KR100718151B1 - 유기 ｅｌ 소자 및 그 제조방법 - Google Patents

유기 ｅｌ 소자 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

잉크젯 프린팅 공정에 의해 단위 화소부 내에 유기 물질층을 균일한 두께로 형성할 수 있도록 그 구조가 개선된 유기 EL 소자 및 그 제조방법이 개시된다. 본 발명에 따른 유기 EL(Electroluminescent) 소자는, 기판 상에 단위 화소부를 구획하는 것으로 상호 이격된 제1 뱅크와 제2 뱅크를 포함하여 이중의 뱅크구조로 형성된 듀오뱅크 및 상기 제1 및 제2 뱅크 사이의 이격틈을 포함하여 상기 단위화소부 내에 잉크젯 프린팅 공정으로 형성된 유기발광 물질층을 구비한다.

Description

유기 ＥＬ 소자 및 그 제조방법{Organic electroluminescent device and method of manufacturing the same}
도 1a는 종래 유기 EL 소자의 개략적 사시도이다.
도 1b는 도 1a에서 A-A'의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 유기 EL 소자의 개략적 단면도이다.
도 3a 내지 도 3e는 본 발명의 실시예에 따른 유기 EL 소자의 제조방법을 보여주는 공정흐름도이다.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
12: 기판 14: 애노드층
15: 절연층 16: 듀오뱅크
16a: 제1 뱅크 16b: 제2 뱅크
20: 단위 화소부 22: 정공주입층(HIL)
24: 발광층(EML) 30: 유기발광 물질층
34: 캐소드층
본 발명은 유기 EL 소자에 관한 것으로, 보다 상세하게는 잉크젯 프린팅 공정에 의해 단위 화소부 내에 유기 물질층을 균일한 두께로 형성할 수 있도록 그 구조가 개선된 유기 EL 소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.
최근 세계의 반도체 시장은 점차 포화되어 가는 반면에 새로운 디스플레이의 개발 및 실용화에 힘입어 디스플레이 시장이 반도체 시장을 앞지를 것이라는 전망도 나오고 있다. 그 중 액정표시장치(LCD)는 가볍고 전력 소모가 적은 장점이 있어 평판디스플레이로서 현재 가장 많이 사용되고 있으며 앞으로도 상당기간 수요 측면에서 강세를 유지할 것으로 예측된다.
그러나, LCD는 자체 발광소자가 아니라 수광소자이며 밝기, 대조비(contrast), 시야각, 그리고 대면적화 등에 기술적 한계가 있기 때문에 이러한 단점을 극복할 수 있는 새로운 평판디스플레이를 개발하려는 노력이 활발하게 전개되고 있다. 새로운 평판디스플레이 중 하나인 유기 EL 소자(organic electroluminescent device)는 자체발광형이기 때문에 LCD에 비해 시야각, 대조비 등이 우수하며 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량박형이 가능하고 소비전력 측면에서도 유리하다. 그리고 직류저전압 구동이 가능하고 응답속도가 빠르며 전부 고체이기 때문에 외부충격에 강하고 사용온도범위도 넓으며 특히 제조비용 측면에서도 저렴하다.
유기 EL 소자의 구조는 ITO(Indium Tin Oxide) 물질로 형성된 양극과 일함수가 낮은 금속으로 형성된 음극 사이에 두께 100 내지 200㎚ 정도의 얇은 유기박막층이 개재되어 있는 구조로 되어 있다. 상기 유기박막층은 단일 물질로 제작할 수 있으나, 일반적으로 여러 유기물질의 다층 구조를 주로 사용한다. 또한 발광효율을 높이기 위해, 상기 발광층에 형광 색소 또는 인광 색소를 도핑한다. 유기 EL 소자를 다층 박막 구조로 제작하는 이유는, 유기물질의 경우 정공과 전자의 이동도가 크게 차이가 나므로 정공전달층(Hole Transport Layer, 이하 'HTL'이라 함)과 전자전달층(Electron Transport Layer, 이하 'ETL'이라 함)을 사용하면 정공과 전자가 발광층(Emitting Layer, 이하 'EML'이라 함)으로 효과적으로 전달될 수 있기 때문이다. 이렇게 하여 발광층에서 정공과 전자의 밀도가 균형을 이루도록 하면 발광효율이 높아진다. 또한 음극에서 발광층으로 주입된 전자가 HTL과 EML의 계면에 존재하는 에너지 장벽에 의해 유기발광층에 갇히게 되어 재결합 효율이 향상된다. 그리고 ETL의 두께가 수십 나노미터(㎚) 정도가 되도록 하면 재결합 영역이 음극으로부터 여기자(exciton) 확산 길이(약 10~20㎚ 정도) 이상으로 떨어지게 되어 여기자의 음극에 의한 소멸을 방지하여 발광효율이 개선되는 효과도 얻을 수 있다. 경우에 따라서는 양극과 HTL층 사이에 전도성 고분자 또는 CuPc(Copper(Ⅱ) pthalocyanine) 등과 같은 정공주입층(Hole Injection Layer)을 추가로 삽입하여 정공 주입의 에너지 장벽을 낮추는 방법을 쓰기도 하고 음극과 ETL층 사이에는 약 0.5㎚ 내지 1㎚ 정도의 LiF 등을 삽입하여 전자주입을 향상, 발광효율을 증가시키고 구동 전압을 낮추게 한다.
도 1a는 종래 유기 EL 소자의 개략적 사시도이이고, 도 1b는 도 1a에서 A-A'의 단면도이다. 도 1a 및 도 1b를 함께 참조하면, 종래 유기 EL 소자는 기판(2) 상에 다수의 단위 화소부(3)를 구획하는 뱅크(4), 상기 단위 화소부 내에 잉크젯 프 린팅 공정으로 형성된 유기 발광층(6)을 구비한다.
잉크젯 공정으로 유기 EL 소자를 제조하는 경우, 도포된 유기물질 잉크를 단위 화소부(3)에 가두기 위해 뱅크(4)의 형성이 필수적이었다. 이와 같이, 상기 뱅크(4)는 도포된 잉크가 외부로 넘쳐서 다른 화소부를 침범하지 않도록 하는 역할을 한다. 잉크젯 공정을 시행할 때, 잉크를 뱅크 전체에 채우고 일부는 뱅크 상부를 덮도록 도포한다. 도포 이후, 잉크 내부의 용제가 증발하면서 잉크의 체적이 줄어들면 잉크의 표면장력의 영향으로 도포된 잉크의 형상이 물방울과 같은 모양이 되어 잉크 외측이 얇아지게 된다. 또한 잉크 외측에서는 뱅크 측면과 잉크 분자 사이의 인력이 작용하여 뱅크 측면에서 잉크가 잔류하게 된다. 이러한 과정을 거쳐서 도 1b에서 보이는 바와 같이 잉크의 외측이 아주 얇아지고 뱅크 측면에서는 다시 높아지는 형상을 형성하게 된다. 이와 같이 부분적으로 그 두께가 얇아진 영역은 층간 쇼트(short) 등의 문제를 일으키기도 하고, 이 얇아진 부분에 전기장이 집중되는 현상 등에 의해서, 유기 EL 소자의 수명을 단축시키는 문제가 발생하였다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상술한 종래기술의 문제점을 개선하기 위한 것으로, 잉크젯 프린팅 공정에 의해 단위 화소부 내에 유기 물질층을 균일한 두께로 형성할 수 있도록 그 구조가 개선된 유기 EL 소자 및 그 제조방법을 제공함에 있다.
본 발명에 따른 유기 EL 소자는,
기판 상에 단위 화소부를 구획하는 것으로 상호 이격된 제1 뱅크와 제2 뱅크를 포함하여 이중의 뱅크구조로 형성된 듀오뱅크; 및
상기 제1 및 제2 뱅크 사이의 이격틈을 포함하여 상기 단위화소부 내에 잉크젯 프린팅 공정으로 형성된 유기발광 물질층;을 구비한다.
여기에서, 상기 제1 및 제2 뱅크의 이격거리는 1㎛ 내지 20㎛ 이다. 바람직하게, 상기 제1 뱅크가 제2 뱅크의 내측에 배치되고, 상기 제1 뱅크의 폭사이즈는 제2 뱅크의 폭사이즈 보다 더 작게 형성될 수 있다. 그리고, 상기 유기발광 물질층의 하부 및 상부에 각각 애노드층 및 캐소드층이 더 마련될 수 있다.
상기 유기발광 물질층은 단일층 또는 다층 구조의 물질층으로 형성되며, 여기에서 상기 다층 구조의 유기발광 물질층은, 순차로 적층된 정공주입층 및 발광층을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 유기 EL 소자의 제조방법은,
기판 위에 애노드층을 형성하는 단계;
상기 애노드층 위에 절연층을 형성하는 단계;
상기 절연층을 패터닝하여 상기 애노드층 상에 단위 화소부를 구획하는 것으로 상호 이격된 제1 뱅크와 제2 뱅크를 포함하는 이중의 뱅크구조를 갖는 듀오뱅크를 형성하는 단계;
상기 제1 및 제2 뱅크 사이의 이격틈을 포함하여 상기 단위화소부 내에 잉크젯 프린팅 공정으로 유기발광 물질층을 형성하는 단계; 및
상기 유기발광 물질층 위에 캐소드층을 형성하는 단계;를 포함한다.
여기에서, 상기 제1 및 제2 뱅크의 이격거리는 1㎛ 내지 20㎛으로 형성된다. 바람직하게, 상기 제1 뱅크가 제2 뱅크의 내측에 배치되고, 상기 제1 뱅크의 폭사이즈는 제2 뱅크의 폭사이즈 보다 더 작게 형성될 수 있다.
그리고, 상기 유기발광 물질층은 단일층 또는 다층 구조의 물질층으로 형성되며, 여기에서 상기 다층 구조의 유기발광 물질층은, 순차로 적층되는 정공주입층 및 발광층을 포함할 수 있다.
본 발명에 의하면, 잉크젯 프린팅 공정에 의해 유기 EL 소자를 제조하는 경우, 종래 뱅크 측면에 도포된 유기물질 잉크의 두께가 얇아지던 현상을 개선하여 단위 화소부 내에 유기 물질층을 균일한 두께로 형성할 수 있다.
이하에서는, 본 발명에 따른 유기 EL 소자 및 그 제조방법의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 층이나 영역들의 두께는 명세서의 명확성을 위해 과장되게 도시된 것이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 유기 EL 소자의 개략적 단면도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 유기 EL 소자는 기판(12) 상에 단위 화소부(20)를 구획하는 듀오뱅크(16) 및 상기 단위 화소부(20) 내에 잉크젯 프린팅 공정으로 형성된 유기발광 물질층(30)을 구비한다. 애노드층(14)과 캐소드층(34) 각각은 상기 유기발광 물질층(30)의 하부 및 상부에 접촉되도록 형성되었다.
상기 애노드층(14)은 ITO(Indium Tin Oxide)와 같은 투명전극 물질로 형성되며, 상기 캐소드층(34)은 낮은 일함수를 갖는 금속재료, 예를 들어, Ca, Mg, Al, Ag, Ni, Au, Cu, Mg/Ag 또는 이들의 합금으로 형성될 수 있다.
상기 유기발광 물질층(30)은 단일 물질층 또는 다층 구조의 물질층으로 형성될 수 있다. 바람직하게, 상기 다층 구조의 유기발광 물질층은 순차로 적층된 정공주입층(22, Hole Injection Layer, 이하 'HIL'이라 함) 및 발광층(24, Emitting Layer, 이하 'EML'이라 함)을 포함할 수 있다.
여기에서, 상기 EML(24)은 상기 캐소드층(34)과 애노드층(14)으로부터 공급된 전자와 정공의 재결합이 이루어지면서 발광이 일어나는 영역이다. 이 때, 상기 EML(24)을 형성하는 유기물질의 고유파장에 따라 여러가지 발광색을 구현할 수 있는데 호스트(host)와 도펀트(dopant)의 조성비를 구현하고자 하는 소자의 발광특성에 따라 적절히 조정하게 된다. 일반적으로, 발광효율을 최대한 향상시키고 색도를 적절히 조절하기 위해 다양한 종류의 호스트와 도펀트를 혼합하여 EML(24)을 형성할 수 있다. 잉크젯 프린팅 공정에 의한 유기 EL 소자의 제조공정에서, 이러한 EML(24)의 형성물질 및 형성방법은 널리 알려져 있으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
그리고, 상기 HIL(22)은 상기 EML(24) 내에 정공의 주입이 원활하도록 하기 위해 형성되는데, PEDOT(Poly(3,4-ethylenedioxythiophene)), CuPc(Copper(Ⅱ) pthalocyanine) 또는 m-MTDATA와 같은 물질로 형성될 수 있다.
이와 같은 구조의 유기 EL 소자에서, 상기 캐소드층(34)과 애노드층 사이에 소정의 전압이 인가되면, 상기 EML(24) 내에 전자와 정공이 주입되며, 이들의 재결합 에너지에 의해 EML(24)을 이루는 유기분자가 여기하여 여기자가 생성된다. 상기 여기자는 여러 가지 경로를 거쳐 바닥상태로 천이하는데, 이 과정에서 전기발광을 하게 된다.
본 발명에서, 상기 듀오뱅크(16)는 1㎛ 내지 20㎛ 거리만큼 상호 이격된 제1 뱅크(16a)와 제2 뱅크(16b)를 포함하여 이중의 뱅크구조로 형성된 것을 특징으로 한다. 여기에서, 상기 제1 뱅크(16a)는 제2 뱅크(16b)의 내측에 배치되며, 내측에 설치되는 제1 뱅크(16a)의 폭사이즈가 제2 뱅크(16b)의 폭사이즈 보다 더 작게 형성되는 것이 바람직하다. 상기 제1 뱅크(16a)는 단위 화소부(20)를 정의하게 되며, 상기 제2 뱅크(16b)는 상기 단위 화소부(20)에 채워진 잉크가 또 다른 화소부로 흘러넘쳐서 나가는 것을 방지하는 기능을 할 수 있다. 이와 같은 이중의 뱅크구조, 즉 듀오뱅크(16)를 적용하여 잉크젯 프린팅 공정에 의해 유기 EL 소자를 제조할 경우, 상기 제1 및 제2 뱅크(16a, 16b) 사이의 이격틈에 유기물질 잉크가 더 채워지게 된다. 이 이격틈은 그 폭이 좁아서 채워진 잉크의 체적에 비해서 잉크와 뱅크 측벽 사이의 인력이 작용할 표면이 넓다. 잉크의 용제가 증발하면서 도포된 잉크 전체의 체적이 작아지면서 잉크 사이의 인력으로 인해 잉크 외측의 분자가 내측으로 끌려가는 현상이 일어나는 것이 일반적이다. 이때 이격틈에 채워진 잉크는 뱅크 측벽과의 인력에 의해서 이격틈 내에 잔류하려는 힘을 받기 때문에 뱅크 내부로 끌려가지 않고 남아 있게된다. 상기 이격틈에 잔류되어진 유기물질 잉크와 단위 화소부(20) 내에 채워진 유기물질 잉크는 상호 응집하려 하기 때문에, 이들 사이에 응집력이 발생된다. 그리고, 상기 응집력은 상기 제1 뱅크(16a)의 내측에 도포된 잉크에 상대적으로 작용하게 되므로, 결국 상기 제1 뱅크(16a)의 외곽부의 잉크가 내측으로 끌려가는 힘에 대해 대항력을 행사하게되어, 내측 외곽부에 도포된 잉크의 두께가 얇아지지 않도록 그 힘이 작용하게 되어 도포된 잉크가 균일한 두께를 유지하도록 할 수 있다. 따라서, 상기 듀오뱅크(16)를 적용한 유기 EL 소자가 제조될 경우, 상기 단위 화소부(20) 내에 채워지는 잉크의 두께가 균일하게 형성될 수 있다. 따라서, 본 발명에 의하면, 종래 유기물질층의 그 두께가 얇은 영역에서의 층간 쇼트 또는 전기장 집중현상 등과 같은 문제점이 개선될 수 있으며, 그 결과 유기 EL 소자의 수명이 연장될 수 있다.
도 3a 내지 도 3e는 본 발명의 실시예에 따른 유기 EL 소자의 제조방법을 보여주는 공정흐름도이다.
도 3a를 참조하면, 기판(12) 위에 순차적으로 애노드층(14) 및 절연층(15)을 형성한다. 여기에서, 상기 기판(12)으로 유리기판, 플라스틱 기판, 사파이어 기판 또는 플렉서블(flexible)한 재질의 기판이 이용될 수 있다. 그리고 상기 애노드층(14)은 ITO(Indium Tin Oxide)와 같은 투명전극 물질로 형성되는 것이 바람직하다. 상기 절연층(15)은 유기 절연물질, 실리콘 산화물(SiO2), 실리콘 질화물(Si3N4) 또는 그 밖의 절연물질 등으로 형성될 수 있다. 이들 각각의 층들은 반도체 제조공정 또는 유기 EL 소자의 제조공정에서 일반적으로 이용되는 박막증착 공정, 예를 들어 기상증착법 또는 스핀코팅법 등에 의해 형성될 수 있으며, 이들 공정들은 널리 알려져 있으므로 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 3b 및 도 3c를 참조하면, 상기 절연층(15)을 패터닝하여 상기 애노드층(14) 상에 단위 화소부(20)를 구획하는 것으로 상호 이격된 제1 뱅크(16a)와 제2 뱅크(16b)를 포함하는 이중의 뱅크구조를 갖는 듀오뱅크(16)를 형성한다. 여기에서, 바람직하게 상기 패터닝은 포토리소그래피(photolithography) 공정에 의하여 수행될 수 있다. 이와 같은 포토리소그래피 공정은 노광(Exposure)/현상(Develop)/식각(Etching) 공정을 포함할 수 있다. 여기에서, 상기 제1 및 제2 뱅크(16a, 16b)의 이격거리는 1㎛ 내지 20㎛으로 형성되는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 제1 뱅크(16a)가 제2 뱅크(16b))의 내측에 배치되고, 상기 제1 뱅크(16a)의 폭사이즈는 제2 뱅크(16b)의 폭사이즈 보다 더 작게 형성되는 것이 바람직하다. 상기 제1 뱅크(16a)는 단위 화소부(20)를 정의하게 되며, 상기 제2 뱅크(16b)는 상기 단위 화소부(20)에 채워진 잉크가 또 다른 화소부로 흘러넘쳐서 나가는 것을 방지하는 기능을 할 수 있다.
도 3d를 참조하면, 상기 제1 및 제2 뱅크(16a, 16b) 사이의 이격틈을 포함하여 상기 단위 화소부(20) 내에 잉크젯 프린팅 공정으로 유기발광 물질층(30)을 형성한다. 상기 유기발광 물질층(30)은 단일 물질층 또는 다층 구조의 물질층으로 형성될 수 있다. 바람직하게, 상기 다층 구조의 유기발광 물질층(30)은 순차로 적층된 정공주입층(22, HIL) 및 발광층(24, EML)을 포함한다.
여기에서, 상기 EML(24)을 형성하는 유기물질의 고유파장에 따라 여러가지 발광색을 구현할 수 있는데, 호스트(host)와 도펀트(dopant)의 조성비를 구현하고자 하는 소자의 발광특성에 따라 적절히 조정하게 된다. 일반적으로, 발광효율을 최대한 향상시키고 색도를 적절히 조절하기 위해 다양한 종류의 호스트와 도펀트를 혼합하여 EML(24)을 형성할 수 있다. 잉크젯 프린팅 공정에 의한 유기 EL 소자의 제조공정에서, 이러한 EML(24)의 형성물질 및 형성방법은 널리 알려져 있으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다. 그리고, 상기 HIL(22)은 PEDOT(Poly(3,4-ethylenedioxythiophene)), CuPc(Copper(Ⅱ) pthalocyanine) 또는 m-MTDATA와 같은 물질로 형성될 수 있다.
상기 이중의 뱅크구조, 즉 듀오뱅크(16)를 적용하여 잉크젯 프린팅 공정에 의해 유기 EL 소자를 제조할 경우, 상기 제1 및 제2 뱅크(16a, 16b) 사이의 이격틈에 유기물질 잉크가 더 채워지게 된다. 상기 이격틈에 채워진 유기물질 잉크와 단위 화소부(20) 내에 채워진 유기물질 잉크는 상호 응집하려 하기 때문에, 이들 사이에 응집력이 발생된다. 그리고, 상기 응집력은 상기 제1 뱅크(16a)의 내측 측면에 도포된 잉크에 상대적으로 작용하게 되므로, 결국 상기 제1 뱅크(16a)의 내측 측면에 도포된 잉크의 두께가 얇아지지 않도록 그 힘이 작용하게 되어 도포된 잉크가 균일한 두께를 유지하도록 할 수 있다. 따라서, 상기 듀오뱅크(16)를 적용한 유기 EL 소자가 제조될 경우, 상기 단위 화소부(20) 내에 채워지는 잉크의 두께가 균일하게 형성될 수 있다.
도 3e를 참조하면, 상기 유기발광 물질층(30) 위에 도전성 잉크물질을 프린팅하거나 또는 진공증착 공정으로 캐소드층(34)을 형성한다. 상기 캐소드층(34)은 낮은 일함수를 갖는 금속재료, 예를 들어, Ca, Mg, Al, Ag, Ni, Au, Cu, Mg/Ag 또는 이들의 합금으로 형성될 수 있다. 여기서, 도전성 잉크물질로서, Ag-잉크, Ni-잉크, Au-잉크, Cu-잉크 등과 같은 금속-잉크를 이용할 수 있다.
본 발명에 의하면, 잉크젯 프린팅 공정에 의해 유기 EL 소자를 제조하는 경우, 종래 뱅크 측면에 도포된 유기물질 잉크의 두께가 얇아지던 현상을 개선하여 단위 화소부 내에 유기 물질층을 균일한 두께로 형성할 수 있다. 따라서, 종래 유기물질층의 그 두께가 부분적으로 얇은 영역에서의 층간 쇼트 또는 전기장 집중현상 등과 같은 문제점이 개선될 수 있으며, 그 결과 유기 EL 소자의 수명이 연장될 수 있다. 이상에서, 이러한 본원 발명의 이해를 돕기 위하여 몇몇의 모범적인 실시예가 설명되고 첨부된 도면에 도시되었으나, 이러한 실시예들은 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 상기 실시예로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점이 이해되어야 할 것이다. 따라서, 본 발명은 도시되고 설명된 구조와 공정순서에만 국한되는 것은 아니며, 특허청구범위에 기재된 발명의 기술사상을 중심으로 보호되어야 할 것이다.

Claims (12)

  1. 기판 상에 단위 화소부를 구획하는 것으로 상호 이격된 제1 뱅크와 제2 뱅크를 포함하여 이중의 뱅크구조로 형성된 듀오뱅크; 및
    상기 제1 및 제2 뱅크 사이의 이격틈을 포함하여 상기 단위 화소부 내에 잉크젯 프린팅 공정으로 형성된 유기발광 물질층;을 구비하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 뱅크의 이격거리는 1㎛ 내지 20㎛인 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 뱅크가 제2 뱅크의 내측에 배치되고, 상기 제1 뱅크의 폭사이즈는 제2 뱅크의 폭사이즈 보다 더 작게 형성된 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 유기발광 물질층의 하부 및 상부에 각각 애노드층 및 캐소드층이 더 마련된 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유기발광 물질층은 단일층 또는 다층 구조의 물질층인 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 다층 구조의 유기발광 물질층은, 순차로 적층된 정공주입층 및 발광층을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자.
  7. 기판 위에 애노드층을 형성하는 단계;
    상기 애노드층 위에 절연층을 형성하는 단계;
    상기 절연층을 패터닝하여 상기 애노드층 상에 단위 화소부를 구획하는 것으로 상호 이격된 제1 뱅크와 제2 뱅크를 포함하는 이중의 뱅크구조를 갖는 듀오뱅크를 형성하는 단계;
    상기 제1 및 제2 뱅크 사이의 이격틈을 포함하여 상기 단위 화소부 내에 잉크젯 프린팅 공정으로 유기발광 물질층을 형성하는 단계; 및
    상기 유기발광 물질층 위에 캐소드층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자의 제조방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 뱅크의 이격거리는 1㎛ 내지 20㎛으로 형성되는 것을 특징 으로 하는 유기 EL 소자의 제조방법.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 제1 뱅크가 제2 뱅크의 내측에 배치되고, 상기 제1 뱅크의 폭사이즈는 제2 뱅크의 폭사이즈 보다 더 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자의 제조방법.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 유기발광 물질층은 단일층 또는 다층 구조의 물질층으로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자의 제조방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 다층 구조의 유기발광 물질층은, 순차로 적층되는 정공주입층 및 발광층을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자의 제조방법.
  12. 제 7 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항의 방법으로 제조된 유기 EL 소자.
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