KR100733553B1 - System for controlling and monitoring remote of a manufacturing equipment - Google Patents

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KR100733553B1
KR100733553B1 KR1020050075887A KR20050075887A KR100733553B1 KR 100733553 B1 KR100733553 B1 KR 100733553B1 KR 1020050075887 A KR1020050075887 A KR 1020050075887A KR 20050075887 A KR20050075887 A KR 20050075887A KR 100733553 B1 KR100733553 B1 KR 100733553B1
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(주)유텍시스템
류승오
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Abstract

본 발명은 반도체, 디스플레이(LCD, PDP 등), 로봇 등과 같은 제조장비의 작동을 감시하는 시스템에서 제조라인 뿐만 아니라 원격지에서도 감시 및 제어가 가능함과 아울러 인터록수단을 이용하여 감시 및 제어 채널의 통제가 가능하여 제어의 혼선과 작동에러를 방지할 수 있는 제조장비의 분산 감시 제어시스템에 관한 것으로, 제조라인의 장비들과 직접 연결되어 제조장비들을 제어 및 감시하는 복수의 메인컴퓨터와, 상기 복수의 메인컴퓨터와 연결되되 소정의 외부 제어신호에 따라 작동하여 특정 메인컴퓨터의 입출력을 선택 제어하는 컴퓨터선택제어기와, 상기 컴퓨터선택제어기에 접속되어 통신라인을 복수의 입출력채널로 분배하되 소정의 제어신호에 따라 복수의 입출력채널 중 단일 입출력채널만 연결되도록 제어하는 분배기와, 상기 분배기의 제 1 입출력채널과 연결되어 소정의 선택신호에 따라 메인컴퓨터로부터 특정 장비의 감시 영상을 분배기를 통해 전달받아 디스플레이하거나 메인컴퓨터의 작동을 현장에서 제어하는 현장입출력수단, 및 상기 분배기의 제 2 입출력채널과 연결되어 소정의 선택신호에 따라 메인컴퓨터로부터 특정 장비의 감시 영상을 분배기를 통해 전달받아 디스플레이하거나 메인컴퓨터의 작동을 원격 제어하는 원격입출력수단으로 구성되어 있다.The present invention can be monitored and controlled not only in the manufacturing line but also remotely in a system for monitoring the operation of manufacturing equipment such as semiconductors, displays (LCD, PDP, etc.) and robots. The present invention relates to a distributed supervisory control system for manufacturing equipment capable of preventing confusion and operation errors of a control system, comprising: a plurality of main computers directly connected to the equipment of a manufacturing line to control and monitor the manufacturing equipment, and the plurality of main computers A computer selection controller which is connected to a computer and operates according to a predetermined external control signal to selectively control input / output of a specific main computer, and is connected to the computer selection controller to distribute a communication line to a plurality of input / output channels according to a predetermined control signal. A distributor which controls to connect only a single input / output channel among a plurality of input / output channels, A field input / output means connected to a first input / output channel for receiving and displaying a monitoring image of a specific device from a main computer through a distributor according to a predetermined selection signal, or for controlling the operation of the main computer in the field; and a second input / output channel of the distributor It is connected to the remote control unit comprises a remote input and output means for receiving and displaying the monitoring image of the specific equipment from the main computer through the distributor according to a predetermined selection signal or remotely controlling the operation of the main computer.

Description

제조장비의 분산 감시 제어시스템{SYSTEM FOR CONTROLLING AND MONITORING REMOTE OF A MANUFACTURING EQUIPMENT}Distributed monitoring control system of manufacturing equipment {SYSTEM FOR CONTROLLING AND MONITORING REMOTE OF A MANUFACTURING EQUIPMENT}

도 1은 종래기술에 의한 제조장비 감시 제어시스템을 나타낸 도면이고,1 is a view showing a manufacturing equipment monitoring control system according to the prior art,

도 2는 본 발명에 의한 제조장비의 분산 감시 제어시스템을 도시한 도면이다.2 is a diagram illustrating a distributed monitoring control system of manufacturing equipment according to the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

10: 제조장비 20: 메인컴퓨터10: manufacturing equipment 20: main computer

30: 컴퓨터선택제어기 50: 분배기30: computer selection controller 50: distributor

51: 인터록수단 55: 수동스위치51: interlock means 55: manual switch

60: 현장입출력수단 70: 원격입출력수단60: field input and output means 70: remote input and output means

61,71: 모니터 65,75: 입력수단(키보드)61,71: monitor 65,75: input means (keyboard)

본 발명은 장비의 모니터링 시스템에 관한 것으로, 특히 반도체, 디스플레이(LCD, PDP 등), 로봇 등과 같은 제조장비의 작동을 감시하는 시스템에서 현장 뿐만 아니라 원격지에서도 감시 및 제어가 가능함과 아울러 인터록스위치를 이용하여 감시 및 제어 채널의 통제가 가능한 제조장비의 분산 감시 제어시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a monitoring system of equipment, in particular, in the system for monitoring the operation of manufacturing equipment, such as semiconductors, displays (LCD, PDP, robot), etc. can be monitored and controlled not only in the field, but also remotely, using an interlock switch The present invention relates to a distributed monitoring control system of manufacturing equipment capable of controlling monitoring and control channels.

통상적으로 반도체 제조, 디스플레이(LCD, PDP 등) 제조, 로봇, 액추에이터 등과 같은 산업분야에서 사용하는 대부분 제조장비 들은 각각, 또는 집단적으로 컴퓨터화된 제어기(Controller)에 의해 제조과정이 통제되고 운영되고 있다. In general, most of the manufacturing equipments used in the industrial fields such as semiconductor manufacturing, display (LCD, PDP, etc.) manufacturing, robots, actuators, etc. are controlled or operated by a computerized controller individually or collectively. .

도 1은 종래의 일예에 의한 제조장비 감시 제어장치를 도시한 것으로, 소정의 작업을 수행하는 복수의 제조장비(10)와, 소정의 내부 프로그램에 따라 해당 제조장비(10)를 운영관리 제어하는 복수의 컴퓨터(20)와, 상기 복수의 컴퓨터(20)와 연결되되 소정의 외부 제어신호에 따라 작동하여 특정 컴퓨터(21, 22, ... 또는 n)의 입출력을 선택하는 컴퓨터선택제어기(30)와, 상기 컴퓨터선택제어기(30)에 접속되어 소정의 선택신호에 따라 특정 장비(11, 12, ... 또는 m)의 감시 영상을 컴퓨터와 컴퓨터선택제어기(30)를 통해 전달받아 디스플레이하는 모니터(45), 및 상기 컴퓨터선택제어기(30)에 접속되어 컴퓨터(21, 22, ... 또는 n)의 작동과 입출력 제어를 명령하는 입력수단(41)으로 이루어져 있다.1 is a diagram illustrating a manufacturing apparatus monitoring and controlling apparatus according to a conventional example, and a plurality of manufacturing equipment 10 performing a predetermined task and operating and controlling the manufacturing equipment 10 according to a predetermined internal program. A computer selection controller 30 connected to a plurality of computers 20 and the plurality of computers 20 and operating according to a predetermined external control signal to select input / output of a specific computer 21, 22, ... or n. ), And is connected to the computer selection controller 30 to receive and display the surveillance image of the specific equipment (11, 12, ... or m) through the computer and the computer selection controller 30 according to a predetermined selection signal It is composed of a monitor 45 and input means 41 connected to the computer selection controller 30 for instructing the operation of the computers 21, 22, ... or n and the input / output control.

즉, 제조장비 관리자는 컴퓨터선택제어기(30)에 부착된 모니터(45)의 화면을 통해 특정 장비의 상태를 파악하고 필요한 운영명령을 컴퓨터선택제어기(30)와 연결된 입력수단(41)을 통해 지시하게 되는 데, 이때 모니터(45)를 통해 복수의 제조장비(10)를 동시에 감시하는 것은 아니며, 입력수단(41)으로 한번에 하나의 컴퓨터(21, 22, ... 또는 n)씩 선택하여 해당 제조장비(11, 12, ... 또는 m)를 순차적으 로 감시 및 제어하게 된다.That is, the manufacturing equipment manager identifies the state of the specific equipment through the screen of the monitor 45 attached to the computer selection controller 30 and instructs a necessary operation command through the input means 41 connected to the computer selection controller 30. In this case, the monitor 45 does not monitor a plurality of manufacturing equipment 10 at the same time, the input means 41 by selecting one computer (21, 22, ... or n) at a time to the corresponding Manufacturing equipment (11, 12, ... or m) is sequentially monitored and controlled.

하지만, 이러한 조작은 통상적으로 현장에서만 가능하며, 원격지에서의 동일한 조작을 위해서는 네트워크를 통해 원격컴퓨터를 결합해야 한다. 하지만 네트워크를 통해 결합한다 하더라도 하나의 장비를 복수의 컴퓨터로 동시에 조작할 경우 오작동이 발생되어 제품의 하자가 발생되거나 또는 제어 명령의 혼선으로 인해 심각한 인사사고가 발생될 우려가 있었다.However, these operations are typically only possible on site, and for the same operation at the remote site, the remote computer must be coupled via a network. However, even when combined through a network, if a single device is operated by multiple computers at the same time, a malfunction may occur, causing serious product accidents or confusion of control commands.

따라서, 본 발명의 목적은 반도체, 디스플레이(LCD, PDP 등), 로봇 등과 같은 제조장비의 작동을 감시하는 시스템에서 제조라인 뿐만 아니라 원격지에서도 감시 및 제어가 가능함과 아울러 인터록수단을 이용하여 감시 및 제어 채널의 통제가 가능하여 제어의 혼선과 작동에러를 방지할 수 있는 제조장비의 분산 감시 제어시스템을 제공하는 데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to monitor and control not only a manufacturing line but also a remote site in a system for monitoring the operation of manufacturing equipment such as semiconductors, displays (LCDs, PDPs, robots), and the like using an interlock means. It is to provide a distributed supervisory control system of manufacturing equipment that can control the channel and prevent the control interference and operation error.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기술적 수단은, 반도체, 디스플레이, 로봇, 액추에이터 등과 같은 제조장비를 제어함과 아울러 감시하는 시스템에 있어서: 제조라인의 장비들과 직접 연결되어 제조장비들을 제어 및 감시하는 복수의 메인컴퓨터; 상기 복수의 메인컴퓨터와 연결되되 소정의 외부 제어신호에 따라 작동하여 특정 메인컴퓨터의 입출력을 선택 제어하는 컴퓨터선택제어기; 상기 컴퓨터선 택제어기에 접속되어 통신라인을 복수의 입출력채널로 분배하되 소정의 제어신호에 따라 복수의 입출력채널 중 단일 입출력채널만 연결되도록 제어하는 분배기; 상기 분배기의 제 1 입출력채널과 연결되어 소정의 선택신호에 따라 메인컴퓨터로부터 특정 장비의 감시 영상을 분배기를 통해 전달받아 디스플레이하거나 메인컴퓨터의 작동을 현장에서 제어하는 현장입출력수단; 및 상기 분배기의 제 2 입출력채널과 연결되어 소정의 선택신호에 따라 메인컴퓨터로부터 특정 장비의 감시 영상을 분배기를 통해 전달받아 디스플레이하거나 메인컴퓨터의 작동을 원격 제어하는 원격입출력수단; 을 구비한 것을 특징으로 한다.The technical means of the present invention for achieving the above object is a system for monitoring and controlling manufacturing equipment such as semiconductors, displays, robots, actuators and the like: directly connected to the equipment of the manufacturing line to control and monitor the manufacturing equipment A plurality of main computers; A computer selection controller connected to the plurality of main computers and operating according to a predetermined external control signal to selectively control input / output of a specific main computer; A distributor connected to the computer selection controller for distributing a communication line to a plurality of input / output channels and controlling only a single input / output channel of the plurality of input / output channels according to a predetermined control signal; A field input / output means connected to the first input / output channel of the distributor and receiving and displaying a monitoring image of a specific device from the main computer through the distributor according to a predetermined selection signal or controlling the operation of the main computer in the field; And remote input / output means connected to the second input / output channel of the distributor to receive and display a monitoring image of a specific device from the main computer through the distributor according to a predetermined selection signal or to remotely control the operation of the main computer. Characterized in that provided.

아울러, 상기 분배기는 입출력채널을 현장입출력수단 또는 원격입출력수단으로 절환하기 위한 인터록수단을 더 구비하며, 상기 인터록수단을 제어하기 위한 수동스위치를 분배기의 외면에 직접 설치하거나 또는 소정의 연장케이블을 통해 분배기에 연결하여 원격 작동이 가능하도록 설치하며, 상기 인터록수단은 현장입출력수단 또는 원격입출력수단에서 소프트웨어로 입출력채널을 절환 가능하도록 구성한 것을 특징으로 한다.In addition, the distributor further comprises an interlock means for switching the input and output channel to the field input and output means or a remote input and output means, the manual switch for controlling the interlock means is installed directly on the outer surface of the distributor or through a predetermined extension cable The interlock means is connected to the distributor and installed to enable remote operation. The interlock means may be configured to switch the input / output channel to software in the field input / output means or the remote input / output means.

구체적으로, 상기 현장입출력수단 또는 원격입출력수단은, 상기 분배기에 접속되어 소정의 선택신호에 따라 특정 장비의 감시 영상을 분배기를 통해 전달받아 디스플레이하는 모니터; 및 상기 분배기에 접속되어 메인컴퓨터들의 작동과 입출력제어를 명령하는 입력수단;으로 이루어진 것을 특징으로 한다.In detail, the field input / output means or remote input / output means may include: a monitor connected to the distributor and receiving and displaying a surveillance image of a specific device through a distributor according to a predetermined selection signal; And input means connected to the distributor to command operation and input / output control of the main computers.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 살펴보고자 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 의한 제조장비의 분산 감시 제어시스템을 도시한 도면으로서, 메인컴퓨터(20), 컴퓨터선택제어기(30), 분배기(50), 현장입출력수단(60) 및 원격입출력수단(70)으로 이루어져 있다.2 is a diagram illustrating a distributed monitoring control system of a manufacturing apparatus according to the present invention, wherein the main computer 20, the computer selection controller 30, the distributor 50, the field input / output means 60, and the remote input / output means 70 are shown. )

상기 메인컴퓨터(20)는 제조라인의 장비들(11, 12, ... 또는 m)과 일대일로 직접 연결되어 장비들을 제어 및 감시하도록 구성되어 있고, 컴퓨터선택제어기(30)는 복수의 메인컴퓨터(21, 22, ... 또는 n)와 연결되되 소정의 외부 제어신호에 따라 작동하여 특정 메인컴퓨터(21, 22, ... 또는 n)의 입출력을 선택하도록 구성되어 있다.The main computer 20 is directly connected in one-to-one with the equipment 11, 12, ... or m of the manufacturing line is configured to control and monitor the equipment, the computer selection controller 30 is a plurality of main computers (21, 22, ... or n) is configured to operate according to a predetermined external control signal to select the input and output of the particular main computer (21, 22, ... or n).

그리고, 분배기(50)는 컴퓨터선택제어기(30)에 접속되어 입출력채널(Ch1, Ch2)을 복수의 통신라인으로 분배하되 소정의 제어신호에 따라 복수의 입출력채널(Ch1, Ch2) 중 단일 입출력채널(Ch1 또는 Ch2)만 연결되도록 제어하고, 현장입출력수단(60)은 분배기(50)의 제 1 입출력채널(Ch1)과 연결되어 소정의 선택신호에 따라 메인컴퓨터(20)로부터 특정 장비(11, 12, ... 또는 m)의 감시 영상을 분배기(50)를 통해 전달받아 디스플레이하거나 특정 메인컴퓨터(21, 22, ... 또는 n)의 작동을 현장에서 제어하도록 구성되어 있고, 원격입출력수단(70)은 분배기(50)의 제 2 입출력채널(Ch2)과 소정의 연장케이블을 통해 연결되어 소정의 선택신호에 따라 메인컴퓨터로부터 특정 장비(11, 12, ... 또는 m)의 감시 영상을 분배기(50)를 통해 전달받아 디스플레이하거나 특정 메인컴퓨터(21, 22, ... 또는 n)의 작동을 원격지에서 제어하도록 구성되어 있다. The distributor 50 is connected to the computer selection controller 30 to distribute the input / output channels Ch1 and Ch2 to a plurality of communication lines, but according to a predetermined control signal, a single input / output channel Ch1 or Ch2 is used. (Ch1 or Ch2) is controlled so as to be connected, the on-site input and output means 60 is connected to the first input and output channel (Ch1) of the distributor 50 in accordance with a predetermined selection signal from the main computer 20 specific equipment (11, 12, ... or m) surveillance image is received and displayed through the distributor 50, or configured to control the operation of the specific main computer (21, 22, ... or n) in the field, remote input and output means 70 is connected to the second input and output channel (Ch2) of the distributor 50 through a predetermined extension cable, the monitoring image of the specific equipment (11, 12, ... or m) from the main computer according to a predetermined selection signal Is received through the distributor 50 to display or to a specific main computer (21, 22, .. Or remotely control the operation of n).

아울러, 상기 현장입출력수단(60)은 장비들(10)이 설치된 현장에서 분배기(50)의 제 1 입출력채널(Ch1)과 연결되어 있는데, 현장입출력수단(60)은 분배기(50)에 접속되어 소정의 선택신호에 따라 특정 장비(11, 12, ... 또는 m)의 감시 영상을 전달받아 디스플레이하는 모니터(61)와, 특정 메인컴퓨터(20)의 작동을 제어하는 키보드, 마우스와 같은 입력수단(65)으로 구성되어 있고, 원격입출력수단(60)은 원격지에서 소정의 연장케이블을 통해 분배기(50)의 제 2 입출력채널(Ch2)과 연결되어 있는데, 원격입출력수단(60)은 분배기에 접속되어 소정의 선택신호에 따라 특정 장비의 감시 영상을 전달받아 디스플레이하는 모니터(71)와, 특정 메인컴퓨터(20)의 작동을 제어하는 키보드, 마우스와 같은 입력수단(75)으로 구성되어 있다.In addition, the field input and output means 60 is connected to the first input and output channel (Ch1) of the distributor 50 in the field where the equipment 10 is installed, the field input and output means 60 is connected to the distributor 50 A monitor 61 for receiving and displaying surveillance images of a specific device 11, 12, ... or m according to a predetermined selection signal, and an input such as a keyboard and a mouse for controlling the operation of the specific main computer 20. Means 65, the remote input and output means 60 is connected to the second input and output channel (Ch2) of the distributor 50 at a remote location through a predetermined extension cable, the remote input and output means 60 is connected to the distributor The monitor 71 is connected to a monitor 71 for receiving and displaying a surveillance image of a specific device according to a predetermined selection signal, and an input unit 75 such as a keyboard and a mouse for controlling the operation of the specific main computer 20.

물론, 상기 현장 및 원격입출력수단(60, 70)은, 모니터와 키보드 뿐만 아니라 입출력이 동시에 가능한 터치스크린으로 구성하여도 무방하다.Of course, the field and remote input and output means (60, 70), as well as the monitor and keyboard may be configured as a touch screen capable of input and output at the same time.

상기 분배기(50)는 입출력채널(Ch1, Ch2)을 현장입출력수단(60) 또는 원격입출력수단(70)으로 절환하기 위한 인터록수단(51)을 내부 출력단에 더 구비하고 있는 데, 상기 인터록수단(51)을 제어하는 스위치(55)는 분배기(50)의 외면에 직접 설치되거나 또는/및 상기 인터록수단(51)은 현장입출력수단(60) 또는 원격입출력수단(70)의 모니터(61, 71) 상에서 소프트웨어로 입출력채널(Ch1, Ch2)을 절환하는 소프트웨어 스위치로 구성할 수 있다. 물론, 상기 수동스위치(55)는 소정의 연장케이블을 통해 분배기(50)에 연결되어 원격으로 입출력채널(Ch1, Ch2)의 절환이 가능하도록 설치할 수도 있다.The distributor 50 further includes an interlock means 51 at the internal output terminal for switching the input / output channels Ch1 and Ch2 to the field input / output means 60 or the remote input / output means 70. The switch 55 for controlling 51 is installed directly on the outer surface of the distributor 50 and / or the interlock means 51 is a monitor 61, 71 of the field input / output means 60 or the remote input / output means 70. It can be configured as a software switch for switching the input and output channels (Ch1, Ch2) to the software on the. Of course, the manual switch 55 may be connected to the distributor 50 through a predetermined extension cable so as to be able to switch the input / output channels Ch1 and Ch2 remotely.

상기 메인컴퓨터(20)와 컴퓨터선택제어기(30), 분배기(50) 및 현장입출력수단(60)은 제조장비(10)가 설치된 현장에 설치되어 있고, 원격입출력수단(70)은 제조라인의 외부에 설치되어 있다.The main computer 20, the computer selection controller 30, the distributor 50 and the site I / O means 60 are installed at the site where the manufacturing equipment 10 is installed, and the remote I / O means 70 is outside the manufacturing line. Installed in

이와 같이 구성된 본 발명의 작동 과정을 살펴보면 아래와 같다.Looking at the operation of the present invention configured as described above is as follows.

상기 메인컴퓨터(20)는 반도체, 디스플레이, 로봇, 액추에이터 등과 같은 해당 제조장비(10)로부터 작동관련 데이터를 제공받아 수집하거나 해당 제조장비(10)의 작동을 제어하게 된다.The main computer 20 receives or collects operation-related data from the corresponding manufacturing equipment 10 such as a semiconductor, a display, a robot, an actuator, or controls the operation of the manufacturing equipment 10.

제조장비의 현장관리자는 분배기(50)에 접속된 현장 모니터(61)를 통해 특정 제조장비(11, 12, ... 또는 m)로부터 전송된 데이터를 해당 메인컴퓨터(21, 22, ... 또는 n)와 컴퓨터선택제어기(30) 및 분배기(50)를 통해 전달받아 모니터링할 수 있는 데, 이때 분배기(50)에 접속된 키보드와 같은 입력수단(65)을 통해 감시하고자 하는 제조장비(11, 12, ... 또는 m) 및 메인컴퓨터(21, 22, ... 또는 n)를 선택할 수 있다. The field manager of the manufacturing equipment transmits the data transmitted from the specific manufacturing equipment 11, 12, ... or m through the field monitor 61 connected to the distributor 50 to the corresponding main computer 21, 22, ... Or n) and can be received and monitored through the computer selection controller 30 and the distributor 50, wherein the manufacturing equipment 11 to be monitored through an input means 65 such as a keyboard connected to the distributor 50. , 12, ... or m) and main computer 21, 22, ... or n.

즉, 현장관리자는 입력수단(65)을 통해 감시하고자 하는 감시대상 제조장비(10)와 관련된 특정 메인컴퓨터(21, 22, ... 또는 n)를 선택하면, 상기 메인컴퓨터(20)를 통해 수집된 정보를 현장 모니터(61)에 디스플레이하게 된다. That is, the site manager selects a specific main computer 21, 22, ... or n associated with the monitored manufacturing equipment 10 to be monitored through the input means 65, and through the main computer 20. The collected information is displayed on the field monitor 61.

물론, 제조라인의 외부인 원격지에서도 입력수단(75)을 통해 감시하고자 하는 감시대상 제조장비(10)와 관련된 특정 메인컴퓨터(21, 22, ... 또는 n)를 선택하면, 상기 메인컴퓨터(20)를 통해 수집된 정보를 원격 모니터(71)에 디스플레이함 으로써 원격지에서도 제조장비(10)의 작동상태를 감시할 수 있게 된다. Of course, if a specific main computer (21, 22, ... or n) associated with the monitoring target manufacturing equipment 10 to be monitored through the input means 75 in a remote location outside the manufacturing line, the main computer 20 By displaying the information collected through the remote monitor 71, it is possible to monitor the operating state of the manufacturing equipment 10 in the remote.

아울러, 상기 분배기(50)는 복수의 입출력채널(Ch1, Ch2)이 형성되어 있지만, 출력단에 인터록수단(51)이 내장되어 있어 동시에 복수의 입출력수단(60, 70)과 통신하는 것은 불가능하며, 한번에 하나의 입출력수단(60 또는 70)과 입출력채널(Ch1 또는 Ch2)이 연결되게 된다. In addition, the distributor 50 has a plurality of input and output channels (Ch1, Ch2) is formed, but the interlock means 51 is built in the output terminal is impossible to communicate with the plurality of input and output means (60, 70) at the same time, One input / output means 60 or 70 and an input / output channel Ch1 or Ch2 are connected at one time.

상기 인터록수단(51)은 분배기(50)의 외면에 입출력채널(Ch1, Ch2)을 수동으로 변경하는 것이 가능하도록 수동스위치(55)를 직접 설치할 수도 있지만, 사용상의 편의를 위해 소정의 연장케이블을 통해 수동스위치(55)를 외부로 연장하여 인터록수단(51)을 제어하도록 설치하는 것이 더 바람직하다.The interlock means 51 may be directly installed on the outer surface of the distributor 50, the manual switch 55 to manually change the input and output channels (Ch1, Ch2), a predetermined extension cable for convenience of use It is more preferable to install the manual switch 55 to extend to the outside to control the interlock means 51.

그리고, 인터록수단(51)은 현장입출력수단(60)과 원격입출력수단(70)에서 모니터의 각 화면상의 소프트웨어를 통해 절환하는 프로그램 방식으로도 구현할 수 있는 데, 프로그램 방식은 분배기(50)와 현장입출력수단(60)의 입출력채널(Ch1)이 연결된 상태이면 원격입출력수단(70)에서 제 1 입출력채널(Ch1)을 임의로 절환하는 것이 불가능하며, 단지 현장입출력수단(60)에서 분배기(50)와의 입출력채널(Ch1)을 원격입출력수단(70)으로 변경해 주는 것이 가능하다. 만약 분배기(50)와 현장입출력수단(60)의 입출력채널(Ch1)이 연결된 상태이면 원격입출력수단(70)에서 제 2 입출력채널(Ch2)로 변경하고자 할 경우에는 분배기(50)의 수동스위치(55)를 직접 조작하여 제 2 입출력채널(Ch2)로 변경해야만 한다.In addition, the interlock means 51 may be implemented by a program method of switching between the input and output means 60 and the remote input and output means 70 through the software on each screen of the monitor. When the input / output channel Ch1 of the input / output means 60 is connected, it is impossible to arbitrarily switch the first input / output channel Ch1 in the remote input / output means 70, and only with the distributor 50 in the field input / output means 60. It is possible to change the input / output channel Ch1 to the remote input / output means 70. If the splitter 50 and the input / output channel Ch1 of the field input / output means 60 are connected, the manual switch of the splitter 50 may be used to change from the remote input / output means 70 to the second input / output channel Ch2. 55) to be directly manipulated to change to the second input / output channel Ch2.

이에 따라 원격입출력수단(70)에서도 제조장비의 작동 상태를 모니터(71)를 통해 감시하는 것이 가능하며, 원격지의 키보드(75)를 통해 제조장비를 원격 제어 하는 것이 가능하다.Accordingly, the remote I / O means 70 may monitor the operation state of the manufacturing equipment through the monitor 71, and may remotely control the manufacturing equipment through the keyboard 75 of the remote place.

상기 분배기(50)에 인터록수단(51)을 설치하는 이유는 복수의 제어단에서 제조장비를 동시에 제어할 경우 오작동으로 인해 발생될 수 있는 사고를 방지하기 위함이다.The reason for installing the interlock means 51 in the distributor 50 is to prevent an accident that may occur due to a malfunction when the manufacturing equipment is simultaneously controlled by a plurality of control stages.

상기에서 본 발명의 특정한 실시예가 설명 및 도시되었지만, 본 발명이 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다. 이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 본 발명에 첨부된 청구범위 안에 속한다고 해야 할 것이다.While specific embodiments of the present invention have been described and illustrated above, it will be apparent that the present invention may be embodied in various modifications by those skilled in the art. Such modified embodiments should not be understood individually from the technical spirit or the prospect of the present invention, but should fall within the claims appended to the present invention.

따라서, 본 발명에서는 제조장비의 작동을 감시하는 시스템에서 제조라인 뿐만 아니라 원격지에서도 감시 및 제어가 가능함과 아울러 인터록수단을 이용하여 감시 및 제어 채널의 통제가 가능하여 제어의 혼선과 작동에러를 방지할 수 있고, 또한 감시 시스템의 신뢰성을 확보할 수 있는 이점이 있다.Therefore, in the present invention, it is possible to monitor and control not only the manufacturing line but also the remote site in the system for monitoring the operation of the manufacturing equipment, and to control the monitoring and control channel by using the interlock means to prevent crosstalk and operation errors of the control. Can also ensure the reliability of the monitoring system.

Claims (5)

반도체, 디스플레이, 로봇, 액추에이터 등과 같은 제조장비를 제어함과 아울러 감시하는 시스템에 있어서: In systems that monitor and control manufacturing equipment such as semiconductors, displays, robots, and actuators: 제조라인의 장비들과 직접 연결되어 제조장비들을 제어 및 감시하는 복수의 메인컴퓨터; A plurality of main computers connected directly to the equipment of the manufacturing line to control and monitor the manufacturing equipment; 상기 복수의 메인컴퓨터와 연결되어 특정 메인컴퓨터의 입출력을 선택 제어하는 컴퓨터선택제어기; A computer selection controller connected to the plurality of main computers to selectively control input / output of a specific main computer; 상기 컴퓨터선택제어기에 접속되어 통신라인을 복수의 입출력채널로 분배하되, 내부의 인터록수단이 구동됨에 따라 복수의 입출력채널 중 단일 입출력채널만 연결되도록 절환하는 분배기; A distributor connected to the computer selection controller for distributing a communication line to a plurality of input / output channels, and switching only a single input / output channel of the plurality of input / output channels as the internal interlock means is driven; 상기 분배기의 제 1 입출력채널과 연결되어 소정의 선택신호에 따라 메인컴퓨터로부터 특정 장비의 감시 영상을 분배기를 통해 전달받아 디스플레이하거나 메인컴퓨터의 작동을 현장에서 제어하는 현장입출력수단;A field input / output means connected to the first input / output channel of the distributor and receiving and displaying a monitoring image of a specific device from the main computer through the distributor according to a predetermined selection signal or controlling the operation of the main computer in the field; 상기 분배기의 제 2 입출력채널과 연결되어 소정의 선택신호에 따라 메인컴퓨터로부터 특정 장비의 감시 영상을 분배기를 통해 전달받아 디스플레이하거나 메인컴퓨터의 작동을 원격 제어하는 원격입출력수단;A remote input / output means connected to the second input / output channel of the distributor to receive and display a monitoring image of a specific device from the main computer through the distributor according to a predetermined selection signal or to remotely control the operation of the main computer; 상기 분배기의 외면에 직접 설치하거나 또는 소정의 연장케이블을 통해 분배기에 연결하여 원격작동이 가능하도록 설치하여 상기 분배기의 인터록수단을 제어하기 위한 수동 스위치; 를 포함하며,A manual switch for controlling the interlock means of the distributor by directly installing on the outer surface of the distributor or by connecting to the distributor through a predetermined extension cable to enable remote operation; Including; 상기 인터록수단은 현장입출력수단 또는 원격입출력수단에서 소프트웨어로 입출력채널을 절환하도록 구성하되, 제2 입출력채널에서 제1 입출력채널로 절환하는 경우, 상기 분배기의 수동 스위치를 통해 절환하는 것을 특징으로 하는 제조장비의 분산 감시 제어시스템.The interlock means is configured to switch the input and output channel from the field input / output means or remote input / output means to the software, when switching from the second input / output channel to the first input / output channel, characterized in that for switching through the manual switch of the distributor Distributed monitoring control system of equipment. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100314972B1 (en) 1993-07-23 2002-02-28 드폴 루이스 에이 Fuel reloading system for nuclear power plant
KR20040049636A (en) * 2002-12-06 2004-06-12 현대자동차주식회사 Conveyor velocity remote controlling system and the same method

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