KR100758198B1 - 오토포커싱 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (3)
- 피처리물(W)이 순차적으로 이송되는 이송경로(2)상에 배치되며 피처리물(W)의 상면에 빛을 조사하여 반사된 빛을 검출하여 자동으로 초점조절을 행하는 오토포커싱 장치에 있어서, 상기 장치는 피처리물(W) 상면에 레이저빔을 발사하는 레이저발사부(10)와, 상기 레이저발사부(10)와 피처리물 이송경로(2) 사이에 배치되어 레이저발사부(10)로부터의 입사광이 일차로 통과되고 피처리물(W)에서 반사된 반사광이 재차 통과하도록 위치되는 적어도 하나의 볼록렌즈(22)를 포함하는 렌즈조립체(20)와, 렌즈조립체(20)를 통과한 반사광의 진행경로상의 제1 위치에 배치되는 레이저검출센서(30)와, 상기 렌즈조립체(20)를 통과한 레이저반사광의 진행경로상의 제2 위치에 배치되는 비디오카메라(40)와, 상기 반사광을 상기 레이저검출센서(30)와 비디오카메라(40)를 향해 동시에 또는 선택적으로 보내는 광학부재(50)와, 상기 렌즈조립체(20)와 피처리물(W)을 각각 지지하는 지지프레임(4,6)과, 상기 렌즈조립체(20)와 피처리물(W)간의 초점조절을 위해 상기 지지프레임(4) 또는 지지프레임(6)을 미세하게 위치조절하는 구동기구, 및 이들을 제어하는 컨트롤러(100)를 포함하는 것을 특징으로 하는 오토포커싱 장치.
- 제 1 항에 있어서, 렌즈조립체(20)는 서로 다른 배율을 가진 복수의 볼록렌즈(22,23,24)가 터릿(21) 상에 장착된 것을 특징으로 하는 오토포커싱 장치.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 광학부재(50)는 상기 렌즈조립체(20)를 통과한 반사광의 일부는 상기 레이저검출센서(30)로 반사시키고 반사광의 일부는 상기 비디오카메라(40)로 통과시키는 하프미러인 것을 특징으로 하는 오토포커싱 장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060103866A KR100758198B1 (ko) | 2006-10-25 | 2006-10-25 | 오토포커싱 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020060103866A KR100758198B1 (ko) | 2006-10-25 | 2006-10-25 | 오토포커싱 장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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KR100758198B1 true KR100758198B1 (ko) | 2007-09-12 |
Family
ID=38737601
Family Applications (1)
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KR1020060103866A KR100758198B1 (ko) | 2006-10-25 | 2006-10-25 | 오토포커싱 장치 |
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Country | Link |
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KR (1) | KR100758198B1 (ko) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100879007B1 (ko) | 2008-02-21 | 2009-01-15 | 주식회사 코윈디에스티 | 기판의 광학검사기능을 구비한 리페어장치 |
KR101166417B1 (ko) | 2010-12-23 | 2012-07-23 | 김주환 | 오토포커싱장치 |
CN107764185A (zh) * | 2017-11-29 | 2018-03-06 | 福州锐景达光电科技有限公司 | 非接触式点光源成像测量反射面位置的装置及方法 |
CN114160966A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-03-11 | 镭射谷科技(深圳)股份有限公司 | 激光加工装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH0613282A (ja) * | 1992-06-26 | 1994-01-21 | Fujitsu Ltd | オートフォーカス及びマスク・ウェーハ間ギャップ測定方法並びに装置 |
KR20030019142A (ko) * | 2001-08-28 | 2003-03-06 | 닛본 덴기 가부시끼가이샤 | 레티클 검사 장치 |
KR20060088276A (ko) * | 2005-02-01 | 2006-08-04 | 주식회사 이오테크닉스 | 광센서부 및 빔 제어수단을 구비한 레이저 가공장치 |
-
2006
- 2006-10-25 KR KR1020060103866A patent/KR100758198B1/ko active IP Right Grant
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