KR100819863B1

KR100819863B1 - 유량측정장치

Info

Publication number: KR100819863B1
Application number: KR1020010053928A
Authority: KR
Inventors: 구창권
Original assignee: 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date: 2001-09-03
Filing date: 2001-09-03
Publication date: 2008-04-07
Also published as: KR20030020192A

Abstract

본 발명은 두 개 이상의 관을 통하여 주기적으로 일정한 양이 흐르는 유체의 유량 및 주기의 이상 유무를 측정하는 유량측정장치로서, 상기 두 개 이상의 관에 각각 장착되어, 상기 관에 흐르는 유체의 실제 흐름유무 및 실제 유량을 감지하는 다수의 감지부와; 상기 다수의 감지부와 각각 연결되어, 상기 감지부가 감지하는 유체의 실제 흐름주기를 측정하는 다수의 타이머와; 상기 두 개 이상의 관을 통하여 흘러야 하는 유체의 기준 흐름주기 및 기준 유량을 각각 기억한 상태에서, 이를 상기 각각의 감지부 및 타이머를 통하여 감지된 유체의 실제 흐름주기 및 실제 유량과 비교하여 일치 또는 불일치 여부를 판단하는 제어부와; 상기 제어부에서 불일치를 감지하였을 때 이를 표시하는 표시부를 포함하는 유량측정장치를 제공한다.

Description

유량측정장치{flow meter}

도 1은 일반적인 이비알 장치의 구조를 간략히 도시한 구조도

도 2는 본 발명에 따른 유량측정장치를 블록으로 도시한 블록도

도 3a는 본 발명에 따른 유량측정장치가 적용되는 이비알 장비의 유입관의 일부 및 여기에 장착되는 감지부를 도시한 평면도

도 3b는 본 발명에 따른 유량측정장치가 적용되는 이비알 장치의 유입관의 일부를 도시한 정면도

도 4a는 본 발명에 따른 유량측정장치의 제어부에 입력되는 유체의 기준 흐름주기 및 기준유량의 일례를 도시한 그래프

도 4b는 본 발명에 따른 유량측정장치의 감지부 및 타이머를 통해 측정되는 유체의 실제 흐름주기 및 실제유량의 일례를 도시한 그래프

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

30 : 분배부 32a, 32b : 제 1 및 제 2 유입관

100 : 유량측정장치 102a, 102b : 제 1 및 제 2감지부

104a, 104b : 제 1 및 제 2타이머

106 : 제어부 108 : 표시부

본 발명은 유량 측정장치(flow meter)에 관한 것으로, 좀 더 자세하게는 두 개 이상의 관을 통하여 주기적으로 일정한 양이 흐르는 유체의 유량 및 그 주기의 이상 유무를 측정하는 유량 측정장치에 관한 것이다.

일반적으로 유량 측정장치란, 기체 또는 액체 등의 유체가 흐르는 관에 설치되어, 유체의 흐름유무 및 유량을 감지하는 측정장치로서 현재 우리 산업의 전반에 걸쳐 널리 활용되고 있다.

특히, 근래에 들어 급속도로 발전하고 있는 반도체소자나 액정표시장치의 제조에 있어서, 이러한 유량측정장치의 역할은 더욱 증대되고 있는데, 이는 이들 반도체소자 또는 액정표시장치의 제조공정 중 박막의 증착 및 이의 패터닝과 세정 등의 공정에 다수의 화학약품 및 가스를 사용하는 경우가 많고, 이들 반도체소자나 액정표시장치는 정밀하게 제어된 공정 조건 및 환경을 요구하는 바, 이들의 제조공정에 사용되는 각종 유체의 양을 정밀하게 제어하는 것은 완성된 소자의 특성을 크게 좌우하는 중요한 요소로 작용하기 때문이다.

이에 보다 우수한 반도체 소자 및 액정표시장치의 구현을 위해서, 정밀하게 유체의 양을 제어할 수 있는 개선된 유량측정장치가 요구되고 있는데, 이하 설명의 편의를 위하여 정밀 제어된 유체를 사용하는 액정표시장치의 제조장비의 일례로 이비알(EBR : Edge Bead Removal) 장비를 설명한다.

일반적으로 액정표시장치의 제조공정은 수 차례에 걸쳐 각각 액정표시장치용 기판(이하 기판이라 한다.) 상에 박막을 증착하고, 이의 상부에 포토레지스트를 도포하여 노광 및 현상함으로써 잠상을 구현한 후, 이를 따라 그 하부의 박막을 일정한 형상으로 구현하는 패터닝 공정을 포함하는데, 이때 포토레지스트를 기판의 전면적에 고르게 퍼지게 하기 위하여 통상 스핀코팅(spin coating) 방식을 사용하고 있다.

그러나 이러한 스핀코팅 방식을 사용하여 기판 표면에 포토레지스트를 퍼지게 할 경우에, 이의 퍼짐은 패터닝 영역에만 한정되지 않고 에지(edge) 부분이나 배면 등 불필요한 영역까지 침범하는 현상이 빈번하게 관찰되는데, 이와 같이 불필요하게 퍼진 포토레지스트 층은 일명 비드(bead)라 불리는 고체물질로 굳어져 여러 가지 문제를 발생시키는 원인이 된다.

즉, 이러한 비드는 후속공정에서 파쇄되어 장비나 기판의 오염을 유발시키는 원인이 되는 파티클(particle)로 작용하거나, 또는 기판의 평탄도를 해치기 때문에 이를 제거해야 하는데, 이와 같이 비드를 제거하는 공정을 수행하는 것이 이비알 장비이다.

일반적인 액정표시장치용 이비알 장치를 개략적으로 도시한 도면인 도 1을 참조하여 설명하면, 이는 그 상면에 기판(1)이 안착되는 척(22)을 내부에 포함하는 처리부(20)와, 상기 처리부(20) 내로 인입되는 제 1 및 제 2 유입관(32a, 32b)을 가지는 분배부(30)와, 상기 분배부(30) 내로 공급되는 화학약품을 저장하는 저장장치(40)를 포함하고 있다.

이때 저장장치(40) 내에 저장되는 화학약품은, 불필요한 포토레지스트인 비드를 용해하여 제거할 수 있는 희석재(thinner) 등의 세척용매로서, 분배부(30)는 이러한 세척용매를 공급받아 제 1 및 제 2 유입관(32a, 32b)에 분배하여 인가함으로써 처리부(20) 내로 인입되도록 한다. 한편 처리부(20) 내에 장착되어, 그 상면에 기판(1)이 안착되는 척(22)은 통상 도시한 바와 같이 회전 가능하도록 이루어지는 것이 일반적인데, 이때 전술한 분배부(30)로부터 분기하여 처리부(20) 내로 인입되는 제 1 및 제 2 유입관(32a, 32b)은 각각 기판(1)의 서로 마주보는 가장자리 두 에지 부분으로 연장된 상태에서, 상하로 대향되도록 이격된 두 개의 노즐을 포함하는 제 1 및 제 2 분사장치(36, 38)가 각각 그 말단에 설치되어, 기판(1)의 서로 마주보는 에지 부분의 상하에 세척용매를 분사하는 것이 가능하도록 이루어진다.

따라서 저장장치(40) 내에 저장된 세척용매가 분배부(30)로 공급되면, 이는 제 1 및 제 2 유입관(32a, 32b)을 경유하여 이들의 말단에 각각 설치된 제 1 및 제 2 분사장치(36, 38)를 통해 분사됨으로써, 기판(1)의 서로 마주보는 두 에지 부분의 상 하면에 존재하는 비드를 제거하게 된다. 이와 같은 과정을 통하여 기판(1)의 서로 마주보는 두 에지 부분에 부착된 비드의 제거가 끝나면, 이후 척(22)이 회전하여 기판(1)의 다른 두 에지 부분의 상 하면을 각각 제 1 및 제 2 분사장치(36, 38) 사이에 위치 맞춤하여 세척하게 된다.

이때 통상의 액정표시장치용 기판(1)은 어느 한 쪽의 길이가 더 긴 직사각형 형상을 가지고 있으므로, 제 1 및 제 2 분사장치(36, 38)는 수평방향으로 소정길이 이동이 가능하게 구성되는 것이 일반적이다.

전술한 바와 같은 일반적인 이비알 장비를 사용하여 기판(1) 가장자리의 비드를 제거함에 있어서, 먼저 어느 하나의 마주보는 두 에지 부분의 세척이 끝난 후, 이와 다른 두 에지 부분의 세척을 위하여 척(22)이 회전하는 동안에는, 제 1 및 제 2 분사장치(36, 38)에서 세척용매가 분사되지 않으므로 제 1 및 제 2 유입관(32a, 32b)을 통하여 공급되는 화학약품 즉, 세척용매의 공급 주기는 일정한 간격을 가지고 있게 된다.

따라서 이러한 일반적인 이비알 장치의 처리부(20)에 유입되는 세척용매를 올바르게 제어하기 위해서는, 상기 제 1 및 제 2 유입관(32a, 32b)을 통과하는 유체의 양을 각각 측정함과 동시에 이들 관을 통하여 각각 정해진 주기에 맞게 유체가 흐르는지를 감지할 수 있는 기능을 가지는 유량측정장치가 요구되는데, 현재 이러한 기능을 가지는 유량측정장치는 전무한 실정이다.

따라서 본 발명은 상기와 같은 요구를 충족하는 유량측정장치를 제공하는 데 그 목적이 있는 바, 더 나아가 전술한 이비알 장치뿐 만 아니라 두 개 이상의 관을 통하여 주기적으로 일정한 양이 흐르는 유체를 사용하는 여타의 장비에도 확장적용이 가능한 액체유량조절장치를 제공하고자 한다.

즉, 본 발명은 두 개 이상의 관을 통하여 주기적으로 일정한 양이 흐르는 유체의 유량 및 주기의 이상 유무를 측정하는 것이 가능한 유량측정장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.

본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 두 개 이상의 관을 통하여 주기적으로 일정한 양이 흐르는 유체의 유량 및 주기의 이상 유무를 측정하는 유량 측정장치로서, 상기 두 개 이상의 관에 각각 장착되어, 여기에 흐르는 유체의 실제 흐름유무 및 실제 유량을 감지하는 다수의 감지부와; 상기 다수의 감지부와 각각 연결되어, 각각의 감지부가 감지하는 유체의 실제 흐름주기를 측정하는 다수의 타이머와; 상기 두 개 이상의 관을 통하여 흘러야 하는 유체의 기준 흐름주기 및 그 기준유량을 각각 기억한 상태에서, 이를 상기 각각의 감지부 및 타이머를 통하여 감지된 유체의 실제 유량 및 실제 흐름주기와 비교하여 일치 또는 불일치를 판단하는 제어부와; 상기 제어부에서 불일치를 판단하였을 때 이를 표시하는 표시부를 포함하는 액체 유량측정장치를 제공한다.

이때 상기 각각의 감지부는, 상기 각 관의 일 지점에 위치가 고정된 상태에서, 여기에 흐르는 유체의 높이에 따라 상하로 이동하는 부표(float)와; 상기 각 부표를 사이에 두고 서로 대향하여 위치하는 발광소자 및 수광소자를 포함하여, 상기 발광소자에서 수광소자로 진행하는 빛을 가로막는 부표의 상대적 높이를 통하여 유체의 양 및 그 흐름유무를 감지하는 것을 특징으로 한다.

또한 상기 표시부는 부저와; 발광소자를 포함하여, 상기 제어부가 판단하는 불일치 여부를 표시하는 것을 특징으로 하며, 또한 상기 상기 유량측정장치는, 기판이 안착되는 척을 포함하는 처리부와, 상기 처리부 내로 인입되는 제 1및 제 2 유입관을 포함하는 분배부와, 상기 분배부로 내로 화학약품을 공급하는 저장장치를 포함하는 이비알(EBR : Edge Bead Removal) 장비의 상기 제 1 및 제 2 유입관을 통과하는 유체의 양을 측정하는 것을 특징으로 하는 유량측정장치에 적용되는 것을 특징으로 한다.

이하 본 발명에 대한 올바른 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

본 발명에 따른 유량측정장치는 두 개 이상의 관을 통하여 주기적으로 일정한 양이 흐르는 유체의 유량 및 주기의 이상 유무를 측정하는 것을 특징으로 하는데, 이러한 본 발명의 적용대상의 하나로 일반적인 이비알 장치를 일례로 이하 설명하며, 특히 본 발명은 일반적인 이비알 장치에 별다른 변형없이 장착이 가능한 바, 이를 전술한 도면인 도 1을 참조하여 설명한다.

본 발명에 따른 유량측정장치는 일반적인 이비알 장치의 분배부(30)로부터 각각 분기하여 처리부(20) 내로 인입되는 제 1 및 제 2 유입관(32a, 32b)의 소정의 위치(K)를 서로 연결하도록 설치되는데, 도 2는 이러한 본 발명에 따른 유량측정장치를 블록으로 도시한 도면으로, 제 1 및 제 2 유입관(32a, 32b)에 각각 장착되어, 여기에 흐르는 유체의 실제 흐름유무 및 실제 유량을 감지하는 제 1 및 제 2 감지부(102a, 102b)와, 상기 제 1 및 제 2 감지부(102a, 102b)와 각각 연결되어 이들이 감지하는 유체의 실제 흐름 주기를 측정하는 제 1 및 제 2 타이머(104a, 104b)와, 전술한 제 1 및 제 2 유입관(32a, 32b)을 통해 각각 흘러야 하는 유체의 기준 흐름주기 및 기준 유량이 입력된 상태에서, 이를 상기 제 1 및 제 2 감지부(102a, 102b)와 제 1 및 제 2 타이머(104a, 104b)를 통해 측정된 유체의 실제 흐름주기 및 실제유량과 비교하여 이의 일치 또는 불일치 여부를 판단하는 제어부(106)와, 만일 제어부(106)에서 불일치를 판단하였을 때 이를 표시하는 표시부(108)를 포함하고 있다.

이때 제 1 및 제 2 감지부(102a, 102b)는 각각 제 1 및 제 2 유입관(32a, 32b)에 장착되어 여기를 흐르는 유체의 실제 흐름 유무 및 그 양을 감지함은 전술한 바 있는데, 이때 제 1 감지부(102a)와 제 2 감지부(102b) 는 서로 동일한 요소로 이루어진 동양(同樣)이므로 설명의 편의를 위하여 제 1 유입관(32a)에 장착된 제 1 감지부(102a) 만을 도시한 평면도인 도 3a를 참조하여 설명하는 바, 이는 제 2 유입관(32b) 및 여기에 장착되는 제 2 감지부(102b)에도 동일하게 적용된다.

본 발명에 따른 제 1 감지부(102a)는, 제 1 유입관(32a)의 일 지점을 사이에 두고 서로 대향되도록 이격된 발광소자(110a)와 수광소자(110b)를 포함하는데, 특히 이러한 발광소자(110a)와 수광소자(110b)의 사이에 위치하는 제 1 유입관(32a)의 일 지점 내부에는, 여기를 흐르는 유체에 의하여 떠내려가지 않도록 그 위치가 고정된 상태에서, 유체의 높이에 따라 상, 하로 이동하는 부표가 설치되어 있다.

즉, 제 1 유입관의 일지점을 S 방향에서 도시한 정면도인 도 3b를 참조하면, 상기 부표(112)는 제 1 유입관(32a)의 내부에 그 위치가 고정된 상태에서 유체(L)의 상면을 따라 떠 있도록 설치되어, 제 1 유입관(32a)에 많은 양의 유체가 흐를 경우에 상대적으로 높은 위치를 가지게 되고, 반면에 이보다 적은 양의 유체가 흐를 경우에는 이보다 낮은 위치에 떠 있게 된다. 따라서 이러한 부표(112)를 사이에 두고 서로 대향되게 설치되는 발광소자(110a) 및 수광소자(110b)를 설치함으로써, 상기 발광소자(110a)에서 수광소자(110b)로 진행하는 빛을 가로막는 부표(112)의 상대적인 높이를 감지하여 유체의 양 및 그 흐름유무를 측정할 수 있다. 이를 위해 수광소자(110b)의 수광면에는 다수의 연접하는 셀 수광소자를 포함하여, 상대적으로 적은 빛이 인가되는 부표의 높이를 판단하는 방식을 사용할 수 있을 것이다.

이 경우에 제 1 유입관(32a)은, 그 내부에 설치된 부표(112)의 상대적인 높이를 외부에서 식별 가능하도록 투명 또는 반투명한 재질로 이루어지는 것이 바람직한데, 이와 달리 불투명한 재질로 이루어진 경우에 도면에 도시된 바와 같이 제 1 유입관(32a)의 일지점이 투명한 재질로 이루어진 환체의 뷰어(114)를 매개로 연결되도록 할 수 있다.

또한 도면에 도시되지는 않았지만 제 1 및 제 2 감지부(102a, 102b)로서 일반적인 띄우게 식 액위계(float-type level meter)를 사용할 수도 있을 것이다.

이러한 구성을 가지는 본 발명에 따른 유량 측정장치의 동작을 도 2와 도 3a, 도 3b를 참조하여 설명하면, 먼저 사용자는 제 1 및 제 2 유입관(32a, 32b)을 흐르는 유체의 기준 흐름주기 및 기준유량을 제어부(106)에 각각 입력하게 되는데, 여기서 기준 흐름주기 및 기준유량이란 이비알 장치가 정상적으로 동작할 경우에 각각의 유입관(32a, 32b)을 따라 유량이 흐르는 주기적 시간과 이때의 유량을 일컫는 말로서, 이는 실험치를 통하여 얻을 수 있는 값이다.

이러한 이비알 장치의 제 1 및 제 2 유입관(32a, 32b)을 통하여 흐르는 유체의 기준 흐름주기와 그 기준유량은 도 4a에 도시한 바와 같이, M1의 주기를 가지고 각각 T1의 시간동안 일정량 A 만큼의 유체가 공급되며, 액체가 공급되지 않는 시간을 T2 라 가정한다.

이와 같이 제어부(106)에 기준 흐름주기 및 기준유량의 입력이 완료되면 이비알 장치를 작동시켜 해당 공정을 진행하게 되는데, 이러한 이비알 장치의 구동에 의하여 제 1 및 제 2 유입관(32a, 32b)에는 주기적으로 일정한 양의 유체가 흐르게 된다.

이 경우에 제 1 및 제 2 유입관(32a, 32b)에는 각각 제 1 및 제 2 감지부(102a, 102b) 및 제 1 및 제 2 타이머(104a, 104b)가 장착되어 있으므로 유체의 실제 흐름 주기와 그 유량을 측정하게 되는데, 전술한 바와 같이 각각의 유입관(32a, 32b)에는 유체의 양에 따라 그 높이가 달라지는 부표(112)가 설치되는 바, 유체가 흐르지 않을 경우, 즉 이비알 장치가 작동하지 않을 경우에 최하단에 위치한 부표(112)는 유체가 흐르는 시간 동안 그 양에 비례한 높이를 가지고 상부로 떠오르게 되고, 이후 다시 유체가 흐르지 않게 되면 최하단으로 떨어지는 동작을 주기적으로 반복하게 된다.

이러한 부표(112)의 높이 변화는, 이를 사이에 두고 서로 이격된 발광소자(110a) 및 수광소자(110b)를 통하여 감지 가능하므로, 이를 통해 각각의 유입관(32a, 32b)을 흐르는 액체의 유량을 측정하게 되며, 부표(112)가 최하단에서 상부로 떠올라 다시 최 하단으로 떨어지는 시간, 즉 유체의 실제 흐름주기는 제 1 및 제 2 감지부(102a, 102b)에 각각 연결된 제 1 및 제 2 타이머(104a, 104b)를 통하여 측정하게 되는데, 이러한 각각의 감지부(102a, 102b) 및 타이머(104a, 104b) 를 통하여 측정되는 주기 및 유량은 실제 유체가 흐르는 동안의 시간 및 이때 흐르는 양을 나타내는 것으로, 이는 유체의 실제 흐름주기 및 실제유량이 된다.

도 4b는 이러한 제 1 및 제 2 감지부(102a, 102b)와 제 1 및 제 2 타이머(104a, 104b)를 통하여 측정된 유체의 실제 흐름주기와 실제 유량을 도시한 그래프로서 이와 같이 m1의 주기를 가지고 각각 t1의 시간동안 a 만큼의 유체가 공급되고, 액체가 공급되지 않는 시간을 t2 라 가정하여 설명하면, 이와 같이 제 1 및 제 2 감지부(102a, 102b)와 제 1 및 제 2 타이머(104a, 104b)를 통하여 측정된 실제 유량(a) 및 실제주기(m1)는 제어부(106)로 전달되고, 제어부(106)는 이를 최초 사용자에 의하여 입력된 기준 흐름주기(M1) 및 기준유량(A)과 비교하게 된다.

이때 제 1 및 제 2 감지부(102a, 102b)와 제 1 및 제 2 타이머(104a, 104b)를 통하여 측정된 유체의 실제 흐름주기(m1) 및 실제유량(a)과, 사용자에 의하여 기(旣) 입력된 기준 흐름주기(M1) 및 기준유량(A)과 같을 경우 이는 이비알 장치가 올바르게 구동하고 있음을 의미하는데, 만일 이와 다른 경우 즉, 실제 흐름주기(m1) 또는 실제유량(a)이 제어부에 입력된 기준 흐름주기(M1) 또는 기준유량(A)과 차이가 있을 경우에 이는 이비알 장치의 구동에 이상이 있음을 나타내게 된다.

따라서 제어부(106)는 이러한 기준 흐름주기(M1) 및 기준유량(A)과 실제 흐름주기(m1) 및 실제유량(a)을 비교하여 이의 일치 또는 불일치 여부를 판단하게 되고, 만일 불일치로 판단될 경우에 표시부(108)에서 이를 사용자에게 인지 가능하도록 표시하게 되는데, 이러한 표시부(108)는 도시되지는 않았지만, 바람직하게는 발광소자를 이용한 경고등이나 부저 등의 수단을 사용하여 사용자에게 이를 알리게 된다. 이때 바람직하게는 사용자에게 효과적인 인지를 가능하게 하기 위하여 경고등 및 부저를 모두 사용하는 것이 바람직하다.

따라서 이러한 표시부(108)를 통하여 장비의 동작이상을 확인한 사용자는 적절한 조치를 취함으로써 보다 신뢰성 있는 공정을 가능하게 한다.

이상에서는 본 발명에 따른 유량측정장치(100)가 적용되는 장비의 일례로 이비알 장비를 설명하였기에, 각각 두 개의 감지부(102a, 102b) 및 두 개의 타이머(104a, 104b)를 가지고 있으나, 본 발명은 보다 많은 수의 관을 흐르는 유체의 유량 및 그 흐름주기를 측정하는 것이 가능하다.

즉, 세 개 이상의 관을 가지고 여기에 각각 주기적으로 유체가 흐르는 구성을 가지는 여타의 장비에 있어서, 이들 관을 통하여 흐르는 유체의 유량 및 그 주기의 이상 유무를 측정하기 위해서 본 발명에 따른 액체유량측정장치는 이들 관의 수에 대응하는 만큼의 감지부와 타이머를 구비하여 이를 각각의 관에 설치하고, 제어부에는 이러한 각각의 관을 통하여 흘러야 하는 세 개 이상의 기준 흐름주기 및 기준유량을 입력하여, 이들 값과 각각의 관에 장착된 감지부 및 타이머에서 측정된 실제 흐름주기 및 실제유량과 비교함으로써 이를 가능하게 한다.

본 발명은 두 개 이상의 관을 통하여 주기적으로 일정한 양이 흐르는 유체의 유량 및 그 흐름주기의 이상 유무를 측정하는 유량 측정장치를 제공하여, 보다 신뢰성 있는 유체의 유입 여부를 확인하는 것을 가능하게 한다.

또한 유입되는 유체의 양 및 흐름주기에 이상이 있을 경우에, 이를 표시하는 표시부를 포함하여 사용자 또는 관리자는 보다 신속하게 장비의 이상유무를 확인하여 조치가 가능한 잇점을 가지고 있다.

이러한 본 발명의 잇점은, 특히 근래에 들어 각종 장치 및 제조공정이 자동화됨에 따라 어느 하나의 장비에 유입되는 유체의 양 또는 주기가 정밀하게 제어되지 않을 경우 대량의 불량이 발생할 가능성이 높아짐에 따라 더욱 유용하게 적용될 수 있는데, 즉 본 발명에 따른 액체유량조절장치는 여타의 장비가 가지는 다수의 관을 통하여 유입되는 유체의 유입주기 및 그 유량의 이상유무를 판단하는 것이 가능하고, 특히 이러한 이상의 발생 시 이를 사용자 또는 관리자에게 인지시킬 수 있기 때문에 더욱 개선된 특성을 가지고 있다.

Claims

두 개 이상의 관을 통하여 주기적으로 일정한 양이 흐르는 유체의 유량 및 그 흐름주기의 이상 유무를 측정하는 유량측정장지로서,

상기 두 개 이상의 관에 각각 장착되어, 여기에 흐르는 유체의 실제 흐름유무 및 그 실제 유량을 감지하는 다수의 감지부와;

상기 다수의 감지부와 각각 연결되어 유체의 실제 흐름주기를 측정하는 다수의 타이머와;

상기 두 개 이상의 관을 통하여 흘러야 하는 유체의 기준 흐름주기 및 그 기준 유량을 각각 기억한 상태에서, 이를 상기 각각의 감지부 및 타이머를 통하여 감지된 유체의 실제 흐름주기 및 실제 유량과 비교하여 일치 또는 불일치를 판단하는 제어부와;

상기 제어부에서 불일치를 판단하였을 때 이를 표시하는 표시부

를 포함하는 유량측정장치.
청구항 1에 있어서,

상기 각각의 감지부는,

상기 각 관의 일 지점에 내부에 위치가 고정된 상태에서, 유체의 높이에 따라 상하로 이동하는 부표와;

상기 부표를 사이에 두고 서로 대향하여 위치하는 발광소자 및 수광소자

를 포함하여, 상기 발광소자에서 수광소자로 진행하는 빛을 가로막는 부표의 상대적 높이를 통하여 유체의 양 및 그 흐름유무를 감지하는 유량측정장치.
청구항 1에 있어서,

상기 표시부는,

부저와;

발광소자

를 포함하는 유량측정장치.
청구항 1에 있어서,

상기 유량측정장치는, 기판이 안착되는 척을 포함하는 처리부와, 상기 처리부 내로 인입되는 제 1및 제 2 유입관을 포함하는 분배부와, 상기 분배부로 내로 화학약품을 공급하는 저장장치를 포함하는 이비알(EBR : Edge Bead Removal) 장비의 상기 제 1 및 제 2 유입관을 통과하는 유체의 양을 측정하는 것을 특징으로 하는 유량측정장치.