KR100787540B1 - A vacuum dry machine - Google Patents
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Abstract
Description
도 1a 내지 도 1c는 본 발명에 따른 평면디스플레이 패널제조용 진공건조장치를 보인 평면도와 정면도 및 측면도.1A to 1C are a plan view, a front view and a side view showing a vacuum drying apparatus for manufacturing a flat panel display panel according to the present invention.
도 2는 본 발명에 따른 평면디스플레이 패널제조용 진공건조장치에서 챔버 발췌도.Figure 2 is an extract of the chamber in the vacuum drying apparatus for manufacturing a flat panel display panel according to the present invention.
도 3b 내지 도 3c는 본 발명에 따른 평면디스플레이 패널제조용 진공건조장치에서 리프트업다운장치부의 설치 상태를 보인 예시도.Figure 3b to Figure 3c is an exemplary view showing the installation state of the lift up-down device in the flat display panel manufacturing vacuum drying apparatus according to the present invention.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명에 따른 평면디스플레이 패널제조용 진공건조장치에서 리프트업다운장치부의 요부 발췌도 및 작동관계 설명도.Figures 4a to 4d is an explanatory view of the main portion of the lift-up device unit in the vacuum drying apparatus for manufacturing a flat panel display panel according to the present invention.
도 5a 내지 도 5c는 본 발명에 따른 평면디스플레이 패널제조용 진공건조장치에서 버퍼플레이트의 다른 설치상태를 보인 예시도 및 작동관계 설명도.5a to 5c is an exemplary view showing another installation state of the buffer plate in the vacuum drying apparatus for manufacturing a flat panel display panel according to the present invention and an operational relationship explanatory drawing.
도 6은 본 발명에 따른 평면디스플레이 패널제조용 진공건조장치의 리프트업다운장치부에서 리프트지지장치부의 구조를 보인 발췌도.Figure 6 is an excerpt view showing the structure of the lift support device in the lift-up device unit of the vacuum drying apparatus for manufacturing a flat panel display panel according to the present invention.
도 7a 내지 도 7e는 본 발명에 따른 평면디스플레이 페널제조용 진공건조장치에서 챔버의 양 측면에 설치되는 윈도우개폐장치를 보인 예시도.7a to 7e is an exemplary view showing a window opening and closing device is installed on both sides of the chamber in the vacuum display device for manufacturing a flat panel display panel according to the present invention.
도 8a 내지 도 8e는 본 발명에 따른 기판제조용 진공건조장치에서 챔버의 전후좌우면에 설치되는 게이트개폐장치부를 발췌하여 보인 예시도.8a to 8e is an exemplary view showing the gate opening and closing device installed on the front, rear, left and right surfaces of the chamber in the substrate manufacturing vacuum drying apparatus according to the present invention.
도 9a 내지 도 9e는 본 발명에 따른 기판제조용 진공건조장치에서 배기장치부를 발췌하여 보인 예시도.9a to 9e is an exemplary view showing an extracting the exhaust unit in the vacuum manufacturing apparatus for manufacturing a substrate according to the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
1: 진공건조장치 2: 진공건조장치하우징 3: 받침다리1: vacuum dryer 2: vacuum dryer housing 3: support leg
10: 챔버어셈블리 11: 상챔버 12: 하챔버10: chamber assembly 11: upper chamber 12: lower chamber
15.16: 보강프레임 20: 가이드핀 21: 로케이트핀15.16: reinforcement frame 20: guide pin 21: locate pin
24: 핀장착플레이트 25: 가이드블럭 100: 리프트업다운장치부24: pin mounting plate 25: guide block 100: lift up and down device
101: 업다운장치틀 102: 모터베이스 103: 리프트플레이트101: up down frame 102: motor base 103: lift plate
110; 서보모터 120: 스크루잭 130: 리프트지지장치부110; Servo motor 120: screw jack 130: lift support unit
150: 버퍼플레이트 200: 윈도우개폐장치부 201: 개폐도어150: buffer plate 200: window opening and closing unit 201: opening and closing door
207: 도어힌지 300: 게이트개폐장치부 301: 게이트메인플레이트207: door hinge 300: gate opening and closing unit 301: gate main plate
302: 실린더장착판 303: 받침판 310: 승하강실린더302: cylinder mounting plate 303: base plate 310: lifting cylinder
320: 전후진실린더 330: 개폐판 350: 밀폐링320: front and rear cylinder 330: opening and closing plate 350: sealing ring
400: 배기장치부 401: 흡입관 410: T관400: exhaust device 401: suction pipe 410: T pipe
420.430: 유량제어밸브 450: 고진공밸브 460: 배출관420.430: flow control valve 450: high vacuum valve 460: discharge line
본 발명은 LCD(Liquid Crystal Display:액정(液晶)디스플레이)를 제조하는 시스템에서 액정표시패널(Glass)의 표면에는 도포된 용매(Solvent)가 다량 함유된 약액(Photo Resist)을 흡입(진공상태에서)하여 건조시키는데 사용되는 평면디스플레이 패널제조용 진공건조장치에 관한 것이다.The present invention inhales a photoresist containing a large amount of solvent (Solvent) applied to the surface of the liquid crystal display (LCD) in a system for manufacturing an LCD (Liquid Crystal Display) (in a vacuum state) It relates to a vacuum drying apparatus for manufacturing a flat panel display panel used for drying.
이를 좀 더 상세히 설명하면, 직육면체의 형상으로 형성된 하우징의 내부에는 전후 및 좌우가 개방된 챔버를 설치하되, 챔버의 좌우 양측에는 윈도우개폐장치부를 각각 설치하여 양측에 형성된 입출구를 개폐시킬 수 있도록 하고, 챔버의 전면 및 배면(후면)에는 게이트개폐장치부를 각각 설치하여 게이트를 개폐시킬 수 있도록 하며, 챔버의 내부에 설치되는 버퍼플레이트를 리프트업다운장치부에 의해 업다운시킬 수 있도록 하며, 챔버의 상면과 밑면에는 배기장치부를 각각 설치하여 챔버의 내부를 진공상태로 유지시킨 상태에서 버퍼플레이트의 상측에 안치된 액정표시패널(Glass)의 표면에 도포된 용매(Solvent)를 흡입하여 건조시키도록 된 기판제조용 진공건조장치를 제공하려는 것이다.To describe this in more detail, inside and outside of the housing formed in the shape of a rectangular parallelepiped, the chamber is installed in the front, rear, left and right, respectively, the window opening and closing device on each of the left and right sides so as to open and close the entrance and exit formed on both sides, The gate opening and closing device is installed on the front and rear of the chamber, respectively, so that the gate can be opened and closed, and the buffer plate installed inside the chamber can be lifted up and down by the lift up and down device. The vacuum for manufacturing a substrate is provided to suck and dry a solvent (Solvent) applied to the surface of the liquid crystal display panel (Glass) placed on the upper side of the buffer plate while maintaining the interior of the chamber in a vacuum state by installing each exhaust device unit It is to provide a drying device.
보편적으로 화상을 패널에 표시해주는 액정표시장치(Liquid Crystal Display)는 액정표시패널의 내부에 매트릭스형태로 배열된 액정셀들의 투과율을 공급되는 비디오데이터신호로 조절하여 줌으로써 데이터신호에 해당되는 화상을 패널 상에 표시해 주게 되며, 액정표시패널은 상부기판과 하부기판을 합착시킨 상태로 제공하게 된다.In general, a liquid crystal display (LCD), which displays an image on a panel, adjusts the transmittance of liquid crystal cells arranged in a matrix form in the inside of the liquid crystal display panel to a supplied video data signal to display an image corresponding to the data signal. The liquid crystal display panel is provided in a state where the upper substrate and the lower substrate are bonded to each other.
상기 액정표시패널에서 상부기판에는, 액정 층에 전계를 인가시키기 위한 전극(전극들)과 외부에서 액정셀들에 공급되는 데이터를 절환시키기 위한 박막 트랜지스터와, 공급되는 데이터를 액정셀들에 공급하는 신호배선, 및 박막 트랜지스터의 제어신호를 공급하는 신호배선 등을 형성하고, 하부기판에는 컬러필터 등을 형성한다.In the liquid crystal display panel, an upper substrate includes an electrode (electrodes) for applying an electric field to the liquid crystal layer, a thin film transistor for switching data supplied to the liquid crystal cells from the outside, and supplying the supplied data to the liquid crystal cells. Signal wirings, signal wirings for supplying control signals of the thin film transistors, and the like are formed, and a color filter and the like are formed on the lower substrate.
특히, 약액(Photo Resist)을 이용하여 증착층에 식각면을 표시하고 패턴의 형성은 포토 리소그래피(Photo-Lithography)공정을 실시함으로써 형성할 수 있는데, 컬러필터에서는 기판(유리기판)의 표면에 솔벤트(Solvent)가 다량 함유된 포토 레지스터 도포액을 도포한 후에 건조시켜 주어야만 상기 포토 리소그래피(Photo-Lithography)공정에서 원하는 패턴을 용이하게 형성할 수 있게 된다.In particular, an etching surface is displayed on the deposition layer using a chemical solution and a pattern may be formed by performing a photo-lithography process. In a color filter, a solvent is formed on the surface of a substrate (glass substrate). After the photoresist coating liquid containing a large amount of (Solvent) is applied, it is allowed to dry, so that a desired pattern can be easily formed in the photo-lithography process.
본 발명은 상기와 같이 패턴을 형성하는 포토 리소그래피(Photo-Lithography)공정을 실시하기 전에 유리기판의 표면에 도포된 약액(Photo Resist)을 건조시켜 주는데 사용되는 기판제조용 진공건조장치를 제공하려는 것이다.The present invention is to provide a vacuum drying apparatus for manufacturing a substrate that is used to dry a chemical (Photo Resist) applied to the surface of the glass substrate before performing a photo-lithography process for forming a pattern as described above.
상기와 같이 유리기판의 표면에 도포된 약액(Photo Resist)을 건조시키는데, 통상적으로 사용되는 종래의 건조장치는, 챔버의 내부에 로딩되는 플레이트에 유리기판을 안치하고, 챔버에 설치된 진공펌프를 가동시켜 챔버의 내부 공기와 함께 도포된 약액을 흡입하여 챔버의 내부를 진공상태로 유지시키면서 약액을 외부로 배출시켜 주도록 된 것이다.As described above, a conventional drying apparatus used to dry a chemical liquid (Photo Resist) applied to the surface of the glass substrate, the glass substrate is placed on a plate loaded in the chamber, and the vacuum pump installed in the chamber is operated. By inhaling the chemical applied with the air inside the chamber to maintain the inside of the chamber in a vacuum state is to discharge the chemical to the outside.
그러나 이는 챔버에 설치된 하나의 진공펌프로 약액을 흡입하여 배출시키고, 유리기판을 플레이트의 상측에 단순하게 올려놓은 상태에서 약액을 흡입하므로, 진공펌프의 흡입력이 약하여 약액을 원활하고 완전하게 흡입할 수 없는 문제가 있고, 플레이트의 상측에 단순하게 올려져 있는 유리기판의 밑면에는 흡입력이 미미하게 미치게 되어 약액을 완전히 배출시킬 수 없는 문제가 있으며, 이로 인해 건조시간이 많이 소요될 뿐만 아니라 포토레지스터와 기판과의 접착력이 약하여 패턴을 정밀하게 형성할 수 없는 문제가 있다.However, it sucks and discharges the chemical liquid with one vacuum pump installed in the chamber, and sucks the chemical liquid while the glass substrate is simply placed on the upper side of the plate, so the suction power of the vacuum pump is weak so that the chemical liquid can be sucked smoothly and completely. There is no problem, and the bottom surface of the glass substrate which is simply placed on the upper side of the plate has a problem that the suction force is insignificant and the chemical liquid cannot be completely discharged. There is a problem that can not form a pattern precisely because the adhesive strength of.
상기와 같은 문제를 다소 나마 해소할 수 있도록 하기 위하여 제안된 것으로는 국내의 공개특허 공개번호 제10-2005-66017호 및 제10-2005-111871호의 "진공건조장치"가 알려져 있다.As a proposal to solve the problem as described above somewhat, "vacuum drying apparatus" of Korean Patent Publication Nos. 10-2005-66017 and 10-2005-111871 are known.
전자(공개특허 공개번호 제10-2005-66017호)와 후자(공개특허 제10-2005-111871호)의 진공건조장치는, 유리기판이 안치되는 플레이트가 내부에 구비된 챔버에 진공펌프를 설치하여 진공펌프를 가동시켜 챔버의 내부 공기와 함께 도포된 약액을 흡입하여 배출시키되, 챔버의 내부에는 열선이 구비된 핫플레이트를 설치하여 챔버의 내부에 열기를 공급하거나, 또는 챔버의 내부에는 열선이 배열된 가열플레이트를 설치하여 열을 발생시키고 가열플레이트의 상측에 기판이 로딩되도록 된 것이다.In the former (Open Patent Publication No. 10-2005-66017) and the latter (Published Patent Publication No. 10-2005-111871), a vacuum pump is installed in a chamber in which a plate on which a glass substrate is placed is provided. The vacuum pump is operated to suck and discharge the chemical liquid applied together with the internal air of the chamber. However, a hot plate having a heating wire is installed inside the chamber to supply heat to the inside of the chamber, or a heating wire is provided inside the chamber. The heat plates are arranged to generate heat, and the substrate is loaded on top of the heat plates.
그러나 이들은 기판을 진공건조시키는 시간을 단축시키기 위해 열선에 의해 가열플레이트를 가열시켜 잔존하게 되는 도포액을 증발시키도록 하고 있으나, 진공건조를 실시할 때에 챔버의 일측에 형성된 하나의 흡입구를 통해 챔버의 내부 공기를 흡입하게 되므로 기판은 흡입구와의 거리에 따라 건조상태가 달라지는 문제가 있다.However, in order to shorten the time for vacuum drying the substrate, the heating plate is heated by a heating wire to evaporate the remaining coating liquid. However, the vacuum drying is performed through one suction port formed at one side of the chamber. Since the internal air is sucked in, the substrate has a problem that the drying state is changed according to the distance from the inlet.
뿐만 아니라 핫플레이트 또는 가열플레이트의 상측에 안치되는 기판의 상면과 밑면의 건조상태 즉, 도포액의 증발상태가 다르게 되고, 핫플레이트 또는 가열 플레이트에 접촉되는 기판의 밑면과 접촉되지 않는 상면의 온도가 달라져, 기판의 조직에 변화(변형)가 발생하게 될 염려가 있으며, 따라서 기판의 조직이 변화되면 패턴을 균일하고 정밀하게 형성할 수 없는 문제가 있다.In addition, the dry state of the upper and lower surfaces of the substrate placed on the upper side of the hot plate or the heating plate, that is, the evaporation state of the coating liquid is different, and the temperature of the upper surface which is not in contact with the bottom surface of the substrate in contact with the hot plate or the heating plate is different. There is a concern that a change (deformation) occurs in the structure of the substrate, and therefore, there is a problem that a pattern cannot be formed uniformly and precisely when the structure of the substrate is changed.
특히 이들 종래의 건조장치들은 기판의 특성과는 무관하게 플레이트(또는 핫플레이트, 가열플레이트)의 상측에 단순하게 안치시킨 상태에서 건조를 실시하므로 플레이트(또는 핫플레이트, 가열플레이트)와 기판의 밑면과의 접촉면적이 넓어 건조를 능률적으로 실시할 수 없을 뿐만 아니라 기판의 특성에 따라 효율적으로 건조시킬 수 없는 문제가 있다.In particular, these conventional drying apparatuses perform drying while being simply settled on the upper side of the plate (or hot plate or heating plate) regardless of the characteristics of the substrate. Because of the large contact area, there is a problem in that drying cannot be efficiently performed and drying can not be performed efficiently depending on the characteristics of the substrate.
또한 기판을 인위적인 방법에 의해 챔버의 내부에 안치하고 인출하여야 하므로 공정을 자동화시킬 수 없을 뿐만 아니라 작업성이 떨어지는 문제가 있고, 기판을 교체시키기 위해 챔버의 뚜껑을 개방시킬 때에 열기와 잔류하는 가스가 외부로 방출될 될 때에 작업자의 얼굴 등의 피부에 접촉되어 작업을 효율적으로 실시할 수 없을 뿐만 아니라 피부가 손상될 염려가 있다.In addition, since the substrate must be placed inside the chamber by an artificial method and drawn out, not only the process can be automated but also the workability is inferior, and heat and gas remaining when the lid of the chamber is opened to replace the substrate When it is released to the outside, it is not only in contact with the skin of the operator's face or the like, but also may not be able to efficiently perform the work, and the skin may be damaged.
본 발명은 상기와 같은 문제를 해소할 수 있도록 더욱 개선된 기판제조용 진공건조장치를 제공하려는 것이다.The present invention is to provide a further improved vacuum drying apparatus for manufacturing a substrate to solve the above problems.
본 발명은, 직육면체의 형상으로 형성된 하우징의 내부에는 전후 및 좌우가 개방된 챔버를 설치하되, 챔버의 좌우 양측에는 윈도우개폐장치부를 각각 설치하여 양측에 형성된 입출구를 개폐시킬 수 있도록 하고, 챔버의 전면 및 배면(후면)에는 게이트개폐장치부를 각각 설치하여 게이트를 개폐시킬 수 있도록 하며, 챔버의 내부에 설치되는 버퍼플레이트를 리프트업다운장치부에 의해 업/다운시킬 수 있도록 하며, 챔버의 상면과 밑면에는 배기장치부를 각각 설치하여 챔버의 내부를 진공상태로 유지시킨 상태에서 버퍼플레이트의 상측에 안치된 액정표시패널(Glass)의 표면에 도포된 용매(Solvent)를 흡입하여 건조시키도록 된 기판제조용 진공건조장치를 제공하려는데 그 목적이 있다.The present invention is installed in the inside of the housing formed in the shape of a rectangular parallelepiped, the front, rear and left and right chambers are installed, respectively, the left and right sides of the chamber are provided with a window opening and closing device respectively to open and close the entrance and exit formed on both sides, the front of the chamber And the rear (rear) to install the gate opening and closing device respectively to open and close the gate, and to enable the buffer plate installed in the chamber up / down by the lift up and down device portion, the top and bottom of the chamber Vacuum drying for manufacturing a substrate to install and discharge the solvent applied to the surface of the liquid crystal display panel (Glass) placed on the upper side of the buffer plate while maintaining the interior of the chamber in a vacuum state by installing the exhaust unit, respectively. The purpose is to provide a device.
본 발명의 다른 목적은, 챔버를 이동식으로 된 하우징의 내부에 설치하여 줌으로서 작업장에 따라 용이하게 이동 및 운반하면서 사용할 수 있고, 챔버의 상측(상면)과 하측(밑면)에 보강프레임을 설치하여 지지력을 강화시킬 수 있도록 된 기판제조용 진공건조장치를 제공하려는데 있다.Another object of the present invention is to install and move the chamber inside the movable housing to easily move and transport according to the workplace, and to install a reinforcement frame on the upper side (upper side) and the lower side (bottom side) of the chamber. It is to provide a vacuum drying apparatus for manufacturing a substrate that can strengthen the bearing capacity.
본 발명의 또 다른 목적은, 기판의 상측과 하측에서 여러 개의 흡입공을 통해 동시 다발적으로 진공흡입을 실시함으로써 건조시간을 단축시켜 작업능률을 크게 향상시킬 수 있도록 된 기판제조용 진공건조장치를 제공하려는데 있다.Still another object of the present invention is to provide a vacuum drying apparatus for manufacturing a substrate, which is capable of greatly improving work efficiency by shortening the drying time by simultaneously performing multiple vacuum suctions through a plurality of suction holes on the upper side and the lower side of the substrate. I'm trying to.
본 발명의 또 다른 목적은, 챔버의 내부에 설치되는 플레이트를 챔버의 내부 및 외부로 슬라이딩 이동시킬 수 있도록 하고, 챔버의 양측에 형성되는 입출구를 자동으로 개폐할 수 있도록 하여, 기판의 로딩 및 언로딩을 자동으로 실시하여 작업성을 향상시키고, 작업자의 피부가 손상되는 것을 원천적으로 배제시킬 수 있도록 된 기판제조용 진공건조장치를 제공하려는데 있다.Still another object of the present invention is to allow the plate installed inside the chamber to slide in and out of the chamber, and to automatically open and close the entrances and exits formed on both sides of the chamber, thereby loading and unloading the substrate. The present invention aims to provide a vacuum drying apparatus for manufacturing a substrate that can automatically perform loading and improve workability, and can basically exclude the damage of the operator's skin.
본 발명의 또 다른 목적은, 기판이 안치되는 플레이트의 상면에는 위치를 자유롭게 가변시킬 수 있도록 된 마그넷(영구자석)을 이용한 핀(Procimity Pin)을 설치하고, 상기 핀(Procimity Pin)으로 안치되는 기판을 지지하여 기판의 접촉면적을 최소화하고 플레이트와 기판과의 사이에 공간이 형성되도록 함으로써 플레이트와 기판과의 사이에 위치하는 공기를 원활하게 흡입 배출시킬 수 있으며, 기판이 안치되는 플레이트를 업다운장치에 의해 승하강시킴으로써 기판의 로딩 및 언로딩을 용이하게 실시할 수 있도록 하며, 더불어 기판의 상하면을 균일하고 신속하게 건조시킬 수 있도록 된 기판제조용 진공건조장치를 제공하려는데 있다.Still another object of the present invention is to install a pin using a magnet (permanent magnet) that can freely change its position on the upper surface of the plate on which the substrate is placed, and the substrate placed in the pin (Procimity Pin) By minimizing the contact area of the substrate and forming a space between the plate and the substrate, the air located between the plate and the substrate can be sucked and discharged smoothly. The present invention provides a vacuum drying apparatus for manufacturing a substrate, which enables easy loading and unloading of a substrate by raising and lowering the substrate, and allowing the upper and lower surfaces of the substrate to be dried uniformly and quickly.
본 발명의 또 다른 목적은, 챔버의 전후좌우에 형성된 게이트와 입출구를 개폐장치에 의해 동시에 개방시켜 줌으로써 챔버의 내부 공기(가스)를 신속하게 외부로 배출시켜 신선한 에어와 신속하게 교체되도록 하여, 챔버의 내부가 오염되는 것을 방지할 수 있도록 된 기판제조용 진공건조장치를 제공하려는데 있다.Another object of the present invention, by simultaneously opening the gate and the inlet and outlet formed in the front, rear, left and right of the chamber by the opening and closing device to quickly discharge the internal air (gas) of the chamber to the outside to quickly replace the fresh air, the chamber It is to provide a vacuum drying apparatus for manufacturing a substrate that can prevent the interior of the contamination.
본 발명의 상기 및 기타 목적은, The above and other objects of the present invention,
기판이 안치되는 버퍼플레이트(150)가 내부에 구비된 챔버어셈블리(10)의 내부공기를 진공펌프로 흡입하여 기판의 표면에 도포된 약액을 흡입하여 배출시키도록 된 것에 있어서;In the
직육면체의 형상으로 형성되고 내부에는 챔버어셈블리(10)가 설치되며 밑면에는 통상의 받침다리(3)와 케스터(4)가 짝으로 설치되어 고정 및 이동시킬 수 있도록 된 진공건조장치하우징(2)과;It is formed in the shape of a rectangular parallelepiped, and the
내부가 공간으로 형성되고 사면에는 내부공간과 연통되게 입출구(13)과 입출공(14)이 대응되게 형성되며, 상면과 밑면에 상챔버(12-1)와 하챔버(12)가 일체로 형성되며, 진공건조장치하우징(2)의 내부에 장착 고정되는 챔버어셈블리(10)와;The inside is formed into a space, and the entrance and
챔버어셈블리(10)의 좌우 양측에 형성된 입출구(13)에 각각 설치되어 입출구(13)를 개폐시킬 수 있도록 윈도우개폐장치부(200)와;A window opening and
챔버어셈블리(10)의 전면 및 후면에 형성된 입출공(14)에 각각 설치되어 입출공(14)를 개폐시킬 수 있도록 된 게이트개폐장치부(300)와;A gate opening and
챔버어셈블리(10)의 내부에 설치되는 버퍼플레이트(150)를 수직으로 상하 업/다운시키는 리프트업다운장치부(100)와;A lift up and down
챔버어셈블리(10)의 상면과 밑면의 양면 또는 일면에 선택적으로 설치되어 챔버어셈블리(10)의 내부 공기를 동시 다발적으로 흡입하여 외부로 배출시키는 배기장치부(400);를 포함하여 형성한 것을 특징으로 하는 진공건조장치(1)에 의해 달성된다.And an
본 발명의 상기 및 기타 목적과 특징은 첨부된 도면에 의거한 다음의 상세한 설명에 의해 더욱 명확하게 이해할 수 있을 것이다.The above and other objects and features of the present invention will be more clearly understood by the following detailed description based on the accompanying drawings.
첨부된 도면 도 1a 내지 도 9e는 본 발명에 따른 진공건조장치(1)의 구체적인 실현 예를 보인 것으로서, 도 1a 내지 도 1c는 본 발명에 따른 진공건조장치(1)의 예시도로서, 도 2는 챔버어셈블리(10)의 발췌도, 도 3a 내지 도 4d는 리프트업다운장치부(100)의 발췌도 및 요부 발췌도, 도 5a 내지 도 5c는 버퍼플레이트(150)의 다른 설치상태도, 도 6은 리프트탄발장치부(130)의 발췌도, 도 7a 내지 도 7e는 챔버어셈블리(10)의 양 측면에 설치되는 윈도우개폐장치부(200)의 발췌도, 도 8a 내지 도 8e는 챔버어셈블리(10)의 전면 및 후면에 설치되는 게이트개폐장치부(300)의 발췌도, 도 9a 내지 도 9e는 배기장치부(400)의 발췌도이다.1A to 9E show specific implementations of the vacuum drying apparatus 1 according to the present invention, and FIGS. 1A to 1C are exemplary views of the vacuum drying apparatus 1 according to the present invention. 3 is an excerpt view of the
본 발명에 따른 진공건조장치(1)는, 직육면체의 형상으로 형성되고 내부에는 챔버어셈블리(10)가 설치되는 진공건조장치하우징(2), 상기 진공건조장치하우징(2)의 내부에 장착 고정되는 챔버어셈블리(10), 챔버어셈블리(10)의 내부에 설치되는 버퍼플레이트(150)를 수직으로 상하 업/다운시키는 리프트업다운장치부(100), 챔버어셈블리(10)의 좌우 양측에 형성된 입출구(13)에 각각 설치되는 윈도우개폐장치부(200), 챔버어셈블리(10)의 전면 및 후면에 형성된 입출공(14)에 각각 설치되는 게이트개폐장치부(300), 챔버어셈블리(10)의 상면과 밑면의 양면 또는 일면에 선택적으로 설치되어 챔버어셈블리(10)의 내부 공기를 흡입하여 외부로 배출시키는 배기장치부(400)로 크게 분할하여 형성하였다.The vacuum drying apparatus 1 according to the present invention is formed in the shape of a rectangular parallelepiped, and a vacuum drying
진공건조장치하우징(2)은 도 1a 내지 도 1c에 예시된 바와 같이, 내부가 공간으로 되고 전후좌우 및 상하면이 개방형으로 된 직육면체의 형상으로 형성하였고, 밑면에는 짝으로 된 통상의 받침다리(3)와 케스터(4)를 각 모서리와 중간에 설치(장착)하여, 케스터(4)에 의해서는 용이하게 이동시킬 수 있도록 하였고, 받침다리(3)에 의해 높낮이를 조정하여 안정되게 설치할 수 있도록 하였다.1A to 1C, the vacuum drying
상기와 같이 형성된 진공건조장치하우징(2)의 내부에는 도 2에 예시된 바와 같은 챔버어셈블리(10)를 도 3a 내지 도 3c에 예시된 바와 같이 업다운장치틀(101)에 의해 받쳐 지지하도록 설치하였다.The
상기 진공건조장치하우징(2)의 내부에 설치되는 챔버어셈블리(10)는 도 2에 예시된 바와 같이, 챔버(11)를 직육면체의 형상으로 형성하되 상면과 하면을 개방하였고, 전면과 배면에는 입출공(14)을 형성하였으며, 좌측면과 우측면에는 한 쌍씩의 입출구(13)를 나란하게 형성하였다.As shown in FIG. 2, the
상기 챔버(11)의 상면과 밑면에는 상챔버(12-1)와 하챔버(12-2)를 볼트와 같은 고정수단을 이용하여 일체로 조립 형성하였고, 상챔버(12-1)의 상면과 하챔버(12-2)의 밑면에는 보강프레임(15)(16)으로서 H빔을 일체로 형성하였다.An upper chamber 12-1 and a lower chamber 12-2 are integrally assembled and formed on a top surface and a bottom surface of the
챔버어셈블리(10)의 내부에 설치되는 버퍼플레이트(150)를 수직으로 상하 업/다운시키는 리프트업다운장치부(100)는 도 3a 내지 도 3c에 예시된 바와 같이 형성(구성)하였다.Lift-up
챔버어셈블리(10)를 형성하는 보강프레임(16)의 밑면에는 업다운장치틀(101)을 일체로 형성하였고, 업다운장치틀(101)의 내부 하측에는 모터베이스(102)를 일정한 간격으로 설치되는 지지기둥(106)에 의해 고정 설치하되, 각 지지기둥(106)의 상단에 일체로 형성된 상측플랜지(106-1)를 업다운장치틀(101)의 상판 밑면에 고정하였으며, 각 지지기둥(106)의 하단에 일체로 형성된 하측플랜지(106-2)에는 상기 모터베이스(102)를 장착(고정)하였다. On the bottom of the
업다운장치틀(101)의 상판과 모터베이스(102)와의 사이에는 리프트플레이트(103)를 구비하였고, 업다운장치틀(101)의 상판과 모터베이스(102)의 상면과의 사이에는 가이드관체(108)가 외부에 끼워진 서포트봉(107)을 직사각형 형상으로 배치하여 서포트플랜지(109)를 이용하여 수직으로 고정시켰으며, 각 서포트봉(107)의 외측에 끼워진 가이드관체(108)를 모터베이스(102)에 고정하였다.A
챔버어셈블리(10)를 형성하는 챔버(11)의 내부에는 버퍼플레이트(150)를 구비하되, 도 3a에 예시된 바와 같이 한 쌍의 버퍼플레이트(150)를 구비하였고, 각 버퍼플레이트(150)의 하측에서 하챔버(12-2)와 리프트플레이트(103)와의 사이에는 리프트봉(131)의 상단이 하챔버(12-2)를 관통하여 상측으로 되도록 복수 개의 리프트탄발장치부(130)를 일정한 간격으로 이격(배치)시켜 장착하였다.A
상기 리프트탄발장치부(130)는 도 6에 구체적으로 예시된 바와 같이 형성하였다.The lift shot
하챔버(12-1)와 리프트플레이트(103) 사이의 동일 수직선상에는 벨로우즈지지관(133)의 상단의 플랜지(134)에 벨로우즈(132)가 일체로 된 벨로우즈어셈블리를 장착 고정시키되, 하챔버(12-2)의 밑면에는 하우징(136)을 볼트스크루와 같은 고정수단에 의해 장착(고정)하였고, 리프트플레이트(103)의 밑면에는 메인홀더(138)을 볼트와 같은 고정수단에 의해 장착(고정)하였다.On the same vertical line between the lower chamber 12-1 and the
하챔버(12-2)의 하우징(136)에는 벨로우즈(132)의 상단에 일체로 형성된 벨로우즈홀더(135)를 볼트에 의해 장착하고 리프트플레이트(103)의 메인홀더(138)에는 벨로우즈지지관(133)의 하단에 고정된 하우징(136)을 리프트핀홀더(137)와 함께 볼트로 장착(고정)하였으며, 리프트핀홀더(137)의 상면 중앙에는 벨로우즈(132)와 벨로우즈지지관(133)의 내부에 삽입되는 리프트봉(131)의 하단을 볼트로 장착(고정)하였다.The bellows
하챔버(12-1)의 유통공(12-3)을 통해 상측으로 돌출되는 리프트봉(131)의 상단에는 도 4c에 예시된 바와 같이, 장착블럭(141)을 결합시켰고, 장착블럭(141)의 양측에는 가이드부시(142)를 개입시켜 세라믹베어링(143)을 볼트(144)로 장착시켰으며, 버퍼플레이트(150)의 밑면에는 가이드바(140)를 볼트(145)로 장착 고정하였으며, 버퍼플레이트(150)의 가이드바(140)의 양측이 세라믹베어링(143)위에 안치되도록 하였다.As shown in FIG. 4C, the mounting
특히, 상기 버퍼플레이트(150)의 밑면에 장착되는 가이드바(140)는 버퍼플레이트(150)를 성형할 때에 일체로 형성할 수 있다.In particular, the
도 3a 내지 도 3c에 예시된 바와 같이, 업다운장치틀(101)의 내부에서 모터베이스(102)의 상측에 구비되고 리프트탄발장치부(130)들이 장착되는 리프트플레이트(103)는 서보모터(110)를 이용한 승하강 장치에 의해 일정한 높이만큼 승/하강시킬 수 있도록 하였다.As illustrated in FIGS. 3A to 3C, the
상기 각 리프트플레이트(103)를 일정한 높이만큼 승/하강시키는 승하강장치는 다음과 같이 형성하였다.Lifting device for lifting / lowering each
업다운장치틀(101)을 형성하는 하판에서 리프트플레이트(103)의 중앙선상에는 도 3c에 예시된 바와 같이 메인스페이서(111)를 고정 설치하였고, 메인스페이서(111)의 입력축에는 유니버설죠인트(112)를 이용하여 서보모터(110)의 축력축과 연결하고 양측의 출력축에는 기동추진축(113)(114)을 각각 연결하였으며, 각 기동추진축(113)(114)의 단부를 업다운장치틀(101)의 하판에 장착된 연동스페이서(115)(116)의 입력축에 연결하였다.
각 연동스페이서(115)(116)의 각 양측 출력축에는 연동추진축(117-1)(117-2) 및 연동추진축(118-1)(118-2)을 각각 연결하였고, 각 연동추진축(117-1)(117-2) 및 연동추진축(118-1)(118-2)의 단부를 업다운장치틀(101)의 하판에 사각으로 배치되어 장착된 각 스크루잭(120)의 입력축에 연결하였다.In the lower plate forming the up-down
The interlocking propulsion shaft 117-1, 117-2 and the interlocking propulsion shaft 118-1, 118-2 are respectively connected to each output shaft of each interlocking
수직선상으로 유지되는 각 스크루잭(120)의 출력축 즉, 스크루봉(121)을 모터베이스(102)와 리프트플레이트(103)를 관통하여 그 상단을 업다운장치틀(102)의 상판 밑면에 고정된 장착하우징(125)에 베어링(127)을 개입시켜 장착하였고, 스크루봉(121)에 나사 결합된 너트관(122)을 리프트플레이트(103)에 장착(고정)하였으며, 너트관(122)의 상하에서 스크루봉(121)에는 상단스톱퍼(126)와 하단스톱퍼(124)를 각각 끼워 상단스톱퍼(126)는 장착하우징(125)에 장착(고정)하고 하단스톱퍼(124)는 스톱퍼브래킷(123)을 이용하여 모터베이스(102)의 상면에 장착(고정)하였다.The output shaft of each
챔버어셈블리(10)를 형성하는 챔버(11)의 내부에 구비되는 각 버퍼플레이트(150)의 상면에는 여러 개의 기판받침핀(160)를 구비하였는데, 상기 기판받침핀(160)은 도 4a에 구체적으로 예시된 바와 같이 상단 중앙이 첨예하게 형성된 프라시머트핀(161)의 하측에 마그넷핀(162)을 볼트와 같은 고정수단에 의해 고정시켜 일체형으로 형성하였다.A plurality of substrate support pins 160 were provided on the upper surface of each
상기와 같이 형성된 기판받침핀(160)은 마그넷핀(162)에 의해 금속재질로 된 버퍼플레이트(150)의 상면에 용이하게 부착/분리시킬 수 있으므로 그 설치 위치를 자유스럽게 가변시킬 수 있다.Since the
상기 각 버퍼플레이트(150)의 상면에서 외측 및 후단의 가장자리에는 블럭(152)을 이용하여 가이드(151)을 일정한 간격으로 장착하여 안치되는 각 기판을 유도하여 일정하게 정렬시킬 수 있도록 하였다.
또한, 도 4a 내지 도 4d에 예시된 바와 같이, 챔버어셈블리(10)를 형성하는 하챔버(12-2)의 상면에는 한 상씩의 가이드블럭(25)을 일정한 간격으로 이격시켜 고정시켰고, 동일선상에 위치하는 가이드블럭(25)에는 핀플레이트(24)를 고정시키고 핀플레이트(24)에는 고정편(22)을 개입시킨 볼트(23)에 의해 상단에 탐침핀(21)이 결합된 가이드핀(20)을 일정한 간격으로 장착하였으며, 각 가이드핀(20)과의 동일선상에서 버퍼플레이트(150)에는 유통공(150-1)을 뚫어 리프트봉(131)과 함께 버퍼플레이트(150)가 상하로 이동할 때에 유통공(150-1)에 가이드핀(20)이 삽탈되도록 하였다.In addition, as illustrated in FIGS. 4A to 4D, the guide blocks 25 of one phase are fixed to the upper surface of the lower chamber 12-2 forming the
도 2에 예시된 바와 같이 챔버어셈블리(10)의 좌우 양측에 형성된 입출구(13)에 각각 설치되는 윈도우개폐장치부(200)는 도 7a 내지 도 7e에 예시된 바와 같이 형성하였다.As illustrated in FIG. 2, the window opening and
챔버어셈블리(10)의 좌우 양측에 형성된 각 입출구(13)의 외측에 개폐도어(201)을 각각 구비하였고, 각 개폐도어(201)의 내면에는 도 7e에 예시된 바와 같이 입출구(13) 보다 크게 요홈테(340)를 형성하고 요홈테(340)의 내부에 밀폐링(350)을 매설하되 헤드부(352)가 내면보다 돌출되도록 하였다.
각 개폐도어(201)의 하단과 하챔버(12-2)에 힌지브래킷(208)을 각각 장착하였고, 도어힌지(207)를 힌지브래킷(208)에 핀(209)으로 설치하여 개폐도어(201)를 개폐시킬 수 있도록 하였다.Opening and closing
상기 각 입출구(13)의 외측에 설치되는 개폐도어(201)의 중앙에는 투시공(202)을 뚫어주고, 투시공(202)의 외측에 투시창(203)을 서포트링(204)과 가이드플레이트(205)로 장착하여 챔버(11)의 내부를 투시하여 볼 수 있도록 하였다.A through
또한 도 2에 예시된 바와 같이 챔버어셈블리(10)의 전면 및 후면에 형성된 입출공(14)에 각각 설치되는 게이트개폐장치부(300)는 도 8a 내지 도 8e에 예시된 바와 같이 형성하였다.In addition, as illustrated in FIG. 2, the gate opening /
챔버어셈블리(10)를 형성하는 챔버(1)의 전면과 배면에는 게이트메인플레이트(301)를 상챔버(12-1)와 하챔버(12-2)에 고정시켜 장착하되, 게이트메인플레이트(301)의 외면 상측에는 단면상으로 보아 마름모형상으로 되는 요홈테(340)를 챔버(11)의 입출공(14)보다 크게 형성하여 밀폐링(350)을 매설하였고, 게이트메인플레이트(301)의 내면 상측에 뚫어진 게이트(301-1)가 챔버(1)의 전면과 배면에 형성된 공간부와 일치되도록 장착하여 게이트메인플레이트(301)가 챔버어셈블리(10)에 밀폐상태를 유지하도록 장착하였다.The gate
특히, 도 8e에 예시된 바와 같이 상기 요홈테(340)에 매설되는 밀폐링(350)은 단면으로 보아 마름모형상으로 된 몸체부(351)의 상측에는 만곡형상으로 된 헤드부(352)를 일체로 형성하여 헤드부(352)가 요홈테(340)의 외측으로 돌출되도록 하였고, 몸체부(351)의 양측에는 결속날편(353)을 일정한 간격으로 형성하여 요홈테(340)에 견실하게 장착시킬 수 있도록 하였다.In particular, as illustrated in FIG. 8E, the sealing
상기, 게이트메인플레이트(301)의 외면 양측에는 LM가이드(305)를 나란하게 고정시키고 받침판(303)의 양단에 일체형으로 형성된 가이드블럭장착판(304)의 내면에는 가이드블럭(306)을 장착하여 가이드블럭(306)이 LM가이드(305)을 따라 슬라이딩 되도록 결합시켰고, 게이트메인플레이트(301)의 외면 양측에는 실린더브래킷(312)을 이용하여 승하강실린더(310)를 나란하게 장착하되 승하강실린더(310)의 로드(311)를 받침판(303)에 고정시켰으며, 게이트메인플레이트(301)의 외면 양측에는 업소버어셈블리(315)를 업소버브래킷(316)으로 장착하여 받침판(303)의 하향을 제한(단속)할 수 있도록 하였다.The
받침판(303)의 외측에는 실린더장착판(302)을 장착(고정)하였고, 실린더장착판(302)의 내면에는 여러 개의 전후진실린더(320)를 일정한 간격으로 장착하였고, 일정한 간격으로 이격 장착되는 전후진실린더(320)의 로드에는 개폐판(330)을 장착하였으며, 실린더장착판(302)의 내면에는 한 쌍의 업소바어셈블리(135)를 압소바브래킷(136)으로 각각 나란하게 장착하여 개폐판(330)의 후진을 제한(단속)할 수 있도록 하였다.The
실린더장착판(302)에는 한 쌍의 서포트가이드관(132)을 이격시켜 나란하게 장착하고 동일선상의 개폐판(330)에는 서포트가이드봉(131)을 브래킷(133)으로 각각 장착하여 서포트가이드봉(131)을 서포트가이드관(132)에 끼워주어서, 개폐판(330)이 전후진 할 때에 서포트가이드봉(131)이을 서포트가이드관(132)에서 이동하여 개폐판(330)이 흔들림 없이 직선으로 전후진 하도록 하였다.A pair of
챔버어셈블리(10)의 상면과 밑면의 양면 또는 일면에 선택적으로 설치되어 챔버어셈블리(10)의 내부 공기를 흡입하여 외부로 배출시키는 배기장치부(400)는 다음과 같이 형성하였다.An
챔버어셈블리(10)를 형성하는 하챔버(12-2)에는 흡입공(12-3)을 다열 횡대로 뚫어 주되 각 흡입공(12-3)의 상측에는 매쉬플레이트(470)를 장착하였고, 각 흡입공(12-3)의 하단에는 흡입관(401)을 각각 장착하였으며, 각 흡입관(401)의 하단에는 접속관(420)을 이용하여 T접속관(410)을 각각 장착하였다.In the lower chamber 12-2 forming the
각 흡입관(401)의 하단에 장착된 T접속관(410)들은 접속관(430)으로 서로 연통되게 연결하였고, 일측 최 외측에 위치하는 T접속관(410)의 외측단은 밀폐시켰으 며, 타측 최 외측에 위치하는 T접속관(410)에는 연결관(440)과 절곡관(450)을 이용하여 송풍팬(구체적으로 도시하지 아니함)이 설치되는 배출관(460)을 연결하였다.The
이하, 본 발명에 따른 진공건조장치(1)의 작동관계를 설명한다.Hereinafter, the operation relationship of the vacuum drying apparatus 1 according to the present invention.
본 발명에 따른 진공건조장치(1)는 업다운장치부(100)에 의해 버퍼플레이트(150)를 상향시키고, 챔버(11)의 전면과 후면에 형성된 입출공(14)중에서 전면(또는 배면)의 입출공(14)에 설치된 게이트개폐장치부(300)의 개폐판(330)을 후퇴 및 하향시킨 상태에서 작동시킨다.In the vacuum drying apparatus 1 according to the present invention, the
상기와 같이 게이트개폐장치부(300)의 개폐판(330)을 후퇴 및 하향시켜 입출공(14)을 개방킨 상태에서, 리프트탄발장치부(130)에서 리프트봉(130)의 상단에 설치(안치)된 버퍼플레이트(150)를 구체적으로 도시하지 아니하였으나 로봇장치와 같은 기구를 이용하여 버퍼플레이트(150)를 챔버(12)의 외측으로 인출한다.As described above, the opening and
버퍼플레이트(150)를 챔버(12)의 외측으로 인출하게 되면 도 4c 및 도 5b에 예시된 바와 같이 리프트핀(131)의 상단에 장착된 양측의 세라믹베어링(143)이 롤링(회전)하면서 버퍼플레이트(150)의 밑면에 장착(형성)된 가이드바(140)의 양측을 받쳐 지지하게 되므로 버퍼플레이트(150)를 용이하고 원활하게 인출시킬 수 있게 된다.When the
챔버(12)의 외측으로 인출된 버퍼플레이트(150)에는 기판공급장치(구체적으로 도시하지 아니함)에 의해 기판을 공급하여 안치시키는데 공급된 기판은 버퍼플레이트(150)의 상면에 설치(배치)된 기판받침판(160)에 의해 받쳐지고 외주에 설치 된 가이드(151)에 의해 일정한 위치로 세팅된다.The
기판이 안치된 버퍼플레이트(150)는 로봇장치(구체적으로 도시하지 아니함)와 같은 기구를 이용하여 챔버(12)의 내부로 인입시키고, 기판이 안치된 버퍼플레이트(150)를 챔버(12)의 내부로 인입시킨 상태에서 게이트개폐장치부(300)와 업다운장치(100)를 동시에 작동시켜 입출공(14)을 폐쇄시킴과 동시에 기판이 안치된 버퍼플레이트(150)를 하향시킨다.The
상기 게이트개폐장치부(300)는 다음과 같이 작동한다.The gate opening and
도 8d에 예시된 바와 같이 개폐판(330)이 하향하여 게이트메인플레이트(301)의 게이트(301-1)과 챔버(12)의 입출공(14)이 개방된 상태에서, 게이트메인플이트(301)에 장착된 승하강실린더(310)가 작동하면 그의 로드(311)가 인출되면서 도 8e에 예시된 바와 같이 일체로 결합된 받침판(303)과 실린더장착판(302)을 동시에 상향시켜 개폐판(330)을 게이트메인플레이트(301)의 게이트(301-1)와 일치시키며, 이때에 가이드장착판(304)에 장착된 가이드블럭(306)이 게이트메인플레이트(301)에 장착된 가이드레일(305)을 따라 슬라이딩 이동하므로 받침판(303)과 실린더장착판(302)은 흔들림 없이 수직으로 상승하게 된다.As illustrated in FIG. 8D, in the state where the opening and
개폐판(330)이 게이트메인플레이트(301)의 게이트(301-1)와 일치시킨 상태에서 실린더장착판(302)에 장착된 전후진실린더(32)들을 동시에 작동시켜 개폐판(330)을 전진시키며, 전진하는 개폐판(330)은 도 8c 내지 도 8e에 예시된 바와 같이 게이트메인플레이트(301)의 게이트(301-1)를 폐쇄시키게 되는데, 개폐판(330)의 전면이 게이트메인플레이트(301)에 매입된 밀폐링(350)과 밀접하게 접속되면서 밀폐상태를 유지하게 된다.Advancing the opening and
또한 업다운장치(100)는 다음과 같이 작동하여 상향 되어 있는 버퍼플레이트(150)를 하향시키게 된다.In addition, the up-
서보모터(110)가 작동하게 되면 유니버설조인트(112)로 연결된 메인스페이서(111)가 작동하여 각 기동추진축(113)을 회전시키게 되고, 각 기동추진축(113)이 회전하게 되면 각 연동스페이서(115)들도 작동하여 연동추진축(117-1)들을 회전시키게 되며, 연동추진축(117-1)들이 역으로 회전하게 되면 각 스크루잭(106)들은 작동하게 된다.When the
각 스크루잭(106)들이 작동하게 되면 그의 스크루봉(121)이 회전하게 되고, 스크루봉(121)이 회전하게 되면 그에 나사결합된 너트관(122)은 회전하는 스크루봉(121)을 따라 하향하게 되며, 너트관(122)이 하향하게 되면 너트관(122)에 장착된 리프트플레이트(103)이 하향하게 되며, 리프트플레이트(103)가 하향하게 되면 리프트탄발장치부(130)가 작동하게 된다.When the
리프트플레이트(103)와 함께 리프트탄발장치부(130)가 작동하게 되면 벨로우즈지지관(133)과 리프트핀(131)은 하향하고 벨로우즈(132)는 신장(늘어나게)되며, 리프트핀(131)이 하향하게 되면 도 3a와 도 4a 및 도 4b에 예시된 바와 같이 가이드바(140)의 상측에 안치된 버퍼플레이트(150)와 함께 기판이 하향하게 되며, 버퍼플레이트(150)와 함께 기판이 하향하게 되면 버퍼플레이트(150)에 뚫어진 가이드공(153)과 기판(구체적으로 도시하지 아니함)에 뚫어진 가이드공이 하챔버(12-2)에 고정된 가이드핀(20)으로 삽입되면서 요지부동의 상태를 유지하게 된다.When the lift shot
이와 같이 리프트탄발장치부(130)가 역으로 하향하여 버퍼플레이트(150)와 함께 기판을 완전히 하향하게 되면 배기장치부(400)가 작동한다.As such, when the lift shot
상기 배기장치부(400)는 구체적으로 도시하지 아니하였으나 흡입팬이 작동하게 되면 흡입팬의 강한 흡입력에 의해 챔버(12)의 내부에 있는 공기와 함께 기판 즉, 액정표시패널(Glass)의 표면에는 도포된 용매(Solvent)가 다량 함유된 약액(Photo Resist)은 매쉬플레이트(470)가 장착된 흡입공(12-3)을 통해 흡입되는데, 이때에 챔버(11)의 윈도우(14)를 통해 챔버(12)의 외기가 강제로 흡입되면서 윈도우개폐장치부(200)가 작동하여 윈도우(14)를 폐쇄시키게 된다. Although not shown in detail, the
챔버(12)의 외기가 윈도우(14)를 통해 강제로 흡입되면 외측으로 개방되어 있던 개폐도어(201)가 도어힌지(207)를 축으로 하여 내측으로 회전하여 닫아지게 되고, 닫아지는 개페도어(201)의 내면에 매설된 밀폐링(150)의 헤드부(352)가 챔버(11)와 상챔버(12-1) 및 하챔버(12-2)에 밀접하게 접속되면서 윈도우(14)를 밀폐시키게 된다.When the outside air of the
윈도우(14)를 통해 챔버(12)의 내부로 순간적으로 흡입되는 외기와 챔버(12)내의 공기와 약액은 흡입공(12-3)으로 흡입되고, 흡입관(401)과 접속관(420)을 통해 각 T접속관(410)으로 흡입되고, 각 T접속관(410)으로 흡입되는 공기와 약액은 연결관(440)과 절곡관(450) 및 배출관(460)을 순차적으로 거쳐 외부로 배출되면서 기판의 외면에 도포된 약액을 건조시키게 된다.The outside air, which is sucked into the
상기와 같이 실시하여 기판의 외면에 도포된 약액이 완전히 건조된 상태에서 양측의 게이트개폐장치부(300)를 작동시켜 챔버(12)의 진공상태를 해제시킴과 동시 에 업다운장치부(100)를 작동시켜 기판이 안치된 버퍼플레이트(150)를 상향시킨다.By performing as described above to operate the gate opening and
각 게이트개폐장치부(300)의 전후진실린더(320)를 작동시키게 되면 전진되어 있던 개폐판(330)이 후진하여 게이트(301-1)의 폐쇄상태를 해제하게 되고, 개폐판(330)이 후진하여 게이트(301-1)의 폐쇄상태를 해제시키게 되면 게이트(301-1)를 통해 외기가 챔버(12)의 내부로 유입되면서 챔버(12)의 내부 진공상태를 해제시키게 된다.
챔버(12)의 내부로 외기가 유입되어 진공상태가 해제되면 유입되는 외기의 압력에 의해 윈도우(14)를 폐쇄하고 있던 윈도우개폐장치부(200)의 개폐도어(201)가 도어힌지(207)를 축으로 하여 외측으로 젖혀지게 되며, 따라서 챔버(12)는 진공상태에서 완전히 벗어나게 된다.When operating the forward and
When the outside air flows into the
챔버(12)의 내부가 진공상태에서 완전히 해제되면 승하강실린더(310)가 작동하게 되고, 승하강실린더(310)가 작동하게 되면 받침판(303)과 함께 실린더장착판(302)이 하향하여 도 8d에 예시된 바와 같이 원상태로 복귀하게 된다.When the inside of the
이와 같이 게이트개페장치부(300)가 작동하여 챔버(12) 내부의 진공상태를 해제시킨 상태에서 업다운장치부(100)가 역으로 작동한다.In this way, the
업다운장치부(100)의 서보모터(110)가 역으로 작동하게 되면 유니버설조인트(112)로 연결된 메인스페이서(111)가 역으로 작동하여 각 기동추진축(113)을 역으로 회전시키게 되고, 각 기동추진축(113)이 역으로 회전하게 되면 각 연동스페이서(115)들도 작동하여 연동추진축(117-1)들을 역회전시키게 되며, 연동추진축(117-1)들이 역회전하게 되면 각 스크루잭(106)들은 역으로 작동하게 된다.When the
각 스크루잭(106)들이 역으로 작동하게 되면 그의 스크루봉(121)이 역회전하 게 되고, 스크루봉(121)이 역회전하게 되면 그에 나사결합된 너트관(122)은 역회전하는 스크루봉(121)을 따라 상향하게 되며, 너트관(122)이 상향하게 되면 너트관(122)에 장착된 리프트플레이트(103)이 상향하게 되며, 리프트플레이트(103)가 상향하게 되면 리프트탄발장치부(130)도 역으로 작동하게 된다.When the
리프트플레이트(103)와 함께 리프트탄발장치부(130)가 역으로 작동하게 되면 벨로우즈지지관(133)과 리프트핀(131)은 상향하고 벨로우즈(132)는 압축되며, 리프트핀(131)이 상향하게 되면 가이드바(140)의 상측에 안치된 버퍼플레이트(150)와 함께 기판이 상향하게 되며, 버퍼플레이트(150)와 함께 기판이 상향하게 되면 버퍼플레이트(150)에 뚫어진 가이드공(153)과 기판(구체적으로 도시하지 아니함)에 뚫어진 가이드공이 하챔버(12-2)에 고정된 가이드핀(20)을 벗어나게 된다.When the
업다운장치부(100)가 역으로 작동하여 버퍼플레이트(150)와 함께 그 위에 안치된 기판을 상향시킨 상태에서, 배출 측에 설치된 로봇과 같은 인출장치가 작동하여 기판이 안치된 버퍼플레이트(150)를 챔버(12)의 외측으로 인출시키게 되고, 챔버(12)의 외측으로 인출된 버퍼플레이트(150)에서 기판을 파지하여 차기공정으로 이송시키며, 기판이 제거된 버퍼플레이트(150)를 챔버(12)의 내부로 통과시켜 공급 측으로 인출시켜 준다.In the state in which the up-down
버퍼플레이트(150)를 공급 측으로 이동시킨 상태에서 배출 측에 설치된 게이트개페장치부(300)를 작동시켜 그 배출구를 폐쇄한다.In the state in which the
본 발명에 따른 진공건조장치(1)는 상술한 바와 같은 과정을 반복적으로 실시하면서 기판의 표면에 도포된 약을 진공흡입하여 기판을 연속적으로 건조시키게 된다.The vacuum drying apparatus 1 according to the present invention continuously vacuums the medicine applied to the surface of the substrate while repeatedly performing the above process.
본 발명은 구체적으로 기재된 예에 대해서만 상세히 설명하였지만 본 발명의 기술사상범위 내에서 다양하게 변형 및 수정할 수 있음은 당업자에게 있어 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the examples specifically described, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and changes can be made within the technical scope of the present invention, and such modifications and variations belong to the appended claims.
본 발명에 따른 평면디스플레이 패널제조용 진공건조장치는, 직육면체의 형상으로 형성된 하우징의 내부에는 전후 및 좌우가 개방된 챔버를 설치하되, 챔버의 좌우 양측에는 윈도우개폐장치부를 각각 설치하여 양측에 형성된 입출구를 개폐시킬 수 있도록 하고, 챔버의 전면 및 배면(후면)에는 게이트개폐장치부를 각각 설치하여 게이트를 개폐시킬 수 있도록 하며, 챔버의 내부에 설치되는 버퍼플레이트를 리프트업다운장치부에 의해 업/다운시킬 수 있도록 하며, 챔버의 상면과 밑면에는 배기장치부를 각각 설치하여 챔버의 내부를 진공상태로 유지시킨 상태에서 버퍼플레이트의 상측에 안치된 액정표시패널(Glass)의 표면에 도포된 용매(Solvent)를 흡입하여 건조시키도록 된 것이다.In the vacuum display device for manufacturing a flat panel display panel according to the present invention, inside and outside of the housing formed in the shape of a rectangular parallelepiped, the chamber is installed in the front and rear and left and right, respectively, the window opening and closing devices on each of the left and right sides of the chamber are formed on both sides. It can be opened and closed, and the gate opening and closing device is installed on the front and rear (back) of the chamber to open and close the gate, and the buffer plate installed inside the chamber can be up and down by the lift up and down device. In the upper and lower sides of the chamber, the exhaust unit is installed to suck the solvent applied to the surface of the liquid crystal display panel that is placed on the upper side of the buffer plate while maintaining the interior of the chamber in a vacuum state. It is to be dried.
본 발명에 따른 평면디스플레이 패널제조용 진공건조장치는, 챔버를 직욱면체의 형상으로 된 하우징의 내부에 설치하여 사용할 수 있고, 챔버의 상측(상면)과 하측(밑면)에 보강프레임을 설치하여 지지력을 강화시킬 수 있고, 기판의 재질이나 조직을 변형시킬 장치를 배제하여 순수한 진공흡입방법에 의해 건조를 하도록 함으 로써 기판의 재질이나 조직이 변형되는 것을 방지할 수 있으며, 기판의 상측과 하측에서 여러 개의 흡입공을 통해 동시 다발적으로 진공흡입을 실시함으로써 건조시간을 단축시켜 작업능률을 크게 향상시킬 수 있으며, 챔버의 내부에 설치되는 플레이트를 챔버의 내부 및 외부로 슬라이딩 이동시킬 수 있도록 하고 챔버의 양측에 형성되는 입출구를 자동으로 개폐할 수 있도록 하여 기판의 로딩 및 언로딩을 자동으로 실시하여 작업성을 향상시킬 수 있다.In the vacuum display device for manufacturing a flat panel display panel according to the present invention, the chamber can be installed inside a housing having a shape of a rectangular parallelepiped, and a reinforcing frame is provided on the upper side (upper side) and the lower side (bottom side) of the chamber to provide a bearing force. It can be strengthened and can be dried by pure vacuum suction method by excluding the device that will change the material or structure of the substrate, and it can prevent the material or structure of the substrate from being deformed. Simultaneous vacuum suction through the suction hole can shorten the drying time and greatly improve the work efficiency, and allow the plate installed inside the chamber to slide in and out of the chamber. By automatically opening and closing the entrance and exit formed in the substrate loading and unloading automatically Workability can be improved.
또 본 발명에 따른 평면디스플레이 패널제조용 진공건조장치는, 기판이 안치되는 플레이트의 상면에는 위치를 자유롭게 가변시킬 수 있도록 된 마그넷(영구자석)을 이용한 핀(Procimity Pin)을 설치하여 안치되는 기판을 지지하여 기판의 접촉면적을 최소화하고 플레이트와 기판과의 사이에 공간이 형성되도록 함으로써 플레이트와 기판과의 사이에 위치하는 공기를 원활하게 흡입배출시킬 수 있고, 기판이 안치되는 플레이트를 업다운장치에 의해 승하강시킴으로써 기판의 로딩 및 언로딩을 용이하게 실시할 수 있도록 하며, 더불어 기판의 상하면을 균일하고 신속하게 건조시킬 수 있으며, 챔버의 전후좌우에 형성된 게이트와 입출구를 개폐장치에 의해 동시에 개방시켜 줌으로써 챔버의 내부 공기(가스)를 신속하게 외부로 배출시켜 신선한 에어와 신속하게 교체되도록 하여 챔버의 내부가 오염되는 것을 방지할 수 있는 것이다.In addition, the vacuum drying apparatus for manufacturing a flat panel display panel according to the present invention supports a substrate to be placed by installing a pin using a magnet (permanent magnet) that can freely change its position on the upper surface of the plate on which the substrate is placed. By minimizing the contact area of the substrate and forming a space between the plate and the substrate, the air located between the plate and the substrate can be sucked and discharged smoothly, and the plate on which the substrate is placed is lifted by the up-down device. By lowering, loading and unloading of the substrate can be easily carried out. In addition, the upper and lower surfaces of the substrate can be dried uniformly and quickly, and the gates and inlets formed at the front, rear, left, and right sides of the chamber are simultaneously opened by an opening and closing device. Quickly discharges the air inside of the car to the outside It can be replaced so as to prevent the interior of the chamber from being contaminated.
Claims (16)
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