지하는 지지대A supporter positioned across the opening between the frame and the unit mask to support the unit mask 를 포함하고,Including, 상기 지지대는 상기 단위 마스크와 직교하도록 양단이 상기 제2 지지부에 고정되고,Both ends of the support are fixed to the second support so as to be orthogonal to the unit mask. 상기 제2 지지부가 상기 지지대를 수용하는 홈을 형성하는, 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체.And the second support portion defines a groove for receiving the support. 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지지대가 복수개로 구비되며, 상기 단위 마스크의 길이 방향을 따라 상기 지지대와 상기 지지대 사이에 일정한 거리를 두고 위치하는 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체.The support assembly is provided with a plurality, the mask assembly for thin film deposition of the flat panel display device positioned at a predetermined distance between the support and the support in the longitudinal direction of the unit mask. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 패턴 개구부가 상기 단위 마스크의 길이 방향을 따라 상기 패턴 개구부와 상기 패턴 개구부 사이에 일정한 거리를 두고 복수개로 배치되고, 상기 지지대가 상기 패턴 개구부들 사이에 대응하여 위치하는 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체.A plurality of pattern openings are disposed at a plurality of intervals between the pattern openings and the pattern openings along a length direction of the unit mask, and the support is positioned correspondingly between the pattern openings. Mask assembly. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지지대가 상기 프레임과 같은 재질로 형성되는 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체.The mask assembly of claim 1, wherein the support is formed of the same material as the frame. 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 홈의 깊이가 상기 지지대의 두께와 동일하게 형성되어 상기 지지대의 윗면과 상기 프레임의 윗면이 같은 높이를 유지하는 평판 표시장치의 박막 증착용 마스크 조립체.And a depth of the groove equal to a thickness of the support, such that a top surface of the support and a top surface of the frame maintain the same height.
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