KR100726635B1 - Mother Glass For Organic Electro Luminescence Device and Fabricating Method of Organic Electro Luminescence Device Using The Same - Google Patents

Mother Glass For Organic Electro Luminescence Device and Fabricating Method of Organic Electro Luminescence Device Using The Same Download PDF

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KR100726635B1 KR1020050032403A KR20050032403A KR100726635B1 KR 100726635 B1 KR100726635 B1 KR 100726635B1 KR 1020050032403 A KR1020050032403 A KR 1020050032403A KR 20050032403 A KR20050032403 A KR 20050032403A KR 100726635 B1 KR100726635 B1 KR 100726635B1
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Abstract

본 발명은 제조공정에서 대전되는 정전기를 용이하게 재전시켜 소자의 손상을 방지할 수 있는 유기전계발광표시소자용 모기판 및 이를 이용한 유기전계발광표시소자의 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to a mother substrate for an organic light emitting display device that can easily recharge static electricity charged in a manufacturing process and prevent damage to the device, and a method of manufacturing the organic light emitting display device using the same.

본 발명은 유기발광층을 사이에 두고 서로 교차되게 형성되는 애노드 전극 및 캐소더 전극과 상기 캐소드 전극을 전기적을 분리시키기 위한 다수의 격벽을 구비하는 유기전계발광어레이가 형성된 모기판에 있어서, 상기 모기판의 외곽영역에 형성된 적어도 하나의 정전기 재전패턴과 상기 정전기 재전패턴과 상기 유기전계발광어레이에서 대전되는 정전기를 상기 정전기 재전패턴에 전달하도록 상기 격벽에 접속되는 정전기 재전라인을 구비하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a mother substrate having an organic light emitting array including an anode electrode and a cathode electrode formed to cross each other with an organic light emitting layer interposed therebetween, and a plurality of partition walls for electrically separating the cathode electrode. And at least one electrostatic charge pattern formed at an outer region of the electrostatic charge pattern, and an electrostatic charge line connected to the partition wall to transfer static electricity charged in the electrostatic charge pattern and the organic light emitting array to the electrostatic charge pattern.

Description

유기전계발광표시소자용 모기판 및 이를 이용한 유기전계발광표시소자의 제조방법{Mother Glass For Organic Electro Luminescence Device and Fabricating Method of Organic Electro Luminescence Device Using The Same} Mother Glass For Organic Electro Luminescence Device And Fabricating Method Of Organic Electro Luminescence Device Using The Same}

도 1은 종래의 유기 전계발광표시소자를 개략적으로 나타내는 도면이다. 1 is a view schematically showing a conventional organic electroluminescent display device.

도 2는 종래의 유기 전계발광소자의 발광원리를 설명하기 위한 다이어 그램이다. 2 is a diagram for explaining the light emission principle of a conventional organic electroluminescent device.

도 3은 다수의 유기전계발광어레이가 형성된 모기판을 나타내는 도면이다. 3 is a diagram illustrating a mother substrate on which a plurality of organic light emitting arrays are formed.

도 4는 유기 발광층을 형성시 이용되는 마스크가 기판 상에 정렬된 상태는 나타내는 도면이다.4 is a view illustrating a state in which a mask used when forming an organic emission layer is aligned on a substrate.

도 5는 본 발명에 따른 유기전계발광표시소자용 모기판을 나타내는 도면이다. 5 is a view showing a mother substrate for an organic light emitting display device according to the present invention.

도 6은 도 5 도시된 선 Ⅰ-Ⅰ'을 절단하여 도시한 단면도이다. FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line II ′ of FIG. 5.

도 7은 도 6에 도시된 정전기 재전패턴에 도전성 핀을 접촉시켜 정전기를 재전시키는 공정을 나타내는 도면이다. FIG. 7 is a view illustrating a process of recharging static electricity by contacting a conductive pin with the electrostatic recirculation pattern illustrated in FIG. 6.

도 8a 내지 도 8e는 도 7에 도시된 모기판을 이용한 유기전계발광표시소자의 제조방법을 나타내는 도면이다. 8A through 8E are views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display device using the mother substrate shown in FIG. 7.

도 9는 모기판 상에 격벽, 정전기 재전패턴 및 정전기 재전라인이 형성된 상태는 나타내는 도면이다.9 is a view illustrating a state where a partition, an electrostatic recirculation pattern, and an electrostatic recirculation line are formed on a mother substrate.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>       <Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

2,102 : 기판 4,104 : 애노드전극 2,102: substrate 4,104: anode electrode

8,108 : 격벽 10,110 : 유기발광층 8,108: partition 10,110: organic light emitting layer

12,112 : 캐소드 전극 28 : 캡 12,112 cathode electrode 28 cap

25 : 실런트 60,160 : 마스크 25: sealant 60160: mask

107 : 정전기 재전라인 109 : 정전기 재전 패턴107: static electricity line 109: static electricity pattern

175 : 도전성 핀 175: conductive pin

본 발명은 유기 전계발광표시소자에 관한 것으로, 특히, 제조공정에서 발생되는 정전기를 용이하게 재전시켜 소자의 손상을 방지할 수 있는 유기전계발광표시소자용 모기판 및 이를 이용한 유기전계발광표시소자의 제조방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescent display device, and more particularly, to a mother substrate for an organic electroluminescent display device and an organic electroluminescent display device using the same, which can easily recharge static electricity generated in a manufacturing process to prevent damage to the device. It relates to a manufacturing method.

최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈 마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel) 및 전계발광표시소자(Electro Luminescence Display Device : 이하 "EL표시소자"라 함) 등이 있다. 특히 EL표시소자는 기본적으로 정공수송층, 발광층, 전자수송층으로 이루어진 유기 발광층의 양면에 전극을 붙인 형태의 것으로서, 넓은 시야각, 고개구율, 고색도 등의 특징 때문에 차세대 평판표시장치로서 주목받고 있다. Recently, various flat panel displays have been developed to reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes. Such a flat panel display includes a liquid crystal display, a field emission display, a plasma display panel, and an electroluminescence display device. ""). In particular, the EL display device is basically formed by attaching electrodes to both sides of an organic light emitting layer including a hole transporting layer, a light emitting layer, and an electron transporting layer, and has attracted attention as a next-generation flat panel display because of its wide viewing angle, high opening ratio, and high color.

이러한 EL표시소자는 사용하는 재료에 따라 크게 무기 EL표시소자와 유기 EL표시소자로 나뉘어진다. 이 중 유기 EL표시소자는 정공 주입 전극과 전자 주입 전극 사이에 형성된 유기 EL 층에 전하를 주입하면 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내기 때문에 무기 EL표시소자에 비해 낮은 전압으로 구동 가능하다는 장점이 있다. 또한, 유기 EL표시소자는 플라스틱같이 휠 수 있는(Flexible) 투명기판 위에도 소자를 형성할 수 있을 뿐 아니라, PDP나 무기 EL표시소자에 비해 10V 이하의 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 전력 소모가 비교적 작으며, 색감이 뛰어나다. Such EL display elements are largely divided into inorganic EL display elements and organic EL display elements depending on the materials used. Among them, the organic EL display device can be driven at a lower voltage than the inorganic EL display device because when the charge is injected into the organic EL layer formed between the hole injection electrode and the electron injection electrode, electrons and holes are paired and extinguished to emit light. Has the advantage. In addition, the organic EL display device can be formed on a flexible transparent substrate, such as plastic, and can be driven at a voltage lower than 10V compared to a PDP or an inorganic EL display device, and the power consumption is relatively low. Small, excellent color

도 1에 도시된 유기 EL표시소자는 기판(2) 상에 유기발광층(10)을 사이에 두고 서로 교차되게 형성된 제1 전극(또는 애노드전극)(4)과 제2 전극(또는 캐소드전극)(12) 등을 포함하는 유기EL어레이(15)와, 유기EL어레이(15)를 패키징하기 위한 캡(28)을 구비한다. The organic EL display device illustrated in FIG. 1 includes a first electrode (or anode electrode) 4 and a second electrode (or cathode electrode) formed on the substrate 2 so as to cross each other with an organic light emitting layer 10 interposed therebetween. 12) and an organic EL array 15 including a cap and a cap 28 for packaging the organic EL array 15.

유기EL어레이(15)의 애노드전극(4)은 기판(2) 상에 소정간격으로 이격되어 다수개 형성된다. 이러한 애노드전극(4)이 형성된 기판(2) 상에는 EL셀(EL) 영역마다 개구부를 갖는 절연막(6)이 형성된다. 절연막(6) 상에는 그 위에 형성되어질 유 기발광층(10) 및 캐소드전극(12)의 분리를 위한 격벽(8)이 위치한다. 격벽(8)은 애노드전극(4)을 가로지르는 방향으로 형성되며, 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 역 테퍼(taper) 구조를 갖게 된다. 격벽(8)이 형성된 절연막(6) 상에는 유기화합물로 구성되는 유기발광층(10)과 캐소드전극(12)이 순차적으로 전면 증착된다. 유기발광층(10)은 전자 주입층, 전자 수송층, 발광층, 정공 수송층, 정공 주입층을 포함한다. A plurality of anode electrodes 4 of the organic EL array 15 are spaced apart at predetermined intervals on the substrate 2. On the substrate 2 on which the anode electrode 4 is formed, an insulating film 6 having an opening for each EL cell EL region is formed. On the insulating film 6, a partition 8 for separating the organic light emitting layer 10 and the cathode electrode 12 to be formed thereon is positioned. The partition wall 8 is formed in a direction crossing the anode electrode 4 and has a reverse taper structure in which the upper end portion has a wider width than the lower end portion. On the insulating film 6 on which the partition 8 is formed, the organic light emitting layer 10 and the cathode electrode 12 made of an organic compound are sequentially deposited on the entire surface. The organic light emitting layer 10 includes an electron injection layer, an electron transport layer, a light emitting layer, a hole transport layer, a hole injection layer.

이러한 유기EL어레이(15)는 수분 및 산소에 쉽게 열화되는 특성을 가지고 있다. 이러한 문제를 해결하기 위하여 유기EL어레이(15)가 형성된 기판(2)과 캡이(28)이 에폭시 수지와 같은 실런트(25)를 통해 합착되는 봉지(Encapsulation) 공정이 실시됨으로써 유기EL어레이(15)가 산소 및 수분 등으로 부터 보호된다. The organic EL array 15 has a property of being easily degraded by moisture and oxygen. In order to solve this problem, an encapsulation process is performed in which the substrate 2 and the cap 28 on which the organic EL array 15 is formed are bonded through a sealant 25 such as an epoxy resin. ) Is protected from oxygen and moisture.

캡(28)에는 유기EL어레이(15)와의 대향되는 면상에 위치하여 수분 및 산소를 흡수하는 게터(getter)(22)가 구비된다. 여기서, 게터(22)는 무기산화물 즉, 수분과 반응하여 수산기(OH)를 형성하는 산화칼슘(Cao) 및 산화바륨(BaO)등이 이용된다. The cap 28 is provided with a getter 22 positioned on the surface facing the organic EL array 15 to absorb moisture and oxygen. Here, the getter 22 is an inorganic oxide, that is, calcium oxide (Cao), barium oxide (BaO), and the like, which react with water to form a hydroxyl group (OH).

이러한, 유기EL표시소자는 도 2에 도시된 바와 같이 애노드 전극(4)과 캐소드 전극(12) 사이에 전압이 인가되면, 캐소드 전극(12)으로부터 발생된 전자는 전자 주입층(10a) 및 전자 수송층(10b)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동된다. 또한, 애노드 전극(4)으로 부터 발생된 정공은 정공 주입층(10e) 및 정공 수송층(10d)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동한다. 이에 따라, 발광층(10c)에서는 전자수송층(10b)과 정공수송층(10b)으로부터 공급되어진 전자와 전공의 재결합으로 엑시톤 (EXITON)이 형성되고, 이러한 엑시톤은 다시 기저상태로 여기되면서 일정한 에너지의 빛을 애노드 전극(4)을 통하여 외부로 방출됨으로써 화상이 표시되게 된다. In the organic EL display device, as shown in FIG. 2, when a voltage is applied between the anode electrode 4 and the cathode electrode 12, electrons generated from the cathode electrode 12 are transferred to the electron injection layer 10a and the electron. It moves toward the light emitting layer 10c through the transport layer 10b. In addition, holes generated from the anode electrode 4 move toward the light emitting layer 10c through the hole injection layer 10e and the hole transport layer 10d. Accordingly, in the light emitting layer 10c, excitons are formed by recombination of electrons and electrons supplied from the electron transport layer 10b and the hole transport layer 10b, and the excitons are excited to the ground state and emit light of constant energy. The image is displayed by being discharged to the outside through the anode electrode 4.

이러한, 유기EL표시소자는 도 3에 도시된 바와 같이 다수의 유기EL어레이(15)가 형성된 모기판(3)이 인캡슐레이션 공정에 의해 캡(28)과 합착된 후 스크라이빙 공정에 의해 절단됨으로써 형성된다. In the organic EL display device, as illustrated in FIG. 3, the mother substrate 3 having the plurality of organic EL arrays 15 formed thereon is bonded to the cap 28 by an encapsulation process and then scribed. It is formed by cutting.

한편, 종래의 유기EL어레이(15)의 유기발광층(10)은 마스크를 이용한 증착공정에 의해 형성된다. 여기서, 유기발광층(10)을 형성하는 과정에서 격벽(8) 등이 형성된 모기판(3)과 마스크(60)의 잦은 마찰 등에 의해 정전기가 발생된다. On the other hand, the organic light emitting layer 10 of the conventional organic EL array 15 is formed by a deposition process using a mask. Here, in the process of forming the organic light emitting layer 10, static electricity is generated by frequent friction between the mother substrate 3 and the mask 60 on which the partition 8 is formed.

이를 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.This will be described in more detail as follows.

도 4에 도시된 바와 같이 애노드 전극(4), 절연막(6) 및 격벽(8) 등이 형성된 모기판(3) 상에 유기 발광층(10)을 형성하기 위한 마스크(60)가 정렬된다. 여기서, 마스크(60)는 유기발광층(10)의 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층 및 전자주입층 등을 형성하기 위한 공통마스크이거나 R,G,B 를 구현하기 위한 발광층 형성시 이용되는 섀도우 마스크일 수 도 있다. 도 4에서는 섀도우 마스크를 나타내었다. As shown in FIG. 4, a mask 60 for forming the organic light emitting layer 10 is aligned on the mother substrate 3 on which the anode electrode 4, the insulating film 6, the partition 8, and the like are formed. Here, the mask 60 is a common mask for forming a hole injection layer, a hole transport layer, an electron transport layer, an electron injection layer, etc. of the organic light emitting layer 10 or a shadow mask used when forming a light emitting layer for implementing R, G, and B. It may be. 4 shows a shadow mask.

이러한 마스크(60)들은 유기발광층(10)을 구성하는 다수의 층들을 형성하기 위해 모기판(2) 상에 정렬되어 증착공정시 이용된다. 이때, 모기판(2)과 마스크(60)의 잦은 접촉 및 마찰 등에 의해 정전기가 발생되어 모기판(2) 상에 형성된 애노드 전극(4) 등의 박막 패턴이 손상되는 문제가 발생된다. 더 나아가, 정전기에 의해 모기판(2)과 마스크(60)가 견고히 부착되어 이를 분리하기 위한 과정에서 모 기판(2) 자체가 깨져버리는 문제가 발생된다. Such masks 60 are used in the deposition process by being aligned on the mother substrate 2 to form a plurality of layers constituting the organic light emitting layer 10. In this case, static electricity is generated due to frequent contact and friction between the mother substrate 2 and the mask 60, thereby causing a problem that the thin film pattern of the anode electrode 4 formed on the mother substrate 2 is damaged. Furthermore, the mother substrate 2 and the mask 60 are firmly attached to each other by static electricity, and thus, the mother substrate 2 itself is broken in the process of separating the mother substrate 2 and the mask 60.

따라서, 본 발명의 목적은 제조공정에서 대전되는 정전기를 용이하게 재전시켜 소자의 손상을 방지할 수 있는 유기전계발광표시소자용 모기판 및 이를 이용한 유기전계발광표시소자의 제조방법을 제공하는 것이다. Accordingly, it is an object of the present invention to provide a mother substrate for an organic light emitting display device capable of easily recharging static electricity charged in a manufacturing process and preventing damage to the device, and a method of manufacturing the organic light emitting display device using the same.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 유기발광층을 사이에 두고 서로 교차되게 형성되는 애노드 전극 및 캐소더 전극과 상기 캐소드 전극을 전기적을 분리시키기 위한 다수의 격벽을 구비하는 유기전계발광어레이가 형성된 모기판에 있어서, 상기 모기판의 외곽영역에 형성된 적어도 하나의 정전기 재전패턴과 상기 정전기 재전패턴과 상기 유기 전계발광 어레이에서 대전되는 정전기를 상기 정전기 재전패턴에 전달하도록 상기 격벽에 접속되는 정전기 재전라인을 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention is an organic electroluminescent array formed with an organic light emitting array having a plurality of partitions for separating the anode and the cathode electrode and the cathode electrode and the cathode electrode formed between the organic light emitting layer therebetween. In the plate, at least one electrostatic recirculation pattern formed in the outer region of the mother substrate and the electrostatic recirculation line connected to the partition wall to transfer the static electricity charged in the electrostatic recharge pattern and the organic electroluminescent array to the electrostatic recharge pattern It is characterized by including.

상기 정전기 재전라인은 상기 유기 전계발광어레이들 사이의 비어레이영역에 형성된 것을 특징으로 한다.The electrostatic discharge line is characterized in that formed in the via region between the organic electroluminescent array.

상기 정전기 재전라인 및 정전기 재전패턴은 상기 격벽과 동일물질로 동시에 형성된 것을 특징으로 한다.The static electricity discharging line and the static electricity discharging pattern may be formed of the same material as the barrier rib at the same time.

삭제delete

본 발명에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조방법은 유기전계발광표시소자용 모기판 상에 애노드전극을 형성하는 단계와; 상기 애노드전극을 부분적으로 노출시켜 발광역역을 정의하는 절연막을 형성하는 단계와; 상기 절연막 상에서 상기 애노드 전극과 교차되는 다수의 격벽, 상기 격벽들이 공통으로 접속된 정전기 재전라인, 상기 정전기 재전라인과 접속되며 상기 모기판의 외곽영역에 위치하는 정전기 재전패턴을 형성하는 단계와; 상기 절연막에 의해 정의된 발광영역 상에 유기발광층을 형성하는 단계와; 상기 애노드 전극과 교차되는 캐소드 전극을 형성하여 상기 모기판 상에 다수의 유기 전계발광어레이를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.A method of manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention includes the steps of forming an anode electrode on a mother substrate for an organic light emitting display device; Partially exposing the anode electrode to form an insulating film defining a light emitting region; Forming a plurality of barrier ribs intersecting the anode electrode, an electrostatic charge line connected to the barrier ribs in common, an electrostatic charge pattern connected to the electrostatic charge line and positioned in an outer region of the mother substrate on the insulating layer; Forming an organic light emitting layer on the light emitting region defined by the insulating film; And forming a plurality of organic electroluminescent arrays on the mother substrate by forming a cathode electrode intersecting the anode electrode.

상기 유기발광층 및 캐소드 전극 중 적어도 어느 하나를 형성하는 단계는 상기 격벽 상에 마스크를 정렬시키는 단계와; 상기 마스크를 이용하여 증착물을 상기 모기판 상에 증착물을 증착시키는 단계와; 상기 정전기 재전패턴에 도전성 핀을 접촉시켜 상기 격벽 부근에서 대전되는 정전기를 재전시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. Forming at least one of the organic light emitting layer and the cathode electrode comprises aligning a mask on the barrier rib; Depositing a deposit on the mother substrate using the mask; And recharging the static electricity charged in the vicinity of the partition wall by contacting the conductive pins with the static electricity recharging pattern.

인캡슐레이션 공정에 의해 상기 유기 전계발광어레이를 패키징하는 단계와; 스크라이빙 공정에 의해 상기 패키징된 모기판을 다수의 유기전계발광표시소자로 분리하고, 상기 정전기 재전 패턴 및 정전기 재전라인을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.Packaging the organic electroluminescent array by an encapsulation process; And separating the packaged mother substrate into a plurality of organic light emitting display devices by a scribing process, and removing the static electricity pattern and the static electricity line.

본 발명에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조방법은 모기판 상에 다수의 유기 전계발광어레이를 형성하는 단계와; 상기 모기판의 외곽영역에 위치하는 적어도 하나의 정전기 재전패턴 및 상기 정전기 재전패턴과 상기 유기전계발광어레이의 격벽에 연결시키는 정전기 재전라인을 형성하는 단계와; 상기 정전기 재전패턴에 도전성 핀을 접촉시켜 상기 유기전계발광어레이에서 대전되는 정전기를 재전시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. A method of manufacturing an organic electroluminescent display device according to the present invention includes forming a plurality of organic electroluminescent arrays on a mother substrate; Forming at least one static electricity discharging pattern located at an outer region of the mother substrate, and an electrostatic discharging line connecting the static electricity discharging pattern and a partition wall of the organic light emitting array; And recharging the static electricity charged in the organic light emitting array by contacting the conductive pins with the static electricity recharging pattern.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. Other objects and features of the present invention in addition to the above object will be apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 5 내지 도 9를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 to 9.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 유기 EL표시소자용 모기판을 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 6은 도 5에 도시된 선 Ⅰ-Ⅰ'을 절단하여 도시한 단면도이다. FIG. 5 is a diagram schematically showing a mother substrate for an organic EL display device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line II ′ of FIG. 5.

도 5 및 도 6에 도시된 모기판(103)에는 다수의 유기EL어레이(115), 모기판(103)의 외곽영역 형성된 적어도 하나의 정전기 재전패턴(109), 상기 유기EL어레이(115)의 격벽(108)들과 정전기 재전패턴(109) 사이에 위치하는 정전기 재전라인(107)을 구비한다. 5 and 6, the mother substrate 103 includes a plurality of organic EL arrays 115, at least one electrostatic recirculation pattern 109 formed in an outer region of the mother substrate 103, and the organic EL arrays 115. An electrostatic discharge line 107 is disposed between the barrier ribs 108 and the electrostatic discharge pattern 109.

유기EL어레이(115)의 제1 전극(또는 애노드전극(104))은 기판(103) 상에 소정간격으로 이격되어 다수개 형성된다. 이러한 애노드전극(104)이 형성된 기판(102) 상에는 EL셀(EL) 영역마다 개구부를 갖는 절연막(106)이 형성된다. 절연막(106) 상에는 그 위에 형성되어질 유기발광층(110) 및 제2 전극(또는 캐소드전극(112))의 분리를 위한 격벽(108)이 위치한다. 격벽(108)은 애노드전극(104)을 가로 지르는 방향으로 형성되며, 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 역 테퍼(taper) 구조를 갖게 된다. 격벽(108)이 형성된 절연막(106) 상에는 유기화합물로 구성되는 유기발광층(110)과 캐소드전극(112)이 순차적으로 전면 증착된다. 유기발광층(110)에는 전자 주입층, 전자 수송층, 발광층, 정공 수송층, 정공 주입층이 포함된다. A plurality of first electrodes (or anode electrodes 104) of the organic EL array 115 are formed on the substrate 103 at a predetermined interval. On the substrate 102 on which the anode electrode 104 is formed, an insulating film 106 having an opening for each EL cell EL region is formed. The partition 108 is disposed on the insulating layer 106 to separate the organic light emitting layer 110 and the second electrode (or the cathode electrode 112) to be formed thereon. The partition 108 is formed in a direction crossing the anode electrode 104 and has an inverted taper structure in which the upper end portion has a wider width than the lower end portion. On the insulating layer 106 on which the partition 108 is formed, the organic light emitting layer 110 and the cathode electrode 112 made of an organic compound are sequentially deposited on the entire surface. The organic light emitting layer 110 includes an electron injection layer, an electron transport layer, a light emitting layer, a hole transport layer, a hole injection layer.

정전기 재전라인(107)은 유기EL어레이(115)의 격벽(108)들이 공통으로 연결되며 유기EL어레이(115)들 사이로 신장되어 모기판(102)의 외곽에 위치하는 정전기 재전패턴(109)과 접속되게 된다. 이러한, 정전기 재전라인(107)은 유기EL어레이(115)의 격벽(108)과 동일물질로 동시에 형성된다. The static electricity discharging line 107 is connected to the barrier ribs 108 of the organic EL array 115 in common, and extends between the organic EL arrays 115 and the static electricity discharging pattern 109 positioned outside the mother substrate 102. Will be connected. The electrostatic discharge line 107 is formed of the same material as the partition 108 of the organic EL array 115 at the same time.

정전기 재전패턴(109)은 격벽(108)과 동일물질이며 정전기 재전라인(107)과 접속되어 유기EL어레이(115)의 격벽(108) 영역에서 대전된 정전기를 외부로 재전시키는 역할을 하게 된다. The static electricity discharging pattern 109 is the same material as the partition 108 and is connected to the static electricity discharging line 107 to serve to recharge the static electricity charged in the partition 108 region of the organic EL array 115 to the outside.

이를 도 7을 참조하여 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다. This will be described in more detail with reference to FIG. 7 as follows.

도 7을 참조하면, 애노드 전극(104), 절연막(106) 및 격벽(108) 등이 형성된 모기판(103) 상에 유기 발광층(110)(즉, 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층 및 전자주입층 및 발광층)을 형성하기 위한 마스크(160)가 정렬된다. 여기서, 마스크(160)는 유기발광층(110)의 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층 및 전자주입층 등을 형성하기 위한 공통마스크이거나 R,G,B 를 구현하기 위한 발광층 형성시 이용되는 섀도우 마스크(도 7에소는 섀도우 마스크를 나타내었다)일 수 도 있다. Referring to FIG. 7, the organic light emitting layer 110 (ie, the hole injection layer, the hole transport layer, the electron transport layer, and the electrons) is formed on the mother substrate 103 on which the anode electrode 104, the insulating film 106, the partition 108, and the like are formed. The mask 160 for forming the injection layer and the light emitting layer is aligned. Here, the mask 160 is a common mask for forming the hole injection layer, the hole transport layer, the electron transport layer and the electron injection layer of the organic light emitting layer 110 or the shadow mask used when forming the light emitting layer for implementing R, G, B, etc. (In FIG. 7 shows the shadow mask).

이러한, 마스크(160)가 모기판(102)의 격벽(108) 등과 접촉되도록 정렬된 후 증착공정이 수행되는 공정이 반복되는 동안 마스크(160)와 기판(102) 사이에 정전기가 대전되게 된다. 이경우 도 7에 도시된 바와 같이 정전기 재전패턴(109)에 도전성 핀(175) 등을 접촉시켜 정전기를 재전시키게 된다. 즉, 유기EL어레이(115) 내에서 대전된 정전기가 정전기 재전라인(107)을 경유하여 정전기 재전패턴(109)과 접속된 도전성 핀(175)을 통해 재전되게 된다. 여기서, 도전성 핀(175)은 사용자가 별도의 공정에 의해 도전성을 가지는 핀을 제작할 수 도 있고, 오토프로브(auto-prove) 장비 또는 모기판(102)을 로딩 언로딩 시키기 위한 지그(zig) 등 도전성을 가지는 물질이라면 어느 것이든 관계없이 이용될 수 있다. After the mask 160 is aligned to contact the partition 108 of the mother substrate 102, the static electricity is charged between the mask 160 and the substrate 102 while the process of performing the deposition process is repeated. In this case, as shown in FIG. 7, the conductive pins 175 are brought into contact with the static electricity recharging pattern 109 to recharge static electricity. That is, the static electricity charged in the organic EL array 115 is recharged through the conductive pin 175 connected to the static electricity discharge pattern 109 via the static electricity discharge line 107. Here, the conductive pins 175 may be manufactured by the user in a separate process, a pin having a conductivity, such as a jig (zig) for loading and unloading the auto-prove (auto-prove) equipment or the mother substrate 102 Any material may be used as long as the material has conductivity.

이와 같이, 본 발명에 따른 유기EL표시소자용 모기판(102)에는 대전된 정전기를 재전시키기 위한 정전기 재전라인(107) 및 재전패턴(109)을 형성함으로써 소자를 형성하는 경우 대전된 정전기를 재전시킬 수 있게 된다. 그 결과, 정전기에 의한 소자 손상이 방지되고, 증착 공정이 완료된 모기판(102)과 마스크(160)가 용이하게 분리된다. As described above, the mother substrate 102 for the organic EL display device according to the present invention forms an electrostatic charge line 107 and a charge pattern 109 for recharging the charged static electricity, thereby recharging the charged static electricity. You can do it. As a result, damage to the device by static electricity is prevented, and the mother substrate 102 and the mask 160 where the deposition process is completed are easily separated.

이하, 도 8a 내지 도 8e를 참조하여 본 발명에 따른 유기전계발광표시소자의 제조방법을 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, a method of manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention will be described with reference to FIGS. 8A to 8E.

먼저, 소다라임(Sodalime) 또는 경화유리를 이용하여 형성된 모기판(103) 상에 투명도전성물질이 증착된 후 포토리쏘그래피공정과 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 도 8a에 도시된 바와 같이 애노드전극(104)이 형성된다. 여기서, 투명도전물질로는 인듐-틴-옥사이드(Indium-Tin-Oxide) 또는 SnO2 등이 이용된다. First, a transparent conductive material is deposited on a mother substrate 103 formed using soda lime or hardened glass, and then patterned by a photolithography process and an etching process to form an anode electrode 104 as shown in FIG. 8A. ) Is formed. In this case, indium tin oxide or SnO 2 may be used as the transparent conductive material.

애노드전극(104)이 형성된 모기판(102) 상에 감광성절연물질이 스핀코팅 (Spin-Coating)법에 의해 형성된 후 포토리쏘그래피공정 의해 패터닝됨으로써 도 8b에 도시된 바와 같이 절연막(106)이 형성된다. The photosensitive insulating material is formed by spin-coating on the mother substrate 102 on which the anode electrode 104 is formed, and then patterned by a photolithography process to form an insulating film 106 as shown in FIG. 8B. do.

절연막(106) 상에 감광성유기물질이 증착된 후 포토리쏘그래피공정에 의해 패터닝됨으로써 도 8c 및 도 9(사시도)에 도시된 바와 같이 격벽(108), 정전기 재전라인(107) 및 정전기 재전패턴(109)이 형성된다. 격벽(108)은 화소를 구분해주기 위해 다수개의 애노드전극(104)과 교차되도록 형성되며, 정전기 재전라인(107)은 유기EL어레이(115)를 간의 비어레이영역에 위치하게 되고, 정전기 재전패턴(109)은 모기판(102)의 외곽영역에 적어도 하나 이상 형성된다. 여기서, 격벽(108), 정전기 재전라인(107) 및 정전기 재전패턴(109)들은 서로 연결되어 있다. After the photosensitive organic material is deposited on the insulating layer 106 and patterned by a photolithography process, as shown in FIGS. 8C and 9 (perspective view), the partition 108, the electrostatic recirculation line 107, and the electrostatic recirculation pattern ( 109 is formed. The partition wall 108 is formed to intersect the plurality of anode electrodes 104 so as to distinguish the pixels, and the electrostatic discharge line 107 is positioned in the via-lay region between the organic EL arrays 115 and the electrostatic discharge pattern ( At least one 109 is formed in an outer region of the mother substrate 102. Here, the partition 108, the electrostatic discharge line 107, and the electrostatic discharge pattern 109 are connected to each other.

격벽(108)이 형성된 모기판(103) 상에 공통 마크스 및 섀도우(shadow) 마스크(미도시)를 이용하여 열증착, 진공증착 등의 방식에 의해 도 8d에 도시된 바와 같이 유기발광층(110)이 형성된다. As shown in FIG. 8D, the organic light emitting layer 110 may be formed on the mother substrate 103 on which the partition wall 108 is formed by thermal deposition, vacuum deposition, or the like using a common mark and a shadow mask (not shown). Is formed.

이러한 유기발광층(110)의 형성을 위해 마스크(160)를 모기판(102) 상에 정렬시키고 증착공정이 실시되는 동안 적어도 한번 또는 소정주기로 도 7에 도시된 바와 같이 도전성 핀(175)을 정전기 재전패턴(109)에 접촉시켜 증착공정의 진행 중에 대전되는 정전기를 재전시킨다.To form the organic light emitting layer 110, the mask 160 is aligned on the mother substrate 102, and the conductive fins 175 are electrostatically recharged as shown in FIG. 7 at least once or at predetermined intervals during the deposition process. The pattern 109 is contacted to recharge the static electricity charged during the deposition process.

이후, 유기발광층(110)이 형성된 모기판(102) 상에 금속물질이 증착됨으로써 도 8e에 도시된 바와 같이 캐소드전극(112)이 형성된다. 여기서, 캐소드전극(112)을 형성하는 단계에는 도전성 핀(175)을 정전기 재전패턴(109)에 접촉시켜 증착공정의 진행 중에 대전되는 정전기를 재전시키는 단계를 포함할 수 도 있다.Thereafter, a metal material is deposited on the mother substrate 102 on which the organic light emitting layer 110 is formed, thereby forming the cathode electrode 112 as illustrated in FIG. 8E. The forming of the cathode electrode 112 may include recharging the static electricity charged during the deposition process by bringing the conductive pin 175 into contact with the static electricity discharging pattern 109.

이후, 봉지(Encapsulation) 공정이 실시됨으로써 유기EL어레이(115)가 패키징된 후 스크라이빙 공정이 실시된다. 여기서, 스크라이빙 공정에 의해 모기판(102)이 다수의 유기 전계발광표시소자로 분리됨과 아울러 정전기 재전패턴(109) 및 정전기 재전라인(107)이 제거된다. Thereafter, an encapsulation process is performed, and then the scribing process is performed after the organic EL array 115 is packaged. Here, the mother substrate 102 is separated into a plurality of organic electroluminescent display elements by the scribing process, and the static electricity discharging pattern 109 and the static electricity discharging line 107 are removed.

한편, 본 발명에서는 격벽(108) 형성시 정전기 재전라인 및 정전기 재전패턴을 형성하는 방식을 나타내었으나 이에 국한되지 않고, 애노드 전극, 캐소드 전극 등 다른 유기 전계발광어레이 내의 박막 패턴 형성시 함께 형성할 수 도 있다. 더 나아가서, 별도의 패터닝 공정에 의해 무기물(금속 등도 포함)을 이용하여 정전기 재전라인 및 정전기 재전패턴을 형성할 수 도 있다.Meanwhile, in the present invention, a method of forming an electrostatic charge line and an electrostatic charge pattern when forming the partition 108 is not limited thereto, and may be formed together when forming a thin film pattern in another organic electroluminescent array such as an anode electrode and a cathode electrode. There is also. Furthermore, an electrostatic material line and an electrostatic material pattern may be formed by using an inorganic material (including metal, etc.) by a separate patterning process.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기EL표시소자용 모기판 및 이를 이용한 유기 전계발광표시소자의 제조방법은 마스크를 이용한 증착공정시 대전되는 정전기를 재전시키기 위한 정전기 재전라인 및 재전패턴을 형성한다. 이러한, 정전기 재전패턴에 소정 주기로 도전성 핀을 접촉시킴으로써 소자 내에서 대전된 정전기를 재전시킬 수 있게 된다. 그 결과, 정전기에 의한 소자 손상 및 불량이 방지된다. As described above, the mother substrate for the organic EL display device and the method of manufacturing the organic electroluminescent display device using the same according to the present invention form an electrostatic charge line and a charge pattern for recharging the static electricity charged during the deposition process using the mask. . By contacting the conductive pins at predetermined cycles with the static electricity recharging pattern, the static electricity charged in the device can be recharged. As a result, element damage and defects caused by static electricity are prevented.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다. Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (8)

유기발광층을 사이에 두고 서로 교차되게 형성되는 애노드 전극 및 캐소더 전극과 상기 캐소드 전극을 전기적을 분리시키기 위한 다수의 격벽을 구비하는 유기전계발광어레이가 형성된 모기판에 있어서, A mother substrate having an organic light emitting array including an anode electrode and a cathode electrode formed to cross each other with an organic light emitting layer interposed therebetween, and a plurality of partition walls for electrically separating the cathode electrode. 상기 모기판의 외곽영역에 형성된 적어도 하나의 정전기 재전패턴과; At least one electrostatic recirculation pattern formed at an outer region of the mother substrate; 상기 정전기 재전패턴과 상기 유기전계발광어레이에서 대전되는 정전기를 상기 정전기 재전패턴에 전달하도록 상기 격벽에 접속되는 정전기 재전라인을 구비하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자용 모기판. And a static electricity discharging line connected to the partition wall so as to transfer the static electricity charged in the static electricity discharging pattern and the organic light emitting array to the static electricity discharging pattern. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 정전기 재전라인은 상기 유기 전계발광어레이들 사이의 비어레이영역에 형성된 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자용 모기판. The electrostatic display line is a mother substrate for an organic electroluminescent display device, characterized in that formed in the via region between the organic electroluminescent array. 삭제delete 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 정전기 재전라인 및 정전기 재전패턴은 상기 격벽과 동일물질로 동시에 형성된 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자용 모기판. And the electrostatic recirculation line and the electrostatic recirculation pattern are formed of the same material as the barrier rib at the same time. 유기전계발광표시소자용 모기판 상에 애노드전극을 형성하는 단계와; Forming an anode on a mother substrate for an organic light emitting display device; 상기 애노드전극을 부분적으로 노출시켜 발광역역을 정의하는 절연막을 형성하는 단계와; Partially exposing the anode electrode to form an insulating film defining a light emitting region; 상기 절연막 상에서 상기 애노드 전극과 교차되는 다수의 격벽, 상기 격벽들이 공통으로 접속된 정전기 재전라인, 상기 정전기 재전라인과 접속되며 상기 모기판의 외곽영역에 위치하는 적어도 하나의 정전기 재전패턴을 형성하는 단계와; Forming a plurality of barrier ribs intersecting with the anode electrode, an electrostatic charge line having the barrier ribs connected in common, and at least one electrostatic charge pattern connected to the electrostatic charge line and positioned in an outer region of the mother substrate on the insulating layer; Wow; 상기 절연막에 의해 정의된 발광영역 상에 유기발광층을 형성하는 단계와; Forming an organic light emitting layer on the light emitting region defined by the insulating film; 상기 애노드 전극과 교차되는 캐소드 전극을 형성하여 상기 모기판 상에 다수의 유기 전계발광어레이를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자의 제조방법. And forming a plurality of organic electroluminescent arrays on the mother substrate by forming cathode electrodes intersecting the anode electrodes. 제 5 항에 있어서, The method of claim 5, 상기 유기발광층 및 캐소드 전극 중 적어도 어느 하나를 형성하는 단계는 Forming at least one of the organic light emitting layer and the cathode electrode 상기 격벽 상에 마스크를 정렬시키는 단계와; Aligning a mask on the partition wall; 상기 마스크를 이용하여 증착물을 상기 모기판 상에 증착물을 증착시키는 단계와; Depositing a deposit on the mother substrate using the mask; 상기 정전기 재전패턴에 도전성 핀을 접촉시켜 상기 유기 전계발광어레이 내에서 대전되는 정전기를 재전시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자의 제조방법. And recharging the static electricity charged in the organic electroluminescent array by contacting the conductive pins with the electrostatic electrostatic pattern. 제 5 항에 있어서, The method of claim 5, 인캡슐레이션 공정에 의해 상기 유기 전계발광어레이를 패키징하는 단계와; Packaging the organic electroluminescent array by an encapsulation process; 스크라이빙 공정에 의해 상기 패키징된 모기판을 다수의 유기전계발광표시소자로 분리하고, 상기 정전기 재전 패턴 및 정전기 재전라인을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자의 제조방법. And separating the packaged mother substrate into a plurality of organic light emitting display elements by a scribing process, and removing the static electricity discharging pattern and the static electricity discharging line. . 모기판 상에 다수의 유기 전계발광어레이를 형성하는 단계와; Forming a plurality of organic electroluminescent arrays on the mother substrate; 상기 모기판의 외곽영역에 위치하는 적어도 하나의 정전기 재전패턴 및 상기 정전기 재전패턴과 상기 유기전계발광어레이의 격벽과 연결시키는 정전기 재전라인을 형성하는 단계와; Forming at least one static electricity discharging pattern located at an outer region of the mother substrate and an electrostatic discharge line connecting the static electricity discharging pattern and a partition wall of the organic light emitting array; 상기 정전기 재전패턴에 도전성 핀을 접촉시켜 상기 유기전계발광어레이에서 대전되는 정전기를 재전시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자의 제조방법. And recharging the static electricity charged in the organic light emitting array by contacting the conductive pins to the electrostatic recharging pattern.
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