KR100873259B1 - 연마장치 - Google Patents
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- B24B53/00—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
Description
Claims (15)
- 대상물을 연마하는 연마 장치에 있어서,상기 대상물을 고정하는 대상물 캐리어;상기 대상물의 표면에 접촉한 채 상기 대상물 캐리어와 상대 회전하여 상기 대상물의 표면을 연마하는 연마패드;상기 연마패드가 안착되는 정반; 및상기 연마패드에 수산화물이 함유된 초순수를 공급하여 상기 연마패드의 연마면을 세정하는 세정유닛;을 포함하고,상기 세정유닛은,상기 초순수를 공급하는 초순수 공급유닛;상기 초순수 공급유닛의 일측에 결합되어 상기 초순수를 이송하는 제1 배관;상기 수산화물을 공급하는 수산화물 공급유닛; 및상기 수산화물 공급유닛의 일측에 형성되어 상기 수산화물을 이송하되, 상기 수산화물이 상기 초순수에 혼합되도록 상기 제1 배관에 합류되는 제2 배관;을 포함하는 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제1항에 있어서,상기 대상물은 실리콘 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 삭제
- 제1항에 있어서,상기 수산화물은 KOH 또는 NaOH 인 것을 특징으로 연마 장치.
- 삭제
- 제1항에 있어서,상기 수산화물이 함유된 초순수가 이송되는 상기 제1 배관상에는 가압펌프가 더 형성되고,상기 제1 배관은 상기 가압펌프 배출구 이후부터 스테인리스 스틸(SUS) 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 연마장치.
- 제1항에 있어서,상기 세정유닛의 일단은 노즐로 형성된 것을 특징으로 하는 연마 장치.
- 대상물을 연마하는 연마 장치에 있어서,상기 대상물을 고정하는 대상물 캐리어;상기 대상물의 표면에 접촉한 채 상기 대상물 캐리어와 상대 회전하여 상기 대상물의 표면을 연마하는 연마패드;상기 연마패드가 안착되는 정반; 및상기 대상물의 표면과 상기 연마패드의 연마면 사이에 수산화물이 포함된 슬러리를 공급하는 슬러리 공급유닛;을 포함하고,상기 슬러리 공급유닛은,초순수를 공급하는 제1 공급라인;상기 수산화물을 공급하며 상기 제1 공급라인과 합류되는 제2 공급라인; 및상기 슬러리를 공급하는 제3 공급라인;을 포함하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
- 제8항에 있어서,상기 수산화물이 첨가된 슬러리의 산성도는 PH 11이내인 것을 특징으로 하는 연마 장치.
- 삭제
- 제8항에 있어서,상기 수산화물을 공급하는 수산화물 공급유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 연마 장치.
- 웨이퍼를 제공하는 단계;상기 웨이퍼의 표면과 연마면이 마주보도록 연마패드를 제공하는 단계;상기 웨이퍼의 표면과 상기 연마패드의 연마면 사이에 수산화물이 첨가된 슬러리를 제공하는 단계;상기 웨이퍼와 상기 연마패드를 접촉하여 상대 회전하는 단계;상기 웨이퍼를 제거하는 단계; 및상기 연마패드에 수산화물이 첨가된 초순수를 공급하여 상기 연마패드를 세정하는 단계;를 포함하는 연마방법.
- 제12항에 있어서,상기 수산화물은 KOH 또는 NaOH 인 것을 특징으로 하는 연마방법.
- 제12항에 있어서,상기 수산화물이 첨가된 슬러리의 산성도는 PH11이내인 것을 특징으로 하는 연마방법.
- 삭제
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KR1020060136727A KR100873259B1 (ko) | 2006-12-28 | 2006-12-28 | 연마장치 |
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KR20030059638A (ko) * | 2002-01-03 | 2003-07-10 | 삼성전자주식회사 | 폴리싱 헤드가 구비된 화학기계적 연마장치 |
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2006
- 2006-12-28 KR KR1020060136727A patent/KR100873259B1/ko active IP Right Grant
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