KR100828067B1 - 선형보정 마이크로 압력센서 - Google Patents
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Abstract
Description
상기 기준체(8)는 복수개의 저항체(7)를 상호간 전기적으로 연결시키기 위한 도선의 역활을 하는 것이다.
Claims (4)
- 유연성을 갖는 다이어프램(5)과;상기 다이어프램(5)의 양단을 지지하며, 상기 다이어프램(5) 상부로 개구된 공간인 상부챔버(3)를 형성하는 하단웨이퍼(2)와;상기 상부챔버(3)를 밀폐하도록 상기 하단웨이퍼(2)의 상면에 결합되는 상단웨이퍼(1)와;상기 다이어프램(5)의 상면에 증착되는 금속박막(6)과;상기 상단웨이퍼(1)의 하단면 중앙부에 고착되어 도선의 역활을 하는 기준체(8)와;상기 기준체(8)로 갈수록 단면적이 커지도록 길이방향으로 만곡지게 형성되되, 상기 기준체(8)를 기준으로 양측이 대향되며 상기 상단웨이퍼(1) 하단면에 고착되고, 상기 기준체(8)에 의해 상호간 전기적으로 연결되는 다수개의 저항체(7)와;상기 기준체(8) 및 저항체(7)의 일측에 형성되는 다수개의 전극(9)과;상기 전극(9)을 전기적으로 연결하는 리드선(20)으로 구성되는 전원부(21);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 선형보정 마이크로 압력센서.
- 제 1항에 있어서,상기 저항체(7)는 ITO 소재인 것을 특징으로 하는 선형보정 마이크로 압력센서.
- 제 1항에 있어서,상기 상단웨이퍼(1)는 파이렉스 글래스 소재인 것을 특징으로 하는 선형보정 마이크로 압력센서.
- 제 1항에 있어서,상기 저항체(7)는 길이방향으로 단면적이 점차 커지거나 작아지는 만곡도를 조절하여, 상기 저항체(7)의 길이방향 각 구간별 저항값이 조절되도록 함으로써, 압력에 비례하여 출력전류값의 선형화를 이루는 것을 특징으로 하는 선형보정 마이크로 압력센서.
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KR1020060027537A KR100828067B1 (ko) | 2006-03-27 | 2006-03-27 | 선형보정 마이크로 압력센서 |
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- 2006-03-27 KR KR1020060027537A patent/KR100828067B1/ko active IP Right Grant
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