KR100646514B1 - Apparatus for Depositing Organic Material - Google Patents

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    • C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
    • C23C14/541—Heating or cooling of the substrates

Abstract

본 발명은 독립 분리 가능한 가열 히터와, 튐 방지막과 일체화된 노즐부을 구비하는 유기물 증착 장치에 관한 것으로, 본 발명의 유기물 증착 장치는 몸체를 이루며, 기판을 지지하는 하는 챔버와; 유기물을 저장하며 일부분이 개구된 유기물 저장부와, 상기 유기물 저장부의 개구된 부분과 연결되어 유기물을 분사하는 노즐부와, 상기 유기물 저장부를 감싸는 형태의 하우징과, 상기 유기물 저장부와 하우징 사이에 개재되는 가열 히터부를 구비하는 적어도 하나의 유기물 증착원을 포함하는 구조로 이루어진다. The present invention relates to an organic vapor deposition apparatus having an independent detachable heating heater and a nozzle unit integrated with a splash prevention film. The organic vapor deposition apparatus of the present invention comprises a chamber constituting a body and supporting a substrate; An organic material storage part for storing an organic material and a part of the organic material storage part, a nozzle part connected to the open part of the organic material storage part to spray the organic material, a housing surrounding the organic material storage part, and interposed between the organic material storage part and the housing; It consists of a structure including at least one organic material deposition source having a heating heater to be.

유기물 증착 장치, 수직 이동, 가열 히터Organic Vapor Deposition Apparatus, Vertically Moving, Heating Heater

Description

유기물 증착 장치{Apparatus for Depositing Organic Material}Organic material deposition apparatus {Apparatus for Depositing Organic Material}

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기물 증착 장치를 설명하기 위한 개략도. 1 is a schematic view for explaining an organic material deposition apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2a 내지 도 2d는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기물 증착 장치의 유기물 증착원을 설명하기 위한 도면. 2a to 2d are views for explaining the organic material deposition source of the organic material deposition apparatus according to an embodiment of the present invention.

(도면의 주요 부위에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for main parts of drawing)

100; 유기물 증착 장치 200; 챔버100; Organic material deposition apparatus 200; chamber

300; 유기물 증착원 310; 유기물 저장부300; Organic material deposition source 310; Organic matter storage department

320; 노즐부 330; 하우징320; Nozzle unit 330; housing

340; 가열 히터부 350; 내부 열 반사판340; A heating heater unit 350; Internal heat reflector

360; 열차단 수단 370; 냉각 장치360; Thermal barrier means 370; Cooling system

400; 유기물 증착원 이송 장치400; Organic material deposition source transfer device

본 발명은 유기 반도체 소자 등의 유기 박막 형성을 위한 유기물 증착 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 독립 분리 가능한 가열 히터와, 튐 방지막과 일체화된 노즐부을 구비하는 유기물 증착 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an organic material deposition apparatus for forming an organic thin film, such as an organic semiconductor device, and more particularly, to an organic material deposition apparatus having a heater heater that can be independently separated and a nozzle unit integrated with a splash prevention film.

일반적으로, 유기 전계 발광 소자(OLED, Organic light Emitting Device) 등을 포함하는 유기 반도체 소자의 유기 박막은 크게, 저분자 유기 물질을 진공 중에서 증발시켜 유기 박막을 형성하는 방법과, 고분자 유기 물질을 용제에 용해한 후, 스핀 코팅(spin coating), 딥 코팅(dip coating), 닥터 블레이팅, 잉크젯 프린팅 등을 이용하여 유기 박막을 형성하는 방법이 있다. In general, an organic thin film of an organic semiconductor device including an organic light emitting device (OLED) or the like is largely a method of forming an organic thin film by evaporating a low molecular organic material in a vacuum and a polymer organic material in a solvent. After dissolution, there is a method of forming an organic thin film using spin coating, dip coating, doctor blading, inkjet printing, or the like.

상기한 방법 중에서, 진공에서 저분자 유기 물질로 이루어지는 박막을 제작하는 경우에는 형성하고자 하는 형상의 개구부를 가지는 쉐도우 마스크 패턴(shadow mask pattern)을 기판의 앞에 정렬하여, 상기 기판에 유기 물질을 증착함으로써, 상기 기판 상에 유기 박막을 제작하게 된다. In the above-described method, when fabricating a thin film made of a low molecular organic material in a vacuum, a shadow mask pattern having an opening having a shape to be formed is aligned in front of a substrate, and the organic material is deposited on the substrate. An organic thin film is prepared on the substrate.

상기한 바와 같은 저분자 유기 물질로 이루어지는 유기 박막의 제조 방법으로는 점형 유기물 증착원을 이용하는 방법과, 선형 유기물 증착원을 이용하는 방법 등이 있다. As a method for producing an organic thin film made of a low molecular organic material as described above, there is a method using a viscous organic material deposition source, a method using a linear organic material deposition source and the like.

그러나, 상기한 바와 같은 점형 또는 선형의 유기물 증착원을 이용하여 대형 기판 상에 유기 박막을 형성하는 경우에는, 상기 기판과 증발원 사이의 거리가 함께 증가하게 되며, 상기 기판과 증발원 사이의 거리의 증가는 상기 기판 상에 형성되는 유기 박막의 균일성이 저하되는 원인이 된다. However, in the case of forming an organic thin film on a large substrate using a point- or linear organic material deposition source as described above, the distance between the substrate and the evaporation source is increased together, and the distance between the substrate and the evaporation source is increased. This causes a decrease in the uniformity of the organic thin film formed on the substrate.

또한, 상기 기판과 증발원 사이의 거리가 증가하게 되면, 상기 증발원에서 증발된 유기물이 상기 기판 이외의 진공 챔버에 증착되어 유기물의 손실이 증가하게 되며, 상기 유기물이 고가인 것을 감안하면, 제조 단가가 증가하는 문제점이 있 다. In addition, when the distance between the substrate and the evaporation source is increased, the organic material evaporated from the evaporation source is deposited in a vacuum chamber other than the substrate, so that the loss of the organic material is increased, considering that the organic material is expensive, There is an increasing problem.

또한, 유기 박막의 균일성 확보를 위하여 상기 쉐도우 마스크 패턴과 증발원이 소정의 각도를 이루도록 하여 유기 박막을 형성할 수 있다. 이때, 상기 쉐도우 마스크 패턴과 증발원이 소정의 각도를 이루는 경우, 상기 쉐도우 마스크 패턴에 의한 그림자 효과가 발생하여 원하는 형상의 유기 박막을 얻기 어려운 문제점이 있다. In addition, in order to ensure uniformity of the organic thin film, the shadow mask pattern and the evaporation source may be formed at a predetermined angle to form an organic thin film. In this case, when the shadow mask pattern and the evaporation source form a predetermined angle, there is a problem in that a shadow effect caused by the shadow mask pattern is generated and it is difficult to obtain an organic thin film having a desired shape.

또한, 대형 기판의 경우 기판의 쳐짐 현상으로 인하여, 기판의 중앙부와 에지부의 박막의 균일성이 다른 문제점이 있다. In addition, in the case of a large substrate, there is a problem that the uniformity of the thin film of the center portion and the edge portion of the substrate is different due to the drooping phenomenon of the substrate.

또한, 종래의 유기물 증착 장치는 유기물의 균일한 증착을 위하여 상기 기판이 이동하는 방식을 채택하는데, 이러한 기판이 이동하는 경우 챔버의 크기가 매우 커지는 문제점이 있다. In addition, the conventional organic material deposition apparatus adopts a method in which the substrate is moved for uniform deposition of the organic matter, there is a problem that the size of the chamber is very large when such a substrate is moved.

또한, 종래의 유기물 증착 장치의 경우, 상기 유기물 증착 장치의 사용시, 각 구성 요소의 틈새로 유기물 입자가 스며들어, 유기물의 누설이 발생하게 된다. 이러한 유기물의 누설로 인하여 상기 가열 히터의 오염이 발생하게 되면, 상기 가열 히터의 쇼트가 발생하게 되는 문제점이 있다. In addition, in the case of the conventional organic material deposition apparatus, when using the organic material deposition apparatus, organic particles are permeated into the gap of each component, the organic material leakage occurs. When contamination of the heating heater occurs due to the leakage of such organic matter, there is a problem that a short of the heater occurs.

상기 가열 히터의 쇼트가 발생하여 상기 가열 히터를 교체하는 경우, 상기 가열 히터가 상기 유기물 증착원과 일체형으로 이루어져 있어, 교체의 어려움이 있으며, 또한, 교체 작업 시간이 긴 문제점이 있다. When the short circuit of the heater occurs to replace the heater, the heater is integrated with the organic material deposition source, there is a difficulty in the replacement, there is a problem that the replacement operation time is long.

본 발명의 목적은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은 독립 분리 가능한 가열 히터와, 튐 방지막과 일체화된 노즐부을 구비하는 유기물 증착 장치를 제공하는 데에 그 목적이 있다. DISCLOSURE OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide an organic vapor deposition apparatus having an independent detachable heating heater and a nozzle unit integrated with a splash prevention film.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 유기물 증착 장치는 몸체를 이루며 기판을 수직방향으로 지지하는 챔버; 및 유기물을 저장하며 일측면이 개구된 유기물 저장부와, 상기 유기물 저장부의 개구된 일측면에 결합되는 유기물 분사 노즐 및 상기 유기물 분사 노즐과 일체로 형성되어 상기 유기물 저장부의 유기물 클러스터가 상기 유기물 분사 노즐로 튀는 것을 방지하는 튐 방지막을 구비하여 상기 유기물의 입자를 상기 기판 상에 분사하는 노즐부와, 상기 유기물 저장부를 감싸는 형태의 하우징과, 상기 유기물 저장부와 하우징 사이에 개재되는 가열 히터부를 구비하는 적어도 하나의 유기물 증착원;을 포함하는 것을 특징으로 한다.The organic material deposition apparatus of the present invention for achieving the above object comprises a chamber that forms a body and supports the substrate in a vertical direction; And an organic material storage unit storing organic material and having one side opened, an organic material spray nozzle coupled to the open side of the organic material storage part, and an organic material spray nozzle, which are integrally formed with the organic material cluster of the organic material storage nozzle. And a nozzle unit for spraying particles of the organic material on the substrate, a housing surrounding the organic material storage unit, and a heating heater interposed between the organic material storage unit and the housing. At least one organic material deposition source; characterized in that it comprises a.

또한, 상기 유기물 증착장치는 상기 유기물 증착원을 수직 방향으로 이동시킬 수 있는 유기물 증착원 이송 장치를 더 구비할 수 있다. The organic material deposition apparatus may further include an organic material deposition source transfer apparatus capable of moving the organic material deposition source in a vertical direction.

상기 유기물 저장부 및 상기 노즐부 중 적어도 어느 하나는 흑연(graphite)으로 이루어지는 것이 바람직하다. At least one of the organic material storage unit and the nozzle unit is preferably made of graphite (graphite).

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상기 가열 히터부는 열원인 열선과; 상기 열선의 처짐을 방지하는 열선 지지체를 구비하는 것이 바람직하다. A heating wire that is a heat source; It is preferable to provide a hot wire support body which prevents sagging of the hot wire.

상기 유기물 증착원은 상기 하우징의 내벽에 부착되는 내부 열 반사판을 더 구비할 수 있다. The organic material deposition source may further include an internal heat reflecting plate attached to an inner wall of the housing.

상기 유기물 증착원은 상기 노즐부의 기판 방향 외부면에 부착되는 열차단 수단을 더 구비할 수 있다. The organic material deposition source may further include a heat shield means attached to the outer surface of the nozzle unit in the substrate direction.

상기 유기물 증착원은 상기 하우징의 외벽에 설치되는 냉각 장치를 더 구비할 수 있다. The organic material deposition source may further include a cooling device installed on the outer wall of the housing.

또한, 본 발명의 유기물 증착 장치는 몸체를 이루며, 기판을 수직방향으로 지지하는 챔버와; 유기물을 저장하며 일측면이 개구된 유기물 저장부와, 상기 유기물 저장부의 개구된 일측면에 결합되는 유기물 분사 노즐 및 상기 유기물 분사 노즐과 일체로 형성되어 상기 유기물 저장부의 유기물 클러스터가 상기 유기물 분사 노즐로 튀는 것을 방지하는 튐 방지막을 구비하여 상기 유기물의 입자를 상기 기판 상에 분사하는 노즐부와, 상기 유기물 저장부를 감싸는 형태의 하우징과, 상기 유기물 저장부와 하우징 사이에 개재되는 가열 히터부를 구비하는 적어도 하나의 유기물 증착원; 및 상기 유기물 증착원을 수직 방향으로 이동시킬 수 있는 유기물 증착원 이송 장치;를 포함하는 것을 특징으로 한다. In addition, the organic material deposition apparatus of the present invention comprises a chamber that forms a body, and supports the substrate in the vertical direction; The organic material storage unit which stores the organic material and has one side opened, the organic material spray nozzle coupled to the opened side of the organic material storage unit, and the organic material spray nozzle are integrally formed so that the organic material cluster of the organic material storage part is transferred to the organic material spray nozzle. At least one having a nozzle to prevent splashing to spray the organic particles on the substrate, a housing surrounding the organic storage, and a heating heater interposed between the organic storage and the housing. One organic material deposition source; And an organic material deposition source transfer device capable of moving the organic material deposition source in a vertical direction.

또한, 상기 가열 히터부는 열원인 열선과, 상기 열선의 처짐을 방지하는 열선 지지체를 구비하며, 상기 유기물 저장부를 감싸는 형태의 히터 터널(heater tunnel) 구조로 이루어지는 것이 바람직하다. In addition, the heating heater unit is provided with a heating wire that is a heat source and a heating wire support to prevent sagging of the heating wire, it is preferably made of a heater tunnel structure of the form surrounding the organic material storage.

이하 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예를 설명한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기물 증착 장치를 설명하기 위한 개략도이다. 1 is a schematic diagram illustrating an organic material deposition apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 본 발명의 실시예에 따른 유기물 증착 장치(100)는 상기 유기물 증착 장치(100)의 몸체를 이루는 챔버(200)와, 기판(S) 상으로 유기물 입자를 분사시키기 위한 적어도 하나의 유기물 증착원(300)과, 상기 유기물 층착원(300)을 수직 방향으로 이동시킬 수 있는 유기물 증착원 이송 장치(400)를 구비하는 구조로 이루어 진다. 1, the organic material deposition apparatus 100 according to an exemplary embodiment of the present invention includes a chamber 200 constituting the body of the organic material deposition apparatus 100 and at least one organic material for injecting organic particles onto the substrate S. It is made of a structure having a deposition source 300 and the organic material deposition source transfer apparatus 400 that can move the organic layer deposition source 300 in the vertical direction.

상기 챔버(200)는 유기물을 증착하고자 하는 기판(S)을 대략 수직, 바람직하게는 지면과 70° 내지 110°의 각도를 유지하도록 한다. 또한, 상기 챔버(200)는 진공 챔버인 것이 바람직하다. The chamber 200 maintains the substrate S on which the organic material is to be deposited on an approximately vertical angle, preferably 70 ° to 110 ° with the ground. In addition, the chamber 200 is preferably a vacuum chamber.

상기 유기물 증착원(300)은 상기 기판(S) 상에 증착하고자 하는 유기물을 수용하고 가열하여, 상기 유기물을 유기물 입자 상태로 증발시킨 후, 상기 기판(S) 상으로 분사하여 상기 기판 상에 유기 박막을 형성한다. The organic material deposition source 300 accommodates and heats an organic material to be deposited on the substrate S, evaporates the organic material to a state of organic particles, and then sprays onto the substrate S to form an organic material on the substrate S. Form a thin film.

상기 유기물 증착원 이송 장치(400)는 상기 유기물 증착원(300)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 장치이다. 이때, 상기 유기물 증착원 이송 장치(400)는 진공으로 유지되는 상기 챔버(200) 내에서 사용이 적합한 수직 이송 장치로써, 상기 유기물 증착원(300)의 이동 속도를 조절할 수 있도록 이송 속도 조절 기구(도면 상에는 미도시)를 더 구비할 수 있다. The organic material deposition source transfer device 400 is a device for moving the organic material deposition source 300 in the vertical direction. At this time, the organic material deposition source transfer device 400 is a vertical transfer device suitable for use in the chamber 200 is maintained in a vacuum, the transfer speed adjusting mechanism to adjust the moving speed of the organic material deposition source 300 ( It may be further provided on the drawing).

도면의 참조 부호 M은 상기 기판(S) 상에 증착되는 유기물의 형상을 결정하는 마스크 패턴이다. Reference numeral M in the figure is a mask pattern for determining the shape of the organic material deposited on the substrate S.

도 2a 내지 도 2d는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기물 증착 장치의 유기물 증착원을 설명하기 위한 도면으로써, 도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기물 증착 장치의 유기물 저장부, 노즐부 및 가열 히터부에 한정하여 도시한 것이며, 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기물 증착 장치의 하우징에 한정하여 도시한 것이며, 도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기물 증착 장치의 냉각 장치에 한정하여 도시한 것이며, 도 2d는 도 2c의 A-A 라인에 따른 단면도이다. 2a to 2d are views for explaining an organic material deposition source of the organic material deposition apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2a is an organic material storage unit, a nozzle unit and the organic material deposition apparatus according to an embodiment of the present invention 2B is a diagram illustrating the housing of the organic material deposition apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2C is a cooling device of the organic material deposition apparatus according to an embodiment of the present invention. 2D is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 2C.

도 2a 내지 도 2d를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기물 증착 장치(100)의 상기 유기물 증착원(300)은 유기물을 저장하며 일부분이 개구된 유기물 저장부(310)와, 상기 유기물 저장부(310)의 개구된 부분과 연결되어 유기물을 분사하는 노즐부(320)와, 상기 유기물 저장부(310)를 감싸는 형태의 하우징(330)과, 상기 유기물 저장부(310)와 상기 하우징(330) 사이에 개재되는 가열 히터부(340)를 구비하는 구조로 이루어진다. 2A to 2D, the organic material deposition source 300 of the organic material deposition apparatus 100 according to an exemplary embodiment of the present invention stores an organic material, and an organic material storage part 310 in which a portion thereof is opened, and the organic material. A nozzle unit 320 connected to the opened portion of the storage unit 310 to inject the organic material, a housing 330 that surrounds the organic storage unit 310, the organic storage unit 310 and the housing It has a structure having a heating heater 340 interposed between the 330.

상기 유기물 저장부(310)는 상기 기판(S) 상에 증착하고자 하는 유기 박막의 원재료인 유기물을 저장하는 부분으로 일반적으로 도가니로 이루어진다. 또한, 상기 유기물 저장부(310)는 열전도도가 우수한 흑연(graphite) 또는 이의 등가물로 이루어질 수 있으나, 본 발명에서 그 재질을 한정하는 것은 아니다. The organic storage unit 310 is a portion for storing an organic material, which is a raw material of an organic thin film to be deposited on the substrate S, and is generally made of a crucible. In addition, the organic material storage unit 310 may be made of graphite (graphite) or an equivalent thereof having excellent thermal conductivity, but the material is not limited thereto.

상기 노즐부(320)는 상기 유기물 저장부(310)에서 증발되는 유기물 입자를 대략 수직으로 세원진 기판(S) 상으로 분사하며, 상기 유기물 입자가 상기 기판(S) 상에 증착, 분포되는 형태를 결정하는 역할을 수행한다. 이때, 상기 노즐부(320)는 상기 유기물 저장부(310)에서 증발되는 유기물 입자를 상기 기판(S) 상으로 분사하는 유기물 분사 노즐(321)과, 상기 유기물 저장부(310)에서 유기물 입자로 증발되지 않고, 클러스터(cluster) 형태의 유기물이 튀는 것을 방지하는 튐 방지막(325)이 일체화된 형태로 이루어진다. 또한, 상기 노즐부(320)는 열전도도가 우수한 흑연(graphite) 또는 이의 등가물로 이루어질 수 있으나, 본 발명에서 그 재질을 한정하는 것은 아니다. 또한, 상기 노즐부(320)는 개구된 형태에 따라 유기물 입자가 분사되는 형태가 조절 가능하므로, 상기 유기물 저장부(310) 내의 유기물의 균일한 증발이 가능하도록 제어할 수 있다. The nozzle unit 320 sprays the organic particles evaporated from the organic storage unit 310 onto the three-dimensional substrate S approximately vertically, and the organic particles are deposited and distributed on the substrate S. Serves to determine. In this case, the nozzle unit 320 is an organic material spray nozzle 321 for spraying the organic material particles evaporated from the organic storage unit 310 onto the substrate (S), and the organic material particles in the organic storage unit 310. It does not evaporate, and the splash prevention film 325 which prevents the organic substance of a cluster form splashing is formed in the integrated form. In addition, the nozzle unit 320 may be made of graphite (graphite) or an equivalent thereof having excellent thermal conductivity, but the material is not limited thereto. In addition, the nozzle unit 320 may be controlled to enable uniform evaporation of the organic material in the organic material storage part 310 because the shape in which the organic material particles are injected may be adjusted according to the opened shape.

상기 하우징(housing, 330)은 상기 유기물 저장부(310)를 감싸는 형태로 이루어져, 상기 유기물 저장부(310)를 외부 환경과 격리하는 역할을 수행한다. The housing 330 is formed to surround the organic storage 310, and serves to isolate the organic storage 310 from an external environment.

상기 가열 히터부(340)는 상기 유기물 저장부(310)와 상기 하우징(330) 사이에 개재되어 상기 유기물 저장부(310)의 유기물을 증발이 가능하도록 가열하는 역할을 수행한다. 이때, 상기 가열 히터부(340)는 상기 유기물의 증발이 가능하도록 하는 열원인 열선(341)과, 일종의 리브(Rib)와 같은 형태로 이루어지며 상기 열선(341)의 처짐을 방지하고 수용하는 열선 지지체(345)로 이루어진다. 다시 말해, 상기 가열 히터부(340)는 열선(341)과 열선 지지체(345)로 이루어지는 일종의 히터 터널(heater tunnel) 구조로 이루어지며, 상기 히터 터널(heater tunnel)이 상기 유기물 저장부(310)를 감싸는 형태로 이루어진다. 따라서, 상기 가열 히터부(340)는 상기 유기물 증착원(300)에서 여타의 구성 요소, 특히 상기 유기물 저장부(310)와 일체화되거나 또는 여타의 구성 요소에 부착되는 형태로 이루어지는 것이 아니므로, 독립적으로 분리 및 교체가 가능하다. The heating heater 340 is interposed between the organic material storage 310 and the housing 330 serves to heat the organic material of the organic material storage 310 to enable evaporation. At this time, the heating heater 340 is formed in the form of a heating wire 341, which is a heat source to enable the evaporation of the organic material, and a kind of rib (Rib), the heating wire to prevent and accommodate the sagging of the heating wire (341). It consists of a support 345. In other words, the heating heater 340 has a kind of heater tunnel structure consisting of a heating wire 341 and a heating wire supporter 345, and the heater tunnel is the organic material storage part 310. It is made in the form of wrapping. Therefore, the heating heater 340 is not formed in the organic material deposition source 300 in the form of being integrated with other components, in particular the organic storage unit 310 or attached to other components, Can be removed and replaced.

또한, 상기 유기물 증착원(300)은 상기 하우징(330)의 내벽에 부착되는 내부 열 반사판(350)을 더 구비할 수도 있다. 상기 내부 열 반사판(350)은 상기 가열 히터부(340)에서 발생되는 열을 반사하여, 상기 가열 히터부(340)의 열 효율을 증가시키기 위한 것이다. In addition, the organic material deposition source 300 may further include an internal heat reflecting plate 350 attached to the inner wall of the housing 330. The internal heat reflecting plate 350 reflects the heat generated by the heating heater 340 to increase the thermal efficiency of the heating heater 340.

또한, 상기 유기물 증착원(300)은 상기 노즐부(320)의 기판(S) 방향에 외부면에 부착되는 열차단 수단(360)을 더 구비할 수 있다. 상기 열차단 수단(360)은 상기 노즐부(320)를 통하여 열이 방출되어 상기 기판(S)에 영향을 미치는 것을 방지한다. In addition, the organic material deposition source 300 may further include a heat shield means 360 attached to the outer surface in the direction of the substrate (S) of the nozzle unit 320. The heat blocking means 360 prevents heat from being emitted through the nozzle part 320 and affects the substrate S.

또한, 상기 유기물 증착원(300)은 상기 하우징(330)의 외벽에 설치되는 냉각 장치(370)를 더 구비할 수도 있다. 상기 냉각 장치(370)는 상기 가열 히터부(340)에서 발생된 열이 상기 하우징(330)을 통하여 외부로 방출되는 것을 방지한다. In addition, the organic material deposition source 300 may further include a cooling device 370 installed on the outer wall of the housing 330. The cooling device 370 prevents heat generated from the heating heater 340 from being discharged to the outside through the housing 330.

한편, 상기 유기물 증착원(300)은 도면상에는 도시하지 않았으나, 상기 기판(S) 상에 증착되는 유기물의 증착률 및 유기물의 증착 두께를 측정하는 역할을 수행하는 측정 장치를 더 구비할 수도 있다. On the other hand, although the organic material deposition source 300 is not shown in the figure, it may further include a measuring device for measuring the deposition rate and the deposition thickness of the organic material deposited on the substrate (S).

상기한 바와 같은 상기 유기물 증착 장치(100)는 상기 유기물 저장부(310)가 히터 터널(heater tunnel) 구조인 상기 가열 히터부(340)에 개재되고, 상기 유기물 저장부(310)의 개구된 부분에 노즐부(320)가 삽입되며, 상기 가열 히터부(340)가 상기 하우징(330)에 삽입되는 구조로 이루어져, 상기 유기물 저장부(310), 노즐부(320) 및 가열 히터부(340)의 분해 조립이 용이한 구조로 이루어져 있다. The organic material deposition apparatus 100 as described above is the organic material storage unit 310 is interposed in the heating heater unit 340 having a heater tunnel (heater tunnel) structure, the open portion of the organic material storage unit 310 The nozzle unit 320 is inserted into the structure, and the heating heater 340 is inserted into the housing 330, and the organic material storage unit 310, the nozzle unit 320 and the heating heater unit 340. It is easy to disassemble and assemble.

한편, 상기한 바와 같은 유기물 증착 장치(100)를 이용하는 유기 박막의 형성 방법은 하기와 같다. On the other hand, the method for forming an organic thin film using the organic material deposition apparatus 100 as described above is as follows.

우선, 상기 유기물 증착 장치(100)의 챔버(200) 내에 기판(S)을 지면에 대략 수직, 바람직하게는 지면과 70° 내지 110°각도를 유지하도록 장착한다. First, the substrate S is mounted in the chamber 200 of the organic material deposition apparatus 100 so as to be approximately perpendicular to the ground, preferably 70 ° to 110 ° with the ground.

그런 다음, 상기 유기물 증착원(300)의 상기 기판(S) 상에 증착하고자 하는 유기물을 수용하고 있는 유기물 저장부(310)를 상기 가열 히터부(340)를 통하여 가 열한다. 이때, 상기 가열 히터부(340)를 통하여 상기 유기물 저장부(310)에 저장되어 있는 유기물이 가열되어 유기물 입자 상태로 증발된다. Thereafter, the organic material storage unit 310 containing the organic material to be deposited on the substrate S of the organic material deposition source 300 is heated through the heating heater 340. At this time, the organic matter stored in the organic matter storage unit 310 is heated through the heating heater 340 is evaporated to the state of the organic matter particles.

상기 증발된 유기물 입자는 상기 노즐부(320)로 유입되고, 상기 노즐부(320)를 통하여 분사되어 상기 기판(S) 상에 증착된다. 이때, 상기 기판(S) 상에 증착되는 유기물 입자는 상기 마스크 패턴(M)에 의하여 그 증착 형상이 결정된다. The evaporated organic particles flow into the nozzle unit 320, are sprayed through the nozzle unit 320, and are deposited on the substrate S. In this case, the deposition shape of the organic particles deposited on the substrate (S) is determined by the mask pattern (M).

이때, 상기 이송 장치(400)를 통하여 상기 유기물 증착원(300)을 이송시키며, 상기 기판(S) 상에 유기물을 증착하여, 보다 균일한 유기물의 증착을 수행할 수 있다. In this case, the organic material deposition source 300 may be transferred through the transfer device 400, and the organic material may be deposited on the substrate S to perform more uniform deposition of the organic material.

한편, 상기 노즐부(320)는 유기물 분사 노즐(321)과 튐 방지막(325)이 일체화되어 있으므로, 상기 유기물 저장부(310)에서 유기물 입자로 증발되지 않고, 클러스터 형태의 유기물이 튀는 것을 방지할 수 있다. On the other hand, the nozzle unit 320 is because the organic spray nozzle 321 and the anti-fogging film 325 is integrated, it is possible to prevent the organic material in the form of clusters to be splashed without evaporating to the organic particles in the organic storage unit 310. Can be.

또한, 상기 노즐부(320)가 흑연(graphite)과 같은 열전도도가 우수한 물질로 이루어져 있어, 별도의 가열 장치를 설치하지 않더라도 상기 노즐부(320)를 통하여 분사되는 유기물 입자의 응축을 방지할 수 있다. In addition, since the nozzle unit 320 is made of a material having excellent thermal conductivity such as graphite, it is possible to prevent condensation of organic particles sprayed through the nozzle unit 320 even without a separate heating device. have.

또한, 상기 유기물 입자가 상기 기판(S) 상으로 증착시에 상기 유기물 분사 노즐부(320) 유기물 분사 노즐(321)의 개구된 형태에 따라 상기 기판(S) 상에 증착되는 유기물 입자의 형태가 조절된다. In addition, when the organic particles are deposited onto the substrate S, the shape of the organic particles deposited on the substrate S may depend on the shape of the organic spray nozzle 320 and the organic spray nozzle 321. Adjusted.

한편, 유기물 증착원은 측정 장치(도면 상에는 미도시)를 더 구비함으로써, 상기 유기물을 상기 기판(S) 상에 증착하는 동안, 상기 기판(S) 상에 증착되는 유기물의 증착률 및 유기물의 증착 두께를 측정할 수 있다. 따라서, 상기 측정 장치 (380)를 이용하여, 유기 박막을 형성하는 동안 유기물 입자의 증착률 및 유기물 증착 두께를 제어함으로써, 균일한 유기 박막의 두께의 재현성을 실현할 수 있다. On the other hand, the organic material deposition source further comprises a measuring device (not shown in the drawing), while the deposition rate of the organic material deposited on the substrate (S) and the deposition of the organic material while the organic material is deposited on the substrate (S) The thickness can be measured. Therefore, by using the measuring device 380, by controlling the deposition rate and the organic deposition thickness of the organic particles during the formation of the organic thin film, it is possible to realize the reproducibility of the uniform thickness of the organic thin film.

상기한 바와 같이 본 발명에 따르면, 본 발명은 독립 분리 가능한 가열 히터부와, 튐 방지막과 일체화된 노즐부을 구비하는 유기물 증착 장치를 제공할 수 있다. According to the present invention as described above, the present invention can provide an organic vapor deposition apparatus having a heater heater that can be separated independently, and a nozzle unit integrated with a splash prevention film.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. While the foregoing has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. It will be appreciated.

Claims (11)

몸체를 이루며, 기판을 수직방향으로 지지하는 챔버; 및A chamber that forms a body and supports the substrate in a vertical direction; And 유기물을 저장하며 일측면이 개구된 유기물 저장부와, 상기 유기물 저장부의 개구된 일측면에 결합되는 유기물 분사 노즐 및 상기 유기물 분사 노즐과 일체로 형성되어 상기 유기물 저장부에서 클러스터 형태의 유기물이 상기 유기물 분사 노즐로 튀는 것을 방지하는 튐 방지막을 구비하여 상기 유기물의 입자를 상기 기판 상에 분사하는 노즐부와, 상기 유기물 저장부를 감싸는 형태의 하우징과, 상기 유기물 저장부와 하우징 사이에 개재되는 가열 히터부를 구비하는 적어도 하나의 유기물 증착원;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치.The organic material storage unit which stores the organic material and has one side opened, the organic material spray nozzle coupled to the opened side of the organic material storage part, and the organic material spray nozzle are integrally formed so that the organic material in the form of a cluster is formed in the organic material storage part. A nozzle part for spraying particles of the organic material on the substrate, a housing having a shape surrounding the organic material storage part, and a heating heater part interposed between the organic material storage part and the housing; Organic material deposition apparatus comprising a; at least one organic material deposition source having. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유기물 증착원을 수직 방향으로 이동시킬 수 있는 유기물 증착원 이송 장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치.And an organic material deposition source transfer device capable of moving the organic material deposition source in a vertical direction. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유기물 저장부 및 상기 노즐부 중 적어도 어느 하나는 흑연(graphite)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치.At least one of the organic material storage unit and the nozzle unit is an organic material deposition apparatus, characterized in that made of graphite (graphite). 삭제delete 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가열 히터부는 열원인 열선과;A heating wire that is a heat source; 상기 열선의 처짐을 방지하는 열선 지지체를 구비하는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치.And a hot wire supporter for preventing the hot wire from sagging. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유기물 증착원은 상기 하우징의 내벽에 부착되는 내부 열 반사판을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치. The organic material deposition apparatus further comprises an internal heat reflection plate attached to the inner wall of the housing. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유기물 증착원은 상기 노즐부의 기판 방향 외부면에 부착되는 열차단 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치. The organic material deposition apparatus further comprises a heat shield means attached to the outer surface in the substrate direction of the nozzle unit. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유기물 증착원은 상기 하우징의 외벽에 설치되는 냉각 장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치. The organic material deposition apparatus further comprises a cooling device installed on the outer wall of the housing. 몸체를 이루며, 기판을 수직방향으로 지지하는 챔버와;A chamber that forms a body and supports the substrate in a vertical direction; 유기물을 저장하며 일측면이 개구된 유기물 저장부와, 상기 유기물 저장부의 개구된 일측면에 결합되는 유기물 분사 노즐 및 상기 유기물 분사 노즐과 일체로 형성되어 상기 유기물 저장부에서 클러스터 상태의 유기물이 상기 유기물 분사 노즐로 튀는 것을 방지하는 튐 방지막을 구비하여 상기 유기물의 입자를 상기 기판 상에 분사하는 노즐부와, 상기 유기물 저장부를 감싸는 형태의 하우징과, 상기 유기물 저장부와 하우징 사이에 개재되는 가열 히터부를 구비하는 적어도 하나의 유기물 증착원; 및The organic material storage unit which stores the organic material and has one side opened, the organic material spray nozzle coupled to the opened side of the organic material storage part, and the organic material spray nozzle are integrally formed so that the organic material in the cluster state is formed in the organic material storage part. A nozzle part for spraying particles of the organic material on the substrate, a housing having a shape surrounding the organic material storage part, and a heating heater part interposed between the organic material storage part and the housing; At least one organic material deposition source; And 상기 유기물 증착원을 수직 방향으로 이동시킬 수 있는 유기물 증착원 이송 장치;를 구비하는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치.And an organic material deposition source transfer device capable of moving the organic material deposition source in a vertical direction. 삭제delete 제 9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 가열 히터부는The heating heater unit 열원인 열선과, 상기 열선의 처짐을 방지하는 열선 지지체를 구비하며, 상기 유기물 저장부를 감싸는 형태의 히터 터널(heater tunnel) 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기물 증착 장치. An organic material deposition apparatus comprising a heating wire that is a heat source and a heating wire support to prevent sagging of the heating wire and surrounds the organic material storage.
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