KR100741976B1 - 박막트랜지스터 및 그 제조 방법 - Google Patents
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Description
Claims (15)
- 기판;상기 기판상에 위치하고, 소오스 영역과 드레인 영역, 상기 소오스 영역과 드레인 영역 사이에 위치한 채널 영역, 상기 채널 영역의 일정 영역 및 상기 소오스 영역의 일정 영역에 연결된 에지 영역을 포함하는 반도체층; 및상기 반도체층 상에 위치하고, 상기 소오스 영역의 일정 영역 및 상기 에지 영역의 일정 영역을 연결하는 배선부를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터.
- 제 1 항에 있어서,상기 반도체층과 배선부 사이에는 게이트 절연막, 상기 게이트 절연막상에 위치한 게이트 전극 및 상기 게이트 전극 상에 위치한 층간절연막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터.
- 제 1 항에 있어서,상기 배선부는 소오스 전극인 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터.
- 제 1 항에 있어서,상기 소오스 영역 및 드레인 영역은 상기 채널 영역과 동일한 형의 불순물로 도핑되나 상기 채널 영역의 불순물 농도보다 고농도로 도핑된 반도체층임을 특징으로 하는 박막트랜지스터.
- 제 1 항에 있어서,상기 에지 영역은 상기 채널 영역의 불순물과는 반대 형의 불순물이 도핑되어 있는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터.
- 기판;상기 기판상에 위치하고, 제1소오스 영역과 제1드레인 영역, 상기 제1소오스 영역과 제1드레인 영역 사이에 위치한 제1채널 영역 및 상기 제1채널 영역의 일정 영역과 상기 제1소오스 영역의 일정 영역에 연결된 에지 영역을 포함하는 제1반도체층;상기 기판상에 위치하고, 제2소오스 영역과 제2드레인 영역, 상기 제2소오스 영역과 제2드레인 영역 사이에 위치한 제2채널 영역 및 상기 제2소오스 영역과 상기 제2채널 영역 및 상기 제2드레인 영역과 상기 제2채널사이에 위치한 LDD 영역을 포함하는 제1반도체층;상기 제1반도체층 및 제2반도체층상에 위치한 게이트 절연막;상기 게이트 절연막상에 위치하고, 각각 상기 제1채널 영역 및 제2채널 영역에 대응하는 위치에 위치한 제1게이트 전극 및 제2게이트 전극;상기 제1게이트 전극 및 제2게이트 전극상에 위치한 층간절연막; 및상기 층간절연막상에 위치하고, 상기 제1소오스 영역의 일정 영역 및 상기 에지 영역의 일정 영역을 연결하는 배선부를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터.
- 제 6 항에 있어서,상기 제1소오스 영역 및 제1드레인 영역은 상기 제1채널 영역 및 제2채널 영역과 동일한 형의 불순물이 도핑되어 있으나 고농도의 불순물이 도핑되어 있는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터.
- 제 6 항에 있어서,상기 제2소오스 영역 및 제2드레인 영역은 상기 제1소오스 영역 및 제2드레인 영역과는 다른 형의 불순물이 도핑되어 있는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터.
- 제 6 항에 있어서,상기 에지 영역은 상기 제2소오스 영역 및 제2드레인 영역과 동일한 형의 불순물이 도핑되어 있는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터.
- 기판을 준비하는 단계;상기 기판상에 소오스/드레인 영역, 채널 영역 및 에지 영역이 정의된 반도체층을 형성하는 단계;상기 반도체층이 형성된 기판상에 게이트 절연막을 형성하는 단계;상기 게이트 절연막상에 상기 반도체층의 에지 영역은 노출되는 제1패턴을 형성하는 단계;상기 제1패턴을 마스크로 하여 제1불순물 주입 공정을 진행하여 에지 영역을 형성하는 단계;상기 제1패턴을 제거하고, 상기 게이트 절연막상에 게이트 전극을 형성하는 단계;상기 기판상에 적어도 상기 에지 영역을 덮는 제2패턴을 형성하는 단계;상기 제2패턴을 마스크로 이용하여 상기 반도체층의 일정 영역에 제2불순물 주입 공정을 실시하여 소오스/드레인 영역을 형성하는 단계;상기 제2패턴을 제거하고, 상기 게이트 전극이 형성된 기판상에 층간절연막을 형성하는 단계;상기 게이트 절연막 및 층간절연막의 일정 영역을 식각하여 상기 소오스 영역의 일정 영역과 상기 에지 영역의 일정 영역을 동시에 노출시키는 콘택홀과 상기 드레인 영역의 일정 영역을 노출시키는 콘택홀을 형성하는 단계; 및상기 기판상에 도전체를 증착하고, 이를 패터닝하여 상기 에지 영역의 일정 영역과 상기 소오스 영역의 일정 영역을 연결하는 배선부을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 제조 방법.
- 제 10 항에 있어서,상기 제1불순물 주입 공정에 의해 주입된 불순물은 상기 채널 영역에 도핑된불순물과는 반대 형의 불순물인 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 제조 방법.
- 제 10 항에 있어서,상기 제2불순물 주입 공정에 의해 주입된 불순물은 상기 제1불순물 주입 정에 의해 주입된 불순물과는 다른 형의 불순물인 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 제조 방법.
- 기판을 준비하는 단계;상기 기판상에 제1소오스/드레인 영역, 제1채널 영역 및 에지 영역이 정의된 제1반도체층과 제2소오스/드레인 영역, 제2채널 영역 및 LDD 영역이 정의된 제2반도체층을 형성하는 단계;상기 제1반도체층 및 제2반도체층이 형성된 기판상에 게이트 절연막을 형성하는 단계;상기 게이트 절연막상에 상기 제1반도체층의 에지 영역을 노출시키고, 상기 제2반도체층의 제2소오스/드레인 영역을 노출시키는 제1패턴을 형성하는 단계;상기 제1패턴을 마스크로 이용하여 상기 제1반도체층의 에지 영역과 상기 제2반도체층의 제2소오스/드레인 영역에 제1불순물 주입 공정을 실시하는 단계;상기 제1패턴을 제거하고, 상기 제1반도체층 및 제2반도체층상에 제1게이트 전극 및 제2게이트 전극을 형성하는 단계;상기 제2게이트 전극을 마스크로 이용하여 상기 제2반도체층의 LDD 영역에 LDD 주입 공정을 실시하는 단계;상기 기판상에 적어도 상기 제1반도체층의 에지 영역 및 상기 제2반도체층 전체를 덮는 제2패턴을 형성하는 단계;상기 제2패턴을 마스크로 이용하여 제1반도체층의 제1소오스/드레인 영역에 제2불순물 주입 공정을 실시하는 단계;상기 제1게이트 전극 및 제2게이트 전극이 형성된 기판상에 층간절연막을 형성하는 단계;상기 제1반도체층의 제1소오스 영역의 일정 영역과 상기 제1반도체층의 에지 영역의 일정 영역을 동시에 노출시키는 콘택홀을 형성하는 단계; 및상기 기판상에 도전층을 형성한 후 이를 패터닝하여 상기 제1반도체층의 소오스 영역과 상기 제1반도체층의 제1소오스 영역을 연결하는 배선부를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 제조 방법.
- 제 13 항에 있어서,상기 제1불순물 주입 공정에 의해 주입된 불순물은 상기 채널 영역에 도핑된불순물과는 반대 형의 불순물인 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 제조 방법.
- 제 13 항에 있어서,상기 제2불순물 주입 공정에 의해 주입된 불순물은 상기 제1불순물 주입 정에 의해 주입된 불순물과는 다른 형의 불순물인 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터 제조 방법.
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