KR100731040B1 - 액정표시장치의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정시린지를 액정 디스펜싱 장치에 장착하기 전, 별도의 액정 적하량 측정 장치를 구비함으로써, 액정시린지의 조립 및 셋팅 상태의 적정성 유무를 확인하여 액정 셀 공정을 진행하는 액정표시장치의 제조방법에 관한 것으로, 바틀(Bottle)에 액정을 넣고 진공하에서 상기 바틀에 담겨진 상기 액정을 탈포하는 제 1 단계와, 상기 바틀의 상기 액정 토출을 제어하는 제어부와 상기 바틀을 조립 및 셋팅하여 액정 시린지를 마련하는 제 2 단계와, 상기 액정 시린지의 조립 및 셋팅 상태의 적정성 유무를 판단하는 제 3 단계와, 상기 적정성 유무의 판단을 거친 상기 액정 시린지를 액정 디스펜싱 장치에 장착하는 제 4 단계와, 상기 액정 디스펜싱 장치에 마련된 용기에 샷 당 액정량을 검사하여 상기 액정 시린지를 상기 액정 디스펜싱 장치에 장착하는 공정에서의 불량 여부를 판단하는 제 5 단계와, 상기 액정 디스펜싱 장치에 로딩된 기판 상에 액정을 적하하는 제 6 단계를 포함하여 이루어지고, 상기 제 3 단계는, 상기 액정 시린지로부터 상기 액정을 측정 용기에 토출하는 단계와, 상기 측정 용기에 토출된 상기 액정의 적하량에 대응되는 데이터를 검출하는 단계와, 상기 검출된 데이터를 모니터하여 상기 액정 시린지의 조립 및 셋팅 상태의 불량 여부를 판단하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

Description

액정표시장치의 제조방법{MANUFACTURING METHOD OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE}
도 1은 종래의 진공 주입법에 의한 액정표시장치의 공정 순서도
도 2는 종래의 진공 주입법을 설명하기 위한 사시도.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 액정 적하 방식을 이용한 액정표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 예시도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 제조공정도.
도 5는 도 4의 액정 적하량 측정 장치를 설명하기 위한 사시도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
50 : 액정시린지 55 : 지지대
60 : 용기 70 : 측정부
80 : 모니터부
본 발명은 액정표시장치의 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 액정 적하 방법을 이용한 액정표시장치의 제조방법에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.
그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징 및 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 브라운관(Cathode Ray Tube)을 대체하면서 액정표시장치가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 텔레비전 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.
LCD는 서로 마주 보도록 결합되어 있는 두 기판과 그 사이에 주입되어 온도의 변화나 농도의 변화에 따라 상 전이를 발생하는 액정 물질로 이루어져 있다.
상기 액정은 액체의 유동성과 고체의 장거리 질서(Long Range Order) 성질을 가지는 액체와 고체의 중간 성질을 갖는 물질이다. 즉, 고체인 결정이 녹아서 액체가 되기 전에 고체결정이나 액체가 아닌 중간 상태로 되는 것을 말하며, 빛을 쪼이거나 전계 또는 자계를 부가시키면 광학적인 이방성 결정에 특유한 복굴절성을 나타내고, 어떠한 온도 범위내에서는 액체와 결정의 쌍방의 성질을 나타낸다.
이러한 LCD는 크게 어레이(Array) 공정, 컬러 필터(Color Filter) 공정, 액정 셀(Cell) 공정 및 모듈(Module) 공정을 거쳐 제조된다.
상기 어레이 공정은 증착(Deposition) 및 사진 석판술(Photolithography), 식각(Etching) 공정을 반복하여 제 1 기판(제 1 기판) 상에 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor) 어레이를 제작하는 공정이고, 컬러 필터 공정은 화소 영역을 제외한 부분에는 빛이 차광되도록 제 2 기판에 블랙 매트릭스(Black Matrix)를 형성하고, 염료나 안료를 사용하여 적(Red), 녹(Green), 청(Blue)의 컬러 필터를 제작한 후, 공통전극용 ITO(Indium Tin Oxide)막을 형성하는 공정이다.
또한, 액정 셀 공정은 박막 트랜지스터 형성 공정이 완료된 제 1 기판과 컬러 필터 공정이 완료된 제 2 기판 사이에 일정한 셀갭이 유지되도록 합착하여 상기 제 1, 제 2 기판 사이에 액정을 주입하여 LCD 셀을 형성하는 공정이고, 상기 모듈 공정은 신호 처리를 위한 회로부를 제작하고, 박막 트랜지스터 액정표시장치의 패널과 신호처리회로부를 실장 기술을 통해 서로 연결한 후 기구물을 부착하여 모듈을 제작하는 공정이다.
여기서, 종래의 액정 셀 공정을 좀 더 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 복수 개의 제 1 기판이 적재된 카세트(Cassette;도시되지 않음)와 복수 개의 제 2 기판이 적재된 카세트(도시되지 않음)가 각각 로더(Loader;적재기)에 의해 각각의 포트(Port)에 안착된다.
여기서, 상기 제 1 기판 및 제 2 기판에는 복수개의 액정표시패널이 설계되어 있으며, 상기 제 1 기판의 각 패널에는 일정간격을 갖고 일 방향으로 배열된 복수개의 게이트 라인(Gate Line)과 상기 각 게이트 라인에 수직한 방향으로 일정한 간격을 갖고 배열되는 복수개의 데이터 라인(Data Line)과 상기 게이트 라인 및 데이터 라인에 의해 정의된 매트릭스(Matrix) 화소 영역에 각각 형성되는 복수개의 박막 트랜지스터 및 화소 전극들이 형성되어 있다. 또한, 상기 제 2 기판의 각 패널에는 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스(Black Matrix)층과 컬러 필터층 및 공통전극 등이 형성되어 있다.
다음, 상기 복수 개의 제 1 기판 및 복수 개의 제 2 기판을 각각 하나씩 선택하도록 프로그램(Program) 된 로봇 암(Robot Arm)을 이용하여 제 1 기판 및 제 2 기판을 선택한다.
도 1은 종래의 진공 주입법에 의한 액정표시장치의 제조 공정 순서도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 상기 선택된 제 1 기판과 제 2 기판 상의 각 패널에 배향물질을 도포한 후 액정분자가 균일한 방향성을 갖도록 하는 배향 공정(21S)을 각각 진행한다. 상기 배향 공정(21S)은 배향막 도포 전 세정, 배향막 인쇄, 배향막 소성, 배향막 검사, 러빙 공정 순으로 진행된다.
다음, 배향 공정(21S) 후 갭(Gap) 공정이 진행된다. 상기 갭 공정은 제 1 기판 및 제 2 기판을 각각 세정(22S)한 다음, 제 1 기판에 셀 갭(Cell Gap)을 일정하게 유지하기 위한 스페이서(Spacer)를 산포(23S)하고, 제 2 기판의 각 패널 외곽부에 액정 주입구를 갖는 씨일(Seal)재를 도포(24S)한 후 상기 제 1 기판과 컬러 필터기판에 압력을 가하여 합착한다(25S).
그리고, 상기 합착된 제 1 기판과 제 2 기판을 각 단위 패널별로 절단 및 가공한다(26S).
이후, 상기와 같이 가공된 각각의 단위 액정패널에 상기 액정 주입구를 통해 액정을 주입한 후, 상기 액정 주입구를 봉지한다(27S).
다음, 각 단위액정패널의 절단된 면을 연마하고, 외관 및 전기적 불량 검사(28S)를 진행함으로써 액정표시소자를 제작하게 된다.
여기서, 상기 액정 주입 공정을 살펴보면 다음과 같다.
도 2는 종래의 진공 주입법을 이용한 액정 셀 공정을 설명하기 위한 도면이다.
도시된 바와 같이, 액정 물질을 용기(30)에 담은 다음, 챔버(20) 속에 용기(30)와 단위 패널로 절단된 패널(40)을 집어넣고, 챔버(20) 안의 압력을 진공상태로 유지하여 액정(25) 물질 속이나 용기 안벽에 붙어 있는 수분을 제거하고 기포를 탈포한다. 이 때 상기 패널(40) 내부도 진공 상태가 된다.
이어, 여러 장의 패널(Panel)(40)의 액정 주입구를 액정 물질에 담그거나 접촉시킨 다음, 챔버 안의 압력을 진공 상태로부터 질소(N2) 가스를 외부에서 유입하여 대기압 상태까지 높이면, 패널(40) 안의 압력과 챔버의 압력 사이의 차이에 의하여 액정 주입구를 통하여 액정 물질이 주입된다.
다음, 액정(25)이 각 패널(40)에 다 충진되면, 주입구를 밀봉하는 봉지 공정을 수행한 후, 각각의 패널(40)을 세정한다.
그러나, 이러한 종래의 액정 주입 방법에 의한 액정표시장치의 제조 방법에 있어서는 다음과 같은 문제점이 있었다.
첫째, 단위 패널로 컷팅한 후, 두 기판 사이를 진공 상태로 유지하여 액정 주입구를 액정액에 담가 액정을 주입하므로 액정 주입에 많은 시간이 소요되므로 생산성이 저하된다.
둘째, 대면적의 액정표시장치를 제조할 경우, 액정 주입식으로 액정을 주입하면 패널내에 액정이 완전히 주입되지 않아 불량의 원인이 된다.
셋째, 상기와 같이 공정이 복잡하고 시간이 많이 소요되므로 여러개의 액정 주입 장비가 요구되어 많은 공간을 요구하게 된다.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 공정 시간을 단축시키고 대면적의 액정표시장치에 유리한 액정 적하 방식의 액정표시장치를 제조하기 위한 액정표시장치의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법은 바틀(Bottle)에 액정을 넣고 진공하에서 상기 바틀에 담겨진 상기 액정을 탈포하는 제 1 단계와, 상기 바틀의 상기 액정 토출을 제어하는 제어부와 상기 바틀을 조립 및 셋팅하여 액정 시린지를 마련하는 제 2 단계와, 상기 액정 시린지의 조립 및 셋팅 상태의 적정성 유무를 판단하는 제 3 단계와, 상기 적정성 유무의 판단을 거친 상기 액정 시린지를 액정 디스펜싱 장치에 장착하는 제 4 단계와, 상기 액정 디스펜싱 장치에 마련된 용기에 샷 당 액정량을 검사하여 상기 액정 시린지를 상기 액정 디스펜싱 장치에 장착하는 공정에서의 불량 여부를 판단하는 제 5 단계와, 상기 액정 디스펜싱 장치에 로딩된 기판 상에 액정을 적하하는 제 6 단계를 포함하여 이루어지고, 상기 제 3 단계는, 상기 액정 시린지로부터 상기 액정을 측정 용기에 토출하는 단계와, 상기 측정 용기에 토출된 상기 액정의 적하량에 대응되는 데이터를 검출하는 단계와, 상기 검출된 데이터를 모니터하여 상기 액정 시린지의 조립 및 셋팅 상태의 불량 여부를 판단하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 불량 여부의 판단은 상기 토출되는 액정의 샷 당 액정량의 미리 셋팅된 값과 상기 측정 용기에 토출된 액정량의 데이터와 비교하여 판단하는 것을 특징으로 한다.
상기 액정표시장치의 제조방법은 상기 액정을 적하하기 전, 상기 액정 디스펜싱 장치에 마련된 용기에 샷 당 액정량을 검사하여 상기 액정 시린지의 조립 및 셋팅 상태의 불량 여부를 판단하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
먼저, 액정표시장치를 제조하는 방법 중 액정 적하 방식에 대하여 설명하면 다음과 같다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 액정 적하 방식을 이용한 액정표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 예시도이다.
상기 액정 적하 방식은, 단위 패널 내부와 외부의 압력차에 의해 액정을 주입하는 것이 아니다.
복수개의 단위 패널이 설계되어 각 패널 영역에 박막트랜지스터 어레이가 형성된 제 1 기판과, 각 패널 영역에 컬러 필터 어레이가 형성된 제 2 기판을 준비한다. 그리고, 상기 제 1 기판 또는 제 2 기판의 상기 각 패널 영역의 주위에 프레임(Frame)상으로(액정 주입구가 없는) 씨일재(sealant)를 형성하고 상기 단위 패널 영역내에 규정량의 액정을 적하하여 상기 제 1, 제 2 기판을 합착하는 것이다. 따라서, 상기 기판의 합착 압력에 의해 적하된 액정이 패널 전체에 걸쳐 균일하게 분포시킴으로써 액정층을 형성하는 것이다.
먼저, 도 3a와 같이, 제 1 기판(1)과 제 2 기판(5) 상에 배향물질을 도포한 후 액정분자가 균일한 방향성을 갖도록 하는 배향 공정이 수행된다.
상기 배향 공정이 수행된 제 1 기판(1)과 제 2 기판(5)을 세정한 다음, 제 1 기판(1)(또는 제 2 기판(5))에 액정 주입구가 없는 프레임(Frame) 형상의 자외선 경화형 씨일재(3)를 소정의 두께로 도포하고, 상기 씨일재(3) 안쪽(박막트랜지스터 어레이 부분)에 적당량의 액정(2)을 고르게 적하한다. 이때, 상기 액정(2)은 시린지(Syringe, 10)를 이용하여 일정한 피치(Pitch)와 패턴(Pattern)으로 일정량 만큼 균일하게 도팅(Dotting)된다.
다음, 도 3b에 도시된 바와 같이, 진공 챔버(도시되지 않음) 내에서 제 2 기판(5)을 상기 씨일재(3)가 인쇄된 제 1 기판(1)위에 위치시킨 다음, 상기 제 1, 제 2 기판(1, 5)을 합착한다.
그런 다음, 도면에는 도시하지 않았지만, 진공 챔버 내를 대기압으로 복원하면 상기 합착된 제 1 기판(1) 및 제 2 기판(5)이 챔버 내와 기판 사이의 압력차로 인하여 기판이 가압되면서 제 1 기판(1)과 제 2 기판(5) 사이에 액정이 충진되어 액정층을 이룬다. 그런 다음, 상기 씨일재(3)의 도포 영역에 UV 광원을 이동시키면 서 조사하여 씨일재(3)를 경화시킴으로써 액정표시장치를 제조한다.
이러한 액정 적하 방식은 짧은 시간 동안에 직접 기판상에 액정을 적하하기 때문에 대면적의 액정표시장치의 액정층 형성도 매우 신속하게 진행할 수 있게 될 뿐만 아니라 필요한 양의 액정만을 직접 기판상에 적하하기 때문에 액정의 소모를 최소화할 수 있게 되므로 액정표시소자의 제조비용을 대폭 절감할 수 있다는 장점을 가진다.
따라서, 상기 액정 적하 방식의 액정표시장치의 제조 방법에서는 최적의 적하량으로 액정이 적하되는 것이 매우 중요하다.
이러한 액정 적하는 액정 디스펜싱 장치 내의 시린지(Syringe)를 통하여 이루어진다. 상기 시린지는 액정이 담겨지는 용기와 액정 토출의 개폐를 제어하는 부분 등이 조립/결합된 상태에서 액정 디스펜싱 장치에 장착한 후, 제 1 기판상에 액정을 적하하기 전, 먼저 시린지 하측부에 마련된 액정 용기에 1 샷(Shot)당 몇 mg이 적하되는지 측정하여 시린지의 조립 및 셋팅(Setting) 상태의 적정성 유무를 확인한다.
그러나, 시린지가 완전히 조립된 상태에서 액정 디스펜싱 장치에 장착하여 적정성 유무를 확인하므로 액정 적하량에 오차가 발생했을 경우, 다시 시린지를 디스펜싱 장치에서 탈착하여 시린지를 다시 조립해야 하므로 작업상 불편함과 시간 지연이 발생할 수 있다.
따라서, 본 발명은, 시린지를 액정 디스펜싱 장치에 장착하기 전, 별도의 액정 적하량 측정 장치를 구비함으로써 액정 시린지의 조립 및 셋팅 상태의 적정성 유무를 확인하여 액정 셀 공정을 진행하는 액정 적하량 측정 장치 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법을 보다 구체적을 설명하면 다음과 같다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 제조 공정 순서도이고, 도 5는 도 4의 액정표시장치의 제조방법을 구현하기 위한 액정 적하량 측정 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 제 1 기판과 제 2 기판이 제공된다.
즉, 상기 제 1 기판의 각 패널 영역에는 일정간격을 갖고 일 방향으로 배열된 복수개의 게이트 라인과 상기 각 게이트 라인에 수직한 방향으로 일정한 간격을 갖고 배열되는 복수개의 데이터 라인과 상기 게이트 라인 및 데이터 라인에 의해 정의된 매트릭스 화소 영역에 각각 형성되는 복수개의 박막 트랜지스터 및 화소 전극들이 형성되어 있다. 또한, 상기 제 2 기판의 패널 영역에는 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층과 컬러 필터층 및 공통전극 등이 형성되어 있다.
이러한 제 1 기판 및 제 2 기판 상에 배향 물질을 도포한 후 액정분자가 균일한 방향성을 갖도록 하는 배향 공정(1S)을 진행하고, 제 1 기판 및 제 2 기판을 각각 세정(2S)한다. 상기 배향 공정은 배향막 도포 전 세정, 배향막 인쇄, 배향막 소성, 배향막 검사, 러빙 순으로 진행된다.
다음, 상기 세척된 제 2 기판을 씨일 디스펜싱 장치에 로딩하여 각 패널 영역의 주변부에 씨일재를 도포(3S)한다. 이때, 상기 씨일재는 광 및 열 경화성 수지 를 이용하고 액정 주입구를 만들 필요가 없다.
한편, 상기 세척된 제 1 기판을 Ag 디스펜싱 장치에 로딩하여 상기 각 패널의 공통 전압 공급 라인에 은(Ag) 도트(Dot)를 형성한다(5S). 여기서, IPS 모드에서는 제 1 기판상에 화소전극과 공통전극이 형성되므로 상기 은(Ag) 도트를 형성할 필요가 없다. 다음, 상기 제 1 기판을 액정 디스펜싱 장치에 로딩하여 각 패널의 액티브 어레이 영역상에 액정을 적하한다(6S). 물론, 상기 제 1 기판을 씨일 디스펜싱 장치에 로딩하여 제 1 기판에 씨일재를 형성할 수 있고, 상기 제 2 기판을 Ag 및 액정 디스펜싱 장치에 로딩하여 제 2 기판에 Ag 및 액정을 형성할 수 있으며, Ag 디스펜싱 장치를 상기 씨일 디스펜싱 장치쪽에 설치할 수 있다.
여기서, 상기 액정 디스펜싱 장치에 의한 액정 적하에 관하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 액정 시린지가 조립되기 전의 바틀(Bottle)에 액정을 넣고, 이를 진공하에서 액정을 탈포시킨 후(10S), 액정 시린지를 조립 및 셋팅하여(11S) 액정 적하량 측정 장치에 장착한다(12S).
상기 액정 적하량 측정 장치는 도 5에 도시된 바와 같이, 액정 시린지(50)와, 상기 액정 시린지(50)의 지지대(55)와, 액정 시린지(50)로부터 토출되는 액정을 담는 용기(60)와, 상기 용기(60)에 담겨진 액정 시린지의 샷 당 액정량을 측정하는 측정부(70)와, 상기 측정부(70)로부터의 데이터를 인가받아 상기 액정 시린지의 적정성 유무를 판단하는 모니터부(80)를 포함하여 이루어진다.
이러한 액정 적하량 측정장치를 이용하여 상기 액정 시린지(50)의 조립 및 셋팅 상태의 적정성 유무를 판단한다(13S). 판단 방법은 예를 들면, 100 샷 당 수 mg의 액정량이 모니터부(80)에 의해 표시되고, 상기 표시된 액정량이 미리 셋팅된 액정량의 정해진(예를 들면 ±1%) 오차범위 밖에 있으면 액정량이 오차범위 내에 들도록 여러 번 액정시린지를 조립하여 셋팅하고 검사한다.
이와 같은 수 차례의 검사과정에서, 셋팅된 액정시린지의 액정량이 미리 셋팅된 액정량의 정해진 오차범위 내에 있으면 상기 액정시린지(50)의 액정이 담겨지는 바틀과 액정의 토출 개폐를 제어하는 부분 등의 조립 및 셋팅 상태가 양호하다고 판단될 수 있다.
이러한 액정시린지의 적정성 유무의 판단에 의하여 액정시린지의 조립 및 셋팅 상태가 양호하다고 판단되면 상기 액정시린지를 액정 디스펜싱 장치에 장착한다(14S).
그런 다음, 기판이 액정 디스펜싱 장치에 로딩되면, 상기 액정시린지를 이용하여 액정을 적하한다(6S). 이 때, 일정한 피치로 소량의 액정을 균일하게 도팅한다.
이때, 상기 액정을 적하하기 전, 상기 액정 디스펜싱 장치에 마련된 용기에 샷 당 액정량을 한번 더 검사하여 상기 액정시린지의 조립 및 셋팅 상태의 불량 여부에 대한 판단을 더 할 수 있다.
다음, 상기 제 1 기판과 제 2 기판을 진공 합착기 챔버에 로딩하여 상기 적하된 액정이 균일하게 각 패널에 채워지도록 제 1 기판과 제 2 기판을 합착하고 상기 씨일재를 경화시킨다(7S).
이어, 상기 합착된 제 1 기판과 제 2 기판을 각 패널 별로 절단한다(8S).
절단된 각 패널을 연마 가공하고 최종 검사(9S)하여 액정표시장치를 완성한다.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
본 발명의 액정표시장치의 제조방법에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.
액정 시린지를 액정 디스펜싱 장치에 장착하기 전, 별도의 액정 적하량 측정 장치를 이용하여 액정 시린지의 조립 및 셋팅 상태의 적정성 유무를 확인하고, 상기 적정성 유무의 판단을 거친 상기 액정시린지를 액정 디스펜싱 장치에 장착한 다음 액정 셀 공정을 진행함으로써, 액정 시린지가 완전히 조립된 상태에서 액정 디스펜싱 장치에 장착하여 적정성 유무를 확인함에 따라 작업성 향상 및 시간 단축을 이룰 수 있다.
따라서, 작업 환경 및 시간의 효율성을 극대화함으로써 생산 수율을 증대시킬 수 있다.

Claims (6)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 바틀(Bottle)에 액정을 넣고 진공하에서 상기 바틀에 담겨진 상기 액정을 탈포하는 제 1 단계와,
    상기 바틀의 상기 액정 토출을 제어하는 제어부와 상기 바틀을 조립 및 셋팅하여 액정 시린지를 마련하는 제 2 단계와,
    상기 액정 시린지의 조립 및 셋팅 상태의 적정성 유무를 판단하는 제 3 단계와,
    상기 적정성 유무의 판단을 거친 상기 액정 시린지를 액정 디스펜싱 장치에 장착하는 제 4 단계와,
    상기 액정 디스펜싱 장치에 마련된 용기에 샷 당 액정량을 검사하여 상기 액정 시린지를 상기 액정 디스펜싱 장치에 장착하는 공정에서의 불량 여부를 판단하는 제 5 단계와,
    상기 액정 디스펜싱 장치에 로딩된 기판 상에 액정을 적하하는 제 6 단계를 포함하여 이루어지고,
    상기 제 3 단계는,
    상기 액정 시린지로부터 상기 액정을 측정 용기에 토출하는 단계와,
    상기 측정 용기에 토출된 상기 액정의 적하량에 대응되는 데이터를 검출하는 단계와,
    상기 검출된 데이터를 모니터하여 상기 액정 시린지의 조립 및 셋팅 상태의 불량 여부를 판단하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  4. 삭제
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 불량 여부의 판단은 상기 토출되는 액정의 샷 당 액정량의 미리 셋팅된 값과 상기 측정 용기에 토출된 액정량의 데이터와 비교하여 판단하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  6. 삭제
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