KR100732349B1 - 기판 외관 검사 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 기판 표면 상의 결함 유무를 검사하기 위하여 기판 표면에 빛을 조사하는 상방 조명계와, 상기 상방 조명계의 하측에 기판을 위치시켜 기판의 표면을 검사할 수 있도록 하는 기판 위치계로 구성되는 기판 외관 검사 장치에 있어서,상기 기판 위치계에는,그 상면에 기판을 위치시키며 위치된 기판을 고정시키는 기판 홀더;상기 기판 홀더를 수평 이동 및 회전 이동시키는 스테이지;특정한 위치에 각각 고정되어 조사되는 복수개의 레이저 교차점에 의하여 의사 결함 지역의 좌표를 마킹(marking)하는 레이저(Laser) 마킹부; 및상기 의사 결함 지역의 위치로 이동하여 결함 여부를 확인하는 리뷰 유닛(review unit);을 포함하여 이루어지고,상기 레이저 마킹부는,특정한 위치에 고정되어 마련되며, 그 조사 각도를 조정할 수 있는 제1 레이저;상기 제1 레이저의 고정 위치와 소정 거리 만큼 이격되어 마련되며, 그 조사 각도를 조정할 수 있는 제2 레이저;상기 제1 레이저의 조사 각도, 제2 레이저의 조사 각도 및 상기 제1 레이저와 제2 레이저 사이의 거리를 이용하여 결함의 위치를 계산하는 좌표 계산부;를 포함하여 구성되며,상기 기판 외관 검사 장치의 검사자 위치에 마련되며, 상기 제1 레이저 및 제2 레이저의 조사각도를 원격으로 조정할 수 있는 레이져 원격 조정부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사 장치.
- 삭제
- 제1항에 있어서, 상기 제1 레이저 및 제2 레이져는,상기 기판 홀더의 이웃하는 꼭지점에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제1 레이저 및 제2 레이저는,선표시의 레이저 빔을 조사하는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제1 레이저 및 제2 레이저는,점표시의 레이저 빔을 조사하는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사 장치.
- 삭제
- 제1항에 있어서, 상기 레이저 원격 조정부는,조이스틱, 키보드, 조그셔틀로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사 장치.
- 제1항에 있어서,상기 기판 홀더를 비례적으로 축소한 미니 검사 패드;상기 미니 검사 패드 상에 결함위치를 지정하면 상기 제1 레이저 및 제2 레이져가 기판 상의 의사 결함 지역 방향으로 레이저를 조사하도록 제어하는 제어부;가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사 장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050036134A KR100732349B1 (ko) | 2005-04-29 | 2005-04-29 | 기판 외관 검사 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050036134A KR100732349B1 (ko) | 2005-04-29 | 2005-04-29 | 기판 외관 검사 장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20060114149A KR20060114149A (ko) | 2006-11-06 |
KR100732349B1 true KR100732349B1 (ko) | 2007-06-27 |
Family
ID=37651957
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020050036134A KR100732349B1 (ko) | 2005-04-29 | 2005-04-29 | 기판 외관 검사 장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100732349B1 (ko) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007212260A (ja) * | 2006-02-09 | 2007-08-23 | Mitsubishi Electric Corp | 反射率測定装置、反射率測定方法及び表示パネルの製造方法 |
CN108594495A (zh) * | 2018-07-04 | 2018-09-28 | 江苏东旭亿泰智能装备有限公司 | 一种全角度lcd宏观检查机 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20010051203A (ko) * | 1999-10-25 | 2001-06-25 | 기시모토 마사도시 | 기판검사장치 |
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- 2005-04-29 KR KR1020050036134A patent/KR100732349B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20010051203A (ko) * | 1999-10-25 | 2001-06-25 | 기시모토 마사도시 | 기판검사장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20060114149A (ko) | 2006-11-06 |
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