KR100718460B1 - 웨이퍼 검사용 니들 및 이를 구비하는 프로브카드 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (5)
- 웨이퍼를 구성하는 칩의 전기적인 특성을 검사하기 위하여 웨이퍼 검사장치에 연결되고, 다수개의 홀이 천공되는 인쇄회로기판과;상기 인쇄회로기판의 저면 일측에 구비되는 적어도 하나의 지지바아; 그리고상기 지지바아의 일측에 고정되고, 그 일단부에는 상기 칩에 접촉되어 상기 검사장치에서 전송되는 전기적 신호를 칩으로 전달하는 접촉부가 구비되며, 그 타단부는 상기 홀을 관통하여 상기 인쇄회로기판의 상면에 납땜되는 다수개의 니들; 을 포함하여 구성되는 웨이퍼 검사용 프로브카드.
- 제 1 항에 있어서,상기 지지바아는 상기 인쇄회로기판의 저면에 서로 소정의 간격으로 이격되게 다수개가 구비되고,상기 니들은 상기 지지바아의 저면에 각각 다수개가 고정됨을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브카드.
- 제 1 항에 있어서,상기 홀은 상기 지지바아로부터 소정의 거리만큼 각각 이격되는 다수개의 직선상으로 상기 인쇄회로기판에 천공됨을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브카드.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 니들은 상기 지지바아의 저면에 에폭시수지에 의하여 고정됨을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브카드.
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