KR100735111B1 - 번인 또는 테스트 시스템 카트리지 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (98)
- 번인 또는 테스트 시스템 카트리지(10)로서,프로브 카드(50)를 포함하는 제 1 플레이트(14)와, 여기서 상기 프로브 카드(50)는 복수의 반도체 다이를 포함하는 기판(102)이 인접하게 위치되는 영역을 갖고, 상기 영역은 상기 복수의 반도체 다이의 테스트 또는 번인을 위해 상기 카트리지(10)를 상기 복수의 반도체 다이와 전기적으로 통신하게 하는 복수의 전기 컨택을 포함하고;상기 제 1 플레이트(14)에 착탈가능하게 부착될 수 있는 제 2 플레이트(12)와, 여기서 상기 제 1 플레이트(14)에 상기 제 2 플레이트(12)를 부착하게 되면, 상기 카트리지(10) 내의 상기 제 1 플레이트(14)의 플랫폼(platform)에 인접하게 위치하는 기판(102)이 고정되고;상기 복수의 반도체 다이의 테스트를 위해 상기 번인 또는 테스트 시스템과 전기적으로 통신하도록 상기 카트리지(10)를 착탈가능하게 배치하는 커넥터 블록(connector block)(44)과; 그리고1개 이상의 부재들의 그룹을 포함하며,상기 1개 이상의 부재들의 그룹은:상기 카트리지(10)로부터 연장되어, 상기 카트리지(10)가 상기 번인 또는 테스트 시스템에 부착되어 있는 동안 상기 번인 또는 테스트 시스템과 상기 카트리지의 정렬을 용이하게 하는 복수의 정렬 핀(48)과;상기 번인 또는 테스트 시스템에 대한 상기 카트리지(10)의 부착을 용이하게 하는 레일(32)과;상기 번인 또는 테스트 시스템에 상기 카트리지(10)가 부착되어 있는 동안 상기 번인 또는 테스트 시스템 내에 캠을 인게이지(engage)하는, 상기 카트리지(10)의 반대 측면들 상의 캠 팔로워들(250)과;상기 커넥터 블록(44)에 부착되어, 상기 번인 또는 테스트 시스템에 상기 카트리지가 부착되어 있는 동안 상기 번인 또는 테스트 시스템상에 보완적인 공기 커넥터를 인게이지하는 공기 커넥터 부분과;상기 커넥터 블록(44)에 부착되어, 상기 번인 또는 테스트 시스템에 상기 카트리지가 부착되어 있는 동안 상기 번인 또는 테스트 시스템상에 보완적인 진공 커넥터를 인게이지하는 진공 커넥터 부분과; 그리고상기 제 1 플레이트(14)와 상기 커넥터 블록(44) 사이에 삽입되어, 상기 제 1 플레이트(14)로부터 상기 커넥터 블록(44)을 열적으로 절연시키는 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 번인 또는 테스트 시스템 카트리지.
- 번인 또는 테스트 시스템 카트리지(10)로서,프로브 카드(50)를 포함하는 제 1 플레이트(14)와, 여기서 상기 프로브 카드(50)는 복수의 반도체 다이를 포함하는 기판(102)이 인접하게 위치되는 영역을 갖고, 상기 영역은 상기 복수의 반도체 다이의 테스트 또는 번인을 위해 상기 카트리지(10)를 상기 복수의 반도체 다이와 전기적으로 통신하게 하는 복수의 전기 컨택을 포함하고;상기 제 1 플레이트(14)에 착탈가능하게 부착될 수 있는 제 2 플레이트(12)와, 여기서 상기 제 1 플레이트(14)에 상기 제 2 플레이트(12)를 부착하게 되면, 상기 카트리지(10) 내의 상기 제 1 플레이트(14)의 플랫폼에 인접하게 위치하는 기판(102)이 고정되고; 그리고상기 제 1 플레이트(14)와 상기 제 2 플레이트(12)에 의해 형성되는 유닛의 외부에 복수의 커넥터로 이루어져, 상기 복수의 반도체 다이의 테스트를 위해 상기 카트리지를 번인 또는 테스트 시스템과 전기적으로 통신하도록 배치하기 위해 상기 번인 또는 테스트 시스템과 착탈가능하게 연결되는 커넥터 블록(44)을 포함하는 것을 특징으로 하는 번인 또는 테스트 시스템 카트리지.
- 번인 또는 테스트 시스템 카트리지(10)로서,프로브 카드(50)를 포함하는 제 1 플레이트(14)와, 여기서 상기 프로브 카드(50)는 복수의 반도체 다이를 포함하는 기판(102)이 인접하게 위치되는 영역을 갖고, 상기 영역은 상기 복수의 반도체 다이의 테스트 또는 번인을 위해 상기 카트리지(10)를 상기 복수의 반도체 다이와 전기적으로 통신하게 하는 복수의 전기 컨택을 포함하고;상기 제 1 플레이트(14)에 착탈가능하게 부착될 수 있는 제 2 플레이트(12)와, 여기서 상기 제 1 플레이트에 상기 제 2 플레이트를 부착하게 되면 상기 카트리지 내의 상기 제 1 플레이트의 플랫폼에 인접하게 위치되는 기판(102)이 고정되고; 그리고상기 제 1 플레이트(14)로부터 열적으로 절연되어, 상기 복수의 반도체 다이의 테스트를 위해 상기 번인 또는 테스트 시스템과 전기적으로 통신하도록 상기 카트리지를 착탈가능하게 배치하는 커넥터 블록(44)을 포함하는 것을 특징으로 하는 번인 또는 테스트 시스템 카트리지.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중의 어느 항에 있어서,상기 제 1 플레이트(14)는 프로브 플레이트이고, 상기 제 2 플레이트(12)는 열 척(thermal chuck) 플레이트인 것을 특징으로 하는 번인 또는 테스트 시스템 카트리지.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중의 어느 항에 있어서,상기 제 1 플레이트(14)는 기계적인 커플링에 의해 상기 제 2 플레이트(12)에 부착되는 것을 특징으로 하는 번인 또는 테스트 시스템 카트리지.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중의 어느 항에 있어서,상기 제 1 플레이트(14)는 운동학적인 커플링에 의해 상기 제 2 플레이트(12)에 부착되는 것을 특징으로 하는 번인 또는 테스트 시스템 카트리지.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중의 어느 항에 있어서,상기 제 1 플레이트(14)와 상기 제 2 플레이트(12) 간의 분리 간격은, 상기 제 1 플레이트와 상기 제 2 플레이트 간의 부착 메커니즘에 의해 인가되는 클램핑(clamping)력에 의해 상기 기판(102)에 대해 수직 방향으로 증가하는 것이 방지되는 것을 특징으로 하는 번인 또는 테스트 시스템 카트리지.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중의 어느 항에 있어서,상기 제 1 플레이트(14)는 조정가능한 스톱(stop)(140)을 포함하는 메커니즘에 의해 상기 제 2 플레이트(12)에 부착되는 것을 특징으로 하는 번인 또는 테스트 시스템 카트리지.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중의 어느 항에 있어서,상기 프로브 카드(50)는 상기 제 1 플레이트(14)로부터 제거가능한 것을 특징으로 하는 번인 또는 테스트 시스템 카트리지.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중의 어느 항에 있어서,상기 카트리지(10)는 상기 카트리지 내에 위치하는 기판(102)과 상기 프로브 카드(50) 간의 접촉력을 변형하는 메커니즘을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 번인 또는 테스트 시스템 카트리지.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중의 어느 항에 있어서,상기 제 1 플레이트(14)는 상기 기판(102)이 상기 프로브 카드(50)에 인접하여 위치할 수 있는 상기 프로브 카드(50)의 일측에 대해 상기 프로브 카드(50)의 반대측에 인접하는 오목부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 번인 또는 테스트 시스템 카트리지.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중의 어느 항에 있어서,상기 카트리지(10)는, 상기 카트리지(10) 내에 위치하는 기판(102)과 상기 프로브 카드(50) 간에 음의 압력을 생성시킴으로써 상기 카트리지(10) 내에 위치하는 기판(102)과 상기 프로브 카드(50) 간의 접촉력을 변형하는 메커니즘을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 번인 또는 테스트 시스템 카트리지.
- 제 12 항에 있어서,상기 접촉력을 변형하는 메커니즘은 가변량의 접촉력을 인가할 수 있는 것을 특징으로 하는 번인 또는 테스트 시스템 카트리지.
- 제 12 항에 있어서,상기 접촉력을 변형하는 메커니즘은, 상기 복수의 반도체 다이를 포함하는 상기 기판(102)이 인접하게 위치될 수 있는 상기 프로브 카드(50)의 상기 영역의 표면에 대해 수직 방향으로, 상기 프로브 카드(50)가 상기 제 1 플레이트(14)에 상대적으로 이동하는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 번인 또는 테스트 시스템 카트리지.
- 제 12 항에 있어서,상기 접촉력을 변형하는 메커니즘은, 상기 기판(102)이 인접하게 위치될 수 있는 상기 프로브 카드(50)의 상기 영역의 표면에 대한 수직 축 주위로 상기 프로브 카드(50)가 회전하는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 번인 또는 테스트 시스템 카트리지.
- 제 15 항에 있어서,상기 접촉력을 변형하는 메커니즘은 복수의 리프 스프링(52)을 포함하는 것을 특징으로 하는 번인 또는 테스트 시스템 카트리지.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중의 어느 항에 있어서,상기 제 1 플레이트(14)는, 상기 기판(102)이 상기 프로브 카드(50)에 인접하게 위치될 수 있는 상기 프로브 카드(50)의 일측에 대해 상기 프로브 카드(50)의 반대측에 인접하는 오목부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 번인 또는 테스트 시스템 카트리지.
- 제 17 항에 있어서,상기 제 1 플레이트(14)는 상기 오목부 내에 위치하는 피스톤(64)을 더 포함하며, 상기 피스톤(64)의 팽창에 의해 상기 프로브 카드(50)가 상기 기판(102)의 방향으로 상기 기판에 대한 수직 축을 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 번인 또는 테스트 시스템 카트리지.
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