KR100862054B1 - An improved pumping device for coating liquid and a slit die and a table coating device having the same - Google Patents

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KR100862054B1 KR1020070050549A KR20070050549A KR100862054B1 KR 100862054 B1 KR100862054 B1 KR 100862054B1 KR 1020070050549 A KR1020070050549 A KR 1020070050549A KR 20070050549 A KR20070050549 A KR 20070050549A KR 100862054 B1 KR100862054 B1 KR 100862054B1
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Abstract

A coating solution pumping device is provided to improve the coating quality at the front end portion of a coated article by reducing a rapid variation in the ejection pressure of a coating solution at the front end portion. A coating solution pumping device(440) for feeding a coating solution to a slit die(400) comprises: a coating solution pump(450); a pump-in valve(460) provided at one end of the coating solution pump and controlling the coating solution introduced from a storage tank for storing the coating solution; a coating solution feed pipe(480) linked to the other end of the coating solution pump and supplying the coating solution pumped by the coating solution pump into the slit die; a pump-out valve(470) provided at one end of the coating solution feed pump in the vicinity of the other end of the coating solution pump and controlling the discharge of the coating solution pumped by the coating solution pump; and a coating solution feed control valve device disposed at the other end of the coating solution feed pipe and controlling the coating solution supplied to the slit die, wherein the coating solution feed control valve device controls a time delay in introducing the coating solution into the slit die.

Description

개선된 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다이 및 테이블 코팅 장치{An Improved Pumping Device for Coating Liquid and A Slit Die and A Table Coating Device Having the Same} Improved Pumping Device for Coating Liquid and A Slit Die and A Table Coating Device Having the Same}

도 1은 종래 기술의 롤러 코팅 장치(roller coater)를 도시한 도면이다.1 shows a roller coater of the prior art.

도 2는 종래 기술의 LCD 또는 PDP용 테이블 코팅 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.2 is a view schematically showing a table coating apparatus for a conventional LCD or PDP.

도 3a는 도 1 및 도 2에 도시된 종래 기술에 따른 코팅 장치에 사용되는 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다이를 도시한 도면이다.FIG. 3A is a view illustrating a coating liquid pumping apparatus and a slit die having the same, used in the coating apparatus according to the related art shown in FIGS. 1 and 2.

도 3b는 도 1 및 도 2에 도시된 종래 기술에 따른 코팅 장치에 사용되는 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다이를 사용하여 코팅액을 코팅한 결과의 그래프이다.Figure 3b is a graph of the result of coating the coating liquid using the coating liquid pumping device used in the coating apparatus according to the prior art shown in Figures 1 and 2 and the slit die provided with the same.

도 4는 본 발명에 따른 코팅 장치에 사용되는 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다이를 도시한 도면이다.Figure 4 is a view showing a coating liquid pumping device and a slit die provided with the same used in the coating apparatus according to the present invention.

도 5a는 도 4에 도시된 본 발명의 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다이에 사용되는, 모터를 이용한 모터 구동형 볼 밸브 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.Figure 5a is a schematic view of a motor-driven ball valve device using a motor, used in the coating liquid pumping device of the present invention shown in Figure 4 and the slit die provided with the same.

도 5b는 도 4에 도시된 본 발명의 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다 이에 사용되는, 스피드 콘트롤러를 이용한 실린더 구동형 볼 밸브 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.FIG. 5B is a view schematically illustrating a cylinder-driven ball valve device using a speed controller, which is used for the coating liquid pumping device and the slit having the same, shown in FIG. 4.

도 5c는 도 4에 도시된 본 발명의 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다이에 사용되는, 실린더 구동형 게이트 밸브 장치의 단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.FIG. 5C is a schematic cross-sectional view of the cylinder driven gate valve device used in the coating liquid pumping device of the present invention and the slit die provided with the same shown in FIG. 4.

도 5d는 도 4에 도시된 본 발명의 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다이에 사용되는, 모터 구동형 게이트 밸브 장치의 단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.FIG. 5D is a schematic cross-sectional view of the motor driven gate valve device used in the coating liquid pumping device of the present invention shown in FIG. 4 and the slit die provided with the same; FIG.

도 6a는 도 5a 또는 도 5b에 도시된 모터 구동형 볼 밸브 또는 실린더 구동형 볼 밸브를 구비한 본 발명의 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다이를 사용하여 코팅액을 코팅한 결과의 그래프이다. FIG. 6A is a graph showing a result of coating the coating liquid using the coating liquid pumping device of the present invention having the motor driven ball valve or the cylinder driven ball valve shown in FIG. 5A or 5B and the slit die provided with the same.

도 6b는 도 5a 또는 도 5b에 도시된 모터 구동형 볼 밸브 또는 실린더 구동형 볼 밸브의 시간 지연(time delay)에 따른 본 발명의 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다이를 사용하여 코팅액의 두께를 조절하는 결과를 보여주는 그래프이다. FIG. 6B shows the thickness of the coating liquid using the coating liquid pumping device and the slit die provided with the same according to the time delay of the motor driven ball valve or the cylinder driven ball valve shown in FIGS. 5A or 5B. This graph shows the result of adjustment.

본 발명은 개선된 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다이 및 테이블 코팅 장치에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명은 코팅시 작업물의 초단부 에 서 양호한 코팅 품질을 제공하는 개선된 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다이 및 테이블 코팅 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an improved coating liquid pumping device and a slit die and table coating device having the same. More specifically, the present invention relates to an improved coating liquid pumping device that provides good coating quality at the very end of a workpiece upon coating, and to a slit die and table coating device having the same.

일반적으로 기재(基材) 또는 작업물(work piece: 이하 “작업물”이라 합니다) 상에 코팅액을 도포하기 위해서는 노즐(nozzle)을 구비한 슬릿 다이(slit die)가 사용된다. 구체적으로, 도 1에 도시된 롤러를 사용하는 일반적인 롤러 코팅 장치(roller coater)(100)의 코팅 방법에서는 작업물인 글래스(110)를 복수의 롤러(120,12,122,123,124) 상에 걸리게 한 후, 측면에서 서보 모터(미도시)를 이용하여 슬릿 다이(130)를 좌우로 이동시키고 또한 구동 모터(미도시)로는 롤러(120,12,122,123,124)를 회전시키면, 슬릿 다이(130)를 통해 코팅액을 글래스(110) 상에 배출하여 코팅액이 일정 간격으로 도포된다. Generally, a slit die with a nozzle is used to apply a coating liquid onto a substrate or a work piece (hereinafter referred to as a “work piece”). Specifically, in the coating method of the general roller coater 100 using the roller shown in FIG. 1, the glass 110, which is a workpiece, is caught on the plurality of rollers 120, 12, 122, 123, and 124, and then, When the slit die 130 is moved left and right using a servo motor (not shown), and the rollers 120, 12, 122, 123, and 124 are rotated with the drive motor (not shown), the coating liquid is transferred to the glass 110 through the slit die 130. The coating liquid is applied at regular intervals by discharging onto the phase.

또한, 도 2에 개략적으로 도시된 LCD 또는 PDP를 제조하기 위해 사용되는 테이블 코팅 장치(table coater)(200)에서는 코팅할 작업물인 글래스(210)를 스테이지 또는 석션 테이블(suction table: 220) 상에 위치시킨 후 갠트리(gantry)(225)에 부착된 슬릿 다이(230)를 수평방향으로 이동시키면서 글래스(210) 상에 필요한 코팅액을 도포시키는 방법이 사용되고 있다.In addition, in the table coater 200 used to fabricate the LCD or PDP shown schematically in FIG. 2, the glass 210, which is a workpiece to be coated, is placed on a stage or suction table 220. After positioning, a method of applying the necessary coating liquid on the glass 210 while moving the slit die 230 attached to the gantry 225 in the horizontal direction is used.

상술한, 종래 기술에 따른 롤러 코팅 장치 또는 테이블 코팅 장치의 코팅 방법에서, 코팅의 정밀도를 좌우하는 요소 중의 하나는 슬릿 다이 내의 코팅액을 토출하기 위해 사용되는 펌프의 토출 압력 및 그에 따른 코팅액의 토출 속도이다. In the above-described coating method of the roller coating apparatus or the table coating apparatus according to the prior art, one of the factors that determine the precision of the coating is the discharge pressure of the pump used for discharging the coating liquid in the slit die, and thus the discharge speed of the coating liquid. to be.

상술한 도 1 및 도 2에 도시된 종래 기술에 따른 코팅 장치에 사용되며, 코팅액을 토출하기 위해 사용되는 펌프의 토출 압력 및 그에 따른 코팅액의 토출 속 도를 제어하기 위한 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다이가 도 3a에 도시되어 있다.1 and 2 are used in the coating apparatus according to the prior art, the coating liquid pumping device for controlling the discharge pressure of the pump used for discharging the coating liquid and accordingly the discharge speed of the coating liquid and having the same The slit die is shown in FIG. 3A.

도 3a를 참조하면, 코팅액 펌핑장치(340)는 슬릿다이(300)에 코팅액을 공급한다. 슬릿 다이(300)는 통상적으로 제 1 립(310); 상기 제 1 립(310)과 대향하여 위치되는 제 2 립(320); 상기 제 1 립(310) 및 상기 제 2 립(320) 내에 제공되며, 코팅액을 공급받아 토출하는 챔버(미도시); 및 상기 제 1 립(310) 및 상기 제 2 립(320)의 하부 측에 제공되며, 코팅액을 토출하기 위한 슬릿(slit: 330)을 포함한다. 또한, 코팅액 펌핑장치(340)는 코팅액 펌프(350); 상기 코팅액 펌프(350)의 일단(one end)에 제공되며, 코팅액 저장 탱크(335)로부터 유입되는 코팅액을 제어하는 펌프-인 밸브(pump-in valve: 360); 일단이 상기 코팅액 펌프(350)의 타단(the other end)에 연결되며, 상기 코팅액 펌프(350)에 의해 펌핑된 코팅액을 상기 슬릿다이(300)의 챔버 내로 공급하는 코팅액 공급관(380); 및 상기 코팅액 펌프(350)의 타단과 가까운 위치에서 상기 코팅액 공급관(380)의 일측에 제공되며, 상기 코팅액 펌프(350)에 의해 펌핑된 코팅액의 유출을 제어하는 펌프-아웃 밸브(pump-out valve: 370)을 포함한다. 상기 코팅액 공급관(380)의 타단(390)은 제 1 립(310) 및 제 2 립(320) 중 어느 하나의 측면 상에서 챔버와 유체연통 가능하게 연결된다.Referring to FIG. 3A, the coating liquid pumping device 340 supplies the coating liquid to the slit die 300. The slit die 300 typically includes a first lip 310; A second lip 320 positioned opposite the first lip 310; A chamber (not shown) provided in the first lip 310 and the second lip 320 to receive and discharge a coating liquid; And a slit 330 provided at a lower side of the first lip 310 and the second lip 320 to discharge the coating liquid. In addition, the coating liquid pumping device 340 is a coating liquid pump 350; A pump-in valve 360 provided at one end of the coating liquid pump 350 to control the coating liquid flowing from the coating liquid storage tank 335; A coating liquid supply pipe 380 having one end connected to the other end of the coating liquid pump 350 and supplying the coating liquid pumped by the coating liquid pump 350 into the chamber of the slit die 300; And a pump-out valve provided at one side of the coating liquid supply pipe 380 at a position close to the other end of the coating liquid pump 350 and controlling the outflow of the coating liquid pumped by the coating liquid pump 350. 370). The other end 390 of the coating liquid supply pipe 380 is connected in fluid communication with the chamber on either side of the first lip 310 and the second lip 320.

상술한 도 3a에 도시된 종래 기술에 따른 코팅액 펌핑장치(350) 및 이를 구비한 슬릿다이(300)를 사용하는 경우, 슬릿(330)을 통해 코팅액을 토출하기 위해 사용되는 펌프의 토출 압력 및 그에 따른 코팅액의 토출 속도의 제어는 펌프-아웃 밸브(370)에 의해 이루어진다. 그러나, 펌프-아웃 밸브(370)는 단순히 코팅액 펌핑 장치(350)로부터 유출되는 코팅액을 온/오프(on/off) 방식으로 제어하는 것으로, 이러한 코팅액을 온/오프 방식을 사용하여 제어하는 종래 기술에 따른 코팅액 펌핑장치(350) 및 슬릿다이(300)를 사용하는 경우, 작업물 상에서 코팅이 시작되는 초단부(도 3b의 측정 위치 중 대략 0 내지 200mm 범위) 에서의 압력 변화가 심하여, 고품질의 코팅액 두께를 얻기가 어렵다는 문제가 있었다.In the case of using the coating liquid pumping apparatus 350 and the slit die 300 having the same according to the related art shown in FIG. 3A, the discharge pressure of the pump used to discharge the coating liquid through the slit 330 and the The control of the discharge rate of the coating liquid is made by the pump-out valve 370. However, the pump-out valve 370 simply controls the coating liquid flowing out of the coating liquid pumping device 350 in an on / off manner, and the prior art of controlling the coating liquid by using the on / off method. In the case of using the coating liquid pumping device 350 and the slit die 300 according to the present invention, the pressure change at the extreme end (approximately 0 to 200 mm in the measurement position of FIG. 3b) at which the coating is started on the workpiece is severe, and thus, There was a problem that it is difficult to obtain the coating liquid thickness.

도 3b는 도 1 및 도 2에 도시된 종래 기술에 따른 코팅 장치에 사용되는 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다이를 사용하여 코팅액을 코팅한 결과의 그래프이다.Figure 3b is a graph of the result of coating the coating liquid using the coating liquid pumping device used in the coating apparatus according to the prior art shown in Figures 1 and 2 and the slit die provided with the same.

좀 더 구체적으로, 도 3b를 참조하면, 도 3a에 도시된 바와 같이 코팅액을 온/오프 방식을 사용하여 제어하는 종래 기술에 따른 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다이를 사용하여 대략 90㎛ (또는 0.09mm)의 코팅 두께로 코팅하는 경우 코팅 위치에 따른 코팅 두께의 변화를 보여주고 있다. 코팅이 시작되는 초단부(도 3b의 측정 위치 중 대략 0 내지 200mm 범위)에서의 압력 변화가 심하다. 이러한 초단부에서의 심한 압력 변화로 인해, 코팅 품질이 불량해진다는 문제가 발생한다.More specifically, referring to FIG. 3B, a coating liquid pumping device and a slit die provided with the same according to the related art for controlling the coating liquid by using an on / off method as shown in FIG. 3A are approximately 90 μm (or 0.09mm) shows a change in coating thickness depending on the coating position. The pressure change at the extreme end (in the range of approximately 0 to 200 mm of the measurement positions in FIG. 3B) where the coating starts is severe. Due to such a severe pressure change at the extreme end, a problem arises in that the coating quality becomes poor.

또한, 도 3b에서 알 수 있는 바와 같이, 초단부에서의 충분한 압력이 인가되지 않아, 원하는 코팅 두께 범위의 코팅이 이루어질 만큼의 코팅액의 토출량이 모자라는 문제가 발생한다. 이러한 문제를 해결하기 위해, 종래 기술에서는 통상적으로 원하는 코팅 두께 범위의 코팅이 이루어질 정도의 코팅액을 토출하기에 적합한 초단부에서의 최적 압력 조건(또는 펌핑 속도 조건)을 찾아내어 예를 들어, 펌핑 속도를 다단(multiple steps)으로 증가시키는 방법 등을 사용하여 최적 압력(또는 펌핑 속도)을 인가한다. 그러나, 이러한 경우에는 중간부(도 3b의 측정 위치 중 대략 250내지 600mm 범위)에서 어느 정도 원하는 범위의 균일한 코팅 두께를 얻을 수는 있지만, 도 3b에 도시된 초단부에서의 코팅 두께 프로필(즉, 코팅 두께가 부족한 프로필) 문제가 발생한다. In addition, as can be seen in Figure 3b, there is a problem that the discharge amount of the coating liquid to the extent that the coating of the desired coating thickness range is insufficient because a sufficient pressure at the first end is not applied. To solve this problem, the prior art typically finds an optimum pressure condition (or pumping rate condition) at the extreme end suitable for discharging the coating liquid to the extent that a coating of the desired coating thickness range is achieved, for example, a pumping speed. The optimum pressure (or pumping speed) is applied using a method such as increasing multiple steps. In this case, however, a uniform coating thickness in the desired range can be obtained to some extent in the middle (in the range of approximately 250 to 600 mm of the measurement positions in FIG. 3b), but the coating thickness profile (i.e. , Profile lacking coating thickness).

본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해, 슬릿다이의 제 1 립 및 제 2 립 중 어느 하나의 일측과 연결되는 코팅액 공급관의 단부에 별도의 코팅액 공급 제어 밸브 장치를 제공하여, 코팅액의 도포시 작업물의 초단부 에서의 코팅액 토출 압력의 급격한 변화를 완화시켜 작업물의 초단부에서 양호한 코팅 품질을 제공하는 개선된 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다이 및 테이블 코팅 장치를 제공하기 위한 것이다.The present invention provides a separate coating liquid supply control valve device at the end of the coating liquid supply pipe connected to any one of the first lip and the second lip of the slit die, in order to solve the problems of the prior art described above, SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an improved coating liquid pumping device and a slit die and table coating device having the same, which alleviate a sudden change in the coating liquid discharge pressure at the first end of the workpiece during application to provide a good coating quality at the first end of the workpiece.

본 발명의 제 1 특징에 따르면, 슬릿 다이에 코팅액을 공급하는 코팅액 펌핑장치에 있어서, 코팅액 펌프; 상기 코팅액 펌프의 일단에 제공되며, 코팅액을 저장하는 저장 탱크로부터 유입되는 코팅액을 제어하는 펌프-인 밸브(pump-in valve); 상기 코팅액 펌프의 타단에 연결되며, 상기 코팅액 펌프에 의해 펌핑된 코팅액을 상기 슬릿다이 내로 공급하는 코팅액 공급관; 상기 코팅액 펌프의 타단과 가까운 위치에서 상기 코팅액 공급관의 일측에 제공되며, 상기 코팅액 펌프에 의해 펌핑된 코팅액의 유출을 제어하는 펌프-아웃 밸브(pump-out valve); 및 상기 코팅액 공급관의 타단에 위치되며, 상기 슬릿 다이에 공급되는 코팅액을 제어하는 코팅액 공급 제어 밸브 장치를 포함하고, 상기 코팅액 공급 제어 밸브 장치는 상기 코팅액이 상기 슬릿 다이 내로 유입되는 시간 지연(time delay)을 제어할 수 있는 코팅액 펌핑장치를 제공하기 위한 것이다. According to a first aspect of the present invention, a coating liquid pumping device for supplying a coating liquid to a slit die, comprising: a coating liquid pump; A pump-in valve provided at one end of the coating liquid pump to control the coating liquid flowing from the storage tank storing the coating liquid; A coating liquid supply pipe connected to the other end of the coating liquid pump and supplying the coating liquid pumped by the coating liquid pump into the slit die; A pump-out valve provided on one side of the coating liquid supply pipe at a position close to the other end of the coating liquid pump and controlling the outflow of the coating liquid pumped by the coating liquid pump; And a coating liquid supply control valve device positioned at the other end of the coating liquid supply pipe and controlling the coating liquid supplied to the slit die, wherein the coating liquid supply control valve device includes a time delay for introducing the coating liquid into the slit die. It is to provide a coating liquid pumping device capable of controlling.

본 발명의 제 2 특징에 따르면, 코팅액 펌핑장치를 구비한 슬릿 다이에 있어서, 제 1 립; 상기 제 1 립과 대향하여 위치되는 제 2 립; 상기 제 1 립 및 상기 제 2 립 내에 제공되며, 코팅액을 공급받아 토출하는 챔버; 및 상기 제 1 립 및 상기 제 2 립의 하부 측에 제공되며, 코팅액을 토출하기 위한 슬릿을 포함하고, 상기 코팅액 펌핑장치는 코팅액 펌프; 상기 코팅액 펌프의 일단에 제공되며, 코팅액을 저장하는 저장 탱크로부터 유입되는 코팅액을 제어하는 펌프-인 밸브(pump-in valve); 상기 코팅액 펌프의 타단에 연결되며, 상기 코팅액 펌프에 의해 펌핑된 코팅액을 상기 챔버 내로 공급하는 코팅액 공급관; 상기 코팅액 펌프의 타단과 가까운 위치에서 상기 코팅액 공급관의 일측에 제공되며, 상기 코팅액 펌프에 의해 펌핑된 코팅액의 유출을 제어하는 펌프-아웃 밸브(pump-out valve); 및 상기 코팅액 공급관의 타단에 위치되며, 상기 챔버와 유체연통 가능하도록 상기 제 1 립 및 상기 제 2 립 중 어느 하나의 일측과 연결되어 상기 챔버에 공급되는 코팅액을 제어하는 코팅액 공급 제어 밸브 장치를 포함하고, 상기 코팅액 공급 제어 밸브 장치는 상기 코팅액이 상기 슬릿 다이 내로 유입되는 시간 지연(time delay)을 제어할 수 있는 슬릿 다이를 제공하기 위한 것이다.According to a second aspect of the invention, a slit die having a coating liquid pumping device, comprising: a first lip; A second lip positioned opposite the first lip; A chamber provided in the first lip and the second lip and receiving and discharging a coating liquid; And a slit provided on the lower side of the first lip and the second lip and for discharging the coating liquid, wherein the coating liquid pumping device comprises: a coating liquid pump; A pump-in valve provided at one end of the coating liquid pump to control the coating liquid flowing from the storage tank storing the coating liquid; A coating liquid supply pipe connected to the other end of the coating liquid pump and supplying the coating liquid pumped by the coating liquid pump into the chamber; A pump-out valve provided on one side of the coating liquid supply pipe at a position close to the other end of the coating liquid pump and controlling the outflow of the coating liquid pumped by the coating liquid pump; And a coating liquid supply control valve device positioned at the other end of the coating liquid supply pipe and connected to one side of one of the first lip and the second lip so as to be in fluid communication with the chamber to control the coating liquid supplied to the chamber. In addition, the coating liquid supply control valve device is to provide a slit die that can control the time delay (time delay) that the coating liquid is introduced into the slit die.

본 발명의 제 3 특징에 따르면, LCD 또는 PDP용 테이블 코팅 장치에 있어서, 석션 테이블(suction table); 상기 석션 테이블 상에 놓이는 글래스; 상기 석션 테이블 상에서 직선 왕복운동을 하는 갠트리; 및 상기 갠트리에 부착되고, 코팅액 펌핑장치를 구비하며, 상기 글래스 상에 코팅액을 도포하기 위한 슬릿 다이를 포함하고, 상기 슬릿 다이는 제 1 립; 상기 제 1 립과 대향하여 위치되는 제 2 립; 상기 제 1 립 및 상기 제 2 립 내에 제공되며, 코팅액을 공급받아 토출하는 챔버; 및 상기 제 1 립 및 상기 제 2 립의 하부 측에 제공되며, 코팅액을 토출하기 위한 슬릿을 포함하며, 상기 코팅액 펌핑장치는 코팅액 펌프; 상기 코팅액 펌프의 일단에 제공되며, 코팅액을 저장하는 저장 탱크로부터 유입되는 코팅액을 제어하는 펌프-인 밸브(pump-in valve); 상기 코팅액 펌프의 타단에 연결되며, 상기 코팅액 펌프에 의해 펌핑된 코팅액을 상기 챔버 내로 공급하는 코팅액 공급관; 상기 코팅액 펌프의 타단과 가까운 위치에서 상기 코팅액 공급관의 일측에 제공되며, 상기 코팅액 펌프에 의해 펌핑된 코팅액의 유출을 제어하는 펌프-아웃 밸브(pump-out valve); 및 상기 코팅액 공급관의 타단에 위치되며, 상기 챔버와 유체연통 가능하도록 상기 제 1 립 및 상기 제 2 립 중 어느 하나의 일측과 연결되어 상기 챔버에 공급되는 코팅액을 제어하는 코팅액 공급 제어 밸브 장치를 포함하고, 상기 코팅액 공급 제어 밸브 장치는 상기 코팅액이 상기 슬릿 다이 내로 유입되는 시간 지연(time delay)을 제어할 수 있는 테이블 코팅 장치를 제공하기 위한 것이다.According to a third aspect of the invention, there is provided a table coating apparatus for an LCD or a PDP, comprising: a suction table; A glass placed on the suction table; A gantry for linear reciprocating motion on the suction table; And a slit die attached to the gantry and having a coating liquid pumping device, the slit die for applying the coating liquid onto the glass, wherein the slit die comprises: a first lip; A second lip positioned opposite the first lip; A chamber provided in the first lip and the second lip and receiving and discharging a coating liquid; And a slit provided on the lower side of the first lip and the second lip and for discharging the coating liquid, wherein the coating liquid pumping device comprises: a coating liquid pump; A pump-in valve provided at one end of the coating liquid pump to control the coating liquid flowing from the storage tank storing the coating liquid; A coating liquid supply pipe connected to the other end of the coating liquid pump and supplying the coating liquid pumped by the coating liquid pump into the chamber; A pump-out valve provided on one side of the coating liquid supply pipe at a position close to the other end of the coating liquid pump and controlling the outflow of the coating liquid pumped by the coating liquid pump; And a coating liquid supply control valve device positioned at the other end of the coating liquid supply pipe and connected to one side of one of the first lip and the second lip so as to be in fluid communication with the chamber to control the coating liquid supplied to the chamber. In addition, the coating liquid supply control valve device is to provide a table coating apparatus that can control the time delay (time delay) in which the coating liquid is introduced into the slit die.

본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다. Further advantages of the present invention will become apparent from the following description with reference to the accompanying drawings in which like or like reference numerals designate like elements.

이하에서 본 발명의 실시예를 참조하여 본 발명을 설명한다. Hereinafter, the present invention will be described with reference to embodiments of the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 코팅 장치에 사용되는 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다이를 도시한 도면이다.Figure 4 is a view showing a coating liquid pumping device and a slit die provided with the same used in the coating apparatus according to the present invention.

도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 코팅액 펌핑장치(440)는 슬릿다이(400)에 코팅액을 공급한다. 슬릿 다이(400)는 도 3a에 도시된 슬릿다이(300)와 실질적으로 동일하다. 즉, 슬릿 다이(400)는 제 1 립(410); 상기 제 1 립(410)과 대향하여 위치되는 제 2 립(420); 상기 제 1 립(410) 및 상기 제 2 립(420) 내에 제공되며, 코 팅액을 공급받아 토출하는 챔버(미도시); 및 상기 제 1 립(410) 및 상기 제 2 립(420)의 하부 측에 제공되며, 코팅액을 토출하기 위한 슬릿(430)을 포함한다. 또한, 본 발명의 코팅액 펌핑장치(440)는 코팅액 펌프(450); 상기 코팅액 펌프(450)의 일단에 제공되며, 코팅액 저장 탱크(435)로부터 유입되는 코팅액을 제어하는 펌프-인 밸브(460); 상기 코팅액 펌프(450)의 타단에 연결되며, 상기 코팅액 펌프(450)에 의해 펌핑된 코팅액을 상기 슬릿다이(400)의 챔버 내로 공급하는 코팅액 공급관(480); 상기 코팅액 펌프(450)의 타단과 가까운 위치에서 상기 코팅액 공급관(480)의 일측에 제공되며, 상기 코팅액 펌프(450)에 의해 펌핑된 코팅액의 유출을 제어하는 펌프-아웃 밸브(470); 및 상기 코팅액 공급관(480)의 타단에 위치되며, 상기 챔버와 유체연통 가능하도록 상기 제 1 립(410) 및 제 2 립(420) 중 어느 하나의 일측과 연결되어 상기 챔버에 공급되는 코팅액을 제어하는 코팅액 공급 제어 밸브 장치(490)를 포함한다. Referring to FIG. 4, the coating liquid pumping device 440 according to the present invention supplies the coating liquid to the slit die 400. The slit die 400 is substantially the same as the slit die 300 shown in FIG. 3A. That is, the slit die 400 may include a first lip 410; A second lip 420 positioned opposite the first lip 410; A chamber (not shown) provided in the first lip 410 and the second lip 420 and receiving and discharging a coating liquid; And a slit 430 provided at a lower side of the first lip 410 and the second lip 420 to discharge the coating liquid. In addition, the coating liquid pumping device 440 of the present invention is a coating liquid pump 450; A pump-in valve 460 provided at one end of the coating liquid pump 450 and controlling the coating liquid flowing from the coating liquid storage tank 435; A coating liquid supply pipe 480 connected to the other end of the coating liquid pump 450 and supplying the coating liquid pumped by the coating liquid pump 450 into the chamber of the slit die 400; A pump-out valve 470 provided at one side of the coating liquid supply pipe 480 at a position close to the other end of the coating liquid pump 450 and controlling the outflow of the coating liquid pumped by the coating liquid pump 450; And a coating liquid supply pipe 480 positioned at the other end of the coating liquid supply pipe 480 and connected to one side of the first lip 410 and the second lip 420 to be in fluid communication with the chamber. A coating liquid supply control valve device 490.

도 3a와 도 4를 비교하면, 본 발명의 코팅액 펌핑장치(440)는 종래 기술에 비해 코팅액 공급관(480)의 타측에 코팅액 공급 제어 밸브 장치(490)가 추가로 구비된다는 점이 상이하다는 것을 알 수 있다. Comparing Figure 3a and Figure 4, the coating liquid pumping device 440 of the present invention is on the other side of the coating liquid supply pipe 480 compared to the prior art It can be seen that the coating liquid supply control valve device 490 is further provided.

도 5a는 도 4에 도시된 본 발명의 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다이에 사용되는, 모터를 이용한 모터 구동형 볼 밸브 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.Figure 5a is a schematic view of a motor-driven ball valve device using a motor, used in the coating liquid pumping device of the present invention shown in Figure 4 and the slit die provided with the same.

도 5a를 참조하면, 본 발명의 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다이에 사용되는, 모터(510)를 이용한 모터 구동형 볼 밸브 장치(500)에서는 모터(510)가 회전축(520)을 회전시켜 볼(530)을 회전시킨다. 볼(530)은 내부에 캐비티(cavity: 532)를 구비한다. 볼(530)의 캐비티(532)가 도 5a에 도시된 상태에서는 코팅액이 밸브 본체(540)의 유입부(550)를 통해 유입된 후 볼(530)의 캐비티(532)를 거쳐 유출부(560)를 통해 도 4에 도시된 슬릿 다이(400)의 챔버(미도시) 내로 유입된다. 한편, 도 5a에 도시된 상태에서 볼(530)이 90도 회전하면, 볼(530)은 유입부(550)를 통한 코팅액의 유입을 방지하여 코팅액이 도 4에 도시된 슬릿 다이(400)의 챔버(미도시) 내로 유입되지 못하도록 한다. 그 후, 도 5a에 도시된 상태에서 볼(530)이 180도 회전하면, 코팅액이 밸브 본체(540)의 유입부(550)를 통해 다시 유입된 후 볼(530)의 캐비티(532)를 거쳐 유출부(560)를 통해 도 4에 도시된 슬릿 다이(400)의 챔버(미도시) 내로 유입된다. 이러한 동작을 반복하여, 코팅액은 모터 구동형 볼 밸브 장치(500)를 통해 단속적으로 슬릿 다이(400)의 챔버(미도시) 내로 유입이 가능하게 된다. 이 경우, 코팅액의 유입속도 또는 유입량은 모터(510)의 회전 속도를 제어함으로써 제어가 가능하다. 그 결과, 도 3a에 도시된 바와 같이 코팅액을 온/오프 방식을 사용하는 종래 기술에서는 코팅액 유입시 맥동(pulse)이 발생하거나 또는 온/오프시에 급격한 압력 변화로 인한 코팅액의 유입속도 또는 유입량의 변화가 상당히 큰 반면, 도 5a에 도시된 본 발명의 모터 구동형 볼 밸브 장치(500)를 사용하는 경우, 코팅액 유입시 맥동(pulse)의 발생이 방지되며, 또한 코팅액의 유입속도 또는 유입량의 급격한 변화를 최대한 줄일 수 있다는 장점이 달성된다.Referring to FIG. 5A, in the motor-driven ball valve device 500 using the motor 510, which is used in the coating liquid pumping device and the slit die having the same, the motor 510 rotates the rotating shaft 520. Rotate the ball 530. The ball 530 has a cavity 532 therein. In the state in which the cavity 532 of the ball 530 is shown in FIG. 5A, the coating liquid flows in through the inlet 550 of the valve body 540, and then the outlet 560 through the cavity 532 of the ball 530. ) Into the chamber (not shown) of the slit die 400 shown in FIG. On the other hand, when the ball 530 is rotated 90 degrees in the state shown in Figure 5a, the ball 530 prevents the inflow of the coating liquid through the inlet 550 so that the coating liquid of the slit die 400 shown in FIG. Prevent entry into the chamber (not shown). Thereafter, when the ball 530 rotates 180 degrees in the state shown in FIG. 5A, the coating liquid flows back through the inlet 550 of the valve body 540 and then passes through the cavity 532 of the ball 530. The outlet 560 is introduced into the chamber (not shown) of the slit die 400 shown in FIG. 4. By repeating this operation, the coating liquid can be introduced into the chamber (not shown) of the slit die 400 intermittently through the motor-driven ball valve device 500. In this case, the inflow rate or inflow rate of the coating liquid can be controlled by controlling the rotational speed of the motor 510. As a result, in the prior art using the coating solution on / off as shown in Figure 3a the pulsation (pulse) occurs in the coating liquid inflow or the flow rate or inflow rate of the coating liquid due to a sudden pressure change at the time of on / off While the change is considerably large, in the case of using the motor-driven ball valve device 500 of the present invention shown in FIG. 5A, pulsation is prevented during the inflow of the coating liquid, and also a sudden increase in the inflow rate or inflow amount of the coating liquid is achieved. The advantage of minimizing change is achieved.

도 5b는 도 4에 도시된 본 발명의 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다 이에 사용되는, 스피드 콘트롤러를 이용한 실린더 구동형 볼 밸브 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.FIG. 5B is a view schematically illustrating a cylinder-driven ball valve device using a speed controller, which is used for the coating liquid pumping device and the slit having the same, shown in FIG. 4.

도 5b를 참조하면, 본 발명의 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다이에 사용되는, 스피드 콘트롤러(512)를 이용한 실린더 구동형 볼 밸브 장치(500)에서 스피드 콘트롤러(512)는 제어 신호에 의해 에어(air) 주입구(514)를 통해 실린더(510) 내에 에어를 주입한다. 실린더(510) 내에 주입된 에어는 회전축(520)을 회전시켜 볼(530)을 회전시킨다. 볼(530)은 내부에 캐비티(cavity: 532)를 구비한다. 볼(530)의 캐비티(532)가 도 5b에 도시된 상태에서는 코팅액이 밸브 본체(540)의 유입부(550)를 통해 유입된 후 볼(530)의 캐비티(532)를 거쳐 유출부(560)를 통해 도 4에 도시된 슬릿 다이(400)의 챔버(미도시) 내로 유입된다. 한편, 도 5b에 도시된 상태에서 볼(530)이 90도 회전하면, 볼(530)은 유입부(550)를 통한 코팅액의 유입을 방지하여 코팅액이 도 4에 도시된 슬릿 다이(400)의 챔버(미도시) 내로 유입되지 못하도록 한다. 그 후, 도 5b에 도시된 상태에서 볼(530)이 180도 회전하면, 코팅액이 밸브 본체(540)의 유입부(550)를 통해 다시 유입된 후 볼(530)의 캐비티(532)를 거쳐 유출부(560)를 통해 도 4에 도시된 슬릿 다이(400)의 챔버(미도시) 내로 유입된다. 이러한 동작을 반복하여, 코팅액은 스피드 콘트롤러(512)를 이용한 실린더 구동형 볼 밸브 장치(500)를 통해 단속적으로 슬릿 다이(400)의 챔버(미도시) 내로 유입이 가능하게 된다. 이 경우, 코팅액의 유입속도 또는 유입량은 스피드 콘트롤러(512)가 실린더(51)의 회전 속도를 제어함으로써 제어가 가능하다. 그 결과, 도 3a에 도시된 바와 같이 코팅액을 온/오프 방식을 사용하는 종래 기술에서는 코팅액 유입시 맥동(pulse)이 발생하거나 또는 온/오프시에 급격한 압력 변화로 인한 코팅액의 유입속도 또는 유입량의 변화가 상당히 큰 반면, 도 5b에 도시된 본 발명의 스피드 콘트롤러(512)를 이용한 실린더 구동형 볼 밸브 장치(500)를 사용하는 경우, 코팅액 유입시 맥동(pulse)의 발생이 방지되며, 또한 코팅액의 유입속도 또는 유입량의 급격한 변화를 최대한 줄일 수 있다는 장점이 달성된다.Referring to FIG. 5B, in the cylinder-driven ball valve device 500 using the speed controller 512, which is used in the coating liquid pumping device and the slit die having the same, the speed controller 512 is controlled by the control signal. Air is injected into the cylinder 510 through the injection hole 514. Air injected into the cylinder 510 rotates the rotating shaft 520 to rotate the ball 530. The ball 530 has a cavity 532 therein. In the state in which the cavity 532 of the ball 530 is shown in FIG. 5B, the coating liquid flows in through the inlet 550 of the valve body 540 and then the outlet 560 through the cavity 532 of the ball 530. ) Into the chamber (not shown) of the slit die 400 shown in FIG. On the other hand, when the ball 530 is rotated 90 degrees in the state shown in Figure 5b, the ball 530 prevents the inflow of the coating liquid through the inlet 550 so that the coating liquid of the slit die 400 shown in FIG. Prevent entry into the chamber (not shown). Thereafter, when the ball 530 rotates 180 degrees in the state shown in FIG. 5B, the coating liquid flows back through the inlet 550 of the valve body 540 and then passes through the cavity 532 of the ball 530. The outlet 560 is introduced into the chamber (not shown) of the slit die 400 shown in FIG. 4. By repeating this operation, the coating liquid can be intermittently introduced into the chamber (not shown) of the slit die 400 through the cylinder-driven ball valve device 500 using the speed controller 512. In this case, the inflow rate or inflow amount of the coating liquid can be controlled by the speed controller 512 controlling the rotational speed of the cylinder 51. As a result, in the prior art using the coating solution on / off as shown in Figure 3a the pulsation (pulse) occurs in the coating liquid inflow or the flow rate or inflow rate of the coating liquid due to a sudden pressure change at the time of on / off While the change is considerably large, when the cylinder-driven ball valve device 500 using the speed controller 512 of the present invention shown in FIG. 5B is used, pulsation is prevented when coating liquid is introduced, and also coating liquid. The advantage is that the rapid change in flow rate or flow rate can be reduced as much as possible.

상술한 도 5 a 및 도 5b에서는 각각 모터 구동형 볼 밸브 장치(500), 및 스피드 콘트롤러를 이용한 실린더 구동형 볼 밸브 장치(500)를 도시하고 있지만, 본 발명의 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다이에 사용되는 또 다른 공지의 밸브 장치로는 실린더 구동형 게이트 밸브 장치 또는 모터 구동형 게이트 밸브 장치가 사용될 수 있다. 이러한 실린더 구동형 게이트 밸브 장치 및 모터 구동형 게이트 밸브 장치의 개략적인 단면도가 각각 도 5c 및 도 5d에 도시되어 있으며, 이러한 공지의 게이트 밸브 장치들의 동작 및 구동 방법은 도 5 a 및 도 5b에 각각 도시된 모터 구동형 볼 밸브 장치(500) 및 실린더 구동형 볼 밸브 장치(500)와 실질적으로 동일하여, 본 명세서에서는 상세한 설명을 생략한다.5A and 5B, the motor-driven ball valve device 500 and the cylinder-driven ball valve device 500 using the speed controller are shown, respectively, but the coating liquid pumping device of the present invention and the slit provided therewith. Another known valve device used in the die may be a cylinder driven gate valve device or a motor driven gate valve device. Schematic cross-sectional views of such a cylinder-driven gate valve device and a motor-driven gate valve device are shown in FIGS. 5C and 5D, respectively. Operation and driving methods of such known gate valve devices are shown in FIGS. 5A and 5B, respectively. Since it is substantially the same as the motor-driven ball valve apparatus 500 and the cylinder-driven ball valve apparatus 500 shown, detailed description is abbreviate | omitted in this specification.

도 6a는 도 5a 또는 도 5b에 도시된 모터 구동형 볼 밸브 또는 실린더 구동형 볼 밸브를 구비한 본 발명의 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다이를 사용하여 코팅액을 코팅한 결과의 그래프이다. FIG. 6A is a graph showing a result of coating the coating liquid using the coating liquid pumping device of the present invention having the motor driven ball valve or the cylinder driven ball valve shown in FIG. 5A or 5B and the slit die provided with the same.

도 6a를 참조하면, 본 발명의 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다이를 사용하여 대략 90㎛ (또는 0.09mm)의 코팅 두께로 코팅하는 경우 코팅 위치에 따른 코팅 두께의 변화를 보여주고 있다. 코팅이 시작되는 초단부(도 6a의 측정 위치 중 대략 0 내지 200mm 범위)에서의 압력 변화가 매끈하게 짧게 이루어져 초단부의 양호한 코팅 품질을 확보할 수 있다.Referring to FIG. 6A, when the coating liquid pumping apparatus of the present invention and a slit die having the same are coated with a coating thickness of approximately 90 μm (or 0.09 mm), the coating thickness is changed according to the coating position. The change in pressure at the first end (in the range of approximately 0 to 200 mm in the measurement position in FIG. 6A) at which the coating starts is smoothly shorted to ensure good coating quality at the first end.

또한, 도 6a에서는 도 3b에서와는 달리, 도 5a 또는 도 5b에 도시된 모터 구동형 볼 밸브 또는 실린더 구동형 볼 밸브와 같은 코팅액 공급 제어 밸브 장치(490)(도 4 참조)를 사용하면, 코팅액이 급격한 압력 변화가 방지되어 초단부에서의 코팅 두께가 원하는 코팅 두께에 가깝게 형성되므로 종래 기술과 같은 펌핑 속도를 다단(multiple steps)으로 증가시키는 방법 등을 사용할 필요가 없을 뿐만 아니라, 양호한 코팅 품질을 확보하는 것이 가능하다.In addition, in FIG. 6A, unlike in FIG. 3B, when the coating liquid supply control valve device 490 (see FIG. 4) is used, such as the motor driven ball valve or the cylinder driven ball valve shown in FIG. 5A or 5B, the coating liquid is Since the sudden pressure change is prevented and the coating thickness at the very end is formed close to the desired coating thickness, it is not necessary to use the method of increasing the pumping speed in multiple steps as in the prior art, and also to obtain good coating quality. It is possible to do

도 6b는 도 5a 또는 도 5b에 도시된 모터 구동형 볼 밸브 또는 실린더 구동형 볼 밸브의 시간 지연(time delay)에 따른 본 발명의 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다이를 사용하여 코팅액의 두께를 조절하는 결과를 보여주는 그래프이다. FIG. 6B shows the thickness of the coating liquid using the coating liquid pumping device and the slit die provided with the same according to the time delay of the motor driven ball valve or the cylinder driven ball valve shown in FIGS. 5A or 5B. This graph shows the result of adjustment.

도 6b를 참조하면, 볼 밸브의 지연 시간이 0.75초인 경우와 1초인 경우가 도시되어 있다. 지연 시간이 길어지는 경우(1초) 초단부에서의 코팅 두께의 프로필은 90㎛ (또는 0.09mm)보다 높으며, 이를 짧게 해서 (0.75초) 초단부에서 코팅두께 프로필의 변화가 상당히 매끄러운 형상을 갖는 것을 알 수 있다.Referring to FIG. 6B, the case where the delay time of the ball valve is 0.75 seconds and the case of 1 second is illustrated. If the delay time is long (1 second), the coating thickness profile at the top end is higher than 90 μm (or 0.09 mm), and it is short (0.75 seconds) so that the change in coating thickness profile at the top end has a considerably smooth shape. It can be seen that.

그 결과, 본 발명의 코팅 두께의 품질이 향상된다. As a result, the quality of the coating thickness of the present invention is improved.

본 발명의 코팅액 펌핑장치 및 이를 구비한 슬릿 다이 및 코팅 장치를 사용하면, 다음과 같은 장점이 달성된다.By using the coating liquid pumping apparatus of the present invention and the slit die and coating apparatus having the same, the following advantages are achieved.

1. 코팅액이 슬릿 다이 내로 유입시 맥동(pulse)의 발생이 방지되며, 또한 코팅액의 유입속도 또는 유입량의 급격한 변화가 최대한 줄어든다.1. When the coating liquid flows into the slit die, pulsation is prevented, and the sudden change of the coating liquid's flow rate or flow rate is reduced as much as possible.

2. 코팅액의 코팅시 초단부에서의 코팅 품질이 현저하게 향상된다.2. The coating quality at the very end is significantly improved when coating the coating liquid.

다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.As various modifications may be made to the constructions and methods described and illustrated herein without departing from the scope of the invention, it is intended that all matter contained in the above description or shown in the accompanying drawings be exemplary, and not intended to limit the invention. It is not. Therefore, the scope of the present invention should not be limited by the above-described exemplary embodiments, but should be defined only in accordance with the following claims and their equivalents.

Claims (9)

슬릿 다이에 코팅액을 공급하는 코팅액 펌핑장치에 있어서,In the coating liquid pumping device for supplying the coating liquid to the slit die, 코팅액 펌프; Coating liquid pump; 상기 코팅액 펌프의 일단에 제공되며, 코팅액을 저장하는 저장 탱크로부터 유입되는 코팅액을 제어하는 펌프-인 밸브(pump-in valve); A pump-in valve provided at one end of the coating liquid pump to control the coating liquid flowing from the storage tank storing the coating liquid; 상기 코팅액 펌프의 타단에 연결되며, 상기 코팅액 펌프에 의해 펌핑된 코팅액을 상기 슬릿다이 내로 공급하는 코팅액 공급관;A coating liquid supply pipe connected to the other end of the coating liquid pump and supplying the coating liquid pumped by the coating liquid pump into the slit die; 상기 코팅액 펌프의 타단과 가까운 위치에서 상기 코팅액 공급관의 일측에 제공되며, 상기 코팅액 펌프에 의해 펌핑된 코팅액의 유출을 제어하는 펌프-아웃 밸브(pump-out valve); 및A pump-out valve provided on one side of the coating liquid supply pipe at a position close to the other end of the coating liquid pump and controlling the outflow of the coating liquid pumped by the coating liquid pump; And 상기 코팅액 공급관의 타단에 위치되며, 상기 슬릿 다이에 공급되는 코팅액을 제어하는 코팅액 공급 제어 밸브 장치Located at the other end of the coating liquid supply pipe, coating liquid supply control valve device for controlling the coating liquid supplied to the slit die 를 포함하고, 상기 코팅액 공급 제어 밸브 장치는 상기 코팅액이 상기 슬릿 다이 내로 유입되는 시간 지연(time delay)을 제어할 수 있는 And the coating liquid supply control valve device may control a time delay in which the coating liquid flows into the slit die. 코팅액 펌핑장치. Coating liquid pumping device. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 코팅액 공급 제어 밸브 장치는 모터 구동형 볼 밸브 장치, 실린더 구동형 볼 밸브 장치, 모터 구동형 게이트 밸브 장치, 및 실린더 구동형 게이트 밸브 장치 중 어느 하나인 코팅액 펌핑장치.The coating liquid supply control valve device is any one of a motor driven ball valve device, a cylinder driven ball valve device, a motor driven gate valve device, and a cylinder driven gate valve device. 제 2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 실린더 구동형 볼 밸브 장치 또는 상기 실린더 구동형 게이트 밸브 장치는 상기 시간 지연을 제어하여 상기 코팅액의 유입속도 또는 유입량을 제어할 수 있는 스피드 콘트롤러를 추가로 포함하는 코팅액 펌핑장치. The cylinder-driven ball valve device or the cylinder-driven gate valve device further comprises a speed controller capable of controlling the time delay to control the flow rate or flow rate of the coating liquid. 코팅액 펌핑장치를 구비한 슬릿 다이에 있어서,A slit die having a coating liquid pumping device, 제 1 립; First lip; 상기 제 1 립과 대향하여 위치되는 제 2 립; A second lip positioned opposite the first lip; 상기 제 1 립 및 상기 제 2 립 내에 제공되며, 코팅액을 공급받아 토출하는 챔버; 및 A chamber provided in the first lip and the second lip and receiving and discharging a coating liquid; And 상기 제 1 립 및 상기 제 2 립의 하부 측에 제공되며, 코팅액을 토출하기 위한 슬릿Slit provided on the lower side of the first lip and the second lip, for discharging the coating liquid 을 포함하고,Including, 상기 코팅액 펌핑장치는 The coating liquid pumping device 코팅액 펌프; Coating liquid pump; 상기 코팅액 펌프의 일단에 제공되며, 코팅액을 저장하는 저장 탱크로부터 유입되는 코팅액을 제어하는 펌프-인 밸브(pump-in valve); A pump-in valve provided at one end of the coating liquid pump to control the coating liquid flowing from the storage tank storing the coating liquid; 상기 코팅액 펌프의 타단에 연결되며, 상기 코팅액 펌프에 의해 펌핑된 코팅액을 상기 챔버 내로 공급하는 코팅액 공급관; A coating liquid supply pipe connected to the other end of the coating liquid pump and supplying the coating liquid pumped by the coating liquid pump into the chamber; 상기 코팅액 펌프의 타단과 가까운 위치에서 상기 코팅액 공급관의 일측에 제공되며, 상기 코팅액 펌프에 의해 펌핑된 코팅액의 유출을 제어하는 펌프-아웃 밸브(pump-out valve); 및 A pump-out valve provided on one side of the coating liquid supply pipe at a position close to the other end of the coating liquid pump and controlling the outflow of the coating liquid pumped by the coating liquid pump; And 상기 코팅액 공급관의 타단에 위치되며, 상기 챔버와 유체연통 가능하도록 상기 제 1 립 및 상기 제 2 립 중 어느 하나의 일측과 연결되어 상기 챔버에 공급되는 코팅액을 제어하는 코팅액 공급 제어 밸브 장치Located at the other end of the coating liquid supply pipe, the coating liquid supply control valve device is connected to one side of any one of the first lip and the second lip so as to be in fluid communication with the chamber to control the coating liquid supplied to the chamber 를 포함하고, Including, 상기 코팅액 공급 제어 밸브 장치는 상기 코팅액이 상기 슬릿 다이 내로 유입되는 시간 지연(time delay)을 제어할 수 있는The coating liquid supply control valve device may control a time delay in which the coating liquid flows into the slit die. 슬릿 다이.Slit die. 제 4항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 코팅액 공급 제어 밸브 장치는 모터 구동형 볼 밸브 장치, 실린더 구동형 볼 밸브 장치, 모터 구동형 게이트 밸브 장치, 및 실린더 구동형 게이트 밸브 장치 중 어느 하나인 슬릿 다이. The coating liquid supply control valve device is any one of a motor driven ball valve device, a cylinder driven ball valve device, a motor driven gate valve device, and a cylinder driven gate valve device. 제 5항에 있어서, The method of claim 5, 상기 실린더 구동형 볼 밸브 장치 또는 상기 실린더 구동형 게이트 밸브 장치는 상기 시간 지연을 제어하여 상기 코팅액의 유입속도 또는 유입량을 제어할 수 있는 스피드 콘트롤러를 추가로 포함하는 슬릿 다이. The cylinder-driven ball valve device or the cylinder-driven gate valve device further comprises a speed controller capable of controlling the time delay to control the flow rate or flow rate of the coating liquid. LCD 또는 PDP용 테이블 코팅 장치에 있어서,In the table coating apparatus for LCD or PDP, 석션 테이블(suction table); A suction table; 상기 석션 테이블 상에 놓이는 글래스; A glass placed on the suction table; 상기 석션 테이블 상에서 직선 왕복운동을 하는 갠트리; 및 A gantry for linear reciprocating motion on the suction table; And 상기 갠트리에 부착되고, 코팅액 펌핑장치를 구비하며, 상기 글래스 상에 코팅액을 도포하기 위한 슬릿 다이A slit die attached to the gantry, having a coating liquid pumping device, for applying the coating liquid onto the glass 를 포함하고, Including, 상기 슬릿 다이는 The slit die is 제 1 립; First lip; 상기 제 1 립과 대향하여 위치되는 제 2 립; A second lip positioned opposite the first lip; 상기 제 1 립 및 상기 제 2 립 내에 제공되며, 코팅액을 공급받아 토출하는 챔버; 및 A chamber provided in the first lip and the second lip and receiving and discharging a coating liquid; And 상기 제 1 립 및 상기 제 2 립의 하부 측에 제공되며, 코팅액을 토출하기 위한 슬릿Slit provided on the lower side of the first lip and the second lip, for discharging the coating liquid 을 포함하며,Including; 상기 코팅액 펌핑장치는 The coating liquid pumping device 코팅액 펌프; Coating liquid pump; 상기 코팅액 펌프의 일단에 제공되며, 코팅액을 저장하는 저장 탱크로부터 유입되는 코팅액을 제어하는 펌프-인 밸브(pump-in valve);A pump-in valve provided at one end of the coating liquid pump to control the coating liquid flowing from the storage tank storing the coating liquid; 상기 코팅액 펌프의 타단에 연결되며, 상기 코팅액 펌프에 의해 펌핑된 코팅액을 상기 챔버 내로 공급하는 코팅액 공급관; A coating liquid supply pipe connected to the other end of the coating liquid pump and supplying the coating liquid pumped by the coating liquid pump into the chamber; 상기 코팅액 펌프의 타단과 가까운 위치에서 상기 코팅액 공급관의 일측에 제공되며, 상기 코팅액 펌프에 의해 펌핑된 코팅액의 유출을 제어하는 펌프-아웃 밸브(pump-out valve); 및A pump-out valve provided on one side of the coating liquid supply pipe at a position close to the other end of the coating liquid pump and controlling the outflow of the coating liquid pumped by the coating liquid pump; And 상기 코팅액 공급관의 타단에 위치되며, 상기 챔버와 유체연통 가능하도록 상기 제 1 립 및 상기 제 2 립 중 어느 하나의 일측과 연결되어 상기 챔버에 공급되는 코팅액을 제어하는 코팅액 공급 제어 밸브 장치Located at the other end of the coating liquid supply pipe, the coating liquid supply control valve device is connected to one side of any one of the first lip and the second lip so as to be in fluid communication with the chamber to control the coating liquid supplied to the chamber 를 포함하고, Including, 상기 코팅액 공급 제어 밸브 장치는 상기 코팅액이 상기 슬릿 다이 내로 유입되는 시간 지연(time delay)을 제어할 수 있는The coating liquid supply control valve device may control a time delay in which the coating liquid flows into the slit die. 테이블 코팅 장치.Table coating device. 제 7항에 있어서, The method of claim 7, wherein 상기 코팅액 공급 제어 밸브 장치는 모터 구동형 볼 밸브 장치, 실린더 구동형 볼 밸브 장치, 모터 구동형 게이트 밸브 장치, 및 실린더 구동형 게이트 밸브 장치 중 어느 하나인 테이블 코팅 장치.The coating liquid supply control valve device is any one of a motor-driven ball valve device, a cylinder-driven ball valve device, a motor-driven gate valve device, and a cylinder-driven gate valve device. 제 8항에 있어서, The method of claim 8, 상기 실린더 구동형 볼 밸브 장치 또는 상기 실린더 구동형 게이트 밸브 장치는 상기 시간 지연을 제어하여 상기 코팅액의 유입속도 또는 유입량을 제어할 수 있는 스피드 콘트롤러를 추가로 포함하는 테이블 코팅 장치. The cylinder-driven ball valve device or the cylinder-driven gate valve device further comprises a speed controller capable of controlling the time delay to control the flow rate or flow rate of the coating liquid.
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