KR100609603B1 - 엑스레이 및 비주얼검사가 통합된 인쇄회로기판 검사장치 - Google Patents
엑스레이 및 비주얼검사가 통합된 인쇄회로기판 검사장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
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- 피검사물체를 그 상부에 안착시킴과 아울러 소정의 위치로 이송시키는 이송장치;상기 이송장치의 하부에 설치되어 피검사물체에 엑스선을 출사하는 광발생수단;상기 광발생수단의 맞은편 쪽에 설치되어 상기 피검사물체를 투과한 엑스선을 가시광으로 변환 증폭시키는 광증폭수단;상기 피검사물체를 광학적으로 조명하여 화상을 생성하는 광학유닛;상기 광증폭수단을 통해 증폭된 엑스레이이미지 및 광학유닛에 의한 화상을 받아들여 정보를 획득하는 하나의 카메라를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스레이 및 비주얼검사가 통합된 회로기판 검사장치.
- 제 1항에 있어서,상기 광증폭수단 및 상기 광발생수단은 상기 카메라의 하부에 수직으로 배치되며;상기 광학유닛은 상기 광증폭수단의 측면에 나란하게 배치되며;상기 광발생수단 및 카메라 사이의 광축상에는 하프미러가 소정의 각도로 마련되고;상기 광학유닛의 출사광축상에는 상기 하프미러가 배치된 수평방향으로 동일 선상을 이루는 위치에 반사미러가 마련된 것을 특징으로 하는 엑스레이 및 비주얼검사가 통합된 회로기판 검사장치.
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- 제 1항에 있어서,상기 카메라는 CCD카메라인 것을 특징으로 하는 엑스레이 및 비주얼검사가 통합된 회로기판 검사장치.
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KR20010088425A (ko) * | 2000-03-07 | 2001-09-26 | 도오야마 시게오 | 시료 표면의 관찰 기구를 갖는 x-선 분석 장치 |
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