KR100827432B1 - Spherical micro silicone particles and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평균 입자 직경이 0.01 내지 15 ㎛인 구형 마이크로 실리콘 입자와 그 제조방법에 관한 것으로서, 오가노트리알콕시실란에 오가노디실라잔을 적당량 혼합하고 여기에 물을 가하여 수화반응 및 축합반응을 통하여 제조되며, 오가노디실라잔은 물에 수화되어 촉매를 자동으로 생성하고 오가노트리알콕시실란과 축합반응하여 구형 마이크로 실리콘 입자를 형성하게 되며, 이와 같은 간단하고 경제적인 방법으로 수율이 좋고 품질이 좋은 구형 마이크로 실리콘 입자를 제공할 수 있다. The present invention relates to spherical microsilicon particles having an average particle diameter of 0.01 to 15 μm and a method for manufacturing the same, by mixing an appropriate amount of organodisilazane in an organotrialkoxysilane and adding water thereto, through a hydration reaction and a condensation reaction. Organodisilazane is hydrated in water to automatically generate a catalyst and condensation reaction with organotrialkoxysilane to form spherical microsilicon particles. Spherical micro silicon particles can be provided.

구형 마이크로 실리콘, 오가노트리알콕시실란, 오가노디실라잔, 축합중합, 알킬그룹, 축합반응 Spherical Micro Silicon, Organotrialkoxysilane, Organodisilazane, Condensation Polymerization, Alkyl Group, Condensation Reaction

Description

구형 마이크로 실리콘 입자 및 그 제조방법{SPHERICAL MICRO SILICONE PARTICLES AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}Spherical Micro Silicon Particles and Manufacturing Method Thereof {SPHERICAL MICRO SILICONE PARTICLES AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}

본 발명은 구형 마이크로 실리콘 입자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 오가노트리알콕시실란에 오가노디실라잔을 혼합하고, 여기에 물을 가하여 수화반응 및 축합반응을 통하여 제조되는 구형 마이크로 실리콘 입자 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to spherical microsilicon particles and a method for manufacturing the same, and more particularly, to spherical microsilicon prepared by mixing organodisilazane with organotrialkoxysilane and adding water thereto to hydrate and condense It relates to particles and a method for producing the same.

구형 마이크로 실리콘 입자는 페인트, 플라스틱, 고무, 종이 등의 충전제 또는 윤활 개선제로서 많이 사용되고, 광학 액정 디스플레이에 광산란 작용을 부여하는 데 사용되는 첨가제로서도 유용하게 사용되고 있다.Spherical microsilicon particles are widely used as fillers or lubrication improvers for paints, plastics, rubber, paper, and the like, and are also usefully used as additives used to impart light scattering to optical liquid crystal displays.

구형 마이크로 실리콘 입자를 제조하는 방법은 메틸트리클로로실란을 분무 수 중에서 가수분해시켜 고체 상태의 실리콘 입자를 형성하는 방법이 벨기에 특허 제572412호에 개시되어 있다.A process for producing spherical micro silicon particles is disclosed in Belgian Patent No. 572412 by hydrolyzing methyltrichlorosilane in sprayed water to form solid silicon particles.

그러나, 이 방법은 다량의 염화수소가 발생하며, 미반응된 메틸트리클로로실란이 잔류하여 장치의 부식문제와 사용상 위험이 따른다. 이런 부식문제를 해결한 방법이 오가노트리알록시실란을 산성촉매로 사용하여 수화반응을 진행한 후, 알칼 리 촉매를 사용하여 축합중합을 하는 2단계 반응으로 1985년 도시바 실리콘에 의해 개발되었다.(미국특허 제4,528,390호)However, this method generates a large amount of hydrogen chloride, and unreacted methyltrichlorosilane remains, which leads to corrosion problems and dangers of use of the device. A solution to this corrosion problem was developed by Toshiba Silicon in 1985 as a two-stage reaction in which a condensation polymerization was carried out using an alkaline catalyst followed by a hydration reaction using an organotrialoxysilane as an acid catalyst. U.S. Patent No. 4,528,390)

이후 도시바 실리콘은 오가노트리알록시실란에 4급 암모늄염(대한민국 공개특허공보 특1989-0016073호), 오가노디알콕시실란(대한민국 공개특허공보 특1990-0001805호), 오가노테트라알콕시실란(대한민국 공개특허공보 특2001-0074514호) 등을 첨가하여 구형 실리콘 입자를 제조하는 다양한 방법을 개발하였다.Since Toshiba silicone is a quaternary ammonium salt in organotrialoxysilane (Korean Patent Laid-Open Publication No. 1989-0016073), organoalkoxysilane (Korean Patent Laid-Open Publication No. 1990-0001805), organo tetraalkoxysilane (Republic of Korea Patent Publication) Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-0074514) has been developed to develop various methods for producing spherical silicon particles.

상기 특허들은 모두 산 촉매에 의한 오가노알콕시실란의 수화반응을 거친 후 알칼리 촉매를 투입하여 축합중합을 진행하는 2단계 반응으로 진행하여 반응시간이 길며, 공정이 복잡하다는 단점이 있다. 따라서, 이와 같은 기술들은 복잡한 제조공정을 거쳐야 하므로 생산효율이 떨어지고 경제성이 나빠진다는 단점이 있다.All of the above patents have a disadvantage in that the reaction time is long and the process is complicated by proceeding to a two-stage reaction in which condensation polymerization is performed by adding an alkali catalyst after the hydration reaction of the organoalkoxysilane by an acid catalyst. Therefore, these technologies have a disadvantage in that the production efficiency is lowered and the economic efficiency is deteriorated because they have to go through a complicated manufacturing process.

본 발명자는 상기 복잡한 반응공정을 경제성이 우수한 방법으로 단순화하기 위해 연구 노력한 결과, 오가노디실라잔이 반응의 원재료 및 자체 수화 반응 촉매로 사용된다는 것을 확인하였다.The present inventors have made efforts to simplify the complex reaction process in an economical manner, and have confirmed that organodisilazane is used as a raw material and a self-hydration catalyst for the reaction.

이와 같이 본 발명은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 오가노트리알콕시실란과 오가노디실라잔을 수용액 상에서 자동 수화 및 축합반응을 통하여 구형 마이크로 실리콘 입자를 제조하여, 간단하고 단순한 방법을 통하여 경제적으로 수율이 좋고 품질이 좋은 구형 마이크로 입자를 제공하는 것을 목적으로 한다.As described above, the present invention has been made to solve the problems of the prior art, and prepared spherical microsilicon particles through automatic hydration and condensation reaction of an organotrialkoxysilane and organodisilazane in an aqueous solution, thereby providing a simple and simple method. It is aimed to provide spherical microparticles with good yield and good quality economically.

상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 구형 마이크로 실리콘 입자는 화학식 1의 오가노트리알콕시실란과 화학식 2의 오가노디실라잔의 축합반응에 의해 제조된 것을 특징으로 한다.In order to achieve the object as described above, the spherical microsilicon particles according to the present invention is characterized by being produced by the condensation reaction of the organotrialkoxysilane of the formula (1) and the organo disilazane of the formula (2).

화학식 1: R1Si(X)3 Formula 1: R 1 Si (X) 3

화학식 2: R1R2 2SiNHSiR2 2R1 Formula 2: R 1 R 2 2 SiNHSiR 2 2 R 1

상기 화학식에서, R1은 탄소수 1 내지 8의 알킬그룹, 탄소수 2 내지 8의 알케닐그룹, 페닐그룹 중 어느 하나이거나 또는 이들의 혼합물이고, R2는 탄소수 1 내지 8의 알킬그룹이며, X는 동일하거나 상이한 가수분해 가능한 그룹이다.In the above formula, R 1 is an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 8 carbon atoms, a phenyl group or a mixture thereof, R 2 is an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, X is Same or different hydrolyzable groups.

또한, 본 발명에 따른 구형 마이크로 실리콘 입자의 제조방법은 상기 화학식 1의 오가노트리알콕시실란 1 mol에 대하여 화학식 2의 오가노디실라잔 0.01 ~ 0.1 mol을 혼합하고, 여기에 혼합 실란 1 mol 당 20 ~ 150 mol의 물을 가하여 수화반응 및 축합반응을 통하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, the method for producing spherical microsilicon particles according to the present invention is mixed with 0.01 to 0.1 mol of organodisilazane of the formula (2) to 1 mol of the organotrialkoxysilane of the formula (1), and 20 per mol of the mixed silane It is characterized by consisting of a hydration reaction and a condensation reaction by adding ~ 150 mol of water.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 본 발명에 따른 구형 마이크로 실리콘 입자 및 그 제조방법을 상세히 설명한다.Hereinafter, according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail the spherical microsilicon particles according to the present invention and a manufacturing method thereof.

본 발명은 오가노트리알콕시실란과 오가노디실라잔을 다른 별도의 촉매를 사용하지 않고 물과 함께 반응시켜 간단한 방법을 통하여 수율이 좋고 균일한 입도를 갖는 고품질의 구형 마이크로 실리콘 입자를 제조하는 것이 특징이다. The present invention is characterized in that the organotrialkoxysilane and organodisilazane are reacted with water without using a separate catalyst to prepare high-quality spherical microsilicon particles having good yield and uniform particle size through a simple method. to be.

본 발명에서 사용하는 오가노트리알콕시실란은 하기 화학식 1에 나타낸 바와 같이 구성된다.The organotrialkoxysilane used by this invention is comprised as shown by following General formula (1).

R1Si(X)3 R 1 Si (X) 3

상기 화학식 1에서 R1을 나타내는 오가노기는 탄소수 1 내지 8의 알킬그룹, 탄소수 2 내지 8의 알케닐그룹 및 페닐그룹이 포함된다. 이들은 단독으로 사용되거나 또는 이들을 혼합하여 사용하는 것도 가능하다.Ogaki represents the R 1 group in formula (I) include the alkenyl groups and phenyl groups having 1 to 8 alkyl group, having 2 to 8. These may be used alone or in combination of them.

상기 화학식 1에서 X는 동일하거나 상이한 가수분해 가능한 그룹이다. X의 예로서는 알콕시기로서 메톡시, 에톡시, 프로폭시, 및 2-프로폭시기를 포함하며, 이들은 단독으로 사용하거나 또는 이들을 혼합하여 사용하는 것도 가능하다. 높은 가수분해 속도와 경제성 등을 고려할 때 메톡시기를 사용하는 것이 바람직하다.In Formula 1, X is the same or different hydrolyzable group. Examples of X include methoxy, ethoxy, propoxy, and 2-propoxy groups as the alkoxy group, and these may be used alone or in combination thereof. It is preferable to use a methoxy group in consideration of high hydrolysis rate and economic efficiency.

한편, 오가노디실라잔의 구조는 하기의 화학식 2에 나타낸 것과 같다.On the other hand, the structure of the organo disilazane is as shown in the following formula (2).

R1R2 2SiNHSiR2 2R1 R 1 R 2 2 SiNHSiR 2 2 R 1

R1은 탄소수 1 내지 8의 알킬그룹, 탄소수 2 내지 8의 알케닐그룹 및 페닐그룹이 포함되며, 이들 화합물은 단독으로 사용하거나 또는 혼합하여 사용하는 것도 가능하다.R 1 includes an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 8 carbon atoms, and a phenyl group, and these compounds may be used alone or in combination.

또한, R2는 탄소수 1 내지 8의 알킬그룹이다.R 2 is an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms.

본 발명에 따른 구형 마이크로 실리콘 입자의 제조방법은 오가노트리알콕시 실란과 오가노디실라잔을 물과 함께 혼합한 후에 수화반응을 통한 축합중합을 거쳐 얻어진다.The method for producing spherical microsilicon particles according to the present invention is obtained through condensation polymerization through hydration reaction of organotrialkoxy silane and organodisilazane together with water.

오가노디실리잔은 물에 수화되어 알칼리 촉매를 자동으로 생성하고, 이 알칼리 촉매에 의하여 오가노트리알콕시실란과 축합반응하여 구형 마이크로 실리콘 입자를 형성하게 된다.The organodidisilizane is hydrated in water to automatically generate an alkali catalyst, which is condensed with the organotrialkoxysilane to form spherical microsilicon particles.

이때 사용되는 오가노디실라잔은 수화 후에 알칼리성 촉매가 생성되므로 그 투입량에 따라 반응속도 및 입자크기에 영향을 미치게 된다. 본 발명에서 오가노디실라잔의 적절한 사용량은 오가노트리알콕시실란 1 mol에 대하여 0.01 ~ 0.1 mol를 사용하는 것이 바람직하다.In this case, since the organodisilazane is used to generate an alkaline catalyst after hydration, the reaction rate and particle size may be influenced by the amount of the organodisilazane. In the present invention, the appropriate amount of organodisilazane is preferably 0.01 to 0.1 mol based on 1 mol of organotrialkoxysilane.

오가노디실라잔을 0.01 mol 이하를 혼합할 경우에는 수화 및 축합중합 반응 속도가 느려지고 10㎛ 이상의 큰 입자가 형성이 되며, 0.1 mol 이상을 혼합할 경우에는 반응속도는 빨라지나 입자가 너무 작아지며 반응이 불균일하게 진행되어 구형이 아닌 입자가 많아지게 된다. When organodisilazane is mixed in an amount of 0.01 mol or less, the reaction rate of hydration and condensation polymerization is slowed down, and large particles of 10 μm or more are formed.In case of mixing 0.1 mol or more, the reaction rate is faster, but the particles become too small and react. This nonuniformity leads to a large number of non-spherical particles.

따라서, 본 발명에서 오가노트리알콕시실란과 오가노디실라잔의 혼합비율은 오가노트리알콕시실란 1 mol에 대하여 오가노디실라잔 0.01 ~ 0.1 mol를 혼합 사용하는 것이 바람직하다.Therefore, in the present invention, the mixing ratio of the organotrialkoxysilane and organodisilazane is preferably mixed with 0.01 to 0.1 mol of organodisilazane with respect to 1 mol of the organotrialkoxysilane.

또한, 오가노트리알콕시실란과 오가노디실라잔을 혼합한 혼합 실란 1 mol 당 가하는 물의 양은 20 ~ 150 mol이 바람직한데, 물을 150 mol 이상 가할 경우 축합반응이 적절하게 진행되지 않고, 20 mol 이하 가할 경우에는 축합반응을 조절하기가 어려워져 수득되는 실리콘 입자의 평균 입자 크기를 원하는 크기로 조절하기가 어렵다.In addition, the amount of water added per mol of the mixed silane mixed with organotrialkoxysilane and organodisilazane is preferably 20 to 150 mol. If 150 mol or more of water is added, the condensation reaction does not proceed properly and 20 mol or less. When added, it is difficult to control the condensation reaction, making it difficult to control the average particle size of the obtained silicon particles to the desired size.

따라서, 본 발명에서 혼합 실란에 가하는 물의 양은 바람직하게는 혼합 실란 1 mol 당 20 내지 150mol로 하는 것이 바람직하다.Therefore, the amount of water added to the mixed silane in the present invention is preferably 20 to 150 mol per mol of the mixed silane.

상기 오가노디실라잔은 수화반응 후 알칼리성 촉매를 생성함과 동시에 오가노하이드록시실란을 생성하여 오가노트리알콕시실란과 함께 반응하여 구형 마이크로 실리콘 입자를 형성하는데 참여하게 되며, 다른 별도의 촉매제가 필요없게 되므로 기존의 방법들에 비해 제조공정이 훨씬 단순화되고, 경제성이 높아진다.The organodisilazane generates an alkaline catalyst after the hydration reaction and at the same time generates an organohydroxysilane and reacts with the organotrialkoxysilane to form spherical microsilicon particles, and requires a separate catalyst. This makes the manufacturing process much simpler and more economical than conventional methods.

실시예 1Example 1

메틸트리메톡시실란 12 중량%와 순수한 물 87.7 중량%를 500㎖의 3구 플라스틱에 넣은 후 핵사메틸디실라잔 0.3 중량%를 투입한 후 내용물이 유백색으로 바뀔 때까지 교반시킨 후 4시간 동안 정치하여 수화반응 및 축합반응을 진행하였다. 반응기 내부온도는 초기 25℃에서 수화 및 축합반응이 진행되면서 약 35℃까지 상승하였다. 이때 내용물이 유백색으로 바뀌는 시간은 헥사메틸디실라잔 투입 후에 약 20분 정도가 소요되었으며, 반응이 진행됨에 따라 반응생성물은 점차적으로 하부층으로 침강하고 상층부는 투명하게 변하였다.12% by weight of methyltrimethoxysilane and 87.7% by weight of pure water were added to a 500 ml three-necked plastic, followed by 0.3% by weight of nuxamethyldisilazane, and stirred until the contents turned milky. Hydration reaction and condensation reaction were carried out. The reactor internal temperature rose to about 35 ° C. as the hydration and condensation reaction proceeded at the initial 25 ° C. At this time, the time to change the contents to milky white was about 20 minutes after the addition of hexamethyldisilazane. As the reaction proceeded, the reaction product gradually settled to the lower layer and the upper layer became transparent.

4시간 동안 정치 반응을 진행한 후 진공 여과를 통해 케이크 상태로 반응물을 수득하였으며, 수득된 케이크를 200 ℃에서 12시간 동안 건조시켜 구형 실리콘 입자를 얻었다.After the reaction was performed for 4 hours, the reaction product was obtained in a cake state through vacuum filtration, and the obtained cake was dried at 200 ° C. for 12 hours to obtain spherical silicon particles.

제조 수율은 총 투입량 대비 5.3%로 나타났으며, 수득된 마이크로 실리콘 입자를 전자현미경으로 분석한 결과 입자의 진원도(roundness)는 0.97이고, 평균 입 자크기는 7.3㎛이었다.The production yield was 5.3% of the total dose. The obtained microsilicon particles were analyzed by electron microscopy, and the roundness of the particles was 0.97, and the average particle size was 7.3 μm.

실시예 2 내지 4Examples 2-4

실시예 1과 동일한 방법으로 시행하되, 헥사메틸디실라잔의 투입량을 변화시키면서 얻어진 여러 가지 예의 결과를 다음 표 1에 기재하였다.In the same manner as in Example 1, but the results of various examples obtained while varying the amount of hexamethyldisilazane input is shown in Table 1 below.

헥사메틸디실라잔 투입량(%)Hexamethyldisilazane input (%) 수화반응 시간(분)Hydration reaction time (minutes) 수율(%)yield(%) 평균 입자크기(㎛)Average particle size (㎛) 진원도Roundness 실시예 1Example 1 0.30.3 2020 5.35.3 7.37.3 0.970.97 실시예 2Example 2 0.10.1 2525 5.15.1 9.09.0 0.950.95 실시예 3Example 3 0.050.05 4040 4.84.8 10.110.1 0.980.98 실시예 4Example 4 0.030.03 6060 4.94.9 10.810.8 0.970.97

표 1에 기재된 바와 같이 헥사메틸디실라잔의 투입량이 감소할 때마다 제조되는 실리콘 입자의 직경이 점차 커지는 것이 확인되었으며, 수화반응 속도는 점차 느려진다는 것을 알 수 있다. 또한, 수율 및 진원도 또한 매우 우수하다는 것을 알 수 있다. 상표 표 1에서 보는 바와 같이, 구형 마이크로 실리콘 입자의 평균 입자 직경은 필요에 따라 헥사메틸디실라잔의 첨가량을 변화시킴으로써 조절할 수 있다.As shown in Table 1, it was confirmed that the diameter of the silicon particles produced gradually increased each time the amount of hexamethyldisilazane input decreased, and the hydration reaction rate gradually decreased. It can also be seen that the yield and roundness are also very good. As shown in Table 1, the average particle diameter of the spherical microsilicon particles can be adjusted by changing the amount of hexamethyldisilazane added as needed.

본 발명에 따르면 오가노트리알콕시실란과 오가노디실라잔의을 혼합하고 여기에 물을 가하여 축합중합시킴으로써 간단한 방법을 통하여 수율을 감소시키지 않고 품질이 좋은 구형 실리콘 미립자를 제공할 수 있다는 효과가 있다.According to the present invention, the organotrialkoxysilane and organodisilazane may be mixed with water, and condensation polymerization of water may be used to provide spherical silicon fine particles having a high quality without reducing the yield through a simple method.

또한, 본 발명은 오가노트리알콕시실란과 오가노디실라잔을 수용액 상에서 자동 수화 및 축합반응을 통하여 구형 마이크로 실리콘 입자를 제조하므로 제조공정이 단순화되고 경제적으로 고품질의 구형 마이크로 입자를 제공할 수 있다는 효 과가 있다.In addition, the present invention is to manufacture the spherical microsilicon particles through the automatic hydration and condensation reaction of the organotrialkoxysilane and organo disilazane in an aqueous solution to simplify the manufacturing process and to provide high quality spherical microparticles economically. There is.

상술한 바와 같이, 본 발명은 오가노트리알콕시실란에 대하여 오가노디실라잔을 적당량 혼합하고 여기에 물을 가하여 수화반응 및 축합반응을 통하여 이루어지는 구형 마이크로 실리콘 입자의 제조방법에 관한 것으로, 상술한 상세한 설명에 기재된 것에만 한정되지는 않고 당업자로서는 본 발명의 사상 및 범주를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변경 및 변형이 가능할 것이다.As described above, the present invention relates to a method for producing spherical microsilicon particles formed by hydration reaction and condensation reaction by mixing an appropriate amount of organodisilazane with an organotrialkoxysilane and adding water thereto. Various modifications and variations will be possible to those skilled in the art without departing from the spirit and scope of the present invention.

Claims (3)

화학식 1의 오가노트리알콕시실란과 화학식 2의 오가노디실라잔의 축합반응에 의해 제조된 것을 특징으로 하는 구형 마이크로 실리콘 입자.A spherical microsilicon particle produced by the condensation reaction of an organotrialkoxysilane of Formula 1 with an organodisilazane of Formula 2. 화학식 1: R1Si(X)3 Formula 1: R 1 Si (X) 3 화학식 2: R1R2 2SiNHSiR2 2R1 Formula 2: R 1 R 2 2 SiNHSiR 2 2 R 1 상기 화학식 1에서, R1은 탄소수 1 내지 8의 알킬그룹, 탄소수 2 내지 8의 알케닐그룹, 페닐그룹 중 어느 하나이거나 또는 이들의 혼합물이고, X는 탄소수 1 내지 3의 알콕시기이며, 화학식 2에서 R1, R2는 메틸기임.In Formula 1, R 1 is any one or a mixture of alkyl groups of 1 to 8 carbon atoms, alkenyl group of 2 to 8 carbon atoms, phenyl group, X is an alkoxy group of 1 to 3 carbon atoms, and In which R 1 and R 2 are methyl groups. 화학식 1의 오가노트리알콕시실란 1 mol에 대하여 화학식 2의 오가노디실라잔 0.01 ~ 0.1 mol을 혼합하고, 혼합 실란 1 mol 당 20 ~ 150 mol의 물을 가하여 교반하고 일정 시간 동안 정치시켜 수화반응 및 축합반응을 통하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 구형 마이크로 실리콘 입자의 제조방법.0.01 to 0.1 mol of organodisilazane of Formula 2 is mixed with 1 mol of organotrialkoxysilane of Formula 1, 20 to 150 mol of water is added per 1 mol of mixed silane, stirred, and allowed to stand for a period of time for hydration reaction and Method for producing spherical microsilicon particles, characterized in that made through a condensation reaction. 화학식 1: R1Si(X)3 Formula 1: R 1 Si (X) 3 화학식 2: R1R2 2SiNHSiR2 2R1 Formula 2: R 1 R 2 2 SiNHSiR 2 2 R 1 상기 화학식 1에서, R1은 탄소수 1 내지 8의 알킬그룹, 탄소수 2 내지 8의 알케닐그룹, 페닐그룹 중 어느 하나이거나 또는 이들의 혼합물이고, X는 탄소수 1 내지 3의 알콕시기이며, 화학식 2에서 R1, R2는 메틸기임.In Formula 1, R 1 is any one or a mixture of alkyl groups of 1 to 8 carbon atoms, alkenyl group of 2 to 8 carbon atoms, phenyl group, X is an alkoxy group of 1 to 3 carbon atoms, and In which R 1 and R 2 are methyl groups. 제2항에 있어서, 상기 오가노트리알콕시실란은 메틸트리메톡시실란이고, 오가노디실라잔은 핵사메틸디실라잔인 것을 특징으로 하는 구형 마이크로 실리콘 입자의 제조방법.The method for producing spherical microsilicon particles according to claim 2, wherein the organotrialkoxysilane is methyltrimethoxysilane and the organodisilazane is nucleated methyldisilazane.
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