KR100880858B1 - 피씨비 양면 동시 노광기 광원 구조 - Google Patents
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Description
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- 동일 구조로 이루어져 좌우 대칭으로 배치되어 피씨비(1)에 조사될 빔(4)을 발생 및 집광시키는 광원부(10)와, 상기 광원부(10)에서 방사되는 빔(4)을 각 광원부(10)의 서로 마주하는 방향으로 투사하는 한 쌍의 좌우 렌즈(20)와, 상기 좌우 대칭으로 배치된 광원부(10) 사이에 상하 직립 방향으로 배치되어 상기 렌즈(20)에서 투사되는 빔(4)을 상하 방향으로 반사시켜 상기 광원부(10)의 일측 위치에 수평하게 배치되는 피씨비(1)의 상하면에 광원부(10)의 빔(4)을 동시에 조사하는 광학계(30)를 포함하고,상기 광학계(30)는 상기 좌우 광원부(10) 사이에 상하 방향으로 직립 배치되어 상기 렌즈(20)에서 투사되는 빔(4)을 상하 방향으로 반사시키는 2차 반사미러(32,34)와, 상기 좌우 광원부(10)의 일측 위치에 상하 방향으로 배치되어 상기 2차 반사미러(32,34)에서 반사되는 빔(4)을 서로 마주하는 방향으로 반사시켜 그 사이에 수평 배치된 피씨비(1)의 상하면에 동시에 광원부(10)의 빔(4)을 조사하도록 된 한 쌍의 상하부 구면미러(36,38)를 포함하여 구성되며, 상기 2차 반사미러(32,34)는 상기 좌우 광원부(10)의 사이에서 동축적으로 상하로 배치되고, 상기 구면미러(36,38)는 상기 좌우 광원부(10)의 외측 위치에서 동축적으로 상하 배치되도록 구성되어, 상기 상하부 구면미러(36,38) 사이에 수평 배치되는 피씨비(1)의 상하면에 동시에 빔(4)을 조사하여 노광시키도록 구성되며,상기 상부측 구면미러(36)는 상기 광원부(10)의 일측 위치에서 상기 광원부(10) 방향으로 갈수록 상향 경사지도록 배치되고, 상기 하부측 구면미러(38)는 상기 상부측 구면미러(36)와 마주하는 하측 위치에서 상기 광원부(10) 방향으로 갈수록 하향 경사지도록 배치되며, 상기 한 쌍의 렌즈(20)는 각각의 광원부(10)의 빔(4)이 서로 마주하는 방향으로 투사되도록 각 광원부(10)의 전방에 배치되고, 상기 하부측 2차 반사미러(34)는 상기 하부렌즈(20)에서 투사되는 빔(4)이 조사되도록 배치됨과 동시에 상기 하부측 구면미러(38) 방향으로 빔(4)이 반사될 수 있도록 경사지게 배치되고, 상기 상부측 2차 반사미러(32)는 상기 상부렌즈(20)에서 투사되는 빔(4)이 조사되도록 배치됨과 동시에 상기 상부측 구면미러(36) 방향으로 빔(4)이 반사될 수 있도록 경사지게 배치된 것을 특징으로 하는 피씨비 양면 동시 노광기 광원 구조.
- 제 3 항에 있어서, 상기 상부측 구면미러(36)는 상기 광원부(10)의 일측 위치에서 상기 광원부(10) 방향으로 갈수록 상향 경사지도록 배치되고, 상기 하부측 구면미러(38)는 상기 상부측 구면미러(36)와 마주하는 하측 위치에서 상기 광원부(10) 방향으로 갈수록 하향 경사지도록 배치되며, 상기 한 쌍의 렌즈(20)는 각각의 광원부(10)의 빔(4)이 서로 마주하는 방향으로 투사되도록 각 광원부(10)의 전방에 배치되고, 상기 하부측 2차 반사미러(34)는 상기 하부렌즈(20)에서 투사되는 빔(4)이 조사되도록 배치됨과 동시에 상기 상부측 구면미러(36) 방향으로 빔(4)이 반사될 수 있도록 경사지게 배치되고, 상기 상부측 2차 반사미러(32)는 상기 상부렌즈(20)에서 투사되는 빔(4)이 조사되도록 배치됨과 동시에 상기 하부측 구면미러(38) 방향으로 빔(4)이 반사될 수 있도록 경사지게 배치되어, 상기 상부측 구면미러(36)에는 상기 하부측 2차 반사미러(34)에서 빔(4)이 반사되고, 상기 하부측 구면미러(38)에는 상기 상부측 2차 반사미러(32)에서 빔(4)이 반사되도록 구성된 것을 특징으로 하는 피씨비 양면 동시 노광기 광원 구조.
- 제 3 항에 있어서, 상기 광원부(10)는 램프 하우스(50)에 지지되어 설치되어 광원인 빔(4)을 방사하는 램프(12)와, 상기 램프(12)를 커버하는 반구형으로 이루어지며 상면은 개방된 반구형 반사미러(14)와, 상기 램프 하우스(50)에 지지되어 상기 램프(12)의 상부에 배치되며 상기 반구형 반사미러(14)에서 반사되는 빔(4)을 전방에 구비된 상기 렌즈(20)에 반사시키는 콜드미러(16)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 피씨비 양면 동시 노광기 광원 구조.
- 제 5 항에 있어서, 상기 렌즈(20)는 상기 램프 하우스(50)에 지지되어 상기 콜드미러(16)의 전방에 직립 배치되며, 상기 콜드미러(16)는 상기 렌즈(20) 방향을 향하여 상향 경사지도록 배치된 것을 특징으로 하는 피씨비 양면 동시 노광기 광원 구조.
- 제 3 항에 있어서, 상기 광원부(10)를 구성하는 상기 램프(12)는 램프 하우스(50)에 설치된 치구(60)에 의해 지지되도록 구성되고, 상기 치구(60)는 서로 마주하는 면에 상기 램프(12)의 베이스(12a)가 수용되는 베이스 수용홈(68a)이 형성된 지지블록(64) 및 가압블록(66)과, 상기 가압블록(66)을 상기 지지블록(64) 방향으로 조여지도록 체결하는 고정구를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 피씨비 양면 동시 노광기 광원 구조.
- 제 3 항에 있어서, 상기 렌즈(20)를 지지하는 렌즈지지대(28)에는 원형의 빔투사공(22)이 형성되고, 상기 렌즈(20)는 복수개의 사각형 개별렌즈가 상하 좌우 방향으로 배치되어 구성되며, 상기 개별렌즈는 사각형으로 배치된 내측 개별렌즈(24)와, 상기 내측 개별렌즈(24)의 네 외곽부에 부가된 외곽 개별렌즈(26)로 구성되어, 상기 렌즈(20)가 원형에 가까운 형상으로 구성된 것을 특징으로 하는 피씨비 양면 동시 노광기 광원 구조.
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20230170398A (ko) | 2022-06-10 | 2023-12-19 | 씨에프테크놀로지 주식회사 | 반도체 노광용 미러 고정 브라켓 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59218937A (ja) | 1983-05-27 | 1984-12-10 | Hitachi Ltd | パタ−ン検出装置 |
US20020167788A1 (en) * | 2001-03-28 | 2002-11-14 | Automa-Tech | Apparatus for exposing a face of a printed circuit panel |
KR20050037388A (ko) * | 2003-10-17 | 2005-04-21 | 오토마 테크 | 양면 인쇄 회로 기판을 광에 노출하기 위한 노출 조립체및 하나 이상의 노출 조립체를 포함하는 노광 장치 |
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2007
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KR20230170398A (ko) | 2022-06-10 | 2023-12-19 | 씨에프테크놀로지 주식회사 | 반도체 노광용 미러 고정 브라켓 |
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