KR100819863B1 - 유량측정장치 - Google Patents
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- G01F23/00—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
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Abstract
Description
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- 두 개 이상의 관을 통하여 주기적으로 일정한 양이 흐르는 유체의 유량 및 그 흐름주기의 이상 유무를 측정하는 유량측정장지로서,상기 두 개 이상의 관에 각각 장착되어, 여기에 흐르는 유체의 실제 흐름유무 및 그 실제 유량을 감지하는 다수의 감지부와;상기 다수의 감지부와 각각 연결되어 유체의 실제 흐름주기를 측정하는 다수의 타이머와;상기 두 개 이상의 관을 통하여 흘러야 하는 유체의 기준 흐름주기 및 그 기준 유량을 각각 기억한 상태에서, 이를 상기 각각의 감지부 및 타이머를 통하여 감지된 유체의 실제 흐름주기 및 실제 유량과 비교하여 일치 또는 불일치를 판단하는 제어부와;상기 제어부에서 불일치를 판단하였을 때 이를 표시하는 표시부를 포함하는 유량측정장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 각각의 감지부는,상기 각 관의 일 지점에 내부에 위치가 고정된 상태에서, 유체의 높이에 따라 상하로 이동하는 부표와;상기 부표를 사이에 두고 서로 대향하여 위치하는 발광소자 및 수광소자를 포함하여, 상기 발광소자에서 수광소자로 진행하는 빛을 가로막는 부표의 상대적 높이를 통하여 유체의 양 및 그 흐름유무를 감지하는 유량측정장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 표시부는,부저와;발광소자를 포함하는 유량측정장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 유량측정장치는, 기판이 안착되는 척을 포함하는 처리부와, 상기 처리부 내로 인입되는 제 1및 제 2 유입관을 포함하는 분배부와, 상기 분배부로 내로 화학약품을 공급하는 저장장치를 포함하는 이비알(EBR : Edge Bead Removal) 장비의 상기 제 1 및 제 2 유입관을 통과하는 유체의 양을 측정하는 것을 특징으로 하는 유량측정장치.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020010053928A KR100819863B1 (ko) | 2001-09-03 | 2001-09-03 | 유량측정장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020010053928A KR100819863B1 (ko) | 2001-09-03 | 2001-09-03 | 유량측정장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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KR20030020192A KR20030020192A (ko) | 2003-03-08 |
KR100819863B1 true KR100819863B1 (ko) | 2008-04-07 |
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ID=27722279
Family Applications (1)
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KR1020010053928A KR100819863B1 (ko) | 2001-09-03 | 2001-09-03 | 유량측정장치 |
Country Status (1)
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KR (1) | KR100819863B1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100395607B1 (ko) * | 1996-07-01 | 2004-01-31 | 화이자 인코포레이티드 | 버지니아마이신혼합물 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4335618A (en) * | 1979-03-19 | 1982-06-22 | Magyar Tudomanyos Akademia Muszaki Kemiai Kutato Intezet | Apparatus for measuring the volume of flowing fluids |
JPS57184920A (en) * | 1981-05-09 | 1982-11-13 | Kubota Ltd | Powder passage detector |
JPS61128124A (ja) * | 1984-11-28 | 1986-06-16 | Toshiba Corp | 流量測定装置 |
JPH0682287A (ja) * | 1992-09-01 | 1994-03-22 | Nkk Corp | 管内を搬送媒体により搬送される高濃度粉体の流量測定 方法及びその測定装置 |
-
2001
- 2001-09-03 KR KR1020010053928A patent/KR100819863B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (4)
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Publication number | Publication date |
---|---|
KR20030020192A (ko) | 2003-03-08 |
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