KR100683779B1 - 마스크 제조용 포토마스크 및 이를 이용한 마스크 프레임어셈블리의 제작방법 - Google Patents

마스크 제조용 포토마스크 및 이를 이용한 마스크 프레임어셈블리의 제작방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 저렴한 비용으로 마스크 프레임 어셈블리를 제조할 수 있도록 하는 마스크 제조용 포토마스크 및 이를 이용한 마스크 프레임 어셈블리의 제작방법을 위하여, 본 발명은, (i) 투명한 기판과, (ii) 상기 투명한 기판 상에 배치되고, 일 방향으로 소정 패턴의 개구부를 구비하며, 타 방향으로는 상기 일 방향으로의 패턴과 상이한 패턴의 개구부를 구비한 차폐부를 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 제조용 포토마스크 및 이를 이용한 마스크 프레임 어셈블리의 제작방법을 제공한다.

Description

마스크 제조용 포토마스크 및 이를 이용한 마스크 프레임 어셈블리의 제작방법{Photomask for manufacturing mask and method of manufacturing mask frame assembly by use of the same}
도 1은 종래의 유기 전계발광 디스플레이 장치의 박막 증착용 마스크 프레임 어셈블리를 개략적으로 도시하는 분해 사시도이다.
도 2 및 도 3은 종래의 마스크 프레임 어셈블리의 평면도들이다.
도 4 및 도 5는 또 다른 종래의 마스크 프레임 어셈블리의 분해 사시도들이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 마스크 제조용 포토마스크를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 7은 도 6의 VII-VII 선을 따라 취한 단면도이다.
도 8 내지 도 12는 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 마스크 프레임 어셈블리의 제조공정들을 개략적으로 도시하는 도면들이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
131: 마스크 시트 132a, 132b: 단위 마스크
133a, 133b: 단위 마스킹 패턴 140: 포토마스크
142: 투명 기판 144: 차폐부
144a, 144b: 단위 개구부 패턴 150: 포토리지스트
본 발명은 마스크 제조용 포토마스크 및 이를 이용한 마스크 프레임 어셈블리의 제작방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 저렴한 비용으로 마스크 프레임 어셈블리를 제조할 수 있도록 하는 마스크 제조용 포토마스크 및 이를 이용한 마스크 프레임 어셈블리의 제작방법에 관한 것이다.
전계발광 디스플레이 장치는 자발광형 디스플레이 장치로서, 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어서 차세대 디스플레이 장치로서 주목받고 있다.
일반적인 전계발광 디스플레이 장치에 구비되는 전계발광 소자는 서로 대향된 전극들과, 그 사이에 개재된 중간층을 구비한다. 중간층은 적어도 발광층을 포함하는데, 그 외에도 다양한 층들이 구비될 수 있다. 예컨대 홀 주입층, 홀 수송층, 전자 수송층 또는 전자 주입층 등이 중간층에 구비될 수 있다. 유기 전계발광 소자의 경우, 이러한 중간층들은 유기물로 형성된 유기 박막들이다.
이러한 구성을 갖는 유기 전계발광 소자를 제조하는 과정에서, 기판 상에 형성되는 홀 주입층, 홀 수송층, 발광층, 전자 수송층 또는 전자 주입층 등의 유기박막들은 증착장치를 이용하여 증착(deposition)의 방법에 의해 형성될 수 있다.
즉, 유기 전계발광 소자의 박막을 이루는 유기물은 10-6 내지 10-7 torr의 진공도에 250 내지 450℃ 정도의 온도범위에서 증발 또는 승화하므로, 증착 방법은 일반적으로 진공챔버 내에 기판을 장착한 후 증착될 물질을 담은 가열 용기를 가열하여 그 내부의 증착될 물질을 증발 또는 승화시킴으로써 박막을 제작한다. 물론, 전술한 바와 같이 전계발광 소자에는 서로 대향되는 전극이 구비되며, 특히 능동 구동형 전계발광 소자의 경우에는 금속으로 형성되는 전극들을 구비한 박막 트랜지스터들이 구비되는 바, 이러한 전극 등도 증착 등의 방법을 통해 형성될 수 있다.
이와 같은 증착에 의해 유기막 또는 금속막 등을 형성함에 있어서, 유기막 또는 금속막을 특정한 패턴을 가지도록 형성하기 위해 마스크가 이용된다. 즉, 유기막 또는 금속막 등을 형성할 대상에 소정 패턴의 개구부들이 형성된 마스크를 장착한 후 증착을 행함으로써, 상기 마스크에 형성된 소정 패턴의 개구부들을 통해 노출된 부분에만 유기막 또는 금속막 등이 증착되도록 하여 원하는 패턴으로 증착이 이루어지도록 하는 것이다.
이 경우, 마스크를 기판 등에 밀착시킨 후 증착이 이루어지는데, 종래의 마스크의 경우 마스크의 자중에 의해 마스크의 중앙부가 기판 등에 밀착되지 못한다는 문제점이 있었다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여, 텐션 마스크가 개발되었다. 도 1은 이러한 텐션 마스크가 구비된, 종래의 박막 증착용 마스크 프레임 어셈블리를 개략적으로 도시하는 분리 사시도이다. 도시된 바와 같이 하나의 금속박판(11)에 전계발광 디스플레이 장치를 이루는 단위 기판을 복수개 증착할 수 있도록 단위 마스크(12)들이 구비되어 있으며, 상기 마스크(10)는 프레임(20)에 인장력이 가하여지도록 고정된다.
이러한 종래의 마스크(10)는 대량생산을 위해 상대적으로 그 크기가 크므로, 마스크를 격자상의 프레임(20)에 고정할 때 균일하게 인장력이 가하여져 있다 하여도 상술한 바와 같은 자중에 의한 문제는 심화된다. 특히 대면적 금속 박판 마스크는 각 단위 마스킹 패턴부(12)에 형성된 개구부(12a)들의 너비를 설정된 공차 범위 내로 유지되도록 프레임(20)에 용접하여야 한다. 이때에 마스크(10)의 처짐을 방지하기 위하여 각 방향으로 인장력을 가하게 되면, 각 단위 마스킹 패턴부(12)의 개구부(12a)들의 피치에 왜곡이 발생되어 설정된 공차 범위로 맞추는 것이 불가능해진다. 특히 마스크(10)의 특정 부위의 단위 마스킹 패턴부(12)의 개구부가 변형되면 이와 이웃하는 모든 개구부들에도 힘이 가하여져 변형되므로, 증착되는 기판에 대해 개구부들이 상대적으로 이동됨으로써 설정된 패턴의 공차 범위를 벗어나게 된다. 이러한 현상은 마스크에 형성된 개구부(12a)들의 법선 방향(개구부들의 길이 방향과 직교하는 방향)에서 특히 문제된다.
그리고 도 2에 도시된 바와 같이 단일의 원판 마스크(10)의 각 변에서 인장력을 가하여 프레임(20)에 고정하는 경우, 마스크(10)의 인장력에 의해 프레임(20)의 양측의 지지바(21)가 내측으로 만곡되고 프레임의 상하부를 이루는 상하부 지지바(22)가 상하 방향으로 볼록하게 굴곡 변형되어 변형이 발생되거나, 도 3에 도시된 바와 같이 양측의 지지바(21)가 외측으로 볼록하게 굴곡되고 프레임의 상하부를 이루는 상하부 지지바(22)가 내측으로 만곡될 수 있었다. 즉, 이러한 프레임의 변형이 발생할 수 있으므로, 상기 마스크(10)에 가해지는 인장력의 크기에 따라 상기 토탈 피치가 변할 수 있다는 문제점이 있었다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여, 대한민국 공개특허공보 제 2003-0046090호에는 마스크에 형성된 개구부들의 법선 방향의 피치 왜곡이 방지된 마스크가 개시되어 있다. 도 4를 참조하면, 도 4의 x 방향으로 연장된 단위 마스크(32)들을 프레임(20)의 상하측 각 변(22)에 고정시키되, 각 단위 마스크(32)의 길이방향으로 인장력을 가하여 고정시킨다. 이 경우, 프레임의 좌우측 변(21)으로는 인장력이 가해지지 않게 된다. 따라서 마스크(30), 즉 각 단위 마스크(32)에 형성된 개구부들은 그 개구부들의 법선 방향으로 인장력이 가해지지 않기 때문에 그 방향으로의 피치 왜곡이 방지된다. 또한, 각 단위 마스크(32)는 그 하중이 프레임(20)의 개구부(23) 전체에 대응하는 하나의 큰 마스크를 사용할 때 보다 상대적으로 작기 때문에, 자중에 의한 처짐도 방지할 수 있다.
이 경우, 이러한 단위 마스크(32)들은 하나의 큰 마스크 시트에 개구부들을 형성한 후 이를 절단하여 제조하였는데, 마스크 시트에 개구부들을 형성함에 있어서 포토마스크와 포토리지스트를 이용하였다. 이 경우 각 단위 마스크(32)에 형성될 개구부의 형상이 서로 다를 경우 서로 다른 포토마스크를 따로 제작하여 사용했는데, 이로 인한 비용상승이 크다는 문제점이 있었다. 즉, 도 4에 도시된 것과 같은 단위 마스크들(32)과 도 5에 도시된 것과 같은 단위 마스크들(32)은 서로 다른 형상을 갖고 있으며, 따라서 각각 서로 다른 포토마스크를 이용하여 제작함으로써 포토마스크 등의 제조비용에 따른 비용상승이 문제되었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 포함하여 여러 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 저렴한 비용으로 마스크 프레임 어셈블리를 제조할 수 있도록 하는 마스크 제조용 포토마스크 및 이를 이용한 마스크 프레임 어셈블리의 제작방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적 및 그 밖의 여러 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, (i) 투명한 기판과, (ii) 상기 투명한 기판 상에 배치되고, 일 방향으로 소정 패턴의 개구부를 구비하며, 타 방향으로는 상기 일 방향으로의 패턴과 상이한 패턴의 개구부를 구비한 차폐부를 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 제조용 포토마스크를 제공한다.
이러한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 차폐부에 구비된 개구부의 상기 일 방향으로의 패턴은, 상기 일 방향으로 동일한 단위 개구부 패턴이 반복되는 패턴인 것으로 할 수 있다.
본 발명은 또한 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, (i) 투명한 기판과, (ii) 상기 투명한 기판 상에 배치되고, 일 방향으로 동일한 단위 개구부 패턴을 구비하며, 타 방향으로는 적어도 하나의 상이한 단위 개구부 패턴을 구비한 차폐부를 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 제조용 포토마스크를 제공한다.
이러한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 차폐부의 단위 개구부 패턴 중 일부는 서로 평행한 슬릿들을 구비하는 것으로 할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 차폐부의 단위 개구부 패턴 중 일부는 하나의 개구부를 구비하는 것으로 할 수 있다.
본 발명은 또한 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, (i) 마스크 시트 상에 포토리지스트를 도포하는 단계와, (ii) 투명한 기판과, 상기 투명한 기판 상에 배치되고 일 방향으로 동일한 단위 개구부 패턴을 구비하며 타 방향으로는 적어도 하나의 상이한 단위 개구부 패턴을 구비한 차폐부를 구비한 포토마스크를 상기 포토리지스트의 상부에 배치시키는 단계와, (iii) 상기 포토마스크를 이용하여 상기 포토리지스트의 소정 부분에 광을 조사하는 단계와, (iv)상기 포토마스크를 제거하는 단계와, (v) 상기 포토리지스트를 현상하는 단계와, (vi) 상기 포토리지스트를 이용하여 상기 마스크 시트의 소정 부분을 식각하는 단계와, (vii) 상기 포토리지스트를 제거하는 단계와, (viii) 상기 마스크 시트를 상기 일 방향으로 절단하여, 복수개의 단위 마스크들로 만드는 단계와, (ix) 상기 단위 마스크들 중 동일한 단위 마스킹 패턴부를 갖는 단위 마스크들의 양 단부를 개구부가 형성된 프레임에 고정하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 어셈블리의 제조방법을 제공한다.
이러한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 단위 마스크들의 양 단부를 프레임에 고정하는 단계는, 고정 후 상기 프레임에 인장력이 가하여지도록 고정하는 단계인 것으로 할 수 있다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명 하면 다음과 같다.
도 6은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 마스크 제조용 포토마스크를 개략적으로 도시한 평면도이고, 도 7은 도 6의 VII-VII 선을 따라 취한 단면도이다.
상기 도면들을 참조하면, 본 실시예에 따른 증착 마스크 제조용 포토마스크(140)는 글라스재 기판과 같이 광이 통과할 수 있는 투명한 기판(142)과, 이 투명한 기판(142) 상에 배치되는 니켈(Ni), 크롬(Cr) 또는 코발트(Co) 등과 같은 물질로 형성된 차폐부(144)를 구비한다.
이 차폐부(144)는 일 방향, 즉 도 6의 x 방향으로 소정 패턴의 개구부를 구비하며, 타 방향, 즉 도 6의 y 방향으로는 x 방향으로의 패턴과 상이한 패턴의 개구부를 구비한다. 물론 도 6에 도시된 것처럼 y 방향으로 모든 개구부들이 서로 상이한 패턴의 개구부인 것은 아니고, 상이한 패턴의 개구부가 존재하기만 하면 된다. 즉, 투명한 기판(142) 상에 배치되는 차폐부(144)는 x 방향으로 동일한 단위 개구부 패턴(144a)을 구비하며, y 방향으로는 적어도 하나의 상이한 단위 개구부 패턴(144b)을 구비한다.
여기서 x 방향으로 동일한 단위 개구부 패턴을 구비한다는 것은, 단위 개구부 패턴의 형상과는 관계없이 x 방향으로는 동일한 형상을 갖는 단위 개구부 패턴이 구비된다는 것을 의미한다. 즉 참조번호 144a로 표시된 단위 개구부 패턴이 x 방향을 따라 반복되는 것처럼, 이 참조번호 144a로 표시된 단위 개구부 패턴과 다른 형상을 갖는 참조번호 14b로 표시된 단위 개구부 패턴 역시 x 방향을 따라 반복 된다. 이는 후술하는 설명에 있어서도 동일하다.
물론 도 6에 도시된 것과 달리 y 방향으로 모든 단위 개구부 패턴이 서로 상이한 패턴을 가질 수도 있다.
도 8 내지 도 12는 상기와 같은 포토마스크를 이용하여 본 발명의 바람직한 또 다른 일 실시예에 따른 마스크 프레임 어셈블리의 제조공정들을 개략적으로 도시하는 도면들이다.
먼저 도 8에 도시된 것과 같이 마스크 시트(131) 상에 포토리지스트(150)를 도포하고, 그 상부에 포토마스크(140)를 배치한다. 이때 포토리지스트(150)로는 파지티브 포토리지스트(positive photoresist) 또는 네거티브 포토리지스트(negative photoresist)를 사용할 수 있는데, 이하에서는 편의상 노광된 부분의 결합사슬이 끊어지는 포토리지스트인 파지티브 포토리지스트를 사용한 경우에 대해 설명한다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
도 8과 같이 배치한 후, 포토마스크(140)의 상부에서 포토리지스트(150) 상에 광을 조사한다. 이에 따라 포토마스크(140)의 차페부(144)의 개구부 패턴 형상에 따라 포토리지스트의 소정 부분에 광이 조사된다. 그 후 포토마스크(140)를 제거하고 포토리지스트(150)를 현상하며, 이에 따라 노출된 마스크 시트(131)의 소정 부분을 식각한다. 그 후 포토리지스트(150)를 제거하면, 도 9에 도시된 것처럼 개구부가 형성된 마스크 시트(131)가 된다.
전술한 바와 같이 포토마스크(140, 도 8 참조)의 차폐부(144, 도 8 참조)는 x 방향으로 동일한 단위 개구부 패턴(144a, 도 8 참조)을 구비하며, y 방향으로는 적어도 하나의 상이한 단위 개구부 패턴(144b, 도 8 참조)을 구비한다. 따라서 이를 이용해 개구부가 형성된 마스크 시트(131) 역시 x 방향으로 동일한 단위 마스킹 패턴부(133a)를 구비하며, y 방향으로는 적어도 하나의 상이한 단위 마스킹 패턴부(133b)를 구비한다.
물론 전술한 바와 같이 마스크 시트(131)가 x 방향으로 동일한 단위 마스킹 패턴부를 구비한다는 것은, 단위 마스킹 패턴부의 형상과는 관계없이 x 방향으로는 동일한 형상을 갖는 단위 마스킹 패턴부가 구비된다는 것을 의미한다. 즉 참조번호 133a로 표시된 단위 마스킹 패턴부가 x 방향을 따라 반복되는 것처럼, 이 참조번호 133a로 표시된 단위 개구부 패턴과 다른 형상을 갖는 참조번호 133b로 표시된 단위 마스킹 패턴부 역시 x 방향을 따라 반복된다.
그 후, 마스크 시트(131)를 x 방향으로, 즉 도 9에 도시된 것과 같은 점선을 따라 절단하여 도 10에 도시된 것과 같이 복수개의 단위 마스크들(132a, 132b)로 만든다. 그리고 도 11 및 도 12에 도시된 것과 같이, 제조된 단위 마스크들(132a, 132b) 중 동일한 단위 마스킹 패턴부를 갖는 단위 마스크들(132a, 132b)의 양 단부를 개구부(123)가 형성된 프레임(120)에 고정함으로써 마스크 프레임 어셈블리를 완성한다.
이때, 고정 후 프레임(120)에 인장력이 가하여지도록, 프레임의 상하측 각 변(122)에 고정시키되 각 단위 마스크(132a, 132b)의 길이방향으로 인장력을 가하여 고정시킨다. 이 경우, 프레임의 좌우측 변(121)으로는 인장력이 가해지지 않게 된다. 따라서 마스크(130), 즉 각 단위 마스크(132a, 132b)에 형성된 개구부들은 그 개구부들의 법선 방향으로 인장력이 가해지지 않기 때문에 그 방향으로의 피치 왜곡이 방지된다. 또한, 각 단위 마스크(132a, 132b)는 그 하중이 프레임(120)의 개구부(123) 전체에 대응하는 하나의 큰 마스크를 사용할 때 보다 상대적으로 작기 때문에, 자중에 의한 처짐도 방지할 수 있다.
이와 같이, 하나의 포토마스크를 이용하여 서로 다른 단위 마스킹 패턴부(133a, 133b)를 갖는 단위 마스크들(132a, 132b)을 제조하고, 이 단위 마스크들(132a, 132b)을 이용하여 마스크 프레임 어셈블리를 제조할 수 있게 된다.
즉, 종래에는 동일한 단위 개구부 패턴을 갖는 포토마스크를 이용하여 동일한 단위 마스킹 패턴부를 갖는 단위 마스크들을 제조하였으며, 이에 따라 제조하고자 하는 단위 마스킹 패턴부가 다를 경우에는 별도의 포토마스크를 제조하여 이를 이용하여 단위 마스크들을 제조하였다. 그러나 본 발명에 따른 포토마스크 및 이를 이용한 마스크 프레임 어셈블리의 제조방법에 따르면, 하나의 포토마스크를 이용하여 서로 다른 단위 마스킹 패턴부를 갖는 단위 마스크들을 복수회에 걸쳐 제조하여 이를 이용하여 마스크 프레임 어셈블리를 제조함으로써, 포토마스크의 제조에 소요되었던 비용을 절감하여 결과적으로 마스크 프레임 어셈블리의 제조비용, 더 나아가 이를 이용하여 증착함으로써 생산되는 유기 전계발광 디스플레이 장치 등과 같은 제품의 제조비용을 절감할 수 있게 된다.
본 실시예에서는 서로 다른 단위 마스킹 패턴부를 갖는 두 종류의 마스크 프레임 어셈블리에 이용되는 두 종류의 단위 마스크를 동시에 제조하는 것을 설명하였다. 그러나 이와 달리 더 많은 종류의 단위 마스크를 동시에 제조하여 서로 다른 단위 마스킹 패턴부를 갖는 다양한 종류의 마스크 프레임 어셈블리를 동시에 제조하는 것 역시 본 발명에 의 해 이루어질 수 있음은 자명하다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 마스크 제조용 포토마스크 및 이를 이용한 마스크 프레임 어셈블리의 제조방법에 따르면 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
첫째, 하나의 포토마스크를 이용하여 서로 다른 단위 마스킹 패턴부를 갖는 단위 마스크들을 동시에 제조할 수 있다.
둘째, 서로 다른 단위 마스킹 패턴부를 갖는 단위 마스크들의 제조에 하나의 포토마스크만을 이용하게 됨으로써, 포토마스크의 제조에 소요되었던 비용을 절감하여 결과적으로 마스크 프레임 어셈블리의 제조비용, 더 나아가 이를 이용하여 증착함으로써 생산되는 제품의 제조비용을 절감할 수 있게 된다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

Claims (7)

  1. 투명한 기판; 및
    상기 투명한 기판 상에 배치되고, 일 방향으로 소정 패턴의 개구부를 구비하며, 타 방향으로는 상기 일 방향으로의 패턴과 상이한 패턴의 개구부를 구비한 차폐부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 제조용 포토마스크.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 차폐부에 구비된 개구부의 상기 일 방향으로의 패턴은, 상기 일 방향으로 동일한 단위 개구부 패턴이 반복되는 패턴인 것을 특징으로 하는 마스크 제조용 포토마스크.
  3. 투명한 기판; 및
    상기 투명한 기판 상에 배치되고, 일 방향으로는 모두 상호 동일한 단위 개구부 패턴을 구비하며, 타 방향으로는 상호 상이한 단위 개구부 패턴을 구비한 차폐부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 제조용 포토마스크.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 차폐부의 단위 개구부 패턴 중 일부는 서로 평행한 슬릿들을 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 제조용 포토마스크.
  5. 제 3항에 있어서,
    상기 차폐부의 단위 개구부 패턴 중 일부는 하나의 개구부를 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 제조용 포토마스크.
  6. 마스크 시트 상에 포토리지스트를 도포하는 단계;
    투명한 기판과, 상기 투명한 기판 상에 배치되고 일 방향으로는 모두 상호 동일한 단위 개구부 패턴을 구비하며 타 방향으로는 상호 상이한 단위 개구부 패턴을 구비한 차폐부를 구비한 포토마스크를 상기 포토리지스트의 상부에 배치시키는 단계;
    상기 포토마스크를 이용하여 상기 포토리지스트의 소정 부분에 광을 조사하는 단계;
    상기 포토마스크를 제거하는 단계;
    상기 포토리지스트를 현상하는 단계;
    상기 포토리지스트를 이용하여 상기 마스크 시트의 소정 부분을 식각하는 단계;
    상기 포토리지스트를 제거하는 단계;
    상기 마스크 시트를 상기 일 방향으로 절단하여, 복수개의 단위 마스크들로 만드는 단계; 및
    상기 단위 마스크들 중 동일한 단위 마스킹 패턴부를 갖는 단위 마스크들의 양 단부를 개구부가 형성된 프레임에 고정하는 단계;를 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 어셈블리의 제조방법.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 단위 마스크들의 양 단부를 프레임에 고정하는 단계는, 고정 후 상기 프레임에 인장력이 가하여지도록 고정하는 단계인 것을 특징으로 하는 마스크 프레임 어셈블리의 제조방법.
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