KR100833937B1 - 이방성 도전 접착제 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 이방성 도전 접착제를 이용하여 전자기기를 접합시킬 때에 압력이 높거나, 부분적인 압력차가 발생했을 경우에도 통전 신뢰성을 유지하도록 하기 위한 것으로, 전도성 폴리머로 이루어진 심재와, 상기 심재의 외면을 감싸도록 형성된 적어도 하나 이상의 금속으로 이루어진 도금층으로 구비된 전도성 입자 및 상기 전도성 입자를 복수개 포함하는 수지재의 바인더를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 이방성 도전 접착제 또는 금속으로 이루어진 심재와, 상기 심재의 외면을 감싸도록 형성된 절연 코팅층과, 상기 절연 코팅층의 외면을 감싸도록 형성된 적어도 하나 이상의 금속으로 이루어진 도금층으로 구비된 전도성 입자 및 상기 전도성 입자를 복수개 포함하는 수지재의 바인더를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 이방성 도전 접착제에 관한 것이다.

Description

이방성 도전 접착제{Anisotropic conductive adhesive}
도 1은 종래의 이방성 도전 접착제를 사용하였을 경우 부분적인 압력차가 발생하는 경우를 나타내는 도면.
도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 이방성 도전 접착제의 전도성 입자의 구조를 나타내는 부분 파단 사시도.
도 3a 및 도 3b는 각각 본 발명의 바람직한 다른 일 실시예에 따른 이방성 도전 접착제의 전도성 입자의 서로 다른 실시예를 나타내는 부분 파단 사시도.
도 4a 내지 도 4c는 본 발명에 따른 이방성 도전 접착제를 이용하여 반도체 칩과 기판을 접합시키는 과정을 나타내는 도면들.
도 5는 본 발명에 따른 이방성 도전 접착제를 이용하여 접합한 상태에서 부분적인 압력차에 의해 전도성 입자들의 도금층이 파쇄된 상태를 나타낸 도면.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
20,30: 전도성 입자 22,32: 심재
24: 금속 도금층 34: 절연 코팅층
36: 금속 도금층 40: 이방성 도전 접착제
42: 바인더 51: 기판
52: 전극 패드 53: 반도체 칩
56: 범프
본 발명은 이방성 도전 접착제에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 수지재의 바인더에 포함되어 있는 복수개의 전도성 입자의 구조가 개선된 이방성 도전 접착제에 관한 것이다.
반도체 소자를 기판에 전기적으로 접속하는 방식으로, 최근 반도체 패키지의 고기능 및 고밀도를 실현할 수 있는 플립 칩(Flip chip) 본딩 기술이 많이 사용되고 있다. 이 플립 칩 본딩 방식은 알루미늄 패드 위에 접속단자의 기능을 하는 범프가 형성된 칩과 기판의 패드를 이방성 도전 접착제 등을 이용하여 연결하는 방식이다.
이러한 플립 칩 본딩방식에서 사용되는 이방성 도전 접착제는 미세한 회로기판의 접속이나, 액정디스플레이와 플렉시블 인쇄회로기판(FPC)의 접속, 반도체 IC와 IC 탑재용 회로기판의 미세 접합 및 탭(TAB) 본딩 등에 널리 사용되고 있다.
이러한 이방성 도전 접착제는 미세 크기의 전도성 입자를 열경화성 열가소성 에폭시 수지 내에 분산 배치시켜 필름이나 페이스트 상태로 제작되는 것으로, 이방성 도전 필름의 상부에 커버 필름이 형성된 2층 구조를 갖거나, 반대측면에 절연 코팅막을 입혀 인접 범프나 리드 간에 발생될 수 있는 단락(short-circuit)을 방지할 수 있는 3층 구조를 갖는 것 등이 있다.
이렇게 이방성 도전 접착제는 수지재의 바인더 내부에 복수개의 전도성 입자들이 분산 배치되는 데, 이러한 전도성 입자들로는 초기에는 주로 카본 파이버(Carbon fiber)가 사용되었으며, 그 후 솔더 볼이 쓰였다가 니켈이나 은이 사용되었다. 그런데, 이렇게 전도성 입자로 니켈 금속 볼과 같이 단일의 금속 볼을 사용할 경우에는 가압 접착 시 칩의 범프나 기판의 패드부에 기계적 손상을 가할 수 있으며, 습기에 치명적이 되는 문제가 있었다.
이에 따라 최근에는 폴리머재로 심재를 형성하고, 그 위에 니켈이나 금 또는 니켈, 금의 혼합층으로 도금한 금속 코팅 폴리머가 사용되고 있고, 또 미세 피치의 접속을 위해 금속 도금층 위에 절연층을 다시 코팅한 전도성 입자도 사용되고 있다.
그러나, 이러한 전도성 입자는 칩의 범프와 패드간의 가압 높이가 적당할 경우에는 별 문제가 되지 않지만, 가압압력이 크거나, 범프의 가장자리에 단차가 진 영역이 존재할 경우에는 문제가 발생하게 된다. 곧, 본딩 압력이 너무 높을 경우에는 수지층 상에 배치되어 있는 전도성 입자의 표면 도금층이 깨지게 되고, 이에 따라 심재인 절연성 폴리머가 밖으로 노출되어 전기 전도도가 감소하게 되며, 심할 경우 전기적 접속이 이루어지지 않아 단선을 유발할 수 있게 된다.
또한, 도 1과 같이, 범프의 평탄도가 좋지 않을 경우에도 부분적인 압력차이에 의해 상기 전도성 입자가 제역할을 수행하지 못하게 된다. 일반적으로 칩(1)의 알루미늄 패드(2) 상에 형성된 범프(3)는 패드(2)의 주변부를 둘러싸며 형성되어 있는 보호막인 패시베이션층(4)으로 인해 그 주변부의 높이가 중심부의 높이보다 더 높은 경우가 종종 발생된다. 이러한 범프(3)의 상부로 반도체 기판(5)의 접속 패드(6)가 접속할 때에는 칩(1)의 범프(3)와 기판(5)의 패드(6) 사이에 놓인 전도성 입자(8a)(8b)들은 상기 범프(3)의 표면 형상에 영향을 받게 된다. 곧, 범프(3)의 높이가 상대적으로 높은 가장자리부에 배치된 전도성 입자들(8b)은 범프(3)의 높이가 상대적으로 낮은 중심부에 배치된 전도성 입자들(8a)에 비해 가압에 따른 접착시 상대적으로 높은 압력을 받게 되고, 이에 따라 가장자리부에 배치된 전도성 입자들(8b)의 표면 도금층은 보다 쉽게 깨지게 되며, 이 부분에서 전기적 통전이 이루어지지 않게 된다. 이에 따라 전체 전기 전도도는 떨어지게 되는 문제가 발생된다.
본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로, 압력이 높을 경우에도 전기적 전도특성을 일정하게 유지할 수 있는 이방성 도전 접착제를 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 전기적 접속이 이루어지는 패드에 단차가 존재해 부분적인 압력차이가 발생할 경우에도 통전 가능하도록 하여 접속 신뢰성을 향상시킬 수 있는 이방성 도전 접착제를 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 전도성 폴리머로 이루어진 심재와, 상기 심재의 외면을 감싸도록 형성된 적어도 하나 이상의 금속으로 이루어진 도금층으로 구비된 전도성 입자 및 상기 전도성 입자를 복수개 포함하는 수지재 의 바인더를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 이방성 도전 접착제를 제공한다.
본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 도금층은 니켈로 이루어진 제 1도금층을 포함하거나, 금으로 이루어진 제 2도금층을 포함하도록 할 수 있다.
본 발명은 또한 상기 목적을 달성하기 위하여, 금속으로 이루어진 심재와, 상기 심재의 외면을 감싸도록 형성된 절연 코팅층과, 상기 절연 코팅층의 외면을 감싸도록 형성된 적어도 하나 이상의 금속으로 이루어진 도금층으로 구비된 전도성 입자 및 상기 전도성 입자를 복수개 포함하는 수지재의 바인더를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 이방성 도전 접착제를 제공한다.
또한, 이 때, 상기 도금층은 니켈로 이루어진 제 1도금층을 포함하도록 하거나, 금으로 이루어진 제 2도금층을 포함하도록 할 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참고로 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 보다 상세히 설명한다.
본 발명에 따른 이방성 도전 접착제는 수지재로 이루어진 바인더 내에 전기적으로 접속시키고자 하는 전자기기들의 전극 패드들을 통전시키는 전도성 입자들을 복수개 포함시키는 구성으로 이루어진다. 이러한 이방성 도전 접착제는 전도성 입자들을 포함하는 수지재의 바인더를 테이프 형태로 제조할 수 있으며, 페이스트 상태로 제조할 수도 있다. 또한, 이렇게 테이프 형태로 만들어진 바인더의 일면에는 이형지인 커버 필름을 부착하여 제품화할 수 있으며, 커버 필름과 바인더의 사이에는 전도성 입자들이 채워지지 않은 접착층을 더 형성할 수 있다. 뿐만 아니라, 상기 커버 필름이 부착되지 않은 바인더의 타면에는 절연 코팅막을 형성하여 인접 범프나 리드 간에 일어날 수 있는 단락발생을 방지하도록 구성할 수 있다. 이 밖에도 본 발명에 따른 전도성 입자들은 이를 포함하는 어떠한 구조의 이방성 도전 접착제에도 적용이 가능하다.
본 발명에 따른 이방성 도전 접착제는 열경화성 수지 또는 열가소성 수지로 이루어진 수지재의 바인더 내에 도 2에서 볼 수 있는 바와 같은 전도성 입자(20)를 복수개 분산 배치시킨다. 이 전도성 입자(20)는 바인더 내에 대략 10체적% 전후로 배치시키는 것이 바람직하다. 전도성 입자(20)를 바인더 내에 너무 많이 배치시키게 되면 접합시키는 전자기기에 있어 다른 전극 패드와도 접합되어 단락이 일어날 수 있기 때문이다.
이렇게 바인더 내에 배치시키게 되는 전도성 입자로 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따르면, 전도성 폴리머로 심재(22)를 형성하고, 그 외부를 니켈(Ni)로 도금하여 제 1도금층(24)을 형성한다. 이 심재(22)를 형성하는 전도성 폴리머는 기존에 알려진 폴리아닐린(Polyaniline), 폴리피롤(Polypyrrole), 폴리사이오펜(Polythiophene) 및 이들 유도체(derivative) 중 하나 이상을 혼합하여 사용하는 것일 수 있다.
이 심재(22)의 외층을 구성하는 제 1도금층(24)인 니켈 도금층은 전도성 입자(20)에 소정의 경도를 부여하며, 아울러 이 전도성 입자(20)에 접합된 전자기기들의 패드 상호간의 전기전도도를 높일 수 있게 된다.
이렇게 심재(22)로 전도성 폴리머를 사용한 전도성 입자는 이 밖에도 다양한 구성으로 더 형성할 수 있는 데, 비록 도면으로 도시하지는 않았지만, 상기 제 1도금층 외에 금으로 제 2도금층을 더 형성할 수 있으며, 니켈의 제 1도금층 외에 금으로만 이루어진 제 2도금층만으로 금속 도금층을 형성할 수도 있다.
또한 이러한 전도성 입자는 상기 금속으로 이루어진 도금층 외층으로 별도의 절연 코팅층을 형성하여 미세 접합을 요하는 구조에서 타 입자와의 통전을 방지하여 단락의 위험을 방지하도록 할 수 있는 등 변형 가능한 어떠한 형태로도 사용될 수 있다.
상기와 같은 전도성 입자는 그 심재(22)가 전도성 폴리머이기 때문에 접합압력이 높을 경우에도 그 심재를 구성하는 폴리머의 탄성으로 인해 적정한 변형을 일으켜 전극 패드들에 손상을 주지 않으며, 높은 압력으로 인하여 외층을 구성하는 금속 도금층이 깨졌을 경우에도 심재만으로 통전이 가능하도록 함에 따라 통전 신뢰성을 더욱 향상시킬 수 있다.
상기와 같이 이방성 도전 접착제의 통전 신뢰성을 높여주기 위해, 본 발명의 바람직한 다른 일 실시예에 따르면, 수지재의 바인더 내에 분산 배치될 전도성 입자를 도 3에서 볼 수 있는 바와 같이 구성할 수 있다.
곧, 도 3a에서 볼 수 있듯이, 상기 바인더 내에 배치될 전도성 입자(30)를 금속으로 이루어진 심재(32)와, 상기 심재(32)의 외면을 감싸도록 형성된 절연 코팅층(34)과, 상기 절연 코팅층의 외면을 감싸도록 형성된 적어도 하나 이상의 금속으로 이루어진 도금층(36)으로 구비되도록 하는 것이다.
상기 심재(32)를 형성하게 될 금속은 금, 은, 철, 구리, 니켈, 주석, 카드 늄, 비스무스, 알루미늄, 인듐, 팔라듐, 납, 아연 및 이들의 다양한 합금 등 경도에 무관하게 접속시키게 될 전자기기의 특성에 따라 다양하게 선택이 가능하다. 예컨대, 니켈과 같이 경도가 높은 금속을 심재(32)로 사용할 경우에는 접속시키게 될 패드들 간에 기계적 본딩특성을 향상시킬 수 있으며, 주석 및 그 합금과 같이 경도가 비교적 낮은 금속을 심재(32)로 사용할 경우에는 접속될 전자기기들의 패드의 손상을 최소화할 수 있다. 또한, 이 때에는 범프의 금층과 리드의 주석층과의 확산을 통해 물리적본딩이 가능하게 되므로 더욱 통전신뢰성을 향상시킬 수 있게 된다.
이렇게 심재(32)로 금속을 사용하고, 그 외면을 절연 코팅한 다음 다시 금속으로 도금층(36)을 형성하는 데, 이 최외곽에 형성될 금속 도금층(36)은 니켈, 금, 알루미늄, 팔라듐, 인듐 등 산화에 강한 금속을 사용할 수 있다. 심재(32)와 금속 도금층(36)의 사이에 형성되는 절연코팅층(34)은 강한 압력에 따라 상기 전도성입자(30)가 눌릴 때에 어느 정도 타원형으로 변형이 가능하도록 완충역할을 하게 된다.
또한 이러한 금속 도금층은 도 3b에서 볼 수 있듯이, 니켈의 제 1도금층(36a) 외층에 다시 금으로 제 2도금층(36b)을 형성한 이층구조가 될 수 있으며, 그 밖에도 다양하게 변형이 가능하다.
이렇게 금속으로 이루어진 심재(32)를 사용한 전도성 입자(30)를 포함하는 이방성 도전 접착제는 높은 압력에 따라 표면의 금속 도금층이 깨질 경우에도 하지의 심재(32)가 전도성을 띠는 금속이므로 이 심재에 의해서도 통전이 가능하게 되어 통전 신뢰성을 향상시킬 수 있게 된다.
이러한 본 발명의 바람직한 실시예들에 따른 이방성 도전 접착제의 기능 및 작용을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 4a 내지 도 4c는 전극 패드(52)가 형성된 기판(51) 상에 범프(56)가 형성된 반도체 칩(53)을 이방성 도전 접착제(40)를 이용해 접합시키는 과정을 나타내는 그림이다.
우선, 도 4a에서 볼 수 있는 바와 같이, 소정의 패턴으로 전극 패드(52)가 형성되어 있는 기판(51)에 본 발명에 따른 이방성 도전 접착제(40), 즉, 수지재의 바인더(42) 내에 도 2 내지 도 3b에서 살펴본 바와 같은 전도성 입자(20)(30)들을 분산 배치시킨 이방성 도전 접착제(40)를 가압착시킨다. 전술한 바와 같이, 상기 이방성 도전 접착제(40)는 도 4a와 같은 테이프형상의 접착제를 사용할 수도 있으며, 페이스트 형태의 접착제를 기판(51)에 도포할 수도 있다. 또한, 전도성 입자들도 도 2를 참조로 설명된 실시예의 전도성 입자와 도 3a 및 도 3b를 참조로 설명된 실시예의 전도성 입자들이 혼합되어 배치될 수 있다.
다음으로, 도 4b에서 볼 수 있듯이, 압착설비(60)에 의해 흡착되어 이송된 반도체 칩(53)이 상기 기판(51)에 접착되어 있는 이방성 도전 접착제(40) 위로부터 압착된다. 이 때 상기 이방성 도전 접착제(40)에는 소정의 열이 가해져 접착이 이루어지도록 할 수 있다.
상기 반도체 칩(53)은 그 상면에 알루미늄으로 만들어진 복수개의 본딩 패드(54)가 구비되어 있으며, 이 본딩 패드(54)의 가장자리부분으로는 패드(54)를 보호하기 위하여 패드의 중앙부가 노출되도록 페시베이션막(55)이 형성될 수 있다. 그리고 본딩 패드(54)의 상부로는 범프(56)가 형성되어 있다.
상기와 같은 반도체 칩(53)과 기판(51)은 그 사이에 개재된 이방성 도전 접착제(40)에 의해 접착되는 데, 소정의 압력이 가해짐에 따라 도 4c에서 볼 수 있듯이, 기판(51)의 전극 패드(52)와 반도체 칩(53)의 범프(56) 사이에서 전도성 입자들(20)(30)이 배치되어 상기 패드(52)와 범프(56)를 통전시키게 된다.
이렇게 본 발명에 따른 전도성 입자들을 포함하는 이방성 도전 접착제를 사용하여 전자기기들의 전극패드들을 접속시킬 경우에는 그 표면의 불균일로 인해 부분적인 압력차가 발생할 경우에도 통전이 가능하게 된다.
도 5은 이렇게 본 발명에 따른 이방성 도전 접착제를 사용하여 접속시켰을 경우에 범프의 표면의 불균일로 인하여 부분적인 압력차가 발생한 경우의 접속 상태를 나타낸 도면이다. 도 5에는 설명의 편의를 위해 바인더 내에 도 2를 참조로 설명한 실시예의 전도성 입자(20)들과 도 3a 및 도 3b를 참조로 설명한 실시예의 전도성 입자(30)들이 포함된 구조를 나타내었다.
도 5에서 중심부(56a)보다 높이가 높게 형성된 범프(56)의 가장자리부(56b)는 중심부보다 압력이 높게 걸리게 된다. 따라서, 이 부분에 배치되는 전도성 입자들은 그 표면의 도금층이 깨지게 되는 데, 이럴 경우에도 그 중심에 위치된 심재(22)(32)들에 의해 범프(56)와 패드(52)는 통전이 가능하게 되어 전체적인 통전 신뢰성을 향상시킬 수 있게 된다.
상술한 바와 같은 본 발명에 따른 이방성 도전 접착제에 따르면, 다음과 같 은 효과를 얻을 수 있다.
첫째, 미세한 접합을 요하는 전자기기들의 접합에 있어 심재까지 도전성을 갖는 전도성 입자를 사용하여 통전이 가능하도록 하기 때문에 접합 압력이 높아 표면의 금속 도금층이 깨질 경우에도 통전될 수 있다.
둘째, 범프나 기타 접합되는 면의 불균일도의 영향을 비교적 덜 받게 되며, 이에 따라 전체적인 통전 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
셋째, 기존의 제조 공정을 그대로 사용할 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있다.
본 발명은 첨부된 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명한 것이나, 당해 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자들에게는 다양한 변형 및 다른 실시예가 가능하다는 점이 이해될 것이다. 따라서 본원 발명의 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서 정해질 것이다.

Claims (6)

  1. 전도성 폴리머로 이루어진 심재와, 상기 심재의 외면을 감싸도록 형성된 적어도 하나 이상의 금속으로 이루어진 도금층으로 구비된 전도성 입자; 및
    상기 전도성 입자를 복수개 포함하는 수지재의 바인더;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 이방성 도전 접착제.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 도금층은 니켈로 이루어진 제 1도금층을 포함하는 것을 특징으로 하는 이방성 도전 접착제.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 도금층은 금으로 이루어진 제 2도금층을 포함하는 것을 특징으로 하는 이방성 도전 접착제.
  4. 금속으로 이루어진 심재와, 상기 심재의 외면을 감싸도록 형성된 절연 코팅층과, 상기 절연 코팅층의 외면을 감싸도록 형성된 적어도 하나 이상의 금속으로 이루어진 도금층으로 구비된 전도성 입자; 및
    상기 전도성 입자를 복수개 포함하는 수지재의 바인더;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 이방성 도전 접착제.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 도금층은 니켈로 이루어진 제 1도금층을 포함하는 것을 특징으로 하는 이방성 도전 접착제.
  6. 제 4항 또는 제 5항에 있어서,
    상기 도금층은 금으로 이루어진 제 2도금층을 포함하는 것을 특징으로 하는 이방성 도전 접착제.
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