KR100792768B1 - Linear robot having table of maintaining horizontal level - Google Patents

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KR100792768B1 KR1020060113463A KR20060113463A KR100792768B1 KR 100792768 B1 KR100792768 B1 KR 100792768B1 KR 1020060113463 A KR1020060113463 A KR 1020060113463A KR 20060113463 A KR20060113463 A KR 20060113463A KR 100792768 B1 KR100792768 B1 KR 100792768B1
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강기운
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Abstract

A linear robot is provided to prevent noises and particles by preventing a cover from being deflected downwardly by the weight thereof and preventing contact between the cover and a transfer table. A linear motor includes a housing, a side frame(34), a transfer table(38), a first horizontal level maintaining table(52) and a second horizontal level maintaining table(54), a wire(60), a horizontal spacing bar(62), a driving unit, and a cover. The housing has a square C-shaped cross section, and an inner surface on which a pair of LM rails(32) are fixed. The side frame is tightened onto both ends of the housing. The transfer table has a lower surface with LM blocks(36) which are slidable along the LM rails, a bottom with a guide hole(40), a top with a first ditch(42) and a second ditch(44), roller(46) mounted on entrances of the first and second ditches, and an upper surface with a roller bearing(48). The first horizontal level maintaining table and the second horizontal level maintaining table are arranged from both sides of the transfer table, and secured to the LM rails such that the first and second horizontal level maintaining tables are slidable. The tables(52,54) have tops equipped with roller bearing(56) and bottoms with wire guide holes(58). The wire has one end connected to the tables(52,54) and the other end connected to the side frame. The horizontal spacing bar has one end secured to the first horizontal level maintaining table and the other end secured to the second horizontal level maintaining table through the guide hole of the transfer table. The driving unit includes a linear motor stator and a linear motor mover arranged symmetrically with each other so as to move the transfer table. The cover has both sides fixed on a top of the side frame such that the cover is positioned on a top of the housing.

Description

수평유지테이블이 구비된 리니어 로봇{Linear robot having table of maintaining horizontal level}Linear robot having table of maintaining horizontal level

도 1은 종래기술에 따른 리니어 로봇의 구성을 보인 분해사시도1 is an exploded perspective view showing the configuration of a linear robot according to the prior art

도 2는 종래기술에 따른 커버가 하우징에 결합된 상태를 보인 측단면도Figure 2 is a side cross-sectional view showing a state in which the cover is coupled to the housing according to the prior art

도 3은 종래기술에 따른 커버가 하우징에 결합된 상태를 보인 정단면도Figure 3 is a front sectional view showing a state in which the cover according to the prior art is coupled to the housing

도 4는 본 발명에 따른 리니어 로봇의 구성을 보인 사시도Figure 4 is a perspective view showing the configuration of a linear robot according to the present invention

도 5는 본 발명에 따른 리니어 로봇의 구성을 보인 측단면도Figure 5 is a side cross-sectional view showing the configuration of a linear robot according to the present invention

도 6은 본 발명에 따른 리니어 로봇의 구성을 보인 정단면도6 is a front sectional view showing a configuration of a linear robot according to the present invention.

도 7은 본 발명에 따른 이송테이블과 수평유지테이블의 구성을 보인 요부 확대 사시도 Figure 7 is an enlarged perspective view of the main portion showing the configuration of the transfer table and the horizontal holding table according to the present invention

도 8은 본 발명에 따른 이송테이블과 수평유지테이블의 구성을 보인 요부 확대 평면도Figure 8 is an enlarged plan view of the main portion showing the configuration of the transfer table and the horizontal holding table according to the present invention

도 9는 본 발명에 따른 이송테이블에 의하여 제 1수평유지테이블이 이동되는 상태를 보인 요부 확대 평면도9 is an enlarged plan view of a main part showing a state in which the first horizontal maintenance table is moved by a transfer table according to the present invention;

도 10은 본 발명에 따른 이송테이블에 의하여 제 2수평유지테이블이 이동되는 상태를 보인 요부 확대 평면도 10 is an enlarged plan view of a main part showing a state in which a second horizontal maintenance table is moved by a transfer table according to the present invention;

＊도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명＊＊ Explanation of symbols for main parts of drawing *

30 : 하우징 32 : LM레일30 housing 32 LM rail

34 : 측면프레인 36 : LM블록34: side plane 36: LM block

38 : 이송테이블 40 : 가이드공38: transfer table 40: guide ball

42 : 제 1관통공 44 : 제 2관통공42: first through hole 44: second through hole

46 : 로울러 48 : 로울러베어링46: roller 48: roller bearing

52 : 제 1수평유지테이블 54 : 제 2수평유지테이블52: first horizontal maintenance table 54: second horizontal maintenance table

58 : 와이어가이드공 60 : 와이어58: wire guide hole 60: wire

62 : 수평거리유지바 64 : 리니어모터 고정자62: horizontal distance holding bar 64: linear motor stator

66 : 리니어모터 이동자 68 : 구동수단66: linear motor mover 68: drive means

70 : 커버70: cover

본 발명은 수평유지테이블이 구비된 리니어 로봇에 관한 것으로, 보다 상세하게는 이송테이블의 이동에 따라 상단에 회전가능하게 결합고정된 로울러베어링이 커버의 하면을 지지한 상태로 제 1수평유지테이블 및 제 2수평유지테이블이 동시에 이동되게 구성하여 커버가 자중에 의하여 중심부분이 하부로 처지게 되는 현상이 발생되지 않음은 물론 이에 따라 커버와 이송테이블이 접촉되는 것을 사전에 방지할 수 있으며 동시에 이상 소음 및 파티클이 발생되는 것을 방지할 수 있는 수평유지테이블이 구비된 리니어 로봇에 관한 것이다.The present invention relates to a linear robot having a horizontal holding table, and more particularly, to a first horizontal holding table in a state in which a roller bearing fixedly rotatably coupled to an upper end thereof supports a lower surface of a cover according to a movement of a transfer table. The second horizontal holding table is moved at the same time so that the cover does not cause the central part to sag downward due to its own weight. Therefore, the cover and the transfer table can be prevented from contacting in advance, and at the same time, abnormal noise And it relates to a linear robot provided with a horizontal holding table that can prevent the particles are generated.

일반적으로 직선방향의 이동성을 제공할 수 있도록 사용하는 직선이동장치는 산업용 로봇의 동작영역을 확대하기 위한 목적 등 다양한 용도로 사용되고 있으며, 이 직선이동장치는 직선운동을 일으키는 구동수단으로서 회전운동을 일으키는 모터와, 모터의 회전운동을 직선운동으로 변환하는 볼 스크류를 사용하는 것이 일반적이었다. In general, the linear mobile device used to provide linear mobility is used for various purposes, such as to extend the operating range of an industrial robot. The linear mobile device is a driving means for generating linear motion, which causes rotational motion. It was common to use a motor and a ball screw to convert the rotational motion of the motor into a linear motion.

그러나, 이러한 직선이동장치는 스트로크(stroke)를 길게 하는데 한계가 있고, 구성요소가 많기 때문에 메인티넌스(mainetance) 요인이 증가하며, 정밀도가 낮으며, 파티클(particle)의 발생이 많다는 문제점이 있다. However, such a linear movement device has a limitation in lengthening a stroke, and since there are many components, there is a problem in that a maintenance factor increases, low precision, and generation of particles. .

최근에는 이를 보완하기 위하여 구동수단으로 리니어 모터(linear motor)를 사용하는 리니어 로봇(linear robot)이 개발되어 사용되고 있다. 이러한, 리니어 로봇은 영구자석과 전기자 코일(coil)의 사이의 반작용에 의해 가동되는 것으로 산업에 적극 이용되는 추세에 있다. Recently, in order to compensate for this, a linear robot using a linear motor as a driving means has been developed and used. Such linear robots are operated by reaction between permanent magnets and armature coils, and are being actively used in the industry.

특히, 리니어 로봇은 LCD, PDP, 핸드폰, 반도체 등의 클린룸(clean room) 등과 같이 복잡하고 정밀한 작업을 요하는 곳에서 주로 사용되고 있다. In particular, linear robots are mainly used in places requiring complex and precise work such as clean rooms of LCDs, PDPs, mobile phones, and semiconductors.

도 1은 종래기술에 따른 리니어 로봇의 구성을 보인 분해사시도이고, 도 2는 종래기술에 따른 커버가 하우징에 결합된 상태를 보인 측단면도이며, 도 3은 종래기술에 따른 커버가 하우징에 결합된 상태를 보인 정단면도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 단면이 'ㄷ'자 형상을 갖는 하우징(2)이 구비되어지고, 이 하우징(2)의 내측 양측에는 소정의 거리를 갖는 한쌍의 LM레일(4)이 결합고정되어진다. 하측에 하우징(2)에 결합고정된 LM레일(4)에서 슬라이딩 가능하게 결합되는 LM블록(6)이 형성된 이송테이블(8)이 구비되어지고, 이 이송테이블(8)의 상단에는 각종 구조물이나 장치들이 장착되어진다. 1 is an exploded perspective view showing a configuration of a linear robot according to the prior art, Figure 2 is a side cross-sectional view showing a state in which the cover according to the prior art is coupled to the housing, Figure 3 is a cover according to the prior art coupled to the housing Front sectional view showing the state. As shown in the figure, a housing 2 having a cross-section 'c' shape is provided, and a pair of LM rails 4 having a predetermined distance are fixed to both sides of the inside of the housing 2. Lose. The lower side is provided with a transfer table (8) formed with an LM block (6) slidably coupled to the LM rail (4) fixed to the housing (2), the upper end of the transfer table (8) The devices are mounted.

하우징(2)의 길이방향 양끝단부에 결합고정되는 측면프레임(12)이 구비되어지고, 이 측면프레임(12)의 상단에는 한쌍의 나사공(14)이 형성되어진다. 이송테이블(8)을 왕복운동할 수 있도록 하우징(2) 및 이송테이블(8)에 대칭되게 설치되는 리니어모터 고정자(16) 및 리니어모터 이동자(18)로 이루어진 구동수단(20)이 구비되어지고, 이 리니어모터 고정자(16)는 하우징(2)의 내측에 설치되어지며, 리니어모터 이동자(18)는 이송테이블(8)의 하면에 설치되어진다.A side frame 12 is coupled to and fixed to both ends of the housing 2 in the longitudinal direction, and a pair of screw holes 14 are formed at an upper end of the side frame 12. A driving means (20) comprising a linear motor stator (16) and a linear motor mover (18) provided symmetrically on the housing (2) and the transfer table (8) to reciprocate the transfer table (8) is provided. The linear motor stator 16 is provided inside the housing 2, and the linear motor mover 18 is provided on the lower surface of the transfer table 8.

양측에 측면프레임(12)의 상단에 형성된 나사공(14)과 동일축상을 갖는 관통공(22)이 형성된 커버(24)가 구비되어지고, 이 커버(24)의 관통공(22)을 통하여 측면프레임(12)의 나사공(14)에 나사결합되어 커버(24)가 하우징(2)에서 이탈되는 것을 방지하는 체결볼트(26)가 구비되어진다. A cover 24 having a through hole 22 coaxial with a screw hole 14 formed at an upper end of the side frame 12 is provided at both sides thereof, and through the through hole 22 of the cover 24. A fastening bolt 26 is provided that is screwed into the screw hole 14 of the side frame 12 to prevent the cover 24 from being separated from the housing 2.

상기와 같이 구성된 리니어 로봇의 구동수단에 전원이 인가되면, 리니어모터 이동자(18)가 리니어모터 고정자(16)를 따라 슬라이딩되고, 이에 따라 리니어모터 이동자(18)가 고정된 이송테이블(8)은 리니어모터 고정자(16)에서 선택적으로 직선안내되어 이송되는 것이다.  When power is applied to the driving means of the linear robot configured as described above, the linear motor mover 18 slides along the linear motor stator 16, whereby the transfer table 8 to which the linear motor mover 18 is fixed is The linear motor stator 16 is selectively guided and conveyed.

그러나, 상기와 같은 리니어 로봇을 사용할 경우 많은 문제점이 노출되었다. However, many problems have been exposed when using such a linear robot.

먼저, 리니어 로봇은 길이가 3M∼4M에서는 우수한 성능을 발휘하지만, 그 길이가 4M 이상을 초과하면 하우징의 상단에 결합고정된 커버가 자중에 의하여 처짐현상이 발생되고, 이 처짐현상에 의하여 이송테이블이 이송시 이송테이블과 커버가 접촉되어 이상 소음이 발생되는 문제가 있었다. First, the linear robot shows excellent performance in the length of 3M to 4M, but if the length exceeds 4M or more, the cover fixed to the upper end of the housing is deflected by its own weight, and the deflection phenomenon causes the transfer table. During this transfer, the transfer table and the cover are in contact with each other, causing an abnormal noise.

또한, 커버의 처짐현상은 이상 소음뿐만 아니라 접촉에 따른 마찰에 의하여 파티클(particle)이 발생되고, 심한 경우에는 진동현상으로 연결되어 리니어 로봇이 손상되는 문제가 있었다. In addition, the deflection phenomenon of the cover is a particle (particle) is generated by friction due to contact as well as abnormal noise, in a severe case was connected to the vibration phenomenon there was a problem that the linear robot is damaged.

특히, 리니어 로봇이 많이 사용되는 LCD, PDP, 핸드폰, 반도체 등의 클린룸(clean room)은 미세한 먼지에 의해 커다란 영향을 받고 있음으로 커버의 처짐현상은 하루빨리 해결해야 하는 문제로 대두(擡頭)되고 있는 실정이다.In particular, clean rooms such as LCDs, PDPs, mobile phones, and semiconductors, where many linear robots are used, are greatly affected by fine dust, so the deflection of the cover has to be solved as soon as possible. It's happening.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 이송테이블의 이동에 따라 상단에 회전가능하게 결합고정된 로울러베어링이 커버의 하면을 지지한 상태로 제 1수평유지테이블 및 제 2수평유지테이블이 동시에 이동되게 구성하여 커버가 자중에 의하여 중심부분이 하부로 처지게 되는 현상이 발생되지 않음은 물론 이에 따라 커버와 이송테이블이 접촉되는 것을 사전에 방지할 수 있으며 동시에 이상 소음 및 파티클이 발생되는 것을 방지할 수 있는 수평유지테이블이 구비된 리니어 로봇를 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention has been made to solve the problems described above, the first horizontal holding table and the second horizontal in a state in which the roller bearing is rotatably coupled to the upper end in accordance with the movement of the transfer table to support the lower surface of the cover As the holding table is moved at the same time, the cover does not cause the central part to sag downward due to its own weight, and accordingly, the cover and the transfer table can be prevented from contacting in advance. An object of the present invention is to provide a linear robot provided with a horizontal holding table that can be prevented from being generated.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 단면이 'ㄷ'자 형상으로 이루어지고, 내측 양측에 소정의 거리를 갖는 한쌍의 LM레일이 결합고정된 하우징과, 상기 하우징의 길이방향 양끝단부에 결합고정되는 측면프레임과, 하면 양측에 상기 하우징에 결합고정된 LM레일에서 슬라이딩 가능하게 결합되는 LM블록이 형 성되고, 하단 부분에 수평방향으로 관통된 가이드공이 형성되며, 상단 양측에 수평방향으로 관통된 제 1관통공 및 제 2관통공이 형성되고, 이 제 1관통공 및 제 2관통공의 입구부분에 로울러가 회동가능하게 장착되며, 상면에 실리콘 코팅된 로울러베어링이 회전가능하게 장착된 이송테이블과, 상기 이송테이블의 양측 부분에 위치되도록 하면 양측이 하우징에 결합고정된 LM레일에 슬라이딩 가능하게 결합고정되고, 상단에 실리콘 코팅된 로울러베어링이 회전가능하게 장착되며, 하단부분에 수평방향으로 관통된 와이어가이드공이 형성된 제 1수평유지테이블 및 제 2수평유지테이블과, 일측이 상기 수평유지테이블의 일측에 결합고정되고, 타측이 이송테이블의 형성된 관통공 및 로울러를 반환하여 수평유지테이블의 와이어가이드공을 통하여 측면프레임에 결합고정되는 와이어와, 일측이 상기 제 1수평유지테이블의 일측에 결합고정되고, 타측이 이송테이블의 가이드공을 관통하여 제 2수평유지테이블에 결합고정되는 수평거리유지바와, 이송테이블을 왕복운동할 수 있도록 하우징 및 이송테이블에 대칭되게 설치되는 리니어모터 고정자 및 리니어모터 이동자로 이루어진 구동수단과, 상기 하우징의 상단에 위치되도록 양측이 측면프레임의 상단에 결합고정되는 커버로 이루어진 것을 특징으로 하는 수평유지테이블이 구비된 리니어 로봇에 의하여 달성될 수 있다.In order to achieve the above object, the present invention, the cross section is made of 'c' shape, a pair of LM rail having a predetermined distance on both sides of the inner side is fixed to the housing, both ends of the housing in the longitudinal direction The LM block is slidably coupled from the LM rail fixed to the housing on both sides of the side frame is fixed to the lower surface, and the guide hole penetrated in the horizontal direction at the lower portion is formed, the horizontal direction on both sides of the top A first through hole and a second through hole formed therein are formed, and rollers are rotatably mounted on the inlet portions of the first through holes and the second through holes, and a silicon coated roller bearing is rotatably mounted on the upper surface thereof. When positioned on both sides of the transfer table and the transfer table, both sides are slidably coupled to the LM rail fixed to the housing, and the silicon on the top Mounted roller bearings are rotatably mounted, the first horizontal holding table and the second horizontal holding table having wire guide holes penetrated in the horizontal direction at the lower end thereof, and one side of which is fixed to one side of the horizontal holding table, and the other side thereof. Returning through holes and rollers formed in the transfer table, the wire is fixed to the side frame through the wire guide hole of the horizontal holding table, and one side is fixed to one side of the first horizontal holding table, the other side guide of the transfer table A horizontal distance holding bar which is coupled to the second horizontal holding table and is fixed to the second horizontal holding table, a drive means including a linear motor stator and a linear motor mover symmetrically installed on the housing and the transfer table to reciprocate the transfer table, and the housing Both sides are made of a cover that is fixed to the top of the side frame to be located at That can be achieved by a linear robot having a gimbal table as claimed.

이하, 본 발명에 따른 수평유지테이블이 구비된 리니어 로봇의 바람직한 실시예를 첨부도면에 의거하여 좀 더 구체적으로 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a preferred embodiment of the linear robot with a horizontal maintenance table according to the present invention will be described in more detail based on the accompanying drawings.

도 4는 본 발명에 따른 리니어 로봇의 구성을 보인 사시도이고, 도 5는 본 발명에 따른 리니어 로봇의 구성을 보인 측단면도이며, 도 6은 본 발명에 따른 리 니어 로봇의 구성을 보인 정단면도이고, 도 7은 본 발명에 따른 이송테이블과 수평유지테이블의 구성을 보인 요부 확대 사시도이며, 도 8은 본 발명에 따른 이송테이블과 수평유지테이블의 구성을 보인 요부 확대 평면도이고, 도 9는 본 발명에 따른 이송테이블에 의하여 제 1수평유지테이블이 이동되는 상태를 보인 요부 확대 평면도이며, 도 10은 본 발명에 따른 이송테이블에 의하여 제 2수평유지테이블이 이동되는 상태를 보인 요부 확대 평면도이다. Figure 4 is a perspective view showing the configuration of a linear robot according to the present invention, Figure 5 is a side sectional view showing a configuration of a linear robot according to the present invention, Figure 6 is a front sectional view showing a configuration of a linear robot according to the present invention. 7 is an enlarged perspective view illustrating main parts of the transfer table and the horizontal holding table according to the present invention, and FIG. 8 is an enlarged plan view of the main parts showing the configuration of the transfer table and the horizontal holding table according to the present invention, and FIG. Fig. 10 is an enlarged plan view of a main part showing a state in which the first horizontal maintenance table is moved by a transfer table according to the present invention, and Fig. 10 is a planar enlarged plan view showing a state in which a second horizontal maintenance table is moved by a transfer table according to the present invention.

도면에 도시된 바와 같이, 단면이 'ㄷ'자 형상을 갖는 하우징(30)이 구비되고, 이 하우징(30)의 내측 양측에는 한 쌍의 LM레일(32)이 결합고정된다. 하우징(30)의 길이방향 양끝단부에 결합고정되는 측면프레임(34)이 구비되고, 이 측면프레임(34)은 통상의 체결수단인 볼트 등에 의하여 결합고정됨이 바람직하다.As shown in the figure, a housing 30 having a cross-section 'c' shape is provided, and a pair of LM rails 32 are fixedly coupled to both inner sides of the housing 30. Side frames 34 are provided which are fixed to both ends of the longitudinal direction of the housing 30, and the side frames 34 are preferably fastened by bolts or the like which are conventional fastening means.

하면 양측에 하우징(30)에 결합고정된 LM레일(32)에서 슬라이딩 가능하게 결합되는 LM블록(36)이 형성된 이송테이블(38)이 구비되고, 이 이송테이블(38)의 하단부분에는 수평방향으로 관통된 가이드공(40)이 형성된다. 이송테이블(38)의 상단 양측에 수평방향으로 관통된 제 1관통공(42) 및 제 2관통공(44)이 형성되고, 이 제 1관통공(42) 및 제 2관통공(44)의 입구부분에는 로울러(46)가 회동가능하게 장착된다. 이송테이블(38)의 상면에는 실리콘 코팅된 로울러베어링(48)이 회전가능하게 장착된다. A lower side of the transfer table 38 is provided with a transfer table 38 formed with an LM block 36 slidably coupled from the LM rail 32 fixed to the housing 30 on both sides thereof. The guide hole 40 penetrates to form. The first through hole 42 and the second through hole 44 which are horizontally penetrated on both sides of the upper end of the transfer table 38, the first through hole 42 and the second through hole 44 The roller 46 is rotatably mounted at the inlet portion. On the upper surface of the transfer table 38, a silicon coated roller bearing 48 is rotatably mounted.

하면 양측이 하우징(30)에 결합고정된 LM레일(32)에서 슬라이딩 가능하게 결합되는 제 1수평유지테이블(52) 및 제 2수평유지테이블(54)이 구비되고, 이 수평유 지테이블(52),(54)은 이송테이블(38)의 양측에 위치되도록 하우징(30)에 배열됨이 바람직하다. 수평유지테이블(52),(54)의 상단에 실리콘 코팅된 로울러베어링(56)이 회전가능하게 장착되고, 이 수평유지테이블(52),(54)의 하단부분에는 수평방향으로 관통된 와이어가이드공(58)이 형성된다. A first horizontal holding table 52 and a second horizontal holding table 54 slidably coupled to both sides of the lower surface of the LM rail 32 fixed to the housing 30 are provided, and the horizontal holding table 52 is provided. ), 54 is preferably arranged in the housing 30 to be located on both sides of the transfer table 38. The roller bearings 56 coated with silicon are rotatably mounted on the upper ends of the horizontal holding tables 52 and 54, and the wire guides penetrate in the horizontal direction to the lower ends of the horizontal holding tables 52 and 54. A ball 58 is formed.

일측이 수평유지테이블(52),(54)의 일측에 결합고정되고, 타측이 이송테이블(38)의 형성된 관통공(42),(44) 및 로울러(46)를 반환하여 수평유지테이블(52),(54)의 와이어가이드공(58)을 통하여 측면프레임(34)에 결합고정되는 와이어(60)가 구비되고, 이 와이어(60)는 이송테이블(38)이 이동됨에 따라 수평유지테이블(52),(54)을 수평운동시키는 역할을 수행한다.One side is fixed to one side of the horizontal holding table (52), 54, and the other side returns the through holes 42, 44 and the roller (46) formed of the transfer table 38, the horizontal holding table (52) The wire 60 is coupled to the side frame 34 through the wire guide holes 58 of the wires 54 and 54, and the wires 60 are horizontally maintained as the transfer table 38 is moved. 52), (54) serves to horizontally move.

일측이 제 1수평유지테이블(52)의 일측에 결합고정되고, 타측이 이송테이블(38)의 가이드공(40)을 관통하여 제 2수평유지테이블(54)에 결합고정되는 수평거리유지바(62)가 구비되고, 이 수평거리유지바(62)는 와이어(60)에 의하여 수평유지테이블(52),(54)이 수평운동하여도 제 1수평유지테이블(52)과 제 2수평유지테이블(54)의 거리를 일정하게 유지하는 역할을 수행한다. Horizontal distance maintaining bar, one side of which is fixed to one side of the first horizontal holding table 52, the other side of which is fixed to the second horizontal holding table 54 through the guide hole 40 of the transfer table 38 ( 62 is provided, the horizontal distance holding bar 62 is the first horizontal holding table 52 and the second horizontal holding table even if the horizontal holding table 52, 54 by the wire 60, the horizontal movement It serves to keep the distance of 54 constant.

이송테이블(38)을 왕복운동할 수 있도록 하우징(30) 및 이송테이블(38)에 대칭되게 설치되는 리니어모터 고정자(64) 및 리니어모터 이동자(66)로 이루어진 구동수단(68)이 구비되고, 이 리니어모터 고정자(64)는 하우징(30)의 내측에 설치되며, 리니어모터 이동자(66)는 이송테이블(38)의 하면에 설치된다. 하우징(30)의 상단에 위치되도록 양측이 측면프레임(34)의 상단에 결합고정되는 커버(70)가 구비되고, 이 커버(70)는 외부의 이물질 등이 하우징(30)의 내측으로 유입되는 것을 방지 하는 역할을 수행한다. The drive means 68 is provided with a linear motor stator 64 and a linear motor mover 66 which are symmetrically installed on the housing 30 and the transfer table 38 so as to reciprocate the transfer table 38. The linear motor stator 64 is installed inside the housing 30, and the linear motor mover 66 is installed on the lower surface of the transfer table 38. Both sides are provided with a cover 70 coupled to the upper end of the side frame 34 so as to be located at the top of the housing 30, the cover 70 is a foreign material such as the outside is introduced into the housing 30 To prevent this from happening.

상기와 같이 구성된 이송테이블 및 수평유지테이블이 하우징에서 수평운동하는 상태와 이에 따른 효과를 설명한다.The transfer table and the horizontal maintenance table configured as described above will be described with the horizontal motion in the housing and the effects thereof.

리니어모터 이동자(66)와 리니어모터 고정자(64)에 의하여 이송테이블(38)이 일측 방향으로 이동되면, 도 6 및 도 9에 도시된 바와 같이 상단에 회전가능하게 결합고정된 로울러베어링(56)이 커버(70)의 하면을 지지한 상태에서 와이어(60)에 의하여 연결된 제 1수평유지테이블(52)이 LM레일(32)을 따라 이송테이블(38)이 이동되는 방향으로 이동된다. 이때, 제 1수평유지테이블(52)은 이송테이블(38)이 이동되는 거리의 1/2만큼 이동됨과 동시에 제 2수평유지테이블(54)은 수평거리유지바(62)에 의하여 제 1수평유지테이블(52)과 제 2수평유지테이블(54)의 거리가 일정하게 유지되도록 일측으로 이동된 상태를 갖는다.When the transfer table 38 is moved in one direction by the linear motor mover 66 and the linear motor stator 64, the roller bearing 56 is rotatably coupled to the upper end as shown in FIGS. 6 and 9. While supporting the lower surface of the cover 70, the first horizontal holding table 52 connected by the wire 60 is moved in the direction in which the transfer table 38 moves along the LM rail 32. At this time, the first horizontal maintenance table 52 is moved by 1/2 of the distance to which the transfer table 38 is moved, and at the same time, the second horizontal maintenance table 54 is maintained by the horizontal distance maintenance bar 62. It has a state moved to one side so that the distance between the table 52 and the second horizontal holding table 54 is kept constant.

즉, 와이어(60)의 일측이 제 1수평유지테이블(52)에 고정되고, 타측이 이송테이블(38)의 관통공(42) 및 로울러(46)를 반환하여 측면프레임(34)에 결합고정된 상태에서 이송테이블(38)의 가이드공(40)을 관통하여 수평거리유지바(62)의 양단이 제 1수평유지테이블(52)과 제 2수평유지테이블(54)에 결합고정되어 있음으로 이송테이블(38)이 일측 방향으로 이동하면, 이 제 1수평유지테이블(52)은 이송테이블(38)이 이동되는 거리의 1/2 거리만큼 이동되고, 이에 따라 제 2수평유지테이블(54)이 제 1수평유지테이블(52)과의 거리를 유지한 채로 수평이동하는 것이다. That is, one side of the wire 60 is fixed to the first horizontal holding table 52, and the other side returns the through hole 42 and the roller 46 of the transfer table 38 to be fixed to the side frame 34. Both ends of the horizontal distance holding bar 62 are fixed to the first horizontal holding table 52 and the second horizontal holding table 54 by passing through the guide hole 40 of the transfer table 38. When the transfer table 38 moves in one direction, the first horizontal maintenance table 52 is moved by a half distance of the distance to which the transfer table 38 is moved, and accordingly, the second horizontal maintenance table 54 is moved. The horizontal movement is performed while maintaining the distance to the first horizontal holding table 52.

반대로, 리니어모터 이동자(66)와 리니어모터 고정자(64)에 의하여 이송테이블(38)이 타측 방향으로 이동되면, 도 6 및 도 10에 도시된 바와 같이 상단에 회전 가능하게 결합고정된 로울러베어링(56)이 커버(70)의 하면을 지지한 상태에서 와이어(60)에 의하여 연결된 제 2수평유지테이블(54)이 LM레일(32)을 따라 이송테이블(38)이 이동되는 방향으로 이동된다. 이때, 제 2수평유지테이블(54)은 이송테이블(38)이 이동되는 거리의 1/2만큼 이동됨과 동시에 제 1수평유지테이블(52)은 수평거리유지바(62)에 의하여 제 1수평유지테이블(52)과 제 2수평유지테이블(54)의 거리가 일정하게 유지되도록 일측으로 이동된 상태를 갖는다.On the contrary, when the transfer table 38 is moved in the other direction by the linear motor mover 66 and the linear motor stator 64, as shown in FIGS. 6 and 10, a roller bearing fixedly rotatably coupled to the upper end ( In a state in which 56 supports the lower surface of the cover 70, the second horizontal maintenance table 54 connected by the wire 60 is moved in the direction in which the transfer table 38 moves along the LM rail 32. At this time, the second horizontal maintenance table 54 is moved by 1/2 of the distance to which the transfer table 38 is moved, and at the same time, the first horizontal maintenance table 52 is supported by the horizontal distance maintenance bar 62 to maintain the first horizontal maintenance table. It has a state moved to one side so that the distance between the table 52 and the second horizontal holding table 54 is kept constant.

즉, 와이어(60)의 일측이 제 2수평유지테이블(54)에 고정되고, 타측이 이송테이블(38)의 관통공(44) 및 로울러(46)를 반환하여 측면프레임(34)에 결합고정된 상태에서 이송테이블(38)의 가이드공(40)을 관통하여 수평거리유지바(62)의 양단이 제 1수평유지테이블(52)과 제 2수평유지테이블(54)에 결합고정되어 있음으로 이송테이블(38)이 타측 방향으로 이동하면, 이 제 2수평유지테이블(54)은 이송테이블(38)이 이동되는 거리의 1/2 만큼 이동되고, 이에 따라 제 1수평유지테이블(52)이 제 2수평유지테이블(54)과의 거리를 유지한 채로 수평이동하는 것이다. That is, one side of the wire 60 is fixed to the second horizontal holding table 54, and the other side returns the through hole 44 and the roller 46 of the transfer table 38 to be fixed to the side frame 34. Both ends of the horizontal distance holding bar 62 are fixed to the first horizontal holding table 52 and the second horizontal holding table 54 by passing through the guide hole 40 of the transfer table 38. When the transfer table 38 moves in the other direction, the second horizontal maintenance table 54 is moved by 1/2 of the distance to which the transfer table 38 is moved, so that the first horizontal maintenance table 52 is moved. The horizontal movement is performed while maintaining the distance from the second horizontal holding table 54.

이송테이블(38)의 이동에 따라 상단에 회전가능하게 결합고정된 로울러베어링(56)이 커버(70)의 하면을 지지한 상태로 제 1수평유지테이블(52) 및 제 2수평유지테이블(54)이 동시에 이동됨으로 리니어 로봇(하우징 및 커버)의 길이가 4M 이상을 초과하여도 커버(70)가 자중에 의하여 중심부분이 하부로 처지게 되는 현상이 발생되지 않음은 물론 이에 따라 커버(70)와 이송테이블(38)이 접촉되는 것을 사전에 방지할 수 있는 것이다.The first horizontal holding table 52 and the second horizontal holding table 54 are supported by the roller bearing 56 rotatably coupled to the upper end of the transfer table 38 while supporting the lower surface of the cover 70. ) Is simultaneously moved so that even if the length of the linear robot (housing and cover) exceeds 4M or more, the cover 70 does not cause the central part to sag due to its own weight. And the transfer table 38 can be prevented in advance.

또한, 커버(70)와 이송테이블(38)이 접촉되는 것이 사전에 방지됨에 따라 접 촉에 따른 이상 소음 및 파티클이 발생되지 않음은 물론 사용자에게 제품의 신뢰성을 높일 수 있는 것이다. In addition, as the cover 70 and the transfer table 38 are prevented from contacting in advance, abnormal noise and particles are not generated due to the contact, as well as the reliability of the product to the user.

특히, 접촉에 의하여 발생되는 파티클이 해소됨에 따라 미세한 먼지에 의해 커다란 영향을 받고 있는 LCD, PDP, 핸드폰, 반도체 등의 클린룸(clean room)에서의 사용이 증가될 것이다. In particular, as particles generated by contact are eliminated, the use in clean rooms such as LCDs, PDPs, mobile phones, and semiconductors, which are greatly affected by fine dust, will increase.

본 발명은 상술한 실시예로만 한정되는 것이 아니라 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위내에서 수정 및 변형하여 실시할 수 있고, 그러한 수정 및 변형이 가해진 기술사상 역시 이하의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 한다. The present invention is not limited only to the above-described embodiments, but may be modified and modified without departing from the scope of the present invention, and the technical spirit to which such modifications and variations are applied should also be regarded as belonging to the following claims. .

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 수평유지테이블이 구비된 리니어 로봇은 이송테이블의 이동에 따라 상단에 회전가능하게 결합고정된 로울러베어링이 커버의 하면을 지지한 상태로 제 1수평유지테이블 및 제 2수평유지테이블이 동시에 이동되게 구성되어 있음으로 커버가 자중에 의하여 중심부분이 하부로 처지게 되는 현상이 발생되지 않음은 물론 이에 따라 커버와 이송테이블이 접촉되는 것을 사전에 방지할 수 있으며 동시에 이상 소음 및 파티클이 발생되는 것을 방지할 수 있는 효과를 갖는 것이다. As described above, the linear robot provided with the horizontal holding table according to the present invention has the first horizontal holding table and the second holding roller bearing fixedly rotatably coupled to the upper end of the transfer robot while supporting the lower surface of the cover. Since the horizontal holding table is configured to move at the same time, the cover does not cause the central part to sag due to its own weight, and accordingly, the cover and the transfer table can be prevented from contacting in advance, and at the same time, the abnormal noise And it is to have an effect that can prevent the particles are generated.

Claims (1)

단면이 'ㄷ'자 형상으로 이루어지고, 내측 양측에 한 쌍의 LM레일(32)이 결합고정된 하우징(30)과, A housing 30 having a cross-section having a 'C' shape and having a fixed pair of LM rails 32 fixed to both inner sides thereof, 상기 하우징(30)의 길이방향 양끝단부에 결합고정되는 측면프레임(34)과, Side frame 34 is fixed to the both ends of the longitudinal direction of the housing 30, 하면 양측에 상기 하우징(30)에 결합고정된 LM레일(32)에서 슬라이딩 가능하게 결합되는 LM블록(36)이 형성되고, 하단 부분에 수평방향으로 관통된 가이드공(40)이 형성되며, 상단 양측에 수평방향으로 관통된 제 1관통공(42) 및 제 2관통공(44)이 형성되고, 이 제 1관통공(42) 및 제 2관통공(44)의 입구부분에 로울러(46)가 회동가능하게 장착되며, 상면에 실리콘 코팅된 로울러베어링(48)이 회전가능하게 장착된 이송테이블(38)과, LM block 36 is slidably coupled to the LM rail 32 fixedly coupled to the housing 30 at both sides thereof, and a guide hole 40 penetrates in the horizontal direction is formed at the lower end thereof. The first through hole 42 and the second through hole 44 are formed on both sides in the horizontal direction, and the rollers 46 are formed at the inlet portions of the first through hole 42 and the second through hole 44. Is rotatably mounted, and the transfer table 38 is rotatably mounted with a roller bearing 48 coated with a silicon on an upper surface thereof, 상기 이송테이블(38)의 양측에 배열되며, 양측이 상기 LM레일(32)에 슬라이딩 가능하게 결합고정되고, 상단에 실리콘 코팅된 로울러베어링(56)이 회전가능하게 장착되며, 하단부분에 수평방향으로 관통된 와이어가이드공(58)이 형성된 제 1수평유지테이블(52) 및 제 2수평유지테이블(54)과, Arranged on both sides of the transfer table 38, both sides are fixedly slidably coupled to the LM rail 32, a silicon coated roller bearing 56 is rotatably mounted on the upper side, the horizontal direction in the lower portion A first horizontal holding table 52 and a second horizontal holding table 54 having a wire guide hole 58 formed therethrough; 일측이 상기 수평유지테이블(52),(54)의 일측에 결합고정되고, 타측이 이송테이블(38)의 형성된 관통공(42),(44) 및 로울러(46)를 반환하여 수평유지테이블(52),(54)의 와이어가이드공(58)을 통하여 측면프레임(34)에 결합고정되는 와이어(60)와, One side is fixed to one side of the horizontal holding table 52, 54, and the other side returns through-holes 42, 44 and roller 46 formed of the transfer table 38 to maintain the horizontal holding table ( 52 and the wire 60 is fixed to the side frame 34 through the wire guide hole 58 of 54, 일측이 상기 제 1수평유지테이블(52)의 일측에 결합고정되고, 타측이 이송테이블(38)의 가이드공(40)을 관통하여 제 2수평유지테이블(54)에 결합고정되는 수평거리유지바(62)와, Horizontal distance maintaining bar, one side of which is fixed to one side of the first horizontal holding table 52, the other side of which is fixed to the second horizontal holding table 54 through the guide hole 40 of the transfer table 38 With 62, 이송테이블(38)을 왕복운동할 수 있도록 하우징(30) 및 이송테이블(38)에 대칭되게 설치되는 리니어모터 고정자(64) 및 리니어모터 이동자(66)로 이루어진 구동수단(68)과, A driving means 68 composed of a linear motor stator 64 and a linear motor mover 66 symmetrically installed on the housing 30 and the transfer table 38 so as to reciprocate the transfer table 38, 상기 하우징(30)의 상단에 위치되도록 양측이 측면프레임(34)의 상단에 결합고정되는 커버(70)로 이루어진 것을 특징으로 하는 수평유지테이블이 구비된 리니어 로봇.The linear robot with a horizontal maintenance table, characterized in that the both sides are composed of a cover 70 is coupled to the upper end of the side frame 34 so as to be located on the upper end of the housing (30).
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