KR100642647B1 - 반도체 제조용 약액 승온장치 및 방법 - Google Patents

반도체 제조용 약액 승온장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 제조용 약액 승온장치 및 방법에 관한 것으로, 본 발명의 제1관점에 따르면, 약액이 내부에 저장되는 약액조; 약액조에 저장된 약액이 순환되도록 약액조에 연결된 약액순환배관; 약액순환배관을 따라 순환되는 약액에 마이크로파를 조사하여 순환되는 약액을 가열하는 제1약액 가열유닛; 약액조 내부에 저장된 약액에 마이크로파를 조사하여 저장된 약액을 가열하는 제2약액 가열유닛; 약액조 내부의 약액 온도를 측정하는 온도감지센서; 및, 온도감지센서가 측정한 약액 온도에 따라 제1약액 가열유닛과 제2약액 가열유닛을 동시에 구동하는 컨트롤러를 포함하는 반도체 제조용 약액 승온장치가 제공된다. 따라서, 본 발명에 따른 반도체 제조용 약액 승온장치 및 방법에 따르면, 약액을 가열할 시 약액조에 저장된 약액과 약액순환배관을 따라 순환하는 약액을 한꺼번에 가열하기 때문에 전체 약액의 온도를 공정에 적합한 온도에까지 빠르고 신속하게 승온시킬 수 있다.
약액, 가열

Description

반도체 제조용 약액 승온장치 및 방법{Apparatus and method for rising temperature chemical liquid for manufacturing semiconductor}
도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조용 약액 승온장치의 일실시예를 도시한 구성도이다.
도 2는 도 1의 A 부분을 확대도시한 도면이다.
도 3은 도 1의 B 부분을 확대도시한 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 반도체 제조용 약액 승온장치의 다른 실시예를 도시한 구성도이다.
도 5는 본 발명에 따른 반도체 제조용 약액 승온방법의 일실시예를 도시한 블럭도이다.
** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 **
100,100' : 반도체 제조용 약액 승온장치
110 : 약액조
130 : 약액순환배관
140 : 펌프
150 : 제1약액 가열유닛
160 : 제2약액 가열유닛
본 발명은 반도체 제조용 약액 승온장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 소자 제조공정에서 사용되는 약액을 가열하는 반도체 제조용 약액 승온장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 순수 실리콘 웨이퍼(Sillicon wafer)는 사진공정, 식각공정, 박막증착공정, 이온주입공정, 금속배선공정 등 일련의 단위공정을 반복적으로 수행함으로써 하나의 완성된 반도체 소자로 제조된다.
이와 같은 공정으로 제조되는 반도체 소자는 최근 패턴(Pattern)의 미세화와 함께 패턴이 고집적화되어감에 따라 공정진행 중에 발생하는 불순 파티클(Particle)이나 각종 오염물에 의한 미세오염으로 제품수율 및 신뢰성에 상당한 영향을 받게 된다.
따라서, 대부분의 단위공정에서는 그 단위공정의 공정진행 전후에 웨이퍼를 별도로 세정해주는 웨이퍼 세정공정을 수행하고 있다.
이와 같은 웨이퍼 세정공정의 하나로, 최근 자주 사용되고 있는 세정공정에는 습식 세정공정이 있다. 즉, 습식 세정공정은 소정 약액이 저장된 약액조(Chemical liquid bath)와 초순수가 저장된 수조 등을 마련한 다음, 다수의 웨이퍼를 한꺼번에 이 조들에 순차적으로 담금으로써 수행되고 있다. 따라서, 웨이퍼는 깨끗하게 세정되기 때문에 작업자는 세정된 상태 그대로의 웨이퍼를 가지고 후속 단위공정을 진행할 수 있는 것이다.
한편, 습식 세정공정에 이용되는 약액의 경우, 온도에 따라 확연히 다른 세정율을 나타낼 수도 있다.
따라서, 습식 세정공정에 이용되는 약액이나 초순수의 경우, 소정 약액 승온장치에 의해 공정에 적합한 온도(예를 들면, 70℃∼163℃)로 가열된 후 사용되고 있다.
한편, 종래 약액 승온장치로는 할로겐 램프(Halogen lamp)등이 구비된 승온관이 사용되고 있다.
즉, 약액조에 저장된 약액은 약액순환배관을 통해 순환하도록 되어 있고, 이 약액순환배관은 다수개의 할로겐 램프가 구비된 승온관을 경유하도록 되어 있다.
따라서, 약액조에 저장된 약액 중 일부는 약액순환배관을 따라 순환되면서 할로겐 램프에 의해 가열된 다음, 다시 약액조로 유입되기 때문에 소정시간 후에는 약액조에 저장된 약액이 모두 공정에 적합한 온도에까지 이르게 되는 것이다.
그러나, 이와 같은 종래 약액 승온장치의 경우, 할로겐 램프를 이용하여 약액을 가열하기 때문에 공정에 적합한 온도에까지 이르는 데에는 많은 시간이 소요되는 문제가 있다.
또한, 종래 약액 승온장치의 경우, 약액조에서 순환되는 약액만을 가열하여 전체 약액의 온도를 승온시키기 때문에 약액조에 저장된 전체 약액의 온도를 공정에 적합한 온도에까지 이르게 하기 위해서는 더욱 많은 시간이 소요되는 문제가 있 다. .
따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로서, 본 발명의 목적은 약액조에 저장된 약액을 신속하게 승온시킬 수 있는 반도체 제조용 약액 승온장치 및 방법을 제공하는데 있다.
이와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 제1관점에 따르면, 약액이 내부에 저장되는 약액조; 약액조에 저장된 약액이 순환되도록 약액조에 연결된 약액순환배관; 약액순환배관을 따라 순환되는 약액에 마이크로파를 조사하여 순환되는 약액을 가열하는 제1약액 가열유닛; 약액조 내부에 저장된 약액에 마이크로파를 조사하여 저장된 약액을 가열하는 제2약액 가열유닛; 약액조 내부의 약액 온도를 측정하는 온도감지센서; 및, 온도감지센서가 측정한 약액 온도에 따라 제1약액 가열유닛과 제2약액 가열유닛을 동시에 구동하는 컨트롤러를 반도체 제조용 약액 승온장치가 제공된다.
삭제
여기서, 상기 제1약액 가열유닛은 케이스와, 케이스의 내부에 개재되며 약액이 경유되도록 양단부가 각각 약액순환배관에 연결된 약액가열배관 및, 약액가열배관을 경유하는 약액이 가열되도록 케이스의 내부로 마이크로파(Microwave)를 발생시키는 마이크로파 발생기를 포함할 수 있다.
이 경우, 상기 약액가열배관은 마이크로파가 투과되는 재질로 형성됨이 바람 직하다. 그리고, 상기 약액가열배관은 다수의 굴절부를 포함하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 케이스의 내벽에는 마이크로파의 외부 누출을 방지하는 차폐막이 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 차폐막은 금속재질로 형성됨이 바람직하다.
한편, 상기 제2약액 가열유닛은 약액조 내부에 저장된 약액이 가열되도록 약액조 내부로 마이크로파를 발생시키는 마이크로파 발생기를 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 마이크로파 발생기는 약액조 외부의 서로 다른 위치에 다수개 마련됨이 바람직하다.
그리고, 상기 온도감지센서는 약액조 내부의 서로 다른 위치에 다수개 마련될 수 있다. 이 경우, 상기 컨트롤러는 온도감지센서들에 의해 측정된 각각의 약액 온도에 따라 마이크로파 발생기들을 선택적으로 구동하거나 동시에 구동할 수 있다. 또한, 상기 약액조의 내벽에는 마이크로파의 외부 누출을 방지하는 차폐막이 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 차폐막은 금속재질로 형성됨이 바람직하다.
한편, 상기와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 제2관점에 따르면, 약액이 내부에 저장되는 약액조와 약액이 순환되도록 약액조에 연결된 약액순환배관을 구비한 약액 승온장치를 마련하는 장치 마련단계; 약액조에 저장된 약액을 약액순환배관을 통해 순환시키는 약액 순환단계; 온도감지센서를 이용하여 약액조 내부의 약액 온도를 측정하는 약액 온도측정단계; 및, 온도감지센서가 측정한 약액 온도에 따라 약액순환배관을 통해 순환되는 약액에 마이크로파를 조사하는 제1약액 가열유닛과 약액조 내부에 저장된 약액에 마이크로파를 조사하는 제2약액 가열유닛을 동시에 구동하여 약액조에 저장된 약액과 약액순환배관을 순환하는 약액을 함께 가열하는 약액 가열단계를 포함하는 반도체 제조용 약액 승온방법이 제공된다.
이때, 상기 제2약액 가열유닛은 약액조 외부의 서로 다른 위치에 마련되어 마이크로파를 발생시키는 다수개의 마이크로파 발생기를 구비할 수 있다. 이 경우, 상기 약액 가열단계는 마이크로파 발생기들을 선택적으로 구동하거나 동시에 구동하여 약액조 내부에 저장된 약액을 가열하는 것을 포함할 수 있다.
그리고, 상기 온도감지센서는 약액조 내부의 서로 다른 위치에 다수개 마련될 수 있다. 이 경우, 상기 약액 가열단계는 온도감지센서들에 의해 측정된 각각의 약액 온도에 따라 마이크로파 발생기들을 선택적으로 구동하거나 동시에 구동하여 약액조 내부에 저장된 약액을 가열하는 것을 포함할 수 있다.
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이하, 도면을 참조하여 본 발명 반도체 제조용 약액 승온장치 및 방법의 실시예를 구체적으로 설명하면 다음과 같다.(여기서, 상세한 설명 전체에 걸쳐서 동일한 번호는 동일한 부재를 지칭한 것이고, 반복되는 설명은 생략하기로 한다.)
도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조용 약액 승온장치의 일실시예를 도시한 구성도이고, 도 2는 도 1의 A 부분을 확대도시한 도면이며, 도 3은 도 1의 B 부분 을 확대도시한 도면이다. 그리고, 도 4는 본 발명에 따른 반도체 제조용 약액 승온장치의 다른 실시예를 도시한 구성도이고, 도 5는 본 발명에 따른 반도체 제조용 약액 승온방법의 일실시예를 도시한 블럭도이다.
먼저, 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명에 따른 반도체 제조용 약액 승온장치(100)의 일실시예를 설명하면, 약액 승온장치(100)는 약액조(110), 약액조(110)에 연결된 약액순환배관(130) 및, 약액조(110)의 약액과 약액순환배관(130)의 약액을 함께 가열하는 약액 가열유닛을 포함한다.
보다 구체적으로 설명하면, 약액조(110)의 내부에는 소정 약액이나 초순수 등(이하, '약액(90)'으로 총칭하기로 한다.)이 저장되도록 소정 저장공간이 마련된다. 그리고, 약액조(110)의 상부에는 약액조(110)를 개폐하는 커버(Cover,120)가 마련될 수 있다. 이때, 이 커버(120)는 약액 가열유닛에 의하여 약액조(110)의 약액(110)이 가열될 경우에만, 약액조(110)의 상부를 선택적으로 밀폐함이 바람직하다.
약액순환배관(130)은 약액조(110)에 저장된 약액(90)이 순환되도록 하는 역할을 한다. 따라서, 약액순환배관(130)의 양단부는 모두 약액조(110)에 연결됨이 바람직하다. 일실시예로, 약액순환배관(130)의 일측단부는 약액조(110)의 하부에 연결될 수 있고, 약액순환배관(130)의 타측단부는 약액조(110)의 상부에 연결될 수 있다. 한편, 약액순환배관(130)에는 약액(90)의 순환을 용이하게 하기 위한 펌프(Pump,140)가 설치될 수 있다. 이 경우, 약액조(110)의 약액(90)은 약액순환배관(130)을 따라 용이하게 순환된다.
약액 가열유닛은 약액순환배관(130)을 따라 순환되는 약액(90)을 가열하는 제1약액 가열유닛(150)과, 약액조(110) 내부에 저장된 약액(90)을 가열하는 제2약액 가열유닛(160)과, 약액조(110) 내부의 약액 온도를 측정하는 온도감지센서(171) 및, 온도감지센서(171)가 측정한 약액 온도에 따라 제1약액 가열유닛(150)과 제2약액 가열유닛(160)을 구동하는 컨트롤러(180)를 포함한다.
구체적으로, 제1약액 가열유닛(150)은 케이스(151)와, 케이스(151) 내부에 개재되며 약액순환배관(130)에 그 양단부가 각각 연결된 약액가열배관(155) 및, 약액(90)이 가열되도록 케이스(151) 내부로 마이크로파를 발생시키는 마이크로파 발생기(152)로 구성된다.
따라서, 약액순환배관(130)을 따라 순환되는 약액(90)은 약액순환배관(130)에 연결된 약액가열배관(155)을 경유하게 된다. 그런데, 이 약액가열배관(155)은 전술한 바와 같이 마이크로파가 발생되는 케이스(151)의 내부에 개재되어 있다. 그러므로, 약액가열배관(155)을 경유하는 약액(90)에는 마이크로파 발생기(152)에서 발생하는 마이크로파가 전달된다. 이에 따라 약액(90)의 분자들은 마이크로파의 특성에 따라 1초당 약 수십억회 (+)와 (-)로 상호 교번되면서 대전된다. 따라서, 약액(90)은 이 (+)와 (-)로 상호 교번되면서 대전되는 도중 발생되는 약액 분자들의 마찰열에 의해서 가열되어 소정온도로 승온되는 것이다.
여기서, 케이스(151)의 내벽에는 마이크로파의 외부 누출을 방지하는 차폐막(154)이 형성된다. 이때, 차폐막(154)은 금속재질임이 바람직하다. 그리고, 약액가열배관(155)은 마이크로파가 투과되는 재질로 형성된다. 예를 들면, 약액가열배관 (155)은 석영 등으로 형성됨이 바람직하다. 또한, 약액가열배관(155)은 다수의 굴절부(156)를 포함할 수 있다. 이 경우, 케이스(151) 내 개재되는 약액가열배관(155)의 길이는 더욱 길어질 수 있다. 따라서, 약액가열배관(155)을 경유하는 약액(90)의 총 양(量) 즉, 마이크로파가 전달되는 약액(90)의 총 양은 약액가열배관(155)의 길이만큼 더 늘어나게 된다. 이에 따라, 제1약액 가열유닛(150)은 더욱 많은 양의 약액(90)을 가열할 수 있는 것이다.
제2약액 가열유닛(160)은 약액조(110) 내부에 저장된 약액(90)이 가열되도록 약액조(110) 내부로 마이크로파를 발생시키는 마이크로파 발생기(161)로 구현된다. 이때, 마이크로파 발생기(161)는 약액조(110)의 일측에 설치될 수 있다. 따라서, 약액조(110) 내부에 저장된 약액(90)은 이 마이크로파 발생기(161)에서 발생하는 마이크로파에 의해 가열되어 소정온도로 승온되는 것이다. 여기서, 제2약액 가열유닛(160)이 마이크로파 발생기(161)로 구현될 경우, 커버(120)를 포함한 약액조(110)의 내벽에는 마이크로파의 외부 누출을 방지하는 차폐막(115)이 형성될 수 있다. 이 경우, 차폐막(115)은 금속재질로 형성됨이 바람직하다.
한편, 본 발명에 따른 반도체 제조용 약액 승온장치(100')는 도 4에 도시한 바와 같이, 다른 실시예로도 구현될 수 있다. 이때, 본 발명에 따른 다른 실시예의 반도체 제조용 약액 승온장치(100')가 일실시예의 반도체 제조용 약액 승온장치(100)와 다른 점은 약액(90)을 가열하는 약액 가열유닛이다. 따라서, 이하에서는 일실시예의 반도체 제조용 약액 승온장치(100)와 다른 부분인 약액 가열유닛만을 구체적으로 설명하기로 한다.
즉, 본 발명의 다른 실시예인 반도체 제조용 약액 승온장치(100')의 약액 가열유닛은 약액순환배관(130)을 따라 순환되는 약액(90)을 가열하는 제1약액 가열유닛(150), 약액조(110) 내부에 저장된 약액(90)을 여러 위치에서 가열하는 제2약액 가열유닛(160), 약액조(110) 내부의 여러 위치에서 약액 온도를 측정하는 온도감지센서(170) 및, 온도감지센서(170)가 측정한 약액 온도에 따라 제1약액 가열유닛(150)과 제2약액 가열유닛(160)을 구동하는 컨트롤러(180)를 포함한다.
구체적으로, 제1약액 가열유닛(150)은 일실시예에서 설명한 제1약액 가열유닛(150)과 동일하게 구성된다.
그리고, 제2약액 가열유닛(160)은 약액조(110) 내부로 마이크로파를 발생하는 다수개의 마이크로파 발생기(162,163,164)로 구성된다. 이때, 각 마이크로파 발생기(162,163,164)는 약액조(110) 내부에 저장된 약액(90)을 여러 위치에서 가열하도록 약액조(110) 외부의 서로 다른 위치에 설치될 수 있다. 예를 들면, 마이크로파 발생기(162,163,164)는 3개로 구성되어, 약액조(110)의 상부와, 약액조(110)의 하부 및, 약액조(110)의 밑면부 등에 각각 설치될 수 있다.
또한, 온도감지센서(170)는 약액조(110) 내부의 여러 위치에서 약액(90)의 온도를 측정하도록 다수개의 온도감지센서들(172,173,174)로 구성된다. 이때, 각 온도감지센서(172,173,174)는 약액조(110) 내부에 저장된 약액(90)의 온도를 여러 위치에서 측정하도록 약액조(110) 내부의 서로 다른 위치에 설치될 수 있다. 바람직하게, 온도감지센서(172,173,174)는 마이크로파 발생기(162,163,164)에 일대일 대응될 수 있는 갯수로 구비되어, 각 마이크로파 발생기(162,163,164)의 인접한 위치에 설치됨이 바람직하다. 예를 들면, 온도감지센서(172,173,174)는 마이크로파 발생기(162,163,164)의 갯수와 동일한 3개로 구성되어, 각각의 마이크로파 발생기(162,163,164)가 설치된 약액조(110)의 상부와, 약액조(110)의 하부 및 약액조(110)의 밑면부 등에 설치될 수 있다.
한편, 컨트롤러(180)는 제1ㆍ제2약액 가열유닛(150,160)과 온도감지센서(170)에 각각 연결되어, 온도감지센서(170)가 측정한 약액 온도에 따라 제1약액 가열유닛(150)과 제2약액 가열유닛(160)을 구동하는 역할을 한다. 특히, 제2약액 가열유닛(160)의 각 마이크로파 발생기들(162,163,164)의 인접한 위치에는 각 온도감지센서들(172,173,174)이 설치되기 때문에, 컨트롤러(180)는 각 온도감지센서들(172,173,174)에 의해 측정된 각각의 약액 온도에 따라 각 마이크로파 발생기들(162,163,164)을 선택적으로 구동하는 역할을 한다. 따라서, 약액조(110) 내부의 약액 온도는 전체적으로 균일하게 가열될 수 있는 것이다.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 반도체 제조용 약액 승온장치(100,100')를 이용한 약액 승온방법을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
먼저, 약액(90)이 내부에 저장되는 약액조(110)와, 약액(90)이 순환되도록 약액조(110)에 연결된 약액순환배관(130) 및, 약액(90)을 가열하는 약액 가열유닛을 포함하는 반도체 제조용 약액 승온장치(100,100')가 마련되면(S10), 작업자는 약액 가열유닛을 이용하여 약액조(110)에 저장된 약액(90)과 약액순환배관(130)을 순환하는 약액(90)을 가열하게 된다(S30).
이때, 작업자는 약액조(110)에 저장된 약액(90)과 약액순환배관(130)을 순환하는 약액(90)을 동시에 가열할 수 있다.
한편, 전술한 약액 가열유닛은 약액순환배관(130)을 따라 순환되는 약액(90)을 가열하는 제1약액 가열유닛(150)과, 약액조(110) 내부에 저장된 약액(90)을 가열하는 제2약액 가열유닛(160)과, 약액조(110) 내부의 약액 온도를 측정하는 온도감지센서(171) 및, 온도감지센서(171)가 측정한 약액 온도에 따라 제1약액 가열유닛(150)과 제2약액 가열유닛(160)을 구동하는 컨트롤러(180)를 포함할 수 있는데, 이때의 제1약액 가열유닛(150)과 제2약액 가열유닛(160)은 각각 적어도 하나의 마이크로파 발생기(152,161)를 포함할 수 있다.
따라서, 작업자는 이와 같은 마이크로파 발생기들(152,161)을 이용하여, 순환되는 약액(90)과, 약액조(110)에 저장된 약액(90)에 각각 마이크로파를 발생시킴으로 이 약액들(90)을 가열할 수 있는 것이다.
또한, 제2약액 가열유닛(160)은 약액조(110) 외부의 서로 다른 위치에 설치된 다수개의 마이크로파 발생기들(162,163,164)로 구성될 수 있고, 온도감지센서(170)는 약액조(110) 내부의 서로 다른 위치에 설치된 다수개의 온도감지센서들(172,173,174)로 구성될 수 있다. 이 경우, 작업자는 컨트롤러(180)를 이용하여 이와 같은 마이크로파 발생기들(162,163,164)을 함께 구동시킬 수도 있고, 각 온도감지센서들(172,173,174)에 의해 측정된 각각의 약액 온도에 따라 각각의 마이크로파 발생기들(162,163,164)을 선택적으로 구동할 수 도 있다. 따라서, 약액조(110) 내 부의 전체 약액(90)은 매우 빠르면서도 매우 균일한 온도로 가열될 수 있는 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 제조용 약액 승온장치 및 방법에 따르면, 약액을 가열할 시 약액조에 저장된 약액과 약액순환배관을 따라 순환하는 약액을 한꺼번에 가열하기 때문에 전체 약액의 온도를 공정에 적합한 온도에까지 빠르고 신속하게 승온시킬 수 있는 효과가 있다.
특히, 본 발명에 따른 반도체 제조용 약액 승온장치 및 방법에 따르면, 마이크로파 발생기에서 발생되는 마이크로파를 이용하여 약액을 가열하기 때문에 매우 신속하게 공정에 적합한 온도에까지 승온시킬 수 있는 효과가 있다. 따라서, 본 발명에 따르면, 승온 과정에 대한 시간을 단축할 수 있으므로, 약액조의 전체 약액을 새로 교체하여 다시 사용하기 까지의 시간을 절약할 수 있는 효과가 있다.
이상, 본 발명은 도시된 실시예를 참고로 설명하였으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 범위는 첨부된 특허청구의 범위와 이와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

Claims (20)

  1. 약액이 내부에 저장되는 약액조;
    상기 약액조에 저장된 약액이 순환되도록 상기 약액조에 연결된 약액순환배관;
    상기 약액순환배관을 따라 순환되는 약액에 마이크로파를 조사하여 상기 순환되는 약액을 가열하는 제1약액 가열유닛;
    상기 약액조 내부에 저장된 약액에 마이크로파를 조사하여 상기 저장된 약액을 가열하는 제2약액 가열유닛;
    상기 약액조 내부의 약액 온도를 측정하는 온도감지센서; 및,
    상기 온도감지센서가 측정한 약액 온도에 따라 상기 제1약액 가열유닛과 상기 제2약액 가열유닛을 동시에 구동하는 컨트롤러를 포함하는 반도체 제조용 약액 승온장치.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서, 상기 제1약액 가열유닛은
    케이스와, 상기 케이스 내부에 개재되며 약액이 경유되도록 양단부가 각각 상기 약액순환배관에 연결된 약액가열배관 및, 상기 약액가열배관을 경유하는 약액이 가열되도록 상기 케이스 내부로 마이크로파를 발생시키는 마이크로파 발생기를 포함한 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 약액 승온장치.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 약액가열배관은 상기 마이크로파가 투과되는 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 약액 승온장치.
  5. 제 3항에 있어서, 상기 약액가열배관은 다수의 굴절부를 포함한 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 약액 승온장치.
  6. 제 3항에 있어서, 상기 케이스의 내벽에는 상기 마이크로파의 외부 누출을 방지하는 차폐막이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 약액 승온장치.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 차폐막은 금속재질로 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 약액 승온장치.
  8. 제 1항에 있어서, 상기 제2약액 가열유닛은
    상기 약액조 내부에 저장된 약액이 가열되도록 상기 약액조 내부로 마이크로파를 발생시키는 마이크로파 발생기를 포함한 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 약액 승온장치.
  9. 제 8항에 있어서, 상기 마이크로파 발생기는 상기 약액조 외부의 서로 다른 위치에 다수개 마련된 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 약액 승온장치.
  10. 제 9항에 있어서, 상기 온도감지센서는 상기 약액조 내부의 서로 다른 위치에 다수개 마련된 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 약액 승온장치.
  11. 제 10항에 있어서, 상기 컨트롤러는 상기 온도감지센서들에 의해 측정된 각각의 약액 온도에 따라 상기 마이크로파 발생기들을 선택적으로 구동하거나 동시에 구동하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 약액 승온장치.
  12. 제 8항에 있어서, 상기 약액조의 내벽에는 상기 마이크로파의 외부 누출을 방지하는 차폐막이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 약액 승온장치.
  13. 제 12항에 있어서, 상기 차폐막은 금속재질로 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 약액 승온장치.
  14. 약액이 내부에 저장되는 약액조와 상기 약액이 순환되도록 상기 약액조에 연결된 약액순환배관을 구비한 약액 승온장치를 마련하는 장치 마련단계;
    상기 약액조에 저장된 약액을 상기 약액순환배관을 통해 순환시키는 약액 순환단계;
    온도감지센서를 이용하여 상기 약액조 내부의 약액 온도를 측정하는 약액 온도측정단계; 및,
    상기 온도감지센서가 측정한 약액 온도에 따라 상기 약액순환배관을 통해 순환되는 약액에 마이크로파를 조사하는 제1약액 가열유닛과 상기 약액조 내부에 저장된 약액에 마이크로파를 조사하는 제2약액 가열유닛을 동시에 구동하여 상기 약액조에 저장된 약액과 상기 약액순환배관을 순환하는 약액을 함께 가열하는 약액 가열단계를 포함하는 반도체 제조용 약액 승온방법.
  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 삭제
  18. 삭제
  19. 제 14항에 있어서, 상기 제2약액 가열유닛은 상기 약액조 외부의 서로 다른 위치에 마련되어 상기 마이크로파를 발생시키는 다수개의 마이크로파 발생기를 구비하고,
    상기 약액 가열단계는 상기 마이크로파 발생기들을 선택적으로 구동하거나 동시에 구동하여 상기 약액조 내부에 저장된 약액을 가열하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 약액 승온방법.
  20. 제 19항에 있어서, 상기 온도감지센서는 상기 약액조 내부의 서로 다른 위치에 다수개 마련되고,
    상기 약액 가열단계는 상기 온도감지센서들에 의해 측정된 각각의 약액 온도에 따라 상기 마이크로파 발생기들을 선택적으로 구동하거나 동시에 구동하여 상기 약액조 내부에 저장된 약액을 가열하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 약액 승온방법.
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