KR100790419B1 - 광학주사장치 - Google Patents
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Abstract
고밀도의 HD 기록매체(18)와 저밀도의 LD 기록매체(38) 모두를 주사하며, 빔의 폭주를 변경하여 종래의 렌즈계(10, 14)의 동공에서 필요한 단면을 갖도록 하기 위해 LD 빔(32) 및 HD 빔(2) 중에서 적어도 한 개의 경로에 빔 폭주변경 렌즈(34; 55)가 배치되는 광학주사장치에 있어서, 이 렌즈는 플라스틱으로 제조되고 6 내지 9 mm의 초점거리를 갖는다. 이에 따라, 주사장치의 온도 의존성이 줄어든다.
광학주사장치, 기록매체, 폭주변경, 대물계, 초점거리
Description
본 발명은, 제 1 동작 모드에서 제 1 정보층과 제 1 두께의 제 1 투명층을 갖는 제 1 형태의 기록매체를 주사하고, 제 2 동작 모드에서 제 2 정보층과 제 1 두께와 다른 제 2 두께의 제 2 투명층을 갖는 제 2 형태의 기록매체를 주사하며, 제 1 모드에서 제 1의 HD 방사빔을 발생하는 제 1 방사원과, 제 2 모드에서 제 2의 LD 방사빔을 발생하는 제 2 방사원과, 제 1 모드에서는 제 1 정보층 상에 HD 빔의 초점을 맞추기 위해 제 1 공역(conjugate) 세트에서 동작하고 제 2 모드에서는 제 2 정보층 상에 LD 빔의 초점을 맞추기 위해 이와 다른 제 2 공역 세트에서 동작하도록 설계된 대물계를 구비하고, 상기 LD 및 HD 빔의 적어도 한 개의 경로에 빔 폭주변경(vergence-changing) 렌즈가 배치된 광학주사장치에 관한 것이다.
본 명세서에서, HD 빔과 LD 빔은, 각각 더 높은 정보밀도로 정보층을 주사하는데 사용된 빔과, 더 낮은 정보밀도로 정보층을 주사하는데 사용된 빔을 의미하는 것으로 이해되어야 한다.
빔 폭주변경 렌즈는, 주사장치의 방사원과 통상적인 렌즈계 사이의 빔 경로에 배치되고, 이 빔이 통상적인 렌즈계의 입사동에서 필요한 단면을 갖도록 빔의 발산 또는 수렴을 변형하는 보조렌즈를 의미하는 것으로 이해되어야 한다.
US-A 4,823,334에는, 방사원으로부터 발생된 발산 빔을 대물계에 입사되는 평행 빔으로 변환하는 시준수단이 제 1 렌즈 부재와 제 2 렌즈 부재를 구비한 광학주사장치에 대해 개시되어 있다. 제 2 렌즈 부재는, 이 부재를 이동시킴으로써 시준 조정이 매우 정밀하게 수행될 수 있도록 약한 파워를 갖는다. 이 주사장치는, 저밀도 기록매체를 판독/기록하기 위한 것으로, 한 개의 파장을 갖는 단지 한 개의 빔을 방출하는 단지 한 개의 방사원을 구비한다.
일반적으로, 광 기록매체의 투명층은, 먼지 입자, 스크래치 등을 정보층으로부터 충분한 거리에 유지하면서 환경적인 영향으로부터 정보층을 보호하도록 의도된 것으로, 정보층에 기계적 지지를 제공할 수 있다. 후자의 경우에, 투명층은 정보층에 대한 기판으로서의 기능을 하며, 투명층의 두께는, 기록매체에 원하는 강성을 부여하는데 필요한 두께와, 투명층 상에 입사된 주사빔의 개구수(numerical aperture: NA)와 관련하여 필요한 두께 사이의 타협점에 해당한다.
기록매체의 일측에 있는 대물계의 NA는, 주사장치가 정보층을 판독하거나 기록하기 위해 가져야만 하는 해상도에 의해 좌우된다. 장치에 의해 형성될 수 있는 최소 주사 스폿 크기에 반비례하는 주사장치의 해상도는 NA/λ에 비례하는데, 이때 λ는 주사빔의 파장이다. DVD 등의 더 큰 정보밀도를 갖는 기록매체를 주사하기 위해서는, 더 낮은 정보밀도를 갖는 기록매체를 주사하는데 사용되는 이하에서는 LD(low-density) 주사빔으로 불리는 주사빔보다, 더 높은 NA 및 더 작은 λ를 갖는 이하에서는 HD(high-density) 주사빔으로 불리는 주사빔이 사용되어야 한다. 더 큰 정보밀도를 가져 더 높은 NA를 필요로 하는 기록매체에 대해서는, 초점, 즉 주사 스폿의 품질에 대한 주사장치의 광축에 관한 기록매체의 기울어짐의 영향을 줄이도 록 정보층의 두께를 감소시키는 것이 종종 필요하다. 더 큰 정보밀도를 갖는 새로운 기록매체의 출현에 따라, 서로 다른 투명층의 두께를 갖는 서로 다른 형태의 기록매체가 시판될 것이다. 호환가능한 주사장치는, 투명층의 두께에 무관하게, 서로 다른 형태의 기록매체를 주사할 수 있어야만 할 것이다. 이와 같은 주사장치는, 예를 들면 650 nm의 파장을 갖는 HD 빔을 발생하고, 예를 들어 780 nm의 파장을 갖는 LD 빔을 발생하는, 보통 다이오드 레이저인 제 1 및 제 2 방사원을 구비한다. 2가지 형태의 기록매체에 대한 호환가능한 주사장치의 대물계는, 제 1 형태의 기록매체를 주사하기 위한 제 1 공역 세트와, 제 2 형태의 기록매체를 주사하기 위한 이와 다른 제 2 세트의 공역 세트를 가져야만 한다. 본 명세서에서, 대물계의 제 1 공역은 대물 평면, 즉 방사원의 방출 평면과 대물계의 제 1 주 평면 사이의 거리를 의미하는 것으로 해석되어야 한다. 본 명세서에서, 대물계의 제 2 공역은, 대물계의 제 2 주 평면과 상 평면, 즉 정보층의 평면 사이의 거리를 의미하는 것으로 해석되어야 한다. 본 명세서에서, 기록매체의 주사는, 주사빔으로 이루어진 주사 스폿과 정보층을 정보를 판독, 기록, 및/또는 소거하기 위해 서로에 대해 움직이는 것을 의미한다.
호환가능한 주사장치에서 한 개의 대물계를 사용하여 서로 다른 NA들을 갖는 2개의 주사빔을 얻기 위해, 대물계의 앞 또는 이 대물계의 제 1 표면 상의 광경로에 환형 이색성 필터(annular dichroic filter) 또는 회절부재가 배치될 수 있다. 이와 같은 이색성 필터 또는 회절부재는, HD 주사빔을 투과시키고, LD 주사빔의 가장자리를 차단하거나 회절시켜, LD 주사빔의 중앙부만이 대물계를 통해 LD 정보층 으로 가도록 한다. LD 주사빔은 LD 정보층 상에 주사 스폿을 형성하는데, 이 주사 스폿은 HD 주사빔에 의해 HD 정보층 상에 형성된 주사 스폿보다 더 폭이 넓다. 특히, LD 주사빔이 정보층을 판독하는 것 뿐만 아니라, 정보층에 기록하는데 사용되고, 방사원으로부터의 최대량의 방사선이 정보층에 도달해야 하는 호환가능한 주사장치에 대해서, 더 좋은 대안은 추가적인 렌즈를 대물계 앞의 광경로에 배치하는 것이다. 이와 같은 빔 폭주변경 렌즈, 예를 들어 예비시준 렌즈(pre-collimator lens)는, LD 빔이 대물계의 중앙 부분만을 채우고, 대물계를 통과한 후에, 빔이 필요한 상 측 NA를 갖도록 LD 빔의 NA가 설정되도록, 방사원으로부터 빔의 폭주를 변경시킨다.
종래의 주사장치에서 이와 같은 예비시준 렌즈는 유리 렌즈이다. 이와 같은 렌즈는, 주사장치의 다른 렌즈들, 예를 들면 플라스틱으로 제조된 대물렌즈에 비해 비교적 값이 비싸다. 비용 문제로 인해 플라스틱 렌즈가 바람직하기는 하지만, 이와 같은 렌즈의 초점 길이가 온도 변환에 따라 변하기 때문에, 종래의 주사장치에서는 이것이 사용되지 않는다. 이러한 초점거리의 변화는 LD정보층에 대한 LD 빔의 초점 이동을 일으킨다. 예비시준 렌즈는 방사원으로부터 기록매체로의 LD 비의 경로에만 배치되고, 기록매체로부터 검출계로의 반사된 LD 빔의 경로에는 배치되지 않으므로, 이러한 초점 이동은 주사장치의 초점 검출계에 의해 대물계와 정보층의 순간적으로 주사된 부분의 평면의 서로에 대한 이동으로 해석된다. 따라서, 초점 서보계는, 초점 에러신호가 제로값이 되도록 대물계와 정보층을 서로에 대해 움직여, 초점 오프셋을 제공한다.
본 발명의 목적은, 전술한 문제점이 거의 해소된 서두에 기재된 광학주사장치를 제공함에 있다. 이 주사장치는, 상기 빔 폭주변경 렌즈가 플라스틱 렌즈이고, 6 내지 9 mm의 초점거리를 갖는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 플라스틱 렌즈의 온도 변화에 기인한 초점 흐려짐(defocusing)이 이 렌즈의 설계 초점거리에 비례하고, 6 내지 9 mm의 설계 초점거리에 대해, 기록매체의 잔류 초점 흐려짐이 충분히 허용가능하다는 착상에 근거를 두고 있다. 예비시준 렌즈에 대해 이와 같은 작은 초점거리를 제공하는 장치의 적절한 선택에 의해, 그것의 비용상의 이점을 유지한 채 플라스틱으로 이루어진 예비시준 렌즈를 사용할 수 있게 된다.
빔 폭주변경 렌즈가 LD 빔의 경로에 배치된 주사장치의 제 1 실시예는, 이 렌즈가 정 렌즈 파워(positive lens power)를 갖는 것을 특징으로 한다.
본 실시예는, HD 빔이 적절한 폭주를 갖고 통상적인 렌즈계의 전체 동공을 채우는 종래의 주사장치에서 시작한다. LD 빔 경로에 빔 폭주변경 렌즈를 사용함으로써, 이 빔이 상기한 동공의 중심만을 채우는 것이 실현된다.
주사장치의 제 2 실시예는, 빔 폭주변경 렌즈가 HD 빔의 경로에 배치되고, 이 렌즈가 부 렌즈 파워(negative lens power)를 갖는 것을 특징으로 한다.
본 실시예는, LD 빔이 적절한 폭주를 갖고 통상적인 렌즈계의 동공의 중앙부를 채우는 주사장치에서 시작한다. HD 빔 경로에 폭주변경 렌즈를 사용함으로써, 이 빔이 상기한 렌즈계의 전체 동공을 채우는 것이 실현된다.
또한, 상기한 주사장치는, LD 빔 내부에 정 렌즈 파워를 갖는 제 1 빔 폭주 변경 렌즈와, HD 빔 내부에 부 렌즈 파워를 갖는 제 2 빔 폭주변경 렌즈를 구비할 수 있다.
상기한 작은 초점거리를 갖는 빔 폭주변경 렌즈를 사용하면 제한된 이미지 필드(image field)가 발생되는데, 이것은 광학부재들의 상호 위치가 정밀하게 제어될 수 있으면 충분할 수 있다. 더 큰 위치 허용오차가 필요한 주사장치는, 빔 폭주변경 렌즈가 오목한 입사면과 볼록한 출사면을 갖는 것을 더 특징으로 한다.
예비시준 렌즈의 입사면은 제 2 방사원을 향하는 표면이다. 오목/볼록한 예비시준 렌즈의 사용은 더 큰 이미지 필드를 제공하므로, 광학부재의 상호 위치에 대한 요구사항이 줄어들 수 있다.
빔 폭주변경 렌즈를 구비한 빔 경로가 빔 분할 회절부재를 구비한 광학주사장치의 일 실시예는, 이 회절부재와 해당 방사원 사이에 빔 폭주변경 렌즈가 배치된 것을 더 특징으로 한다.
회절부재는, 방사원으로부터 발생된 빔을 주 빔, 즉 주사빔과, 트랙킹을 위한 2개의 보조 빔으로 분할한다. 회절부재의 뒤 대신에, 회절부재의 앞에 예비시준 렌즈를 배치함으로써, 이 렌즈가 방사원에 충분히 근접하게 배치될 수 있는데, 이것은 짧은 초점거리 면에서 바람직하다. 더구나, 대물계의 입사동 내부로 보조빔이 더욱 확실히 향할 수 있게 된다.
상기한 주사장치는, LD 및 HD 빔 중에서 적어도 한 개의 경로에, 빔 정형기가 해당 방사원을 행하는 제 1 부재로서 배치된 것을 더 특징으로 한다.
이와 같은 빔 정형기를 사용하여, 타원형 단면을 갖는 다이오드 레이저 빔을 방사선의 손실이 없이 원형 단면을 갖는 빔으로 변환할 수 있다. 다이오드 레이저에 근접하여 배치될 수 있는 효과적이면서 소형의 빔 정형기가 US-A 5,467,335에 공지되어 있다. 호환가능한 주사장치에 빔 정형기를 설치함으로써, LD 빔의 강도가 증가되어, 이 빔이 정보를 기록하는데 더욱 더 적합하게 된다.
본 발명의 이들 발명내용과 또 다른 발명내용은, 이하에서 설명되고 첨부도면에 예시된 실시예를 참조하여 더욱 명백해질 것이다.
도면에서,
도 1은 LD 빔의 경로에 2개의 다이오드 레이저와 예비시준 렌즈를 구비한 호환가능한 주사장치를 나타낸 것이고,
도 2는 예비시준 렌즈의 일 실시예를 나타낸 것이며,
도 3은 빔 정형기의 일 실시예를 나타낸 것이다.
도 1은, 짧은 파장에서 제 1 형태의 기록매체를 판독하고 가능한 경우에는 기록하는 제 1 광경로와, 긴 파장에서 제 2 형태의 기록매체를 판독 및 기록하는 제 2 광경로를 갖는 주사장치를 나타낸 것이다. 제 1 형태의 기록매체는, 디지털 다기능 디스크(DVD)이고, 제 1 파장은, 예를 들면 650 nm인 한편, 제 2 형태의 기록매체는 기록가능한 콤팩트 디스크(writable compact disc: CDW)이고, 제 2 파장은, 예를 들면 780 nm이다.
제 1 광경로는, 제 1 파장, 예를 들면 650 nm의 발산하는 방사빔(2), 즉 HD 빔을 방출하는 방사원(1), 예를 들면 반도체, 또는 다이오드 레이저를 구비한다. 부분적으로 투명한 거울(4)은 빔(2)의 일부분을 이색성 프리즘(6)을 향해 반사시킨다. 다이오드 레이저(1)와 거울(4) 사이에는 회절 격자(3)가 배치될 수 있는데, 이 격자는 비회절된 주, 즉 주사빔과 2개의 회절된 빔을 형성한다. 회절된 빔들은 트랙킹을 위해 사용된다. 간략을 기하기 위해 도면에는 비회절된 빔 만을 나타내었다. 간단히 말해 방사빔으로 불리는 3개의 방사빔은, 부분적으로 투명한 거울(4)에 의해, 제 1 파장에 대해 높은 투과도를 갖고 낮은 감쇠를 갖고 빔(2)을 통과시키는 이색성 빔 스플리터(6)를 향해 반사된다. 반사기(8)는 빔(2)을 시준 렌즈(10)를 향해 반사시키며, 이 시준 렌즈는 발산 빔(2)을 평행 빔(12)으로 변환시킨다. 이 빔은, 한 개의 렌즈부재로 표시되며, 평행 빔(12)을 기록매체(18)를 주사하기 위한 수렴 빔(16)으로 변화시키는 대물 렌즈계(14)를 통과한다. 대물 렌즈계는 도면에 도시된 것과 같이 한 개의 광학 부재로 구성될 수 있지만, 2개 또는 그 이상의 광학 부재를 구비할 수도 있다.
기록매체는, 제 1의 고밀도 형태를 가지며, 예를 들면 0.6 mm의 두께를 갖는 투명층(19)과, 수렴 빔(16)이 그 위에서 초점, 즉 주사 스폿(21)이 되는 정보층(20)을 구비한다. 정보층(20)에서 반사된 방사선은 빔 16 및 12의 광경로를 따라 되돌아와, 시준 렌즈(10)에 의해 수렴한다. 반사된 빔은, 이색성 빔 스플리터(6)와 빔 스플리터(4)를 통과하여, 검출계(23) 상의 검출기 스폿(24)으로 수렴된다. 이 검출계는 빔을 전기 검출신호로 변환한다. 정보층(20) 내부에 저장된 정보를 나타내는 정보신호와, 정보층(20)에 수직한 방향(초점 제어)과 트랙 방향에 수직한 방향(트랙킹 제어)으로 초점(21)의 위치를 지정하는 제어신호가 검출신호로부터 유도될 수 있다.
초점 제어신호는 소위 비점수차법을 사용하여 발생될 수 있다. 빔 스플리터(4)가 반사 및 수렴된 빔의 주 광속에 대해 예각으로 배치되기 때문에, 이 빔 스플리터는 이 빔 내부에 비점수차를 도입하게 된다. 검출계는, 검출계의 평면에 있는 비점수차 빔의 단면의 형태를 검출할 수 있도록 하는 사분면 검출기를 구비한다. 이 형태는 정보층(20)에 대한 초점(21)의 위치에 의해 좌우된다.
빔 스플리터(4)와 검출계 사이에 렌즈(25)가 배치될 수 있다. 이 렌즈는, 검출계 측에 구형의 오목면(26)을 가질 수 있으며, 빔의 초점을 설정하기 위한 부 서보렌즈로서 사용될 수 있다. 빔 스플리터 측에 있는 렌즈(25)의 표면(27)은 원통형으로 형성될 수 있으므로, 이 렌즈도 원기둥 렌즈 기능을 가질 수 있다. 이 렌즈 기능은, 기울어진 빔 스플리터(4)에 의해 도입된 비점수차가 너무 작은 경우에 사용될 수 있다. 또한, 렌즈(25)는 구형 렌즈 만이거나 원기둥 렌즈 만일 수도 있다. 필요한 경우에는, 빔 스플리터(4)에 의해 도입된 코마수차를 교정하는 부재가 이와 같은 렌즈 대신에, 또는 이와 같은 렌즈에 덧붙여 배치될 수 있다.
제 2 형태의 기록매체를 주사하는 광경로는, 제 2 파장, 예를 들면 780 nm의 발산하는 방사빔(32), 즉 LD 빔을 방출하는 방사원(31), 예를 들면 반도체 레이저를 구비한다. 그것의 광경로에 격자(33)가 배치되어, 격자(3)와 유사하게 3가지 빔을 형성할 수 있다. 이색성 빔 스플리터(6)는, LD 빔의 방사선의 대부분, 예를 들면 90%를 반사시키고, 이 빔의 나머지 방사선을 또 다른 검출기(7)로 투과시킨다. 피드포워드 센서로 불리는 이 검출기는, 다이오드 레이저(31)에서 발생된 빔의 강도에 비례하며, 이 빔의 강도를 제어하는데 사용될 수 있는 출력신호를 발생한다. 프리즘(6)에 의해 반사된 LD 빔은 HD 빔과 동일한 경로를 따라 제 2 형태의 기록매체(38)에 도달한다. 이 기록매체는, 예를 들면 1.2 mm의 두께를 갖는 투명층(39)과, 정보층(40)을 구비한다.
기록매체 18 및 38은, 부분적으로 투명한 정보층(20)을 갖는 한 개의 2층 기록매체인 것으로 도시되었지만, 이들은 서로 다른 두께를 갖는 투명층을 지닌 별개의 단일층 기록매체일 수 있다.
LD 빔은 정보층(40) 상에 초점, 즉 주사 스폿(41)이 맞추어져야 한다. 대물계(14)는, 방사원 1로부터의 HD 빔이 정보층 20에 초점이 맞추어지는 제 1 공역 세트의 제 1 모드와, 방사원 31로부터의 LD 빔이 정보층 40에 초점에 맞추어지는 제 2 공역 세트의 제 2 모드에서 동작하도록 설계된다. 정보층(40)으로부터 반사된 방사선은 기록매체(38)에 대한 LD 빔의 경로 상으로 되돌아온다.
미도시된 또 다른 빔 스플리터가 프리즘(6)과 회절 격자(33) 사이에 배치되어, 반사된 방사선을 미도시된 또 다른 검출계를 향해 반사시킬 수 있다. LD 빔에 대한 이와 같은 검출계는, HD 빔에 대한 검출계(23)와 동일한 기능을 갖는다. 바람직하게는, 빔 스플리터(6)를 통과하여 검출계(23)에 입사되는 반사된 LD 빔의 방사선은 정보층(40) 상의 주사 스폿(41)의 위치를 판독 및 제어하는데 사용된다. 이 LD 방사선은, 예를 들면 반사된 LD 빔의 전체 방사선의 10%이다. 이에 따르면, 제 2 검출계가 더 이상 필요하지 않으므로, 주사장치가 간단해진다. 필요한 경우에는, 빔 스플리터(6)에 일부의 편광 감도를 추가하고, 이 빔 스플리터와 대물계 사이, 바람직하게는 시준 렌즈(10)와 대물계 사이에 있는 LD 빔의 경로에 1/4 파장판(15)을 배치함으로써, 검출계에 입사되는 LD 빔의 강도를 증가시킬 수 있다. 기록매체(38)로 가는 도중과 기록매체로부터 되돌아오는 도중에, LD 빔은 이 파장판을 두 번 통과하므로, 그것의 편광 방향이 다이오드 레이저(31)에서 발생된 LD 빔의 편광 방향에 대해 90°만큼 회전한다. 이와 같은 편광 회전으로 인해, 기록매체(38)에 의해 반사된 LD 빔의 대부분은 빔 스플리터(6)를 통과하는 한편, 정보층(40)에 입사되는 LD 빔의 강도는 감소하지 않는다.
대물계(14)는, 제 1 모드에 대해, 제 1 파장을 갖는 평행광의 HD 빔(12)을 투명층(19)을 통해 정보층(20) 상의 초점(21)으로 수렴시킨다. 투명층(19)을 통과할 때 수렴 빔(16)에 의해 발생된 구면수차가 대물계(14) 내부에서 보상된다. 대물계는 사인 조건을 따른다. 투명층(19)이 존재하지 않으면, 대물계는 구면수차를 보상하지 않아야만 한다. 제 2 모드에서는, LD 빔이 투명층 19의 두께와 다른 두께를 갖는 투명층 39를 통과한다. 대물계는, 이 투명층(39)의 두께에 의해 발생된 구면수차를 보상하지 않는다. 그러나, 구면수차는, LD 빔의 주변 광속이 통과하는 대물계의 외부 환형 영역에 의해 주로 발생된다는 것이 입증되었다. 초점(41) 주위의 작은 영역에서는, 수차를 나타내는 수렴하는 LD 빔의 파면이 대물 구경의 중심부에서 구면을 이룬다. 주사 스폿(41)은, 대물 구경의 중심부에서 발생된 광속으로 형성된 큰 강도를 갖는 작은 중앙 영역과, 대물 구경의 외부 영역에서 발생된 광속으로 형성된 더 작은 강도를 갖는 중앙 영역 주위의 더 큰 환형 영역을 포함한다. 주 사 스폿의 중심부의 품질은 정보층(40)을 주사하는데 충분하며, 이 스폿을 형성하기 위해 대물 구경의 중심부로부터 발생된 광속 만을 사용하여 우수한 주사 스폿이 얻어질 수 있다. 이색성 흡수 또는 편향 링이 대물계의 앞 또는 대물계 위에 배치될 수 있는데, 이 링은 LD 빔의 방사선을 흡수 또는 편향시키며, HD 빔의 방사선을 통과시킨다. 따라서, 대물계는 전체 HD 빔을 통과시키지만, LD 빔의 중앙부 만을 통과시킨다. 이에 따라, LD 빔의 강도의 상당한 부분이 손실되고, 주사 스폿(41)의 나머지 강도는 이 스폿을 사용하여 정보를 기록하기에는 너무 작다.
특히, 제 2 정보층(40)에 정보를 기록할 수 있어야만 하는 호환가능한 주사장치에 대한 더 좋은 대안은, 도 1에 도시된 것과 같이, LD 빔의 경로에만 정 렌즈(34)를 배치하는 것이다. 이 렌즈는, 방사원(31)으로부터의 발산하는 빔(32)을 덜 발산하는 빔(35)으로 변환하며, 예비시준 렌즈로 불릴 수 있다. LD 빔(35)은 시준 렌즈(10)에 의해, 대물계의 개구의 중앙부 만을 채우는 LD 빔(36)으로 변환된다. 이에 따르면, 구면수차가 빔 내부로 전혀 도입되지 않거나, 허용될 수 있는 양의 구면수차만이 빔 내부로 도입되는 한편, 이 빔의 강도는 정보층(40) 내부에 정보를 기록하는데 충분할 정도로 크다.
상기한 추가적인 렌즈(34)의 비용을 줄이기 위해, 이 렌즈는 플라스틱으로 제조된다. 그러나, 이와 같은 렌즈의 주된 문제점은, 온도변화에 따라 그것의 초점거리가 변한다는 것이다. 주사장치에서, 이것은 정보층(40)에 대한 LD 빔 초점의 이동을 일으키므로, 주사 스폿(41)의 폭이 너무 넓어진다. 이것은, 인접하는 정보 트랙들간의 누화와, 소위 지터, 예를 들면 판독된 정보신호의 타임 에러와, 정보를 판독하는 동안 정보 및 트랙킹 신호의 신호 강도의 감소를 일으킬 수 있다. 정보를 기록하는 동안, 너무 폭이 넓은 스폿은 폭이 너무 넓고 윤곽이 뚜렷하지 않은 정보 영역을 형성할 수 있다. 주사장치는, 주사빔의 초점 평면과 주사하려는 정보 펴면 사이에 편차가 발행할 때, 정보층에 주사빔의 초점을 유지하는 초점 서보계를 구비한다. 이와 같은 편차는, 대물계와 기록매체 사이의 거리 또는 기록매체의 휘어짐에 기인할 수 있다. 초점 서보계는, 기록매체에 의해 반사되고 검출계에 입사된 주사빔을 사용하여 상기한 편차를 검출한다. 플라스틱 렌즈는 방사원(31)으로부터의 LD 빔의 경로에만 배치되고, 플라스틱 시준 렌즈의 온도 거동을 보상할 수 있는 이와 유사한 어떤 부재도 검출계로의 반사된 빔의 경로에 배치되지 않는다. 이것은, 예비시준 렌즈의 온도 변화가 초점 오프셋을 일으킨다는 것을 의미한다.
이러한 문제점을 해소하기 위해, 작은 초점거리를 갖는 플라스틱 예비시준 렌즈가 사용된다. 예비시준 렌즈가 평볼록 렌즈인 주사장치에서는, 온도 변화 ΔT에 대한 초점 흐려짐 ΔZ가 다음 식에 의해 근사될 수 있다:
이 식에서:
m은 예비시준 렌즈의 배율이고,
f는 이 렌즈의 초점거리이며,
n은 이 렌즈의 재료의 굴절률이고,
mc는 HD 빔에 대한 시준 렌즈(10)와 대물계(14)의 조합의 배율로서, 대물계(14)의 NA와 시준 렌즈(10)의 몫, 즉 다음 식으로 주어진다:
수학식 (1)은, 기록매체(38)의 초점 흐려짐 ΔZ가 예비시준 렌즈의 초점거리에 비례하며, 이 예비시준 렌즈의 초점 길이의 감소에 따라 초점 흐려짐이 줄어든다는 것을 입증한다.
HD 빔에 대해서는 대물계의 전체 개구수, 즉 NA,obj(HD)가 사용되고, LD 빔에 대해서는 이 개구수의 더욱 작은 중앙부, 즉 NA,obj(LD)가 사용되어야 한다는 요구조건은, 다음 식으로 주어지는 LD 빔에 대한 시준 렌즈 NA를 제공한다:
예비시준 렌즈는 NA,coll(LD)에 속하는 다이오드 레이저(31)로부터의 방사선의 양을 증가시키는데 사용된다. 이와 같은 예비시준 렌즈가 없으면, 다이오드 레이저 빔의 발산과 이러한 발산의 비대칭성으로 인해, 이 개구수에서의 다이오드 레이저의 양이 너무 작아 정보를 기록할 수 없게 된다. 예비시준 렌즈는 배율 m을 갖는 수렴 렌즈로서, NA,coll(LD)에 의해 포착된 레이저 빔이 더 큰 개구수를 얻도록 보장한다. 이와 같은 더 큰 개구수는 결합 개구수(coupling aperture) NA,coupl로 불릴 수 있다. 레이저 빔 발산도에 의해 좌우되는 이러한 결합 NA에 대해 필요한 값은 에비시 준 렌즈의 필요한 배율 m을 결정한다. 이 배율은 다음 식으로 주어진다:
주사장치의 실제 실시예에 있어서는, NA,coll(HD)=0.088이고 NA,obj(HD)=0.6이므로, 수학식 (2)로부터 mc=6.8이 얻어진다. 더구나, NA,obj(LD)=0.5이므로, 수학식 (3)에서 NA,coll(LD)=0.073이 얻어진다. 레이저 빔(32)이 8°의 횡방향 발산도를 갖고 20°의 측방향 발산도를 갖는 경우에, 이와 같은 개구수에서 너무 많은 교란을 일으키는 주변광을 결합시키지 않으면서, 충분한 LD 빔 강도로 NA,coll(LD)를 조사하기 위해서는 결합 개구수의 값 NA,coupl=0.135가 필요하다. 이것은, 예비시준 렌즈가 0.135/0.073=1.85의 배율 m을 가져야만 한다는 것을 의미한다. 예비시준 렌즈의 굴절률 n=1.57이고 ΔT=40℃에 대해 이 렌즈의 온도의 변화율이 Δn/ΔT=-12x10-5인 경우에, 서로 다른 값의 f에 대해 다음의 ΔZ 값이 수학식 (1)로부터 유도될 수 있 다:
이 표에는, ΔZ 값에 대응하는, 광학 문헌에서는 W20으로도 불리는 파면수차 WA도 표시되어 있다. WA의 값은 다음 식을 통해 ΔZ 값으로부터 유도될 수 있다:
상기한 값으로부터, 예비시준 렌즈의 초점거리가 가능한 한 작게 유지되어야만 한다는 것이 명백해진다. 상기한 실시예에 대해서는, 6 내지 9 mm의 초점거리 f와 배율 m=1.85를 갖는 예비시준 렌즈가 선택되어야만 한다. 바람직하게는, 이 렌즈는 초점거리 f=6.7 mm를 갖는다. 이것은 공지된 주사장치에 있어서의 예비시준장치의 초점 거리 f=15 mm보다 상당히 더 작다.
그것의 작은 초점거리 때문에, 예비시준 렌즈는 다이오드 레이저(31)에 근접하여 배치된다. 바람직하게는, 회절 격자(33)는, 공지된 주사장치의 경우와 마찬가 지로, 예비시준 렌즈의 앞 대신에, 도 1에 도시된 것과 같이, 예비시준 렌즈의 뒤에 배치된다.
주사장치의 이미지 필드는, 광축 상에서만 아니라, 이 축의 부근에서도 우수한 품질의 주사 스폿이 형성되도록 하는 특정한 크기를 가져야만 한다. 따라서, 예를 들면 트랙킹 목적을 위해, 주사 스폿이 이미지 필드에서 변위될 수 있다. 이와 같은 이미지 필드에 대해서는, 이 렌즈의 축방향 위치의 허용오차 면에서, 예비시준 렌즈의 초점거리가 너무 작지 않은 것이 바람직하다. 본 발명의 또 다른 일면에 따르면, 예비시준 렌즈는 오목-볼록 렌즈이다. 도 2는 이와 같은 렌즈와 다이오드 레이저(31)의 덮개 유리(60)의 단면을 나타낸 것이다. 레이저에서 방출된 빔(32)은 레이저 내부의 점(62)에서 나온 것처럼 보인다. 다이오드 레이저를 향하는 렌즈 표면(51)은 오목하며, 반대측 면은 볼록하다. 볼록면은 오목면보다 더 큰 곡률, 즉 더 작은 곡률 반경을 가지므로, 렌즈는 정의 렌즈, 즉 1보다 큰 배율 m, 예를 들면 m=1.85를 갖는다. 이 렌즈는, 6.7 mm의 차수의 작은 초점거리를 갖고, 25 mλ rms보다 작은 파면수차에 대해 0.5 mm 차수의 직경을 갖는 이미지 필드를 제공하므로, 주사장치의 에비시준 렌즈로 매우 적합하다.
전술한 실시예에 있어서, HD 빔은 대물계의 구경을 채우는 구경을 가지며, LD 빔은 그것이 대물계 동공의 중심부만을 채우도록 변형된다. 그러나, 2개의 레이저 빔이 대물계 동공의 중심부만을 채우도록 하는 구경을 가질 수도 있다. 이 경우에, HD 빔의 구경은, 이 빔이 대물계의 전체 동공을 채울 수 있는 정도로 증가되어야만 한다. LD 빔의 경로에 있는 정의 예비시준 렌즈 대신에, 부 렌즈, 즉 1보다 작은 배율을 갖는 렌즈가 HD 빔의 경로에 배치되어야만 한다. 본 발명에 따르면, 도 1에 점선으로 표기된 이와 같은 렌즈(55)는 작은 초점거리 f를 갖는다. 바람직하게는, 이 렌즈는, 이미지 필드가 충분히 크도록 하는 오목-볼록 렌즈이다. 이 렌즈(55)는 도 2에 도시된 렌즈와 유사한 형태를 가질 수 있다. 그러나, 오목면이 볼록면보다 큰 곡률을 가지므로, 이 렌즈는 정 렌즈 대신에 부 렌즈에 해당한다.
또한, 정 렌즈의 형태를 갖는 제 1 빔 폭주변경 부재를 LD 빔의 경로에 배치되고, 부 렌즈의 형태를 갖는 제 2 빔 폭주변경 부재를 HD 빔의 경로에 배치할 수도 있다. 따라서, HD 빔을 사용하여 대물계의 전체 동공을 조사하고, LD 빔을 사용하여 이 동공의 중심부만을 조사하려는 목적이, 이 2개의 폭주변경 부재의 공동 작용에 의해 달성된다. 이들 2개의 부재는, 이러한 단지 한 개의 부재가 사용되는 경우에 비해 더 약한 폭주변경 파워를 가질 수 있다. 2개의 폭주변경 부재의 사용은, 빔 스플리터(6)의 코딩에 설정되어야 하는 요구조건을 경감시키는데 도움이 될 수 있다. 2개의 빔 폭주변경 부재를 사용함으로써, 빔 스플리터가 더 쉽게 제조된다.
다이오드 레이저가 방사원으로 사용되는 주사장치에 있어서는, 주사빔의 강도를 증가시키기 위해 빔 정형기가 다이오드 레이저에 근접하여 배치될 수 있다. 다이오드 레이저는, 측평면으로 알려진 그것의 활성층에 평행한 평면에서의 개구각(angular aperture)이 횡단방향으로 알려진 활성층에 수직한 평면에서의 개구각보다 작은 빔을 방출한다. 예를 들어, 레이저 다이오드의 원시야(far field)에 있는 다이오드 레이저에서 일정거리 떨어져, 이와 같은 다이오드 레이저의 빔은 타원형 단면을 갖는다. 정보층을 주사하는 주사장치에 있어서는, 둥글고 작은, 바람 직하게는, 회절 한계의 주사 스폿이 사용되어야만 한다. 이를 위해, 주사 스폿을 생성하는 대물계는 원형의 단면적을 갖는 방사빔으로 채워져야 한다. 대물계가 타원의 단축의 방향으로 구경이 채워지도록 이 대물계의 입사동에 타원형 단면 치수를 갖는 다이오드 레이저 빔으로 조사되는 경우에, 일정한 양의 방사선이 장축 방향으로 동공의 외부에 놓이게 된다. 이와 같은 방사선 손실은, 타원형 빔을 원형 빔으로 변환하는 빔 정형기를 다이오드 레이저와 대물계 사이에 배치함으로써 방지할 수 있다. 바람직한 빔 정형기에 대해서는 US-A 5,467,335에 개시되어 있다.
도 3은, 원통형 입사면(112)과 톨로이드형 출사면(113)을 갖는 렌즈 부재가 다이오드 레이저(120)에 근접 배치될 수 있는 이와 같은 빔 정형기(110)를 나타낸 것이다. 이 레이저는 복수의 서로 다르게 도핑된 층을 구비하는데, 이들 중에서 스트립 형태의 활성층(122)만을 도시하였다. 이 스트립의 경계에는 2개의 부분적으로 투명한 거울 패싯(facet) 123 및 124가 위치하므로, 전류 공급원(129)으로부터의 전류가 레이저를 통과할 때 발생되는 레이저 방사빔이 활성 스트립(122)을 벗어날 수 있다. 활성 스트립(122)과 전방 패싯(124)의 좌표 XYZ의 3축 좌표계의 XY 평면에서, 단면은 사각형이다. 이와 같은 형상으로 인해, 다이오드 레이저에 의해 방출된 빔은 대칭이 아니고, 활성 스트립(122)에 평행한 XZ 평면, 즉 측평면에서 개구 각 β1을 갖는데, 이 개구 각은 YZ 평면, 즉 횡단 평면에서의 개구각 β2보다 작다. 측평면에 있는 레이저 빔의 주변 광속을 참조번호 125 및 126으로 표시하였으며, 횡단 평면에서의 주변 광속을 참조번호 127 및 128로 표시하였다. 입사면은, 그것의 원주 축이 Y 축에 평행한 원주의 일부분의 형태를 갖는다. YZ 평면에 있는 광속 에 대해, 입사면은, 예를 들면 공기와 예를 들어 n의 굴절률을 갖는 렌즈 매체 사이에서 평탄한 계면이 되므로, 이들 광속은 n으로 결정되는 크기만큼 Z 축을 향해 편향된다. 즉, 입사면(112)은 축소에 해당하는 1/n의 각방향 배율을 YZ 평면에 도입한다. 이 입사면(112)은 XZ 평면에서 곡률 R을 갖고, 이 면은 n의 각방향 배율을 도입한다. 빔 정형기(110)의 출사면(113)은 횡단 평면에서 곡률 반경 R1을 가지며 Z 위치에 배치되어, 그것의 곡률 중심이 면 112로 형성된 레이저 패싯(124)의 상과 거의 일치한다. 면 113은, 광속을 굴절되지 않은 형태로 횡단 평면에서 전달하며, 이 평면에서의 각방향 배율은 거의 1과 같다. 측평면에서, 출사면은 그것의 곡률 중심이 레이저 패싯(124)의 중심의 표면(112)으로 이루어진 허상과 일치하도록 하는 곡률 반경 R2을 가지므로, 이 평면에서의 각방향의 배율은 대략 1이 된다. 입사면(112)에 의해 형성된 2개의 허상이 Z 축을 따라 서로 다른 위치에 놓이기 때문에, 출사면(113)은 이들 상들을 한 개의 상으로 결합하도록 약간 톨로이드 형태를 가져야만 한다. 톨로이드는, 측평면에 있는 표면의 곡률 반경이 횡단 방향으로의 곡률 반경과 다른 것을 의미한다. 이것을 도 3에 출사면의 비공면(non-coplanar) 외주 곡선을 사용하여 도시하였다. 도 3에 도시된 빔 정형기의 더욱 상세한 내용과 실시예에 대해서는, US-A 5,467,335를 참조하기 바란다.
본 발명의 주사장치에 있어서는, 주사 스폿(41)이 에너지를 더욱 더 증가시키기 위해, 다이오드 레이저(31)와 예비시준 렌즈(34) 사이에 있는 LD 빔에 빔 정형기가 배치될 수 있다. 이 빔 정형기는 도 3에 도시된 것과 유사할 수 있다. 또 한, 이러한 빔 정형기는, 다이오드 레이저(1)와 회절 격자(3), 또는 렌즈가 존재하는 경우에는 렌즈 사이에 있는 HD 빔의 경로에 배치될 수도 있다. 이와 같은 빔 정형기는, 고밀도 정보층에 정보를 기록하기에 적합해야 하는 주사장치에 특히 유리하다.
LD 및 HD 빔 중에서 한 개 또는 모두에 배치될 수 있는 도 3에 도시된 빔 정형기는 두꺼운 렌즈 부재이다. 이와 같은 렌즈 빔 정형기 대신에, 회절 격자 또는 홀로그래픽 부재의 형태를 갖는 회절 빔 정형기가 사용될 수 있다. 이때에는, 빙 정형이 굴절이 아니라 회절에 의해 수행된다. 이러한 회절 빔 정형기가 폭주변경 렌즈를 포함하는 방사 경로에서 사용되어야 하는 경우에는, 이 정형기가 렌즈와 일체화될 수 있다. 이것은, 이 렌즈의 입사면이 빔 정형기로서의 역할을 하는 회절 구조를 구비한다는 것을 의미한다.
Claims (9)
- 제 1 동작 모드에서 제 1 정보층과 제 1 두께의 제 1 투명층을 갖는 제 1 형태의 기록매체를 주사하고, 제 2 동작 모드에서 제 2 정보층과 제 1 두께와 다른 제 2 두께의 제 2 투명층을 갖는 제 2 형태의 기록매체를 주사하며, 제 1 모드에서 제 1의 HD 방사빔을 발생하는 제 1 방사원과, 제 2 모드에서 제 2의 LD 방사빔을 발생하는 제 2 방사원과, 제 1 모드에서는 제 1 정보층 상에 HD 빔의 초점을 맞추기 위해 제 1 공역 세트에서 동작하고 제 2 모드에서는 제 2 정보층 상에 LD 빔의 초점을 맞추기 위해 이와 다른 제 2 공역 세트에서 동작하도록 설계된 대물계를 구비하고, 상기 HD 및 LD 빔의 적어도 한 개의 경로에 빔 폭주변경 렌즈가 배치된 광학주사장치에 있어서, 상기 빔 폭주변경 렌즈가 플라스틱 렌즈이고, 6 내지 9 mm의 초점거리를 갖는 것을 특징으로 하는 광학주사장치.
- 제 1항에 있어서,빔 폭주변경 렌즈가 LD 빔의 경로에 배치되고, 이 렌즈가 정 렌즈 파워를 갖는 것을 특징으로 하는 광학주사장치.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,빔 폭주변경 렌즈가 HD 빔의 경로에 배치되고, 이 렌즈가 부 렌즈 파워를 갖는 것을 특징으로 하는 광학주사장치.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,빔 폭주변경 렌즈는, 제 1 및 제 2 방사원을 향하는 오목 입사면과, 볼록 출사면을 갖는 것을 특징으로 하는 광학주사장치.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,빔 폭주변경 렌즈를 구비한 빔의 경로가 빔 분할 회절부재를 구비하고, 빔 폭주변경 렌즈는 이 회절부재와 해당 방사원 사이에 배치된 것을 특징으로 하는 광학주사장치.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,LD 및 HD 빔 중 적어도 한 개의 경로에, 빔 정형기가 해당 방사원을 향하는 제 1 부재로서 배치된 것을 특징으로 하는 광학주사장치.
- 제 6항에 있어서,빔 정형기는 원통형 입사면과 톨로이드형 출사면을 갖는 렌즈 부재인 것을 특징으로 하는 광학주사장치.
- 제 6항에 있어서,빔 정형기는 회절부재인 것을 특징으로 하는 광학주사장치.
- 제 8항에 있어서,빔 정형기의 회절 부재는 해당 빔 폭주변경 렌즈의 입사면과 일체화된 것을 특징으로 하는 광학주사장치.
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