KR100677686B1 - 프로브 니들의 제조 방법 및 프로브 카드와 이것의 제조방법 - Google Patents

Abstract

동축 구조를 가지는 프로브 니들은 프로브 카드의 조립을 쉽게 해 준다. 프로브 니들은 중심 도전체를 절연 튜브로 피복하고, 이 절연 튜브 둘레에 도전성 미립자 막을 적층하여 절연 튜브 둘레에 도전층을 형성함으로써 제조된다.

Description

프로브 니들의 제조 방법 및 프로브 카드와 이것의 제조 방법{METHOD FOR MANUFACTURING PROBE NEEDLE, METHOD FOR MANUFACTURING PROBE CARD, AND PROBE CARD}

도 1은 종래 기술에 따른 프로브 카드의 횡단면도이다.

도 2는 도 1의 프로브 카드가 도시되어 있는 평면도이다.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 프로브 카드의 횡단면도이다.

도 4는 도 3의 프로브 카드가 도시되어 있는 평면도이다.

도 5A 내지 도 5F는 도 3의 프로브 카드에 포함되어 있는 프로브 니들의 제조 공정을 도시하고 있는 도면이다.

도 6은 도 3의 프로브 카드가 상세히 도시되어 있는 횡단면도이다.

도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브 니들의 횡단면도이다.

도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 프로브 카드가 도시되어 있는 횡단면도이다.

도 9는 도 8의 프로브 카드가 도시되어 있는 평면도이다.

도 10은 도 8의 프로브 카드 제조 공정이 도시되어 있는 개략도이다.

도 11은 본 발명의 제4 실시예에 따른 프로브 카드의 제조 공정이 도시되어 있는 개략도이다.

본 발명은 반도체 장치의 검사에 사용하는 프로브 카드에 관한 것이다.

반도체 장치를 검사하는 위해 프로브 니들을 구비하는 프로브 카드를 사용한다. 최근, 반도체 장치의 고집적화 및 미세화로 인하여, 본딩 패드 혹은 검사용 패드 사이의 간격이 좁아졌다. 또한 패드 수도 증가하였다. 그 결과, 프로브 니들이 프로브 카드에 집약식으로 탑재되어야 한다. 또한, 검사 비용을 줄이기 위해 복수 개의 반도체 장치를 동시에 동일한 프로브 카드로 검사해야만 할 수도 있다. 이로 인해 프로브 카드의 프로브 니들 개수가 더욱 증가하고, 또한 프로브 니들의 밀집도도 증가하게 된다. 이러한 상황에서, 프로브 니들이 밀접하게 정렬되어 있는 경우 서로 영향을 준다. 이것은 누화(漏話)와 같은 노이즈를 발생시킨다. 따라서, 프로브 카드의 밀집도를 저하시키는 일 없이 노이즈의 효과를 억제하는 프로브 카드와 프로브 니들이 요구된다.

도 1 및 도 2에는 외팔보 방식의 프로브 니들이 마련되어 있는 종래 기술의 프로브 카드(5)가 도시되어 있다. 이 프로브 카드(5)는 디스크형 기판(1)을 포함한다. 기판(1)의 중앙부를 관통하여 구멍이 연장하고 있다. 기판(1)은 니들 시트(3)와 지지부(4)를 포함하는데, 이 지지부(4)는 합성 수지로 제조되고 니들 시트(3)로부터 내측에서 구멍 둘레에 위치하고 있다. 복수 개의 프로브 니들(2)은 기판(1)의 중앙부로부터 반경방향 외측으로 연장하고 있다.

각 프로브 니들(2)은 니들 시트(3)에 납땜되어 있는 기저부와 지지부(4)에 의해 유지되어 있는 말단부를 구비하고 있다. 프로브 니들(2)의 말단부는 기판(1)의 중앙부에 집중되어 있다. 각 프로브 니들(2)은 그 말단부를 향할수록 기판(1)으로부터 더 멀어지는 외팔보 구조를 가지고 있다. 또한, 각 프로브 니들(2)은 그 중간부가 절연 튜브에 의해 피복되어 인접 프로브 니들과 전기 접속이 방지된다.

프로브 카드로 반도체 장치를 검사하기 위해, 각 프로브 니들(2)의 말단부는 반도체 장치의 패드에 압박된다.

프로브 카드(5)에는, 프로브 니들(2)에 의해 니들 시트(3)와 지지부(4) 사이에 갭이 형성되어 있다. 따라서, 프로브 니들의 개수가 증가함에 따라, 밀접하게 정렬된 프로브 니들은 서로 영향을 주고, 누화와 같은 노이즈가 발생할 수 있다. 또한, 복수 개의 반도체 장치를 동시에 검사하는 프로브 카드에 있어서, 프로브 니들은 기판면에 대하여 서로 수직방향으로 밀접하게 정렬되어 있을 수 있다. 이러한 경우에, 프로브 니들에는 더 많은 노이즈가 발견될 것이다.

따라서, 이러한 노이즈는 검사 정확도를 낮출 수 있다. 또한, 재검사가 필요할 수도 있다. 이로 인해 검사 시간이 연장될 것이다.

이러한 프로브 니들의 노이즈 효과를 감소시키기 위해, 동축 구조를 가진 프로브 니들을 구비하는 프로브 카드가 제안되었다. 동축 구조를 가진 프로브 니들은 중심 도전체와, 이 중심 도전체의 중간부를 피복하고 있는 절연 튜브와, 이 절연 튜브를 피복하고 있는 도전성 금속 튜브(외부 도전체)를 포함한다.

외부 도전체의 양 단부는 기판의 접지선에 연결되어 있다. 따라서, 외부 도 전체는 보호막과 같은 기능을 한다. 이것은 노이즈 효과를 감소시킨다.

일본 특허 공보 제8-22463호와 제2-50452호에는 동축 구조를 가진 프로브 니들을 포함하는 프로브 카드의 예가 기재되어 있다.

종래 기술의 동축 구조를 가진 프로브 니들에 있어서, 중심 도전체의 직경은 130㎛ 이상이며, 일반적으로 150㎛이다. 또한, 중심 도전체를 절연 튜브로 피복하면 직경이 170㎛이 된다. 외부 도전체는 프로브 니들의 직경을 약 200㎛ 정도 증대시킨다. 그러므로, 외부 도전체의 직경은 약 370㎛가 된다. 따라서, 동축 니들은 절연 튜브로 피복한 일반적인 프로브 니들보다 2배 이상의 직경이 된다.

따라서, 모든 프로브 니들이 동축 구조로 될 수 없다. 단지 노이즈로부터 보호받아야 하는 프로브 니들만 동축 구조로 한다.

동축 구조를 가진 프로브 니들은 직경이 크기 때문에, 일반적인 프로브 니들보다 더 큰 간격이 마련되어야 한다. 또한, 동축 구조의 프로브 니들이 패드에 가하는 힘은 직경 차이 때문에 일반적인 프로브 니들의 힘과 차이가 난다. 이것이 니들 자국을 관리하기 힘들게 한다.

동축 구조를 가진 프로브 니들의 직경은 일반적인 프로브 니들의 직경과 크게 차이가 나기 때문에, 동축 프로브 니들은 일반적인 카드의 프로브 니들과 다른 부착 방식으로 프로브 카드에 부착되어야 한다. 그 결과, 동축 구조를 갖는 프로브 니들을 포함하는 프로브 카드를 조립하기가 어렵다.

본 발명은 프로브 카드의 조립을 용이하게 하는 동축 구조를 가진 프로브 니들을 제공한다. 또한, 본 발명은 노이즈 효과를 감소시키면서 프로브 카드의 조립을 용이하게 하는 프로브 카드를 제공한다.

본 발명의 한 가지 양태는 동축 구조를 가지는 프로브 니들의 제조 방법이다. 이 제조 방법은 절연 튜브로 중심 도전체를 피복하고, 이 절연 튜브 둘레에 도전성 미립자 막을 적층하여 절연 튜브 둘레에 도전층을 형성하는 것을 포함한다.

본 발명에 따른 동축 구조를 가지는 프로브 니들의 제조방법으로 다른 양태가 있다. 이 제조 방법은 절연 튜브로 중심 도전체를 피복하고, 절연 튜브 둘레에 도전성 물질을 도포하여 절연 튜브 둘레에 도전층을 형성하는 것을 포함한다.

본 발명에 따른 동축 구조를 가지는 프로브 니들의 제조 방법으로 또 다른 양태가 있다. 이 제조 방법은 절연 튜브로 중심 도전체를 피복하고, 절연 튜브 둘레에 도전선 물질을 적층하는 증착법을 수행하여 절연 튜브 둘레에 도전층을 형성하는 것을 포함한다.

본 발명에 따른 동축 구조를 가지는 프로브 니들의 제조 방법으로 또 다른 양태가 있다. 이 제조 방법은 절연 튜브로 중심 도전체를 피복하고, 이 절연 튜브 둘레에 도전층을 형성하는 것을 포함한다. 도전층의 형성은 도전성 물질을 함유하고 있는 제1 용매에 중심 도전체를 침지하고, 이 중심 도전체를 제1 용매로부터 제거한 후, 중심 도전체를 건조시키는 것을 포함한다.

본 발명의 또 다른 양태는 프로브 카드 제조 방법이다. 이 제조 방법은 접지선을 포함하는 기판을 마련하고, 절연 튜브에 의해 피복된 중간부를 포함하는 프 로브 니들을 마련하며, 프로브 니들이 외팔보 구조를 갖도록 프로브 니들을 기판에 장착하고, 접지선에 연결되어 있는 도전성 재료를 프로브 니들의 중간부에 배치하는 것을 포함한다.

본 발명의 프로브 카드 제조 방법으로 다른 양태가 있다. 이 제조 방법은 접지선을 포함하는 기판을 마련하고, 절연 튜브로 피복된 중간부를 포함하는 프로브 니들을 마련하며, 프로브 니들이 외팔보 구조를 갖도록 기판에 프로브 니들을 장착하고, 접착제가 접지선에 접속되어 있도록 프로브 니들의 중간부에 도전성 접착제를 도포하며, 이 도전성 접착제를 건조시키는 것을 포함한다.

본 발명의 프로브 카드 제조 방법으로 또 다른 양태가 있다. 이 제조 방법은 접지선을 포함하는 기판을 마련하고, 절연 튜브에 의해 피복된 중간부를 포함하는 프로브 니들을 마련하며, 접지선에 도전성 베이스를 형성하고, 프로브 니들이 외팔보 구조를 갖도록 도전성 베이스에 프로브 니들의 중간부를 매설하는 것을 포함한다.

본 발명의 프로브 카드 제조 방법에는 또 다른 양태가 있다. 이 제조 방법은 접지선을 포함하는 기판을 마련하고, 절연 재료로 피복된 중간부를 포함하는 프로브 니들을 마련하며, 접지선에 도전성 베이스를 형성하고, 프로브 니들이 외팔보 구조를 갖도록 도전성 베이스에 프로브 니들의 중간부를 정렬하며, 도전성 재료로 프로브 니들 중간부를 피복하는 것을 포함한다.

본 발명의 프로브 카드 제조 방법에는 또 다른 양태가 있다. 이 제조 방법은 지지부와 접지선을 포함하는 기판을 마련하고, 제1 단부와 제2 단부와 절연 재 료로 피복된 중간부를 포함하는 프로브 니들을 마련하며, 이 프로브 니들을 그 제1 단부가 지지부에 의해 유지되고 프로브 니들이 외팔보 구조를 갖도록 기판에 부착하고, 절연 수지로 프로브 니들의 제2 단부를 피복하며, 프로브 니들의 중간부를 피복하고 접지선에 접속되어 있는 도전성 재료를 지지부와 절연 수지 사이에 정렬하는 것을 포함한다.

본 발명의 또 다른 양태는 기판과 이 기판에 부착되어 있는 복수 개의 프로브 니들을 포함하고, 각 프로브 니들 중 하나는 동축 구조를 갖는 것인 프로브 카드이다.

본 발명의 또 다른 양태는 기판과, 이 기판에 형성되어 있는 접지선과, 이 접지선에 접속되어 있는 도전성 재료와, 기판에 부착되어 있고 외팔보 구조를 갖는 복수 개의 프로브 니들을 포함하고, 각 프로브 니들은 절연 재료로 피복되어 있고 도전선 재료에 매설되어 있는 중간부를 포함하는 프로브 카드이다.

본 발명의 다른 양태 및 유용성은 본 발명의 원리를 예를 통해 설명하고 있는 첨부 도면과 관련된 아래의 발명의 상세한 설명으로부터 명백해 질 것이다.

본 발명은 첨부 도면과 더불어 바람직한 실시예에 대한 아래의 상세한 설명을 참조하여 그 목적 및 유용성을 이해할 수 있다.

도면에서, 전체적으로 유사한 도면 부호를 유사한 요소에 사용하였다.

(제1 실시예)

본 발명의 제1 실시예에 따른 프로브 카드(20)를 도면을 참조하여 설명하겠다. 도 3 및 도 4에 도시되어 있는 바와 같이, 프로브 카드(20)는 디스크형 기판 (21)을 포함하고 있다. 이 기판(21)의 중앙부를 통해 구멍(29)이 연장하고 있다. 기판(21)은 니들 시트(23)와 지지부(24)를 포함하는데, 이 지지부는 합성 수지로 제조되고 니들 시트(23)로부터 내측으로 구멍(29) 둘레에 위치하고 있다. 복수 개의 프로브 니들(22)이 기판(21)의 중앙부로부터 반경방향 외측으로 연장하고 있다.

각 프로브 니들(22)은 니들 시트(23)에 납땜되어 있는 기저부와 지지부(24)에 의해 유지되어 있는 말단부를 구비한다. 프로브 니들(22)의 말단부는 기판(21)의 중앙부에 집중되어 있다. 각 프로브 니들(22)은 그 말단부를 향할수록 기판(21)으로부터 더 멀어지게 되는 외팔보 구조를 가지고 있다.

프로브 니들(22)의 구조와 프로브 니들(22)의 제조 방법을 도 5A 내지 도 5F를 참조하여 설명하겠다. 도 5A를 참조하면, 프로브 니들(22)은 텅스텐으로 제조되고 직경이 대략 130㎛인 중심 도전체(25)를 구비하고 있다. 이 중심 도전체(25)는 테이퍼져 있는 말단부를 구비하고 있다.

도 5B를 참조하면, 중심 도전체(25)에는 전기 절연성 재료 또는 절연 튜브(26)로 피복된 중간부가 있다. 절연 튜브(26)의 직경은 대략 150㎛이다.

이어서, 도 5C를 참조하면, 중심 도전체(25)의 말단부에 위치하는 절연 튜브(26) 부분을 제거한 후, 중심 도전체(25)와 절연 튜브(26)를 용매(L)에 침지한다. 이 용매(L)는 일액성 상온 경화형의 은계 도전성 접착제이다. 더 구체적으로 말하면, 고분자 아크릴 수지를 결합제로 사용하고, 도전성 물질인 은분말의 미세한 플레이크(flake)를 에틸 아세테이트 또는 부틸 아세테이트와 같은 용매와 혼합한 후, 분산시켜 용매(L)를 제조한다.

이어서, 중심 도전체(25)를 용매(L)에서 꺼낸 후 건조시킨다. 이로써 절연 튜브(26)로 피복되고 두께가 대략 10㎛인 도전층(27)이 형성된다. 이 도전층(27)의 두께는 용매(L)의 온도와, 도전성 물질과 용매의 합성(비)에 기초하는 용매(L)의 점성과, 중심 도전체(25)를 용매(L)로부터 꺼내는 속도와, 중심 도전체(25)를 건조시킬 때의 온도와 습도를 변경하여 조절할 수 있다.

그 다음, 중심 도전체(25)의 기저부는 상기 도전성 물질을 포함하지 않는 용매(M)에 침지된다. 이로 인해 중심 도전체(25)의 기저부로부터 도전층(27)이 제거되고, 절연 튜브(26) 부분이 노출된다. 이러한 공정에 의해 동축 구조를 갖는 프로브 니들(22)이 형성된다. 프로브 니들의 직경은 대략 170㎛이다.

프로브 니들(22)은 도 6에 도시되어 있는 바와 같이 기판(21)에 부착되어 있다. 기판(21)은 접지선(28)을 포함하고 있다. 프로브 니들(22)의 말단부는 지지부(24)에 부착되어 있고, 이 지지부(24)는 기판(21)에 부착되어 있다. 프로브 니들(22)의 기저부는 기판(21)에 납땜되어 있다. 또한, 도전층(27)의 양 단부는 접지선(28)에 도전성 접착제로 접착되거나 납땜되어 있다.

접지선(28)은 기판(21) 중앙부의 구멍(29)으로부터 지지부(24)의 측부까지 기판(21)에 접착되어 있는 구리 포일이다. 접지선(28)은 도전층(27)의 말단부 근처까지 연장하고, 도전층(27)의 말단부에 연결되어 있다.

상기 프로브 니들(22)의 제조 방법은 다음과 같은 잇점이 있다.

(1) 동축 구조를 갖는 프로브 니들(22)은 절연 튜브(26)로 피복되어 있는 일반적인 프로브 니들과 직경이 거의 동일하다.

(2) 동축 구조를 갖는 프로브 니들(22)은 일반적인 프로브 니들과 거의 직경이 동일하기 때문에, 프로브 카드(20)에 부착된 모든 프로브 니들(22)이 동축 구조를 가질 수 있다.

(3) 기판(21)에 부착되어 있는 모든 프로브 니들(22)은 동축 구조를 가지고 있다. 따라서, 프로브 카드(20)는 노이즈에 의해 미세하게만 영향을 받는다.

(4) 동축 구조를 갖는 프로브 니들(22)은 일반적인 프로브 니들과 직경이 거의 동일하다. 따라서, 프로브 니들(22)은 일반적인 프로브 니들과 동일한 부착 방식을 사용하여 기판에 부착될 수 있다. 이것은 프로브 카드(20)의 조립을 용이하게 한다.

(제2 실시예)

도 7에는 본 발명의 제2 실시예에 따른 프로브 니들이 도시되어 있다. 제2 실시예에 있어서, 절연 튜브(26)로 피복되어 있는 중심 도전체 부분은 직경이 줄어든다. 이 부분을 소경부(30)로 부르기로 한다. 결과적으로, 프로브 니들(32)의 직경은 줄어든다.

더 구체적으로 말하자면, 도전층(27)의 두께가 제1 실시예와 동일한 방식으로 대략 10㎛라면, 절연 튜브로 피복된 소경부(30)는 중심 도전체(25)의 다른 부분보다 대략 20㎛만큼 직경이 감소된다.

따라서, 제2 실시예에 있어서, 절연 튜브(26)로 피복된 프로브 니들(32)과 도전층(27)은 절연 튜브로만 피복된 종래 기술의 프로브 니들과 직경이 거의 동일하다. 이에 따라, 프로브 니들(32)은 종래 기술의 프로브 니들과 동일한 니들 부착 방식으로 기판에 부착된다.

지지부(24)에 고정된 부분과 말단부에서의 프로브 니들(32)의 직경은 변하지 않는다. 따라서, 프로브 니들(32)은 종래 기술의 프로브와 거의 동일한 내구성, 니들 압력, 접촉 특성을 갖게 된다.

(제3 실시예)

본 발명의 제3 실시예에 따른 프로브 카드(40)를 첨부 도면을 참조하여 설명하겠다.

도 8 및 도 9에 도시되어 있는 바와 같이, 프로브 카드(40)는 디스크형 기판(41)을 포함하고 있다. 구멍(47)이 기판(41)의 중앙부를 통해 연장하고 있다. 기판(41)은 니들 시트(43)와 지지부(44)를 포함하고, 이 지지부는 합성 수지로 제조되고 니들 시트(43)로부터 내측으로 구멍(47) 둘레에 위치하고 있다. 복수 개의 프로브 니들(42)이 기판(41)의 중앙부로부터 반경방향 외측으로 연장하고 있다. 각 프로브 니들(42)은 그 말단부를 향할수록 기판으로부터 더 멀어지는 외팔보 구조를 가지고 있다.

각 프로브 니들(42)은 니들 시트(43)에 납땜되어 있는 기저부와 지지부(44)에 의해 유지되는 말단부를 구비하고 있다. 프로브 니들(42)의 말단부는 기판(41)의 중앙부로 집중되어 있다.

각 프로브 니들(42)의 납땜된 기저부 단부는 절연 수지(45)로 피복되어 있다. 절연 수지(45)와 지지부(44) 사이의 프로브 니들(42) 부분은 도전성 접착제(46)에 의해 피복되어 있다. 도전성 접착제(46)는 일액성 상온 경화형의 은계 도 전성 접착제이다. 더 구체적으로 말하자면, 고분자 아크릴 수지를 결합제로 사용하고, 도전성 물질인 은분말의 미세한 플레이크를 에틸 아세테이트 또는 부틸 아세테이트와 같은 용매와 혼합한 후, 분산시켜 도전성 접착제(46) 제조한다

이제, 프로브 카드의 제조 공정을 도 10을 참조하여 설명하겠다.

먼저, 아직 처리하지 않은 기판(41)의 중앙부에 구멍(47)을 마련한다. 그 후, 이 구멍(47) 둘레에 접지선(48)을 마련한다. 이어서 일반적인 니들 부착 방식에 따라 기판의 구멍(47) 둘레에 프로브 니들(42)을 부착시킨다. 즉, 프로브 니들(42)을 구멍(47) 둘레에서 반경방향 외측으로 연장하게 소정의 간격으로 정렬시킨다. 각 프로브 니들(42)의 기저부를 니들 시트(43)에 납땜한다. 또한, 각 프로브 니들(42)의 말단부를 지지부(24)로 유지시킨다.

더 구체적으로 설명하자면, 접지선(48)을 니들 시트(43)와 지지부(44) 사이의 기판(41) 표면 부분에 마련한다. 납땜부와 지지부(44) 사이의 프로브 니들(42) 부분은 절연 튜브(42a)로 미리 피복한다.

이어서, 프로브 니들(42)의 납땜 기저부를 절연 수지(45)로 피복한다. 도전성 플럭스 또는 도전성 접착제(46)를 절연 수지(45)와 지지부(44) 사이의 공간에 주입하여 프로브 니들(42)을 피복한다. 이어서, 도전성 접착제(46)를 건조시킨다.

결과적으로, 도 8을 참조하면, 절연 수지(45)와 지지부(44) 사이의 프로브 니들(42) 부분은 도전성 접착제(46)로 피복되어 있다. 도전성 접착제(46)는 접지선(48)에 접속되어 있다.

따라서, 절연 수지(45)와 지지부(44) 사이의 각 프로브 니들(42) 부분은 동 축 구조를 갖는 프로브 니들과 실질적으로 동일한 구조를 갖게 된다.

프로브 카드(40)는 다음과 같은 이점이 있다.

(1) 절연 수지(45)와 지지부(44) 사이의 각 프로브 니들(42)의 부분은 동축 구조를 갖는 프로브 니들과 실질적으로 동일한 구조를 갖고 있다. 따라서, 동축 구조를 갖는 프로브 니들과 동일한 노이즈 감소 효과를 얻을 수 있다.

(2) 프로브 니들(42)은 절연 튜브(42a)로만 피복된 일반적인 프로브 니들이다. 그렇지만, 모든 프로브 니들(42)이 동축 구조를 갖는 프로브 니들과 동일한 구조를 갖고 있다. 따라서, 프로브 카드(40)는 노이즈에 의해서 미세하게만 영향을 받는다.

(3) 프로브 니들(42)은 종래 기술과 동일한 부착 방식에 따라 기판(41)에 부착되어 있다. 따라서, 프로브 카드의 조립이 용이하게 된다.

(제4 실시예)

도 11에는 본 발명의 제4 실시예에 따른 프로브 카드(60)의 제조 공정이 도시되어 있다.

먼저 아직 처리하지 않은 기판(41)의 중앙부에 구멍(47)을 마련한다. 그 후, 이 구멍(47) 둘레에 접지선(48)을 마련하고, 이 접지선(48)에 도전성 베이스(49)를 마련한다. 이 도전성 베이스(49)는 도전성 고무판 또는 금속판일 수 있다. 도전성 베이스(49)에는 기판(41)의 외주부가 가까워짐에 따라 기판(41)에 접근하는 경사면(도 11에 도시되어 있는 바와 같이 하면)이 있다.

도전성 베이스(49)의 경사면을 따라 각 프로브 니들(42)이 정렬되어 있다. 프로브 니들(42)의 기저부는 기판(41)의 니들 시트(43)에 납땜되어 있다. 납땜부와 지지부(44) 사이의 프로브 니들(42) 부분은 미리 절연 튜브(42a)로 피복되어 있다. 프로브 니들(42)의 납땜부는 절연 수지로 피복되어 있지는 않다.

도전성 접착제(50)를 도포하여 프로브 니들(42)을 도포한다. 이에 따라, 프로브 니들(42)은 도전성 접착제(50)와 도전성 베이스(49) 사이에 매설된다.

납땝부와 지지부(44) 사이의 프로브 니들(42) 부분은 도전성 베이스(49)와 도전성 접착제(50)로 피복한다.

따라서, 각 프로브 니들(42)의 납땜부와 지지부(44) 사이 부분의 구조는 동축 구조를 갖는 프로브 니들과 실질적으로 동일하다. 제4 실시예의 프로브 카드(60)는 제3 실시예의 프로브 카드(40)와 동일한 이점을 갖고 있다.

본 발명은 발명의 범위 및 기술적 사상을 벗어나지 않는다면 다른 많은 특정한 형태로 실현될 수 있다는 것은 당업자에게 자명할 것이다. 특히, 본 발명은 아래의 형태로 실현될 수 있다는 것을 이해해야 한다.

도전층(27)은 절연 튜브(26) 둘레에 도전성 물질이 혼합된 용매를 도포한 후 건조하여 형성될 수 있다.

도전층(27)은 증착법으로 절연 튜브(26) 둘레에 도전성 물질을 적층하여 형성될 수 있다.

제3 실시예에 있어서, 도전성 접착제(46)를 제외한 도전성 플럭스를 절연 수지(45)와 지지부 사이의 공간에 주입한 후 건조시킬 수 있다. 또한, 도전성 플럭스는 졸 또는 겔 상태의 도전성 고무이거나, 도전성 물질이 혼합된 용매일 수 있 다.

제1 실시예의 용매(L) 또는 다른 실시예의 도전성 유체에 사용된 도전성 물질은 구리, 구리합금, 은, 니켈, 주석, 납, 아연, 철, 인, 실리콘, 크롬, 비스무트, 카드뮴, 티타늄, 마그네슘, 알루미늄, 비소, 안티몬, 몰리브덴, 코발트, 납땜과 같은 저융점 합금 미립자, 아연산화물과 인듐산화물과 같은 금속산화물 미립자, 다양한 형태의 카본 블랙, 폴리피롤(polypyrrole) 또는 폴리아닐린(polyaniline)과 같은 도전성 폴리머 입자, 금속으로 피복된 폴리머 미립자, 희유금속으로 피복된 구리 또는 은 미립자, 금속 섬유, 및 탄소 섬유일 수 있다.

제4 실시예에 있어서, 도전성 베이스(49)는 졸 또는 겔 상태의 도전성 고무이거나, 도전성 접착제일 수 있다. 도전성 베이스(49)에는 프로브 니들(42)이 매설되어 있을 수 있다.

제4 실시예에 있어서, 도전성 베이스(49)는 프로브 니들(42)의 부착 중에 프로브 니들(42)과의 간섭을 피하는 높이로 되어 있을 수 있다. 즉, 도전성 베이스(49)는 도 11에 도시되어 있는 것보다 낮을 수 있다. 이러한 경우에, 도전성 접착제를 프로브 니들(42)을 부착한 후에 도포하여 프로브 니들(42)과 도전성 베이스(49) 사이의 공간을 채운다.

본 실시예는 제한적이 아니라 예시적인 것이고, 본 발명은 본 명세서의 상세한 설명에 제한되지 않으며, 첨부된 청구항의 균등한 범위 내에서 변경될 수 있다.

본 발명에 따르면, 프로브 카드의 조립을 용이하게 하는 동축 구조를 가진 프로브 니들을 제공할 수 있다. 또한, 본 발명은 노이즈 효과를 감소시키면서 프로브 카드의 조립을 용이하게 하는 프로브 카드를 제공한다.

Claims (16)

1. 동축 구조를 갖는 프로브 니들의 제조 방법으로서,

   소경부를 포함하는 중심 도전체를 마련하는 단계로서, 상기 소경부는 상기 중심 도전체의 다른 부분보다 더 작은 직경을 가지는 것인, 중심 도전체 마련 단계와,

   상기 중심 도전체의 상기 소경부를 절연 튜브로 피복하는 단계와,

   절연 튜브 둘레에 도전성 미립자 막을 적층하여 절연 튜브 둘레에 도전층을 형성하는 단계

   를 포함하는 프로브 니들 제조 방법.
2. 동축 구조를 갖는 프로브 니들의 제조 방법으로서,

   소경부를 포함하는 중심 도전체를 마련하는 단계로서, 상기 소경부는 상기 중심 도전체의 다른 부분보다 더 작은 직경을 가지는 것인, 중심 도전체 마련 단계와,

   상기 중심 도전체의 상기 소경부를 절연 튜브로 피복하는 단계와,

   이 절연 튜브 둘레에 도전성 물질을 도포하여 절연 튜브 둘레에 도전층을 형성하는 단계

   를 포함하는 프로브 니들 제조 방법.
3. 동축 구조를 갖는 프로브 니들의 제조 방법으로서,

   소경부를 포함하는 중심 도전체를 마련하는 단계로서, 상기 소경부는 상기 중심 도전체의 다른 부분보다 더 작은 직경을 가지는 것인, 중심 도전체 마련 단계와,

   상기 중심 도전체의 상기 소경부를 절연 튜브로 피복하는 단계와,

   이 절연 튜브 둘레에 도전성 물질을 증착법으로 적층하여 절연 튜브 둘레에 도전층을 형성하는 단계

   를 포함하는 프로브 니들 제조 방법.
4. 동축 구조를 갖는 프로브 니들의 제조 방법으로서,

   중심 도전체를 절연 튜브로 피복하는 단계로서, 상기 중심 도전체는 상기 절연 튜브에 의해 피복되지 않는 제1 단부와 제2 단부를 포함하는 것인, 절연 튜브 피복 단계와,

   상기 절연 튜브와 상기 제2 단부 둘레에 도전층을 형성하는 단계

   를 포함하고, 상기 도전층 형성 단계는 상기 제1 단부를 제외한 중심 도전체를 도전성 물질을 함유하고 있는 제1 용매에 침지하는 단계와, 제1 용매로부터 중심 도전체를 꺼내는 단계와, 중심 도전체를 건조시키는 단계와, 상기 절연 튜브의 제2 단부 상의 도전층 부분을 제2 용매로 제거하는 단계를 포함하는 것인 프로브 니들 제조 방법.
5. 삭제
6. 제4항에 있어서, 상기 제1 용매는 은입자와 고분자 아크릴 수지를 포함하는 것인 프로브 니들 제조 방법.
7. 접지선을 포함하는 기판을 마련하는 단계와,

   절연 튜브로 피복된 중간부를 포함하는 프로브 니들을 마련하는 단계와,

   이 프로브 니들이 외팔보 구조를 갖도록 프로브 니들을 기판에 장착하는 단계와,

   상기 접지선에 접속되어 있는 도전성 재료를 프로브 니들의 중간부에 배치하는 단계

   를 포함하는 프로브 카드 제조 방법.
8. 접지선을 포함하는 기판을 마련하는 단계와,

   절연 튜브로 피복된 중간부를 포함하는 프로브 니들을 마련하는 단계와,

   이 프로브 니들이 외팔보 구조를 갖도록 프로브 니들을 기판에 장착하는 단계와,

   도전성 접착제가 접지선에 접속되도록 도전성 접착제를 프로브 니들의 중간부에 도포하는 단계와,

   도전성 접착제를 건조시키는 단계

   를 포함하는 프로브 카드 제조 방법.
9. 제8항에 있어서, 상기 프로브 니들은 기저부를 포함하고,

   프로브 니들의 기저부를 납땜하는 단계와,

   프로브 니들의 기저부를 절연 수지로 피복하는 단계

   를 더 포함하는 것인 프로브 카드 제조 방법.
10. 접지선을 포함하는 기판을 마련하는 단계와,

    절연 튜브로 피복된 중간부를 포함하는 프로브 니들을 마련하는 단계와,

    상기 접지선에 도전성 베이스를 마련하는 단계와,

    상기 프로브 니들이 외팔보 구조를 갖도록 프로브 니들의 중간부를 도전성 베이스에 매설하는 단계

    를 포함하는 프로브 카드 제조 방법.
11. 제10항에 있어서, 상기 도전성 베이스를 마련하는 단계는 도전성 고무판 또는 도전성 금속판으로 도전성 베이스를 마련하는 것을 포함하는 것인 프로브 카드 제조 방법.
12. 접지선을 포함하는 기판을 마련하는 단계와,

    절연 재료에 의해 피복된 중간부를 포함하는 프로브 니들을 마련하는 단계와,

    상기 접지선에 도전성 베이스를 마련하는 단계와,

    프로브 니들이 외팔보 구조를 갖도록 프로브 니들의 중간부를 도전성 베이스에 배치하는 단계와,

    프로브 니들의 중간부를 도전성 재료로 피복하는 단계

    를 포함하는 프로브 카드 제조 방법.
13. 지지부와 접지선을 포함하는 기판을 마련하는 단계와,

    제1 단부와, 제2 단부와, 절연 재료로 피복된 중간부를 포함하는 프로브 니 들을 마련하는 단계와,

    상기 프로브 니들의 제1 단부가 지지부에 의해 유지되고 프로브 니들이 외팔보 구조를 갖도록 프로브 니들을 기판에 부착하는 단계와,

    상기 프로브 니들의 제2 단부를 절연 수지로 피복하는 단계와,

    프로브 니들의 중간부를 피복하고 접지선에 접속되어 있는 도전성 재료를 지지부와 절연 수지 사이에 배치하는 단계

    를 포함하는 프로브 카드 제조 방법.
14. 기판과,

    이 기판에 부착되어 있는 복수 개의 프로브 니들

    을 포함하고, 각 프로브 니들은 동축 구조인 것인 프로브 카드.
15. 기판과,

    이 기판에 마련된 접지선과,

    이 접지선에 접속된 도전성 재료와,

    상기 기판에 부착되어 있고 외팔보 구조를 갖는 복수 개의 프로브 니들

    을 포함하고, 각 프로브 니들은 절연 재료로 피복되고 도전성 재료에 매설되어 있는 중간부를 포함하는 것인 프로브 카드.
16. 제15항에 있어서, 상기 도전성 재료는 도전성 접착제를 포함하는 것인 프로 브 카드.

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