KR100679550B1 - 결함검출기 및 결함검출방법 - Google Patents

결함검출기 및 결함검출방법 Download PDF

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Abstract

결함검출기의 제어부는 배율연산부, 검사화상표시부(485) 및 마스터 화상표시부(486)가 제공된다. 배율연산부(482)는 결함정보(400)에 기초하여 결함영역의 표시배율 α1(표시배율데이터(403))을 연산한다. 촬상부(42)는 촬상 배율 β1이 표시배율 α1이 되도록 하기 위해 검사화상데이터(404)의 촬상을 하고, 검사화상표시부(485)는 검사화상데이터(404)를 검출모니터(41)에 표시한다. 또한, 마스터화상데이터 표시부(486)는 마스터화상데이터(405)의 표시배율 α2와 표시배율 α1이 거의 같은 값이 되도록 연산하고, 마스터화상데이터(405)를 표시배율 α2에서 검출모니터(41)에 표시한다. 따라서, 오퍼레이터에 의한 결함 검출 작업에서 효율성이 향상된다.
결함검출, 화상데이터, 기판, 배선패턴

Description

결함검출기 및 결함검출방법{DEFECT DETECTOR AND DEFECT DETECTION METHOD}
도 1은 본 발명의 바람직한 제 1 실시예에 따른 결함 검출기를 포함하는 결함검출시스템의 구성을 도시한다.
도 2는 검사장치의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 3은 제 1 실시예에 따른 결함검출기의 정면도이다.
도 4는 결함검출기의 측면도이다.
도 5는 결함검출기의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 6은 제 1의 실시예에 따른 결함검출기의 제어부의 기능구성을 데이터의 흐름과 함께 도시하는 블록도이다.
도 7 및 도 8은 제 1의 실시예에 따른 결함검출기의 동작을 도시하는 플로우차트다.
도 9 및 도 10은 검사화상데이터의 표시예를 도시한다.
도 11 및 도 12는 제 1 실시예에 따른 결함검출기에서, 검출 작업동안 표시되는 화상의 예를 도시하는 도이다.
도 13은 도 11을 참조하여 검사화상데이터에 대한 표시배율의 변화예를 도시한다.
도 14는 제 2의 실시예에 따른 결함검출기의 제어부의 기능 구성을 데이터의 흐름과 함께 도시하는 블록도이다.
도 15 및 도 16은 제 2실시예에 따른 결함검출기의 동작을 도시하는 플로우차트이다.
도 17은 제 2의 실시형태에 따른 결함검출기 내의 검사화상데이터의 표시예를 도시하는 도이다.
도 18은 제 2실시예에 따른의 마스터화상데이터의 표시예를 도시하는 도이다.
도 19는 본 발명의 제 3실시예에 따른의 결함검출기의 정면도이다.
도 20은 제 3실시예에 따른 제어부의 기능 구성을 데이터의 흐름과 함께 도시하는 블록도이다.
도 21은 종래의 결함검출기에 있어서의 마스터화상 및 검사화상의 표시예를 도시하는 도이다.
도 22는 종래의 결함검출기에서, 도 21에 도시하는 검사화상에 대한 표시배율의 변화예를 도시한다.
본 발명은, 프린트 기판, 프린트 기판 작성용 필름 마스크나 유리 마스크 등의 검사대상물상에 형성된 배선 패턴 등의 패턴을 검사하는 기술에 관한 것으로, 특히, 검사기판의 화상과 비교하기 위한 기준화상을 표시하는 기술에 관한 것이다.
일반적으로 상기와 같은 검사대상물(이하, 기판이라 한다)상에 형성된 배선 패턴 등의 결함을 검출하는 결함검출기가 제안되어 있다. 이 결함검출기는, CCD카메라와 같은 촬상장치를 가지고 검사 기판의 결함부분(결함영역)의 화상(이하, 「검사화상」이라고 칭한다)을 촬상하고, 모니터에 화상을 표시한다. 또한, 결함검출기는 기준 마스터 기판의 화상(이하, 「마스터 화상」라고 칭한다)을 유사하게 모니터에 표시한다. 종래의 결함검출기의 오퍼레이터(operator)는 전술한 방법으로 표시된 마스터 화상을 참조하여, 검사화상에 근거해서 검사 기판의 결함을 검출한다.
도 21은, 이러한 결함검출기의 표시화면(100)상에 화상표시예를 도시한다. 표시영역(101,102)이 표시화면(100)상에 각각 설정된다. 이 표시영역(101,102)들은 각각 마스터 화상과 표시영역(102)을 표시한다. 도 21에 도시한 바와 같이, 종래의 결함검출기에서는 오퍼레이터가 결함을 시각적으로 검출할 수 있도록 기준 마스터 화상과 검사화상을 각각 표시한다. 또한, 오퍼레이터가 2개의 화상을 서로 용이하게 비교할 수 있도록, 결함검출기는 마스터 화상의 표시배율과 동일한 표시배율이 되도록 검사화상을 표시한다.
그러나, 검사기판의 결함검출작업에 있어서, 오퍼레이터가 촬상장치를 조작하는 것에 의해, 검사화상의 표시배율을 변경할 수 있다. 오퍼레이터가 검사화상의 회로패턴을 마스터화상과 미세한 비교를 하기 위해, 예를 들면 오퍼레이터는 표시영역(102)에 표시되는 검사화상을 확대한다.
도 22는 오퍼레이터의 조작에 의해 확대된 표시영역(102)에 표시되는 화상(검사화상)을 도시한다. 이 경우, 종래의 결함검출기는 다른 표시비율에서 마스터 화상과 검사화상을 표시하기 때문에, 이 화상들을 서로 비교하는 것이 어렵고, 작업 효율이 불리하게 저하된다. 도 22를 참조하여, 예를 들면, 오퍼레이터는 표시영역(102)에 표시된 패턴(105)이 표시영역(101)에 표시된 패턴(103) 또는 패턴(104)과 비교하기 위한 것인지를 결정할 수 없다..
또한, 결함검출기가 마스터 화상에 대한 표시배율을 변경할 수 있는 경우, 오퍼레이터는 검사화상의 표시배율을 변경하는 조작과 동시에 마스터 화상의 표시배율을 미세하게 변경해야만 하므로, 불리하게 작업 효율이 저하하게 된다.
본 발명은, 프린트 기판, 프린트 기판 작성용 필름 마스크나 유리 마스크 등의 검사대상물상에 형성된 배선 패턴 등의 패턴을 검사하는 기술에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 본 발명은 검사기판의 화상과 비교되는 기준화상을 표시하는 기술에 관한 것이다.
따라서,본 발명의 바람직한 실시예에 따른 결함검출기는 화상표시시스템, 검사대상물을 유지하는 유지요소, 결함을 가지는 상기 검사대상물의 결함영역을 촬상함으로써 검사화상데이터를 취득하기 위하여 상기 유지요소에 의해 유지된 상기 검사대상물을 촬상하는 검사 화상취득요소와, 제 1 표시배율에서 상기 화상표시시스템상에 상기 화상취득요소에 의해 취득된 검사화상 데이터를 표시하는 제 1 표시제어요소 및 제 1 표시배율을 응답하여 연산된 제 2 표시배율에서 상기 화상표시시스 템상에 상기 결함영역과 비교되는 상기 마스터화상데이터를 디스플레이하는 제 2 표시제어요소를 포함한다.
따라서, 상기 제 2 표시제어요소는 제 1 표시배율에 따라 임의의 화상배율로 상기 마스터화상데이터를 표시할 수 있다.
바람직하게는, 상기 결함검출기는 유지요소에 의해 유지된 검사목적물에 대해 결함영역의 크기를 나타내는 정보를 획득하는 크기획득요소와, 크기획득요소에 의하여 획득된 결함영역의 크기를 나타내는 정보에 기초하여 소정의 알고리즘에 따라 제 1 표시배율을 연산하는 표시배율제어요소를 포함한다.
따라서, 제 1 표시 제어 요소는 자동으로 결함영역을 적절한 배율에서 표시할 수 있다.
바람직하게는, 상기 결함검출장치는 오퍼레이터로부터 입력 정보를 입력받는 작동부를 더 포함하고, 상기 제 2 표시제어요소는 입력정보에 기초하여 상기 제 1 표시배율이 설정될 때마다 제 1 표시배율을 설정하는 것에 응답하여 제 2표시배율을 제어하고, 상기 마스터화상 데이터를 상기 제 2 표시배율에서 화상표시시스템상에 표시한다.
따라서, 상기 검사화상데이터를 오퍼레이터에 의해 요청된 표시배율로 표시하고, 검사화상데이터에 대한 표시배율에 응답하여 마스터화상데이터에 대한 표시배율을 바꾸는 것이 가능하다.
본 발명은 또한 상기 검사대상물상의 결함을 검출하는 결함검출방법에 관한 것으로, 검사대상물을 유지하는 유지단계, 유지단계에서 유지된 검사대상물을 촬상 하고, 결함을 가지는 검사대상물의 결함영역을 촬상함으로써 얻은 검사화상데이터를 획득하는 화상획득단계, 제 1 표시배율에서 상기 화상획득단계에서 획득한 검사화상데이터를 화상표시시스템상에 표시하는 제 1 표시단계 및 상기 제 1표시배율에 응답하여 연산된 제 2 표시배율에서 결함영역과 비교되도록 상기 화상표시시스템상에 마스터화상데이터를 표시하는 제 2 표시단계를 포함한다.
그러므로, 제 1 표시배율에 응답하여 임의의 화상 배율에서 획득한 마스터화상데이터를 표시할 수 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 결함을 검출하는 작동을 위한 작업효율을 향상시키기 위한 것이다.
전술한 것 및 본 발명의 다른 목적, 특징, 국면 및 이점들은 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 상세한 설명에서 보다 명확해질 것이다.
도 1은, 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 결함검출기(4)를 포함하는 결함검출시스템(1)의 구성예를 도시한다. 결함검출시스템(1)의 구성에서, 검사장치(3)와 결함검출기(4)는 네트워크(2)를 통해 서로 연결된다. 네트워크(2)는 LAN(Local Area Network)이나 소정의 통신 프로토콜을 통해 검사장치(3)와 결함검출기(4)의 사이에서 데이터통신이 가능한 것과 동일한 이상 공중회선에 의하여 형성될 수 있다. 또한, 복수개의 검사장치(3) 및 결함검출기(4)가 네트워크(2)에 연결될 수 있다.
도 2는 검사장치(3)의 구성을 도시하는 블록도이다. 검사장치(3)는, 오퍼레이터의 지시를 입력하기 위한 조작부(30), 검사장치(3)용 조작 정보를 표시하는 표 시부(31), 검사되는 기판(90)의 검사면을 촬상하는 촬상부(32), 촬상부(32)를 소정의 위치로 이동시키는 이동기구(33), 촬상부(32)에 의해 촬상된 화상 데이터를 처리하는 화상처리부(34), 네트워크(2) 및 제어부(36)을 통해 검사장치(3)와 결함검출기(4)사이에서 데이터통신을 하는 통신부(35)를 포함한다.
오퍼레이터는 검사장치(3)에 지시를 입력하기 위하여 조작부(30)를 조작한다. 구체적으로는, 다양한 버튼, 키보드, 마우스 등으로 형성된 조작부(30)는 트랙볼이나 조이 스틱(joy stick), 터치패널 등에 의하여 대안적으로 형성될 수 있다. 각종 데이터를 표시하는 액정 모니터에 의해 형성되는 표시부(31)는 LED(Light Emitting Diode)또는 표시램프에 의해 대안적으로 형성될 수 있다.
일반적인 CCD카메라와 동일한 기능을 가지는 촬상부(32)는 기판(90)의 검사면을 소정의 크기로 분할한 블록마다 화상 데이터로서 촬상하고, 취득한 화상 데이터를 화상처리부(34)에 전달한다.
이동기구(33)는, 제어부(36)로부터의 제어 신호에 기초하여 촬상부(32)를 소정의 위치로 이동시킨다. 또한, 이동기구(32)는 인코더(encoder)와 같은 센서를 통해 촬상부(32)의 위치를 검출하고 제어부(36)에 전달한다.
화상처리부(34)는 촬상부(32)에 의해 촬상된 화상 데이터(기판(90)의 각 블록의 화상 데이터)상에 소정의 화상인식처리를 하고, 기판(90)이 결함을 가지는지 여부를 결정한다.
또한 화상처리부(34)는, 검출된 결함영역의 위치와 결함영역의 크기에 근거해서 결함정보(400)(도 6)를 생성하고, 제어부(36)에 전달한다. 제 1실시예에 따 른 검사장치(3)는 결함영역의 위치정보로서 기판(90)에 대한 해당 결함영역이 촬상된 화상데이터의 중심좌표와 해당 화상데이터에 있어서의 해당 결함영역의 중심좌표를 사용하고, 결함영역의 크기정보로서 결함영역의 종횡치수를 사용한다. 그러나, 결함영역의 위치정보 및 크기정보는 이것들로 한정되지 않는다. 검사장치(3)는 대안적으로 결함영역의 위치를 도시하는 정보로서 직접 기판(90)의 좌표를 사용하거나, 예를 들면 결함영역의 크기를 도시하는 정보로서 화소수를 사용할 수 있다.
통신부(35)는 제어부(36)를 통해 화상처리부(34)에 의해 생성된 결함정보(400)를 취득하고, 네트워크(2)를 통해 결함검출기(4)에 송신하는 기능을 가진다. CPU(미도시)와 기억장치(미도시)로 구성된 제어부(36)는 각종 데이터를 저장하거나 연산을 실행하고, 제어 신호를 생성함으로써 검사장치(3)의 다른 구성을 제어한다.
도 3 및 도 4는 각각 결함검출기(4)의 정면도 및 측면도이다. 도 5는 결함검출기(4)의 구성을 도시하는 블록도이다. 도3은 수평 XO축 및 Y축 및 연직 ZO축이 정의하며, 도 4는 (1) 수평 XO축으로부터 연직면내에서 아래방향으로 약간 기울면서 Y축과 직교하는 X축 및, (2) X축 및 Y축과 직교하는 Z축을 정의한다. 각각 XO축 및 ZO축으로부터 비스듬히 있는 X축 및 Z축은 대안적으로 각각 XO축 및 Z축과 일치할 수 있다.
결함검출기(4)는 오퍼레이타의 지시를 입력하기 위한 조작부(40), 결함검출기(4)를 조작하기 위해서 필요한 정보와 화상 데이터를 화면상에 표시하는 검출모니터(41), 기판(90)의 결함부분을 화상 데이터로서 촬상하는 촬상부(42), 기판(90) 을 유지하는 검사 스테이지(43), 검사 스테이지(43)의 양측에 배치되는 수평면의 한쌍의 이동기구(44), 촬상부(42)를 Y축방향으로 이동시키는 이동기구(45), 줌 기구(46), 통신부(47) 및 제어부(48)를 포함한다. 결함검출기(4)는 또한 검사 스테이지(43)의 양측부분사이에 실제적으로 수평으로 연장된 가교구조를 가지는 지지가대(490), 검출모니터(41)를 결함검출기(4)상에 지지하는 지지부재(491) 및 촬상부(42)를 보호하기 위한 보호커버(492)를 포함한다.
마스터화상(예컨대, 기준이 되는 마스터 기판을 촬상해서 얻은 화상 데이터, 혹은 CAD데이터로부터 작성된 디지털 비트맵 화상 데이터)을 가지고 검사기판(90)을 촬상함으로써 얻는 화상을 비교함으로써 검사를 하는 결함감지시스템(1)에서, 오퍼레이터는 후에 설명되는 바와 같이 시각적으로 결함 부위를 검출하기 위한 장치로서 결함검출기(4)를 사용한다.
다양한 버튼, 키보드, 마우스 기타 등등에 의해 형성된 조작부(40)는 대안적으로 트랙 볼, 조이스틱 또는 터치패널에 의해 형성될 수 있다. 오퍼레이터는 촬상부(42)의 광학 시스템을 직접 구동하기 위해 다이얼 등을 움직여 촬상배율을 조작할 수 있다. 이 경우, 줌기구(46)상에 실장된 다이얼 등은 조작부(40)에 해당한다. 즉, 조작부(40)는 결함검출기(4)내에서 지시 등을 입력하기 위해 오퍼레이터에 의해 조작되는 한 어떤 기구에 의해 형성될 수 있다.
결함검출기(4)상에서 지지부재(491)에 의해 지지되는 검출모니터(41)는 제어부(48)로부터의 제어 신호에 기초하여 각종 데이터를 화면에 표시한다. 예컨대, 액정 디스플레이 등이 검출모니터(41)에 해당한다. 제 1실시예에 따른 결함검출 기(4)는 본 발명에서의 주로 1개의 표시장치에 해당하는 1개의 검출모니터(41)을 포함한다.
촬상부(42)는 촬상렌즈 등의 광학계의 광축을 따라 입사하는 광을, 내부에 가지는 화상 수상소자(CCD)를 통해 화상 렌즈와 같은 광학적 시스템의 광축(X축 및 Y축과 실제적으로 수직인 축)상에 입사된 광을 광전변환하는 일반적인 CCD카메라이며, 검사 스테이지(43)에 유지된 기판(90)(검사대상물)을 촬상한다. 촬상부(42)는 촬상한 기판(90)의 화상 데이터를 제어부(48)에 전달한다.
검사 스테이지(43)의 윗면은 오퍼레이터나 반송 기구(미도시)에 의해 소정의 위치상으로 이송된 검사용 기판(90)을 유지하기 위해 X-Y평면에 거의 평행으로 되어 있다.
지지가대(490)의 양측에 실장된 이동기구(44)는 지지가대(490)를 X축방향으로 각각 이동시킨다. 따라서 제어부(48)는 지지가대(490)의 이동량 및 위치를 제어할 수 있다. 지지가대(490)에 실장된 이동기구(45)는 지지가대(490)를 따라 촬상부(42)를 Y축방향으로 이동시킨다. 따라서 제어부(48)는 촬상부(42)의 이동량 및 위치를 제어할 수 있다.
예를 들면 서보모터(servo motor), 볼 나사 및 이송용 너트를 이용한 주지의 기구들이 상술한 기능을 가지는 이동기구(44,45)로서 사용할 수 있다. 볼 나사는 소정의 방향을 따라 연장되고, 이송용 너트를 소정의 방향으로 이동시키기 위해 서보모터에 의해 회전되어 제어부(48)가 서보모터의 회전각을 제어하는 것에 의해, 상대적인 위치를 제어할 수 있다. 이동기구(44,45)는 물론 이것에 한정되지 않으 며 대안적으로 다른 주지의 기구에 의해 실행될 수 있다.
따라서 이동기구(44,45)를 포함하는 결함검출기(4)는 촬상부(42)를 XY평면상의 임의 위치로 이동시킬 수 있다. 따라서, 촬상부(42)는 검사 스테이지(43)상에 유지된 기판(90)의 임의 영역(결함영역을 가지는 영역)을 촬상할 수 있다.
줌 기구(46)(도 3 및 도 4에서 미도시)는 제어부(48)로부터의 제어 신호에 기초하여 촬상부(42)의 광학시스템의 줌 위치를 결정하는 기능을 가지므로, 촬상부(42)의 촬상 배율을 결정한다. 줌 기구(46)는 조작부(40)로부터 직접 조작가능할 수도 있다.
통신부(47)는 네트워크(2)를 통해 결함검출기(4)와 검사장치(3)사이에서 데이터 통신을 한다. 따라서 결함검출기(4)는 검사장치(3)으로부터 전송된 결함정보(400)를 수신한다.
도 5에 도시한 바와 같이, 제어부(48)는 신호의 송수신이 가능한 상태에서 결함검출기(4)의 다른 구성과 연결된다. 제어부(48)는 오퍼레이터로부터의 지시, CPU(미도시)를 통해 다양한 연산을 실행하기 위한 프로그램 및 각종 취득된 데이터를 저장하는 저장부를 구비하고, 제어 신호를 형성하여, 결함검출기(4)의 다른 구성을 각각 제어한다.
도 6은, 제어부(48)의 기능구성을 신호의 흐름과 함께 도시하는 블록도이다.제어부(48)의 CPU(미도시)가 프로그램에 의해 작동하여 도 6에 도시하는 기능구성 에서 결함위치ㆍ크기연산부(481), 배율연산부(482), X/Y제어부(483), 줌 제어부(484), 검사화상표시부(485) 및 마스터 화상표시부(486)를 실행한다.
배율연산부(482)를 포함하는 결함위치ㆍ크기연산부(481)는 검사 스테이지(43)에 의해 유지되는 기판(90)에서의 결함영역의 위치를 도시하는 위치 데이터(402)와, 결함영역의 표시배율 α1을 도시하는 표시배율데이터(403)를 생성한다.
위치 데이터(402)를 생성하기 위해, 결함위치ㆍ크기연산부(481)는 네트워크(2)를 통해 검사장치(3)로부터 통신부(47)내에 수신한 결함정보(400)에 포함되는 결함영역의 위치정보를 참조한다. 위치 데이터(402)는 결함영역을 가지는 블록 번호(기판(90)의 표면은 소정의 크기의 블록으로 분할되고, 각 블록의 위치는 번호에 따라 미리 설정되어 있는 것으로 가정한다)와, 해당 블록에서 결함영역의 중심위치(X, Y)를 포함한다.
결함위치ㆍ크기연산부(481)는 결함정보(400)로부터 결함영역의 크기(Xf,Yf)를 취득하는 동시에 표시크기데이터(401)로부터 해당 결함영역을 표시하는 크기(Xw, Yw) (이하, 「결함영역표시크기」라고 칭한다)를 취득하여 배율연산부(482)에 전송한다. 결함위치ㆍ크기연산부(481)는 배율연산부(482)의 연산결과에 기초하여 표시배율데이터(403)를 더 생성한다.
배율연산부(482)는 결함영역의 크기와 결함영역표시크기에 근거하는 소정의 알고리즘을 따라 결함영역에 대한 결함영역의 표시배율 α1을 연산하고, 그 연산 결과를 결함위치ㆍ크기연산부(481)에 전송한다. 표시크기데이터(401)의 초기값은 미리 설정된다.
X/Y제어부(483)는 위치 데이터(402)에 근거해서 촬상부(42)와 결함영역(기판(90))과의 상대 위치를 얻고, 촬상부(42)를 결함영역을 촬상하기 위한 위치로 이동 시키기 위해 필요한 제어신호(펄스 신호)를 생성하고 이동기구(44,45)를 제어한다. 보다 상세하게는, Y/X 제어부(483)는 블록번호와 X의 값에 근거해서 이동기구(44)를 제어하고 X축방향에서 촬상부(42)의 위치를 결정한다. X/Y제어부(483)는 또한 블록 번호와 Y의 값에 근거해서 이동기구(45)를 제어하고 Y축 방향에서의 촬상부(42)위치를 결정한다.
줌 제어부(484)는, 표시배율데이터(403)를 참고하여 소정의 연산 규칙을 따라 검사되는 기판(90)을 촬상하기 위해 촬상부(42)의 촬상배율 β1을 연산한다. 줌제어부(484)는, 획득한 촬상배율 β1에 반응하여 촬상부(42)의 광학시스템을 구동하기 위한 분량을 더 얻고, 줌 기구(46)를 제어하여 촬상부(42)의 촬상배율 β1을 결정한다.
따라서 X/Y제어부(483) 및 줌 제어부(484)를 포함하는 결함검출기(4)는 촬상부(42)가 결함영역을 촬상할 때 결함 정보(400)에 따라 촬상된 결함영역의 위치 및 촬상배율을 결정한다. 따라서, 결함검출기(4)는, 통신부(47)에 의해 취득된 결함정보(400)에 따라 결함영역의 검사화상데이터(404)를 취득할 수 있다.
검사화상표시부(485)는 검사화상데이터(404)에 필요한 화상처리를 한 후에 검출모니터(41)상에 이 검사화상데이터(404)를 표시한다.
마스터 화상표시부(486)는 표시배율데이터(403)에 기초하여 결함영역과 비교 되는 마스터화상데이터(405)에 대한 표시배율 α2를 연산하고, 구한 표시배율 α2에 따라 마스터화상데이터(405)에 대한 확대율 γ2를 조정해서 검출모니터(41)에 표시한다. 즉, 마스터 화상표시부(486)는 주로 본 발명에 있어서의 제 2표시요소 에 해당한다. 또한, 소정의 촬상 배율β2로 기준 기판의 전체영역을 촬상하여 얻은 마스터화상데이터(405)는 미리 취득되어 제어부(48)의 저장부(480)에 저장된 것으로 가정한다. 마스터화상데이터(405)는 바람직하게는 디지털 비트맵 화상데이터이며, 보다 바람직하게는 2가화된(binarized) 비트맵 화상 데이터이다. 마스터 화상표시부(486)는 위치 데이터(402)를 참조함으로써 마스터화상데이터(405)의 표시되는 부분(미도시)을 결정한다.
다시 도 5를 참조하면, 지지가대(490)는 촬상부(42)를 검사 스테이지(43)상에 지지하기 위하여 검사 스테이지(43)의 양측부분으로부터 Y축방향을 따라 실제적으로 수평방향으로 연장된 가교구조를 가진다. 지지가대(490)는 상술한 이동기구(45)가 제공된다.
보호커버(492)는 촬상부(42)를 보호할 뿐만 아니라, 촬상부(42)가 선명하게 기판(90)을 촬상할 수 있도록 외부의 입사광을 방지한다. 지지가대(490)에 고정된 보호커버(492)는 촬상부(42)의 상부를 균일하게 덮기 위해 이동기구(44)에 의해 지지가대(490)를 따라 이동된다.
결함검출시스템(1)은 상술한 구성과 기능을 가진다.
도 7 및 도 8은 결함검출시스템(1)에 있어서 결함검출기(4)의 동작을 도시하는 플로우차트이다. 결함검출시스템(1)에서, 검사장치(3)는 결함검출기(4)의 동작에 앞서 기판(90)의 결함영역을 추출하고 결함정보(400)를 생성한다.
반송장치(미도시) 또는 오퍼레이터는 검사될 기판(90)을 결함검출기(4)로 반송하여, 결함검출기(4)의 검사 스테이지(43)가 해당 기판(90)을 소정의 위치에 유지한다(스텝 S11). 검사장치(3)는 기판(90)에 대한 결함정보(400)를 반송하고, 결함검출기(4)는 통신부(47)를 통해 해당 결함정보(400)를 취득한다(스텝 S12).
다음에, 제어부(48)는 기판(90)의 감지된 결함(결함영역)을 특정한다(스텝 S13). 제어부(48)가 제 1 실시예에서 결함 정보(400)에 저장되는 순서로 결함을 특정하는 동안, 오퍼레이터는 대안적으로 그 순서를 선택할 수 있다.
제어부(48)가 검출되는 결함영역을 특정할 때, 검출기(4)는 촬상부(42)의 위치를 결정한다.(스텝 S14). 스텝 S14에서는, 우선, 결함위치ㆍ크기연산부(481)가 결함정보(400)를 참조하여 해당 결함영역에 대한 위치 데이터(402)를 생성한다. 그 후, X/Y제어부(483)는 위치 데이터(402)에 기초하여 기판(90)과 촬상부(42)와의 상대 위치를 연산하고, 촬상부(42)를 이동시키기 위한 거리를 구한다. X/Y제어부(483)는 또한 이동기구(44,45)를 제어하여 촬상부(42)를 먼저 구한 이동거리만큼 이동시킨다. 따라서 결함검출기(4)는 촬상부(42)의 위치를 결정한다.
결함검출기가 촬상부(42)의 위치를 결정될 때 배율연산부(482)는 결함영역의 표시배율을 연산한다(스텝 S15). 스텝 S15에서, 우선 결함위치ㆍ크기연산부(481)는 결함정보(400)를 참조하여 특정한 결함영역의 크기(Xf, Yf)를 전송한다. 또한, 결함위치ㆍ크기연산부(481)는 표시크기데이터(401)를 참조하여 결함영역표시크기(Xw, Yw)를 배율연산부(482)에 전송한다. 그 후, 배율연산부(482)는 결함영역의 크기와 결함영역표시크기에 기초하여 해당 결함영역에 대한 표시배율 α1을 연산한다.
배율연산부(482)가 결함영역의 표시배율 α1을 연산할 때, X방향의 배율과 Y 방향의 배율은 서로 동일해야만 한다. 또한, 오퍼레이터가 결함영역을 한번에 검출하기 위하여 전체적인 결함영역을 포함하도록 표시하는 것이 바람직하다. 그러므로 결함영역을 표시할 때 결함영역을 촬상함으로써 얻은 화상 데이터(검사화상데이터(404))를 지나치게 확대하지 않는 것이 바람직하다. 그러므로 스텝 S15에서 배율연산부(482)는 다음의 수식(1)에 의해 결함영역에 대한 표시배율 α1을 얻는다.
α1=min(Xw/Xf, Yw/Yf) ㆍㆍㆍ(1)
여기서, min(A, B)는, A와 B 중 작은 쪽 값을 의미한다. 결함검출기(4)는 오퍼레이터가 용이하게 결함영역을 시각적으로 검출할 수 있는 크기인 결함영역표시 크기(Xw, Yw)의 초기값을 미리제공받는다.
따라서 결함영역표시크기(Xw, Yw)의 초기값이 설정되어 있는 결함검출기(4)는 결함영역에 대한 표시배율 α1을 자동적으로 연산할 수 있다. 또한 오퍼레이터가 지시를 입력하지 않을 때, 결함영역의 크기(Xf, Yf)에 관계없이 결함영역을 적절한 크기로 확대해서 표시할 수 있다.
배율연산부(482)가 결함영역에 대한 표시배율 α1을 얻을 때, 결함위치ㆍ크기연산부(481)는 배율연산부(482)에 의해 얻어진 결함영역에 대한 표시배율 α1에 기초하여 표시배율데이터(403)를 생성한다.
그 후 줌 제어부(484) 및 줌 기구(46)는 촬상부(42)의 촬상배율 β1을 결정한다(스텝 S16). 물체에 대한 표시배율 α는 촬상 배율 β및 화상처리에 의한 확대율 γ를 통해 다음의 수식(2)에 따라 근사된다.
α=β×γㆍㆍㆍ(2)
스텝 S16에서 줌 제어부(484)는 표시배율데이터(403)를 참조하여 결함영역의 표시배율 α1 에 따라 다음의 수식(3)에 의하여 촬상부(42)의 촬상 배율 β1을 연산한다
β1 = α1 ㆍㆍㆍ(3)
제 1실시예에 따라, 줌 제어부(484)는 결함 영역에 대한 표시배율 α1을 촬상부(42)의 촬상 배율 β1으로 설정한다. 이것은 식 (2)에서, 확대율 γ=1라는 것을 의미한다. 따라서, 결함검출기(4)는 촬상부(42)에 의해 얻은 화상 데이터(검사화상데이터(404))에 화상처리에 의한 배율변환을 하지 않고 미리 구한 원하는 표시배율 α1에서 결함영역을 표시할 수 있다.
그 후 줌 제어부(484)는 구한 촬상 배율 β1에 근거해서 제어 신호를 생성하고, 줌 기구(46)를 제어한다. 따라서 줌 기구(46)는 촬상부(42)의 광학 시스템을 구동하여 촬상부(42)의 촬상 배율을 촬상 배율 β1으로 변경한다.
줌 제어부(484) 및 줌 기구(46)가 촬상부(42)의 위치와 촬상 배율을 결정할 면, 결함검출기(4)는 촬상부(42)를 가지고 기판(90)을 촬상한다(스텝 S17). 이 때 제어부(48)는 촬상부(42)에 대한 셔터(shutter)신호를 생성하여 촬상부(42)에 출력한다. 촬상부(42)는 화상 데이터를 검사화상데이터(404)로서 제어부(48)에 전달하고, 이것은 차례로 저장부(480)에 저장된다. 검사화상데이터(404)는 정지 화상 또는 동영상이거나, 흑백화상 또는 컬러 화상일 수 있다. 즉, 오퍼레이터가 회로 패턴에 있는 결함을 검출을 할 수 있는 한 검사화상데이터(404)는 어떠한 화상이라도 될 수 있다.
촬상부(42)가 검사화상데이터(404)를 생성하면, 검사화상표시부(485)는 제 1 표시단계를 실행한다(스텝 S18). 도 9 및 도 10은 제 1 표시단계에서 표시되는 검사화상데이터(404)의 예를 도시한다. 제 1 표시단계에서, 검사화상표시부(485)는 스텝 S15에서 구한 결함영역의 표시배율 α1에서 검사화상데이터(404)를 검출 모니터(41)의 표시영역(410)상에 표시한다. 또, 제 1 실시예에 따른 결함검출기(4)에 있어서, 촬상부(42)의 촬상 영역은 표시영역(410)과 실질적으로 동일한 것으로 가정한다. 표시영역(410)의 크기(및 촬상 영역의 크기)는 결함표시크기(Xw, Yw)보다 크게 되어 있다.
상술한 바와 같이, 제 1실시예에 따른 결함검출기(4)는 결함영역의 표시배율 α1에 근거해서 수식(3)에 의해 검사화상데이터(404)에 대한 촬상배율(촬상부(42)의 촬상 배율 β1)을 구한다. 따라서, 배율변환 처리를 실행하는 것 없이, 거의 그대로의 배율에서 검출모니터(41)의 표시영역(410)에 검사화상데이터(404)를 표시하는 검사화상표시부(485)의 작동은 실질적으로 배율연산부(482)에 의해 구한 결함영역에 대하여 표시배율 α1을 따라 검사화상데이터(404)를 검출모니터(41)에 표시하는 검사화상표시부(485)에 해당한다. 즉, 검사화상표시부(485)는 주로 본 발명에 있어서 주로 제 1표시요소에 해당한다.
따라서 미리 표시배율 α1과 동일한 촬상 배율 β1에서 검사화상데이터(404)를 촬상하는 결함검출기(4)는 화상처리 등에 의한 배율변환처리(예컨대, 디지털 줌 처리)를 실행하지 않고 검사화상데이터(404)를 표시할 수 있다. 그러므로 결함검 출기(4)는 제 1 표시단계에서 제어부(48)의 연산량을 억제할 수 있다. 만약, 검사화상데이터(404)에 대한 촬상 배율이 결함영역에 대한 표시배율 α1과 다르면, 검사화상표시부(485)는 검출 모니터(41)에 표시하기 위한 표시배율데이터(403)를 참조하여 검사화상데이터(404)상에 화상처리에 의한 배율변환처리를 실행할 수 있다. 이 경우 결함 검출기(4)는 줌 기구(46)가 제공되지 않은 배율에서 검사화상데이터(404)를 표시할 수 있다.
기판(90)의 제조단계에서, 회로패턴의 다양한 크기의 결함영역이 기판(90)상에 형성된다. 그러나 결함검출기(4)는 검사장치(3)에 의해 검출된 결함영역의 크기에 따라 해당 결함영역에 대한 표시배율을 연산해서 표시한다. 따라서, 결함검출기(4)는 결함영역의 크기에 관계없이 도 9 및 도10에 도시한 바와 같이 오퍼레이터가 결함영역을 시각적으로 용이하게 검출할 수 있는 크기(Xw, Yw)로 결함영역을 검출모니터(41)에 표시할 수 있다.
그 후, 마스터 화상표시부(486)는 제 2 표시단계를 실행한다(스텝 S19). 제 2표시단계에서, 마스터 화상표시부(486)는 표시배율데이터(403)를 참조하면서, 스텝 S15에서 구한 결함영역의 표시배율 α1에 기초하여 마스터화상데이터(405)를 검출모니터(41)에 표시한다. 도 11 및 도 12는 제 1 표시단계 및 제 2 표시단계를 통해 검출모니터(41)상에 표시되는 화면의 예를 도시한다.
마스터 화상표시부(486)는 다음의 수식 (4)에 의한 표시배율 α1을 가지고촬상 배율 β2에서 얻은 화상 데이터를 표시하기 위한 확대율γ1을 얻는다. 따라서, 마스터화상표시부(486)은 마스터화상데이터(405)를 축소해서 표시할 것인지 확 대해서 표시할 것인지를 결정한다. 수식(4)는 수식(2)에 표시배율 α1 및 촬상 배율 β2를 대입하고 항을 이항함으로써 얻은 수식에 해당한다.
γ1 = α1/β2 ㆍㆍㆍ(4)
만약 수식(4)에서 확대율 γ1이 1보다 작은 경우, 이는 마스터화상데이터(405)가 축소되는 것을 의미한다. 반면에, 확대율 γ1이 1보다 크거나 같다면, 이것은 마스터화상데이터(405)가 확대되는 것을 의미한다.
그러므로 확대율 γ1의 값에 따라, 마스터 화상표시부(486)는 다음의 수식 (5)및 (6)에 의하여 마스터화상데이터(405)에 대한 확대율γ2를 얻는다.
γ2 = γ1(γ1 <1 일 때) ㆍㆍㆍ(5)
γ2 = lnteger(γ1 ) (γ1 ≥1 일 때)ㆍㆍㆍ(6)
여기서, Integer(N)은, N의 정수부분을 나타낸다. 마스터화상데이터(405)가 확대될 때, 확대율 γ2 는 식 6으로부터 정수(자연수)가 된다.
마스터화상데이터(405)의 확대율 γ2가 구해지면, 마스터 화상표시부(486)는 식 2에 이것들을 대입하여 마스터화상데이터(405)에 대한 표시배율 α2를 구해서, 마스터화상데이터(405)에 필요한 화상처리를 하고 검출모니터(41)의 표시영역(411)에 표시한다.
α 2 = β2 ×γ2 ㆍㆍㆍ(7)
도 11 및 도 12 도시한 바와 같이, 검출모니터(41)의 화면에는 검사화상데이터(404)와 마스터화상데이터(405)를 동시에 표시하기 위해 표시영역(410)을 따라 마스터화상데이터(405)를 표시하기 위한 영역인 표시영역(411)이 제공된다. 검출 모니터(41)가 화상 데이터(404,405)로 나타내는 회로패턴을 실질적으로 동일한 크기로 표시하기 위해, 검사화상데이터(404) 및 마스터화상데이터(405)에 대한 표시배율 α1과 표시배율 α2는 실제적으로 서로 같은 값이 부여된다.
도 21에 도시된 바와 같이, 종래의 결함검출기는 또한 초기화면(오퍼레이터에 의해 아직 변경되지 않은 상태에서 검사화상와 마스터화상을 표시하는 화면)상에 실질적으로 동일한 표시배율로 검사화상과 마스터화상을 표시하도록 구성된다. 그러나, 종래의 결함검출기는 초기화면을 표시하기 위해 검사화상에 대한 촬상 배율의 초기값과 검사화상 및 마스터화상 각각에 대한 확대비율을 미리 설정한다. 그러므로, 종래의 결함검출기는 마스터화상이 소정의 촬상 배율에서 얻어지지 않으면, 초기 화면상에서조차 검사화상과 마스터화상을 동일한 표시비율로 표시할 수 없다.
그러나, 제 1 실시예에 따른 결함 검출기(4)는 결함영역을 용이하게 검출할 수 있는 크기로 표시하기 위하여 검사화상데이터(404)에 대한 표시배율 α1을 결정하는 동시에, 표시배율 α1을 따라 마스터화상데이터(405)의 표시배율 α2를 자동적으로 결정한다. 따라서 결함검출기(4)는 검사화상데이터(404)과 실질적으로 동일한 표시배율로 임의의 촬상 배율에서 미리 얻은 마스터화상데이터(405)를 자동적으로 표시할 수 있다. 따라서, 오퍼레이터는 마스터화상데이터(405)에 대한 표시배율 α2를 미세하게 수동으로 변경하지 않고도, 결함기준영역과 결함영역을 각각 용이하게 비교할 수 있다. 즉, 결함검출기는 오퍼레이터의 검출작업을 효율화할 수 있다. 제 1 실시예에 따른 결함검출기(4)에서 표시영역(410)은 표시영역(411) 보다 큰 크기라고 하고 있지만, 표시영역들(410,411)은 대안적으로 동일한 크기로 화상을 표시할 수 있다.
마스터화상데이터(405)가 디지털 비트맵 화상 데이터일 경우에는, 결함 검출기(4)는 마스터화상데이터(405)상에 각 픽셀(pixel)사이의 보간처리 등을 하지 않더라도 정수배한 확대 배율에서 마스터화상데이터(405)를 보다 정확하게 표시할 수 있다.
제 1 실시예에 따른 결함검출기(4)는 마스터화상데이터(405)를 확대하기 위하여 수식 (6)을 통해 확대율 γ2을 구한다. 그러나, 정수가 되는 확대율 γ2를 구하는 방법은 이것에 한정되지 않는다. 예컨대, 결함 검출기(4)는 대안적으로 확대율 γ1의 소수점 첫번째 위치를 반올림함으로써 확대율 γ2를 구할 수 있다. 마스터화상데이터(405)가 아날로그 데이터이거나, 결함검출기(4)가 보간처리를 하는 경우에는, 결함검출기(4)는 확대율 γ1의 값과 관계없이 확대율 γ2를 식 5을 통해 구할 수 있다.
제 2 표시단계(스텝 S19)가 종료하면, 결함검출기(4)는 오퍼레이터가 표시크기데이터(401)를 변경하기 위한 지시를 입력하기 위해 조작부(40)를 조작하는지를 감시(monitor)하고(스텝 S21), 해당 결함영역에 관한 검출 작업의 종료까지 대기한다(스텝 S28).
만약 오퍼레이터가 해당 결함영역에 대한 검출 작업중에 표시배율 α1을 변경하기 위해 지시를 입력하면(스텝 S21에 있어서 예스(Yes)), 결함검출기(4)는 조작부(40)로부터의 입력 정보를 입력받고(스텝 S22), 표시배율데이터(403)를 다시 쓰기 위해 결함영역에 대한 새로운 표시배율 α1을 구한다(스텝 S23). 용어 "입력정보"는 현재 표시된 검사화상데이터에 대하여 오퍼레이터에 의해 요청된 변경된 배율 αp를 나타낸다. 즉, 결함 검출기(4)는 결함영역에 대한 αo를 통해 결함 영역에 대한 새로운 표시 배율 α1을 다음의 수식 (8)에 의해 얻는다.
α1 = αp× αo ㆍㆍㆍ(8)
즉, 결함검출기(4)는 표시배율데이터(403)에 지시되는 결함영역에 대한 표시배율 α1을 스텝 S23에서 수식 (8)을 통해 구한 값으로 고쳐쓴다.
그 후, 줌 제어부(484)는 스텝 S23에서 고쳐쓰여진 표시배율데이터(403)에 기초하여 촬상부(42)의 새로운 촬상배율 β1을 연산하고, 줌 기구(46)를 제어하여, 촬상부(42)의 촬상배율을 새롭게 결정한다(스텝 S24).
줌 제어부(484)가 촬상배율을 결정하면, 촬상부(42)는 검사화상데이터(404)를 새롭게 취득하기 위해 기판(90)의 촬상을 한다(스텝 S25). 또한, 검사화상표시부(485)는 새로운 검사화상데이터(404)를 검출모니터(41)의 표시영역(410)에 표시하기 위해 제 1 표시단계(스텝 S26)를 실행한다.
이 때, 검사화상표시부(485)는, 스텝 S18과 유사하게, 오퍼레이터가 원하는 새로운 표시배율 α1에서 촬상된 검사화상데이터(404)를 표시한다. 따라서 결함검출기(4)는 스텝 S13에서 특정된 결함영역을 오퍼레이터가 원하는 새로운 표시배율 α1으로 표시한다.
마스터 화상표시부(485)가 마스터화상데이터(404)를 표시하면, 마스터 화상표시부(486)는 마스터화상데이터(405)를 표시하기 위해 제 2 표시단계(스텝 S27)를 실행한다. 이 때, 결함 검출기(4)는 스텝 S23에서 고쳐쓰여진 표시배율데이터(403)에 기초하여 스텝 S19에서 사용된 것과 동일한 방법으로 마스터화상데이터(405)에 대한 표시배율 α2를 연산한다.
도 13은 도 11에서 도시한 예에 관하여 검사화상데이터(404)의 표시배율 α1이 변화예를 도시하는 도이다. 도 11에 도시하는 표시영역(410)상에 표시된 검사화상데이터(404)를 도 13에 도시하는 표시영역(410)에 표시되어 있는 검사화상데이터(404)로 교체할 때, 결함검출기(4)는 변경 후의 검사화상데이터(404)의 표시배율과 거의 같은 표시배율로 도 13에 도시된 표시영역(411)상에 마스터화상데이터(405)를 표시한다.
즉, 결함검출기(4)는 오퍼레이터가 검사화상데이터(404)에 대한 표시배율 α1을 변경할 때, 검사화상데이터(404)에 대한 표시배율 α1에 따라 표시배율 α2에서 마스터화상데이터(405)를 자동적으로 표시한다. 따라서, 오퍼레이터는 검출 작업의 효율성을 향상시키기 위해 마스터화상데이터(405)에 대한 표시배율 α2을 변경하는 조작을 하는 것 없이 화상 데이터(404,405)를 용이하게 비교할 수 있다.
도 8을 다시 참조하면, 제어부(48)는 오퍼레이터가 기판(90)의 전체 결함 영역에 관하여 검출작업을 종료했는지를 확인하기 위해 결함영역에 대하여 검출 작업을 종료한 경우(스텝 S28에서 예스(Yes)) 결함정보를 보내고, 다른 결함영역이 존재하는 경우에는 스텝 S13로부터의 처리를 되풀이한다.
만약 검출해야 할 다른 결함영역이 존재하지 않는 경우(스텝 S29에서 예스(Yes)), 제어부(48)는 검사해야 할 다른 기판이 존재하는지 아닌지를 결정한다(스 텝 S30). 제어부(48)는 만약 검사해야 할 다른 기판이 존재하면 스텝 S11로부터의 처리를 되풀이하고, 만약 검사해야 할 다른 기판이 존재하지 않는 경우에는 처리를 종료한다.
이상과 같이 제 1 실시예에 따른 결함검출기(4)는 배율연산부(482)에 의해 구해진 결함영역의 표시배율 α1에 기초하여, 결함영역과 비교 대상이 되는 마스터화상데이터(405)에 대한 표시배율 α2를 연산한다. 결함검출기(4)는 구한 마스터화상데이터(405)의 표시배율 α2에 따라 마스터화상데이터(405)를 검출모니터(41)에 표시하여 검사화상데이터(404)의 표시배율 α1에 따라 임의의 촬상 배율에서 촬상된 마스터화상데이터(405)를 표시할 수 있다. 그러므로, 오퍼레이터는 결함 검출 작업의 효율성을 향상시키기 위하여 화상데이터(404,405)를 서로 용이하게 비교할 수 있다.
오퍼레이터가 검사화상데이터(404)에 대한 표시배율 α1을 변경한 경우에는, 결함검출기(4)는 또한 마스터화상데이터(405)에 대한 표시배율 α2를 자동적으로 변경하고, 이에 의해 종래의 결함검출기와 달리 오퍼레이터는 마스터화상데이터(405)에 대하여 미세하게 표시배율을 변경하지 않고 검출작업을 할 수 있다. 결함검출작업의 효율성은 이에 의해 또한 향상될 수 있다.
또한, 결함검출기(4)는 검사화상데이터(404)와 마스터화상데이터(405)를 검출모니터(41)에 동시에 표시하고, 이에 의해 오퍼레이터는 결함영역과 결함대조영역을 용이하게 비교할 수 있다.
오퍼레이터가 촬상부(42)의 광항 시스템을 직접 구동할 때(촬상배율 β1을 직접 변경하는), 결함검출기(4)는 촬상부(42)의 구동되는 광학 시스템의 위치를 통해 촬상부(42)의 촬상배율 β1을 판독하고, 촬상배율 β1을 수식(3)을 통해 표시배율 α1으로 간주한다. 즉, 결함 검출기(4)는 이 연산을 통해 표시배율 α1을 받을 수 있다. 이 경우, 줌 제어부(484)는 줌 기구(46)를 제어하지 않고, 이에 의해 결함 검출기(4)는 받은 표시배율 α1에 기초하여 촬상배율 β1을 새롭게 얻지 못을 수 있다.
제 1의 실시예에 따른 결함검출기(4)는 마스터화상데이터(405)와 검사화상데이터(404)를 동시에 표시하는 반면, 화상데이터(404,405)의 표시방법은 이것에 한정되는 것은 아니고, 결함검출기(4)는 대안적으로 화상데이터(404,405)를 전환(switching) 방식으로 표시할 수 있다.
도 14는 상기한 원리를 기초로 구성한 본 발명의 바람직한 제 2실시예에 따른의 결함검출기(4)의 제어부(48)의 기능 구성을 데이터의 흐름과 함께 도시하는 블록도이다. 제 2의 실시예에 따른 결함검출기(4)는 제어부(48)의 기능 구성으로서 전환부(487)를 구비하고 있는 점에서 제 1의 실시예의 결함검출기(4)와 다르다. 제 2 실시예에 따른 결함검출기(4)의 구조들은 제 1의 실시형태에서의 결함검출기(4)와 유사한 기능을 가지는 구성에 대해서는 동일한 부호를 붙이고, 여분의 설명을 적절히 생략한다.
전환부(487)는 그 입력 신호에 기초하여 검사화상표시부(485) 및 마스터 화상표시부(486)상에 검사화상데이터(404) 및 마스터화상데이터(405)의 전환 표시를 위해 조작부(40)로부터의 입력 신호를 접수한다.
도 15 및 도 16은 제 2 실시예에 따른 결함검출기(4)의 동작을 도시하는 플로우 차트이다. 도 15에 도시된 스텝 S31 내지 S37은 도 7에 도시하는 스텝 S11 내지 S17과 유사한 처리이다.
결함검출기는 스텝 S19에 상당하는 처리는 하지 않고 도 7에 도시된 스텝 S18과 유사하게 검출모니터(41)에 검사화상데이터(404)를 표시하기 위한 스텝 S38을 실행한다. 이것은 제 2 실시예에 따른 결함검출기(4)가 초기상태에서 검사화상표시부(485)상에 검사화상데이터(404)를 표시하도록 설정되어 있으며, 전환부(487)는 오퍼레이터로부터 지시를 받지 않은 경우 검사화상표시부(485)가 검사화상데이터(404)를 표시하도록 하기 때문이다.
따라서 오퍼레이터는 촬상부(42)가 기판(90)을 촬상하고, 결함영역을 시각적으로 검출하기 시작했음을 알 수 있다.
도 17은, 전술한 방법으로 검출모니터(41)상에 만들어진 표시예를 도시한다.도 17에 도시한 바와 같이, 검출모니터(41)의 표시화면은 검사화상데이터(404)만 표시하기 위하여 전환버튼(412)과 표시영역(410)에만 할당된다. 전환버튼(412)의 기능은 후술한다.
검출모니터(41)가 검사화상데이터(404)를 표시하면, 제 2 실시예에 따른 결함검출기(4)는 오퍼레이터가 입력을 했는지 여부를 결정한다(스텝 S41). 이 결정 처리는 스텝 S21에 해당한다.
스텝 S41에 있어서, 결함검출기(4)는 만약 스텝 S41에서 결정이 YES라면, 스텝 S42 내지 S45을 통해 처리(도 8에 도시하는 스텝 S22 내지 S25의 처리에 해당한 다)를 실행하는 반면, 만약 결정이 NO라면 이 처리는 스킵(skip)된다.
다음에, 전환부(487)는 오퍼레이터가 조작부(40)로부터의 입력 신호에 따라 전환버튼(412)이 조작된 것인가 여부를 결정하여, 결함기준영역을 표시할 것인지 여부를 결정한다(스텝 S46). 즉, 전환버튼(412)은 전환부(487)안에 오퍼레이터로부터 지시를 입력하는 기능을 가진다.
만약, 오퍼레이터가 전환버튼(412)을 조작하지 않는 경우(스텝 S46에 있어서 노(No)), 전환부(487)는 검사화상표시부(485)에 표시를 하기 위해 스텝 S47에서 제 1 표시단계(스텝 S26의 처리에 상당한다)를 실행한다. 만약, 결함검출기(4)가 이미 스텝 S42 내지 S45에서 처리를 실행하였다면, 전환부(487)는 검사화상데이터(404)에 대한 표시배율 α1을 연산하고 표시한다.
만약 오퍼레이터가 전환버튼(412)을 조작하는 경우(스텝 S46에 있어서 예스(Yes)), 전환부(487)는 마스터 화상표시부(486)에 표시를 하기 위해 스텝 S48의 제 2 표시단계(스텝 S27의 처리에 상당한다)를 실행한다.
도 18은 전술한 방법으로 검출모니터(41)에 만들어진 표시예를 도시한다. 도 18에 도시한 바와 같이, 전환부(487)는 검사화상표시부(485)에 의한 표시를 마스터 화상표시부(486)에 의한 표시로 바꿀 수 있으며, 검출모니터(41)의 표시화면은 리턴 버튼(413)과 표시영역(411)에만 할당된다. 리턴 버튼(413)은 검사화상표시부(485)에 의한 표시로 되돌리기 위해 사용된다. 즉, 결함검출기(4)는 만약 리턴 버튼(413)이 조작되지 않으면 스텝 46에서 예스(Yes)로 결정한다.
스텝 S47 또는 스텝 S48후에 실행되는 스텝 S49 내지 S51의 처리는 도 8에 도시하는 스텝 S28 내지 S30의 처리와 유사하다.
이상과 같이, 제 2 실시예에 따른 결함검출기(4)는 또한 제 1 실시예에 따른 결함검출기(4)와 유사한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 결함검출기(4)는 검사화상표시부(485)에 의한 표시와 마스터 화상표시부(486)에 의한 표시를 전환하는 것에 의해 검출모니터(41)의 표시영역을 유효하게 이용할 수 있다.
제 1 및 제 2 실시예는 1개의 검출모니터(41)에 표시하는 결함검출기(4)에 대해 설명했지만, 화상데이터(404,405)를 표시하는 방법은 이에 한정하지 않으며, 화상데이터(404,405)는 대안적으로 각각 표시될 수 있다.
도 19는 전술한 원리에 근거해서 구성한 본 발명의 바람직한 제 3실시예에 따른 결함검출기(5)의 정면도이다. 제 3 실시예에 따른 결함검출기(5)는 화면에 각종 데이터를 표시하는 표시장치로서 2개의 검출모니터(414,415)를 포함한다. 결함검출기(5)는 검출모니터들(414, 415)을 제외하고, 제 1 실시예에 따른 결함검출기(4)와 실질적으로 동일한 구성이며, 제 1 실시예에 따른 결함 검출기(4)의 부분들과 유사한 제 3 실시예에 따른 결함 검출기(5)의 부분들은 제 1 실시형태에 도시한 부호에 의하여 여분의 설명을 생략하고, 적절히 표시된다.
상기 제 1 실시예에 따른 검출 모니터(41)와 유사한 기능을 가지는 검출모니터들(414, 415)은 도 19에 도시한 바와 같이, X축방향으로 배열되고, 지지부재(491)로 지지된다.
도 20은 제 3 실시예에 따른 결함검출기(5)에서 제어부(48)의 기능구성을 데 이터의 흐름과 함께 도시한 블록도이다. 제 3 실시예에 따른 제어부(48)에서, 검사화상표시부(485)는 검출모니터(415)에 출력을 하는 반면, 마스터 화상표시부(486)은 검출모니터(414)에 출력한다.
제 3실시예에 따른 결함검출기(5)는, 도 7 및 도 8에 도시된 제 1 실시예에 따른 결함검출기(4)와 유사한 동작을 실행하는 장치로 구성되는 반면, 검사화상표시부(485)는 스텝 S18 및 스텝 S26과 유사한 단계에서 검사화상데이터(404)를 검출모니터(415)에 표시한다. 또한, 마스터 화상표시부(486)는 스텝 S19 및 스텝 S27과 유사한 단계에서 검출모니터(414)에 마스터화상데이터(405)를 표시한다.
따라서 결함검출기(5)는 결함영역과 결함기준영역을 별개의 표시장치에 표시함으로써 결함을 검출하는 작동에서 오퍼레이터가 마스터화상데이터(405)에 대해 검사화상데이터(404)를 잘못 취득하거나 그 역으로 잘못 취득할 가능성을 피할 수 있도록 한다.
전술한 바와 같이, 제 3 실시예에 따른 결함검출기(5)는 또한 전술한 제 1 실시예에 따른 결함검출기(4)와 유사한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 오퍼레이터는 결함을 검출하는 작업에서 마스터화상데이터(405)에 대해 검사화상데이터(404)를 또는 그 역에 대해 거의 혼동하지 않을 수 있다. 따라서, 결함검출기는 검출 작업의 효율성을 부여한다.
전술한 바람직한 실시예 각각에서, 결함정보(400)를 취득하는 방법은 네트워크(2)를 통한 통신부(47)의 이용에 한정되지 않는다. 검사장치(3)는 대안적으로 결함검출기(4, 5)가 해당 기록 매체로부터 결함정보(400)를 판독하도록 기판(90)을 따라 결함검출기(4,5)에 저장 매체를 반송하기 위한 휴대용(portable)기록 매체 등에 결함정보(400)를 기록할 수 있다.
제어부(48)는 전술한 바람직한 실시예 각각에서 소프트웨어 프로세싱(processing)을 통해 프로그램을 실행함으로써 기능구성을 실행한 반면, 제어부(48)는 대안적으로 기능 구성의 일부 또는 전부를 캡쳐(capture)보드나 축 제어 보드와 같은 전용 회로를 통한 하드웨어 프로세싱에 의해 실행할 수 있다.
결함검출기(4, 5)에서의 처리 순서는 상기 실시예 각각에 대하여 기술된 것에 한정하지 않는다. 예컨대, 스텝 S14에 있어서 제 1 실시예에 따른 결함검출기(4)는 대안적으로 프로세싱을 병렬처리하도록 구성될 수 있으며, 스텝 S15 및 S16도 마찬가지이며, 스텝 S18과 스텝 S19의 실행 순서를 교체할 수 있다. 즉, 결함검출기(4)는 전술한 것과 유사한 효과를 얻을 수 있는 한 어떤 순서에서라도 프로세싱을 실행할 수 있다.
오퍼레이터가 상기 제 1 내지 제 3 실시예 각각에서 표시 배율을 변경하기 위하여 현재에 표시된 검사화상데이터(404)에 대해 변경된 배율αp를 입력하지만, 입력 정보는 이것에 한정되지 않는다. 예컨대, 오퍼레이터는 대안적으로 원하는 새로운 표시배율 α1을 입력할 수 있다. 또는, 대안적으로 오퍼레이터는 배율연산부(482)가 새로운 표시배율 α1을 연산하도록 하기 위해 표시크기데이터(401)를 고쳐쓰기 위한 새로운 결함표시크기를 입력할 수 있다.
결함검출기(4 또는 5)가 미리 기준이 되는 기판을 촬상함으로써 마스터화상데이터(405)를 얻고 이를 저장하거나 CAD 데이터로부터 형성하는 반면, 오퍼레이트 는 대안적으로 결함영역을 검출할 때, 실시간(real time)으로 마스터화상데이터(405)를 취득할 수 있다. 이 경우 결함검출기(4 또는 5)는 검사화상데이터(404)에 대한 표시배율 α1을 따라 기준 기판에 대한 촬상배율β2를 설정할 수 있다.
본 발명은 상세하게 도시되고 설명되었지만, 전술한 설명은 모든 예시적인 측면이며 한정되지 않는다. 그러므로 많은 수정과 변경이 본 발명의 범위를 벗어나지 않고 발명될 수 있음을 주지해야 한다.
본 발명은 결함영역의 표시배율에 기초하여, 결함영역과의 비교 대상이 되는 마스터화상데이터의 표시배율을 연산하고, 구한 마스터화상데이터의 표시배율에 따라 마스터화상데이터를 표시하는 것에 의해, 서로의 화상을 용이하게 비교할 수 있고, 결함검출 작업의 작업 효율을 향상시킬 수 있다.
그리고 검사화상데이터를 원하는 배율로 취득할 수 있고, 결함정보에 포함되는 결함영역의 크기에 따라 촬상 요소의 위치를 자동적으로 결정하고, 검사화상데이터의 표시배율을 연산하는 것에 의해, 검사화상데이터를 적절한 표시배율로 자동적으로 표시할 수 있다. 이에 따라, 제 1표시요소가 표시시키려고 하는 배율로 검사대상물을 촬상할 수 있게 되어, 표시할 때 배율조정을 할 필요가 없고, 화상처리의 연산량을 억제할 수 있다.
마스터화상데이터의 표시배율을 디지탈비트맵 화상 데이터의 정수배로 하는 것에 의해, 정밀도가 높은 마스터화상데이터를 표시 할 수 있으며, 검사화상데이터의 표시와, 상기 마스터화상데이터의 표시가 표시장치 중의 1개에 있어서 동시에 이루어지는 것에 의해, 용이하게 비교할 수 있고, 검사화상데이터의 표시와, 마스터화상데이터의 표시를 바꾸어서 표시하는 것에 의해, 화면을 유효하게 사용할 수 있다. 또한 제 1표시요소 및 제 2표시요소가, 각각 표시장치에 표시되도록 하는 것에 의해, 오퍼레이타가 검사화상데이터와 마스터화상데이터를 혼동하는 것을 방지할 수 있다.

Claims (15)

  1. 검사대상물상의 결함을 검출하기 위한 결함검출기로서,
    화상표시시스템;
    상기 검사대상물을 유지하는 유지요소;
    결함을 가지는 상기 검사대상물의 결함영역을 촬상함으로써 획득한 검사화상데이터를 획득하기 위해 상기 유지요소에 의해 유지된 상기 검사대상물을 촬상하는 화상취득요소;
    제 1 표시배율에서 상기 화상표시시스템상에 상기 화상취득요소에 의해 취득된 상기 검사화상데이터를 표시하는 제 1 표시제어요소; 및
    제 1 표시배율에 응답하여 연산된 제 2 표시배율에서 상기 화상표시시스템상에 상기 결함영역과 비교되도록 마스터화상데이터를 디스플레이하는 제 2 표시제어요소를 포함하는, 결함검출기.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    오퍼레이터로부터 입력 정보를 접수하는 조작부를 더 포함하고,
    상기 제 2 표시제어요소는 상기 제 1 표시배율이 상기 입력정보에 기초하여 설정될 때마다 상기 제 1 표시배율을 설정하는 것에 응답하여 상기 제 2 표시배율을 연산하고, 상기 마스터화상데이터를 상기 제 2 표시배율에서 상기 화상표시시스템상에 표시하는, 결함검출기.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 표시배율에 응답하여 소정의 알고리즘에 따라 상기 검사대상물을 촬상하기 위한 상기 화상취득요소의 촬상배율을 결정하는 촬상배율결정요소를 더 포함하는, 결함검출기.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 유지요소로 유지된 상기 검사대상물에 대하여 상기 결함 영역의 위치를 나타내는 정보를 획득하는 위치획득요소:
    상기 위치획득요소에 의해 획득한 상기 결함영역의 위치를 나타내는 상기 정보에 응답하여 상기 유지요소에 의해 유지된 상기 검사대상물과 상기 화상획득요소의 상대적인 위치를 결정하는 배치요소를 더 포함하는, 결함검출기.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스터화상데이터는 디지털 비트맵 화상이며,
    상기 제 2 표시배율은 상기 디지탈 비트맵 화상을 정수배 확대한 배율값인, 결함검출기.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 화상표시시스템에 포함된 단일 표시요소는 상기 검사화상 데이터와 상기 마스터화상데이터를 상기 제 1 표시제어요소와 제 2 표시제어요소 각각에 의하여 동시에 표시하는, 결함검출기.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 화상표시시스템에 포함된 상기 단일 표시요소가, 상기 제 1 표시제어요소와 상기 제 2 표시제어요소에 의해 전환(switching)하는 방식으로 상기 검사화상데이터와 상기 마스터화상데이터를 표시하는 전환요소를 더 포함하는, 결함검출기.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 화상표시시스템은,
    상기 제 1 표시제어요소의 제어하에 상기 검사화상데이터를 표시하는 제 1 표시요소; 및
    상기 제 2표시제어요소의 제어하에 상기 마스터화상데이터를 표시하는 제 2 표시요소를 포함하는, 결함검출기.
  10. 검사대상물상의 결함을 검출하는 결함검출방법으로서,
    상기 검사대상물을 유지하는 유지 단계;
    상기 유지 공정에서 유지된 상기 검사대상물을 촬상하고, 결함을 가지는 상기 검사대상물의 결함영역을 촬상함으로써 얻은 검사화상데이터를 획득하는, 화상획득단계;
    제 1 표시배율에서 화상표시시스템상에 상기 화상획득단계에서 획득한 상기 검사화상데이터를 표시하는 제 1 표시단계; 및
    상기 제 1 표시 배율에 응답하여 연산된 제 2 표시배율에서 화상표시시스템상에 상기 결함영역과 비교되도록 마스터화상데이터를 표시하는 제 2 표시단계를 포함하는, 결함검출방법.
  11. 삭제
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 입력 정보에 기초하여 상기 제 1표시배율이 설정될 때마다 상기 제2 표시 단계를 실행하기 위해, 오퍼레이터로부터 상기 입력 정보를 입력받는 조작단계를 더 포함하는, 결함검출방법.
  13. 삭제
  14. 제 10 항에 있어서,
    상기 유지단계에서 유지된 상기 검사대상물에 대해 상기 결함영역의 위치를 나타내는 정보를 획득하는 위치획득단계; 및
    상기 유지단계에서 유지된 상기 검사대상물과 상기 위치획득단계에서 획득된 상기 결함영역의 위치를 나타내는 상기 정보에 응답하여 상기 검사대상물을 촬상하는 촬상 요소와의 상대적인 위치를 결정하는 배치단계를 더 포함하는, 결함검출방법.
  15. 제 10 항에 있어서,
    상기 마스터화상은 디지털 비트맵 화상을 나타내며,
    상기 제 2 표시배율은 상기 제 2 표시단계에서 상기 디지털 비트맵 화상을 정수배로 확대하기 위한 배율값으로서 연산되는, 결함검출방법.
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