KR100604761B1 - 웨이퍼 세정 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 세정 시스템에 관한 것으로, 세정 시스템에서 웨이퍼의 손상을 방지하기 위하여, 웨이퍼의 로딩 및 언로딩시 카세트, 이송로봇의 로봇암 및 푸셔의 정렬도를 향상시킬 수 있도록 푸셔 조정장치를 형성하여 웨이퍼의 손실을 방지하고 그에 다른 반도체소자의 수율을 향상시킬 수 있도록 하는 기술이다.

Description

웨이퍼 세정 시스템{Cleaning system of wafers}

도 1 은 종래기술에 따른 웨이퍼 세정 시스템을 도시한 단면도.

도 2 는 상기 도 1 에 사용되는 푸셔를 도시한 단면도.

도 3 은 본 발명에 따라 형성된 웨이퍼 세정 시스템을 도시한 단면도.

도 4 는 상기 도 3 에 형성된 푸셔 조정장치를 도시한 평면도.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

11,31 : 카세트 13,33 : 분리위치

14,47 : 푸셔 15,35 : 세정수조

17,37 : 건조기 19,39 : 슬롯

21,41 : 이송로봇 23,43 : 웨이퍼

24,45 : 로봇암 49 : 푸셔 조정장치

51 : 사각형틀 53 : 푸셔 이동판

55 : 안내핀 57 : 볼

59 : 압축코일스프링 61 : 제1조정 스크루

63 : 제2조정 스크루 65 : 나사홀

100,400 : 로딩부 200,500 : 세정수조부

300,600 : 언로딩부

본 발명은 웨이퍼 세정 시스템에 관한 것으로, 웨이퍼가 탑재된 카세트와 분리된 웨이퍼가 세정조에서 세정된 후 다시 카세트에 삽입될 때 웨이퍼를 지지하는 푸셔를 조정하여 웨이퍼를 잡고있는 로봇암과 카세트의 정렬이 가능해지도록 하는 세정 시스템에 관한 것이다.

도 1 및 도 2 는 종래기술에 따른 웨이퍼 세정 시스템을 도시한 단면도이다. 여기서, 상기 도 2 는 상기 도 1 의 푸셔 장치를 도시한 것이다.

도 1을 참조하면, 상기 웨이퍼 세정 시스템은 로딩부(100), 세정수조부(200) 및 언로딩부(300)로 구비된다.

상기 로딩부(100)는 웨이퍼(23)가 탑재되어 있는 카세트(11)를 웨이퍼 분리 위치(13)로 이동시키고, 세정수조부(200)로 상기 웨이퍼(23)를 이동시키기 위하여 상기 카세트(11)로부터 상기 웨이퍼(23)를 분리시키는 부분으로서, 상기 카세트(11)의 하측에 결합된 형태로 상기 카세트(11)의 중앙부에 구비되어 상기 웨이퍼(23)를 상하로 이동시키는 푸셔(14)가 구비된다.

또한, 상기 세정수조부(200)는 적어도 하나 이상의 세정 수조(15)와 적어도 하나 이상의 건조기(19)가 구비된다.

상기 로딩부(100)의 카세트(11)에서 분리된 웨이퍼(23)를 이송로봇(21)으로 상기 세정수조(15)에 담군다. 이때, 상기 이송로봇(21)은 슬롯(19)이 구비되는 로 봇암(24)이 구비된 것으로, 상기 슬롯(19)에 상기 웨이퍼(23)가 탑재된 상태로 상기 세정수조(15)에 담궈진 것이다.

상기 세정수조(15)에서 필요한 세정 공정을 실시하고 상기 이송로봇(21)을 이용하여 상기 건조기(17)로 이동시킨다. 이때, 상기 이동공정은 상기 슬롯(19)에 웨이퍼(23)가 탑재된 상태 그대로 실시한다.

또한, 상기 언로딩부(300)는 상기 세정수조부(200)의 건조기(17)에서 건조된 상기 슬롯(19)에 탑재된 웨이퍼(23)를 언로딩부(300)의 카세트(11)로 이동시킨다. 이때, 상기 이동공정은 푸셔(14)를 이용하여 실시한다.

이때, 상기 카세트(11)는 상기 도 1 의 점선을 따라 카세트 이송장치(미도시)에 의해 이동된 것으로, 상기 로봇암(24)을 이용하여 상기 카세트(11)에 정렬시킴으로써 탑재하는 것이다.

상기 도 2 는 푸셔(14)와 카세트(11)가 모듈 형태로 구비된 것으로, 상기 카세트(11)를 통하여 피스톤 운동을 하는 푸셔(14)에 상기 이송로봇(21)의 로봇암(24)에 물려 상기 웨이퍼(23)가 탑재된 것을 도시한다.

그러나, 상기 푸셔(14)와 로봇암(24) 및 카세트(11)의 위치 정렬을 위한 별도의 장치가 없어 상기 정렬을 용이하게 실시할 수 없게 되고, 그로 인하여 상기 푸셔(14)와 로봇암(24) 및 카세트(11)의 위치 오정렬에 의한 웨이퍼의 겹침 및 파손이 발생될 수 있어 반도체소자의 수율이 저하되는 문제점이 있다.

본 발명은 상기한 종래기술에 따른 문제점을 해결하기 위하여, 푸셔와 로봇 암 및 카세트의 위치 정렬을 위하여 푸셔 조정 장치를 구비함으로써 웨이퍼의 손실을 방지할 수 있어 반도체소자의 수율을 향상시킬 수 있도록 하는 웨이퍼 세정 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.

이상의 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 웨이퍼 세정 시스템은,

로딩부, 세정수조부 및 언로딩부로 구비되는 웨이퍼 세정 시스템에 있어서,

상기 로딩부 및 언로딩부에서 카세트와 웨이퍼의 정렬 및 탈착시키는 푸셔가 상기 카세트와 결합된 모듈 형태로 구비되되, 상기 푸셔의 하측에 구비되는 푸셔 조정장치와,

상기 웨이퍼를 운반하는 로봇암이 구비되는 이송로봇이 포함되는 것과,

상기 푸셔 조정장치는 사각형틀과, 상기 사각형틀의 중앙부에 상기 사각형틀과 이격되고 상기 사각형틀과 평행한 사각구조로 구비되는 푸셔 이동판과, 상기 사각형틀의 상측 중앙부로부터 상기 푸셔 이동판의 상측 중앙부에 연결되는 안내핀과, 상기 사각형틀의 통하여 상기 푸셔 이동판에 접속되되, 상기 푸셔 이동판 하측의 양측 끝부분에 접속되는 조정 스크루가 더 포함되는 것과,

상기 푸셔 이동판의 상측 중앙부는 홈이 구비되어 상기 안내핀의 단부가 상기 홈의 내부에 접속되는 것과,

상기 안내핀은 단부에 회전되는 볼이 구비되고 상기 사각형틀과 볼 사이에 탄성물질이 구비되는 것과,

상기 푸셔 이동판은 푸셔를 고정시키는 나사홀이 구비되는 것을 특징으로 한 다.

이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.

도 3 는 본 발명에 따라 도시한 웨이퍼 세정 시스템을 도시한 단면도이다.

도 3을 참조하면, 상기 웨이퍼 세정 시스템은 로딩부(400), 세정수조부(500) 및 언로딩부(600)로 구비된다.

상기 로딩부(400)는 웨이퍼(43)가 탑재되어 있는 카세트(31)를 웨이퍼 분리 위치(33)로 이동시키고, 세정수조부(500)로 상기 웨이퍼(43)를 이동시키기 위하여 상기 카세트(31)로부터 상기 웨이퍼(43)를 분리시키는 부분으로서, 상기 카세트(31)의 하측에 결합된 형태로 상기 카세트(31)의 중앙부에 구비되어 상기 웨이퍼(43)를 상하로 이동시키는 푸셔(47)와 푸셔조정장치(49)가 구비된다. 여기서, 상기 푸셔(47)와 푸셔조정장치(49)는 상기 카세트(31)와 모듈형태로 형성된다.

또한, 상기 세정수조부(500)는 적어도 하나 이상의 세정수조(35)와 적어도 하나 이상의 건조기(39)가 구비된다.

상기 로딩부(400)의 카세트(31)에서 분리된 웨이퍼(43)를 이송로봇(41)으로 상기 세정수조(35)에 담군다. 이때, 상기 이송로봇(41)은 슬롯(39)이 구비되는 로봇암(45)이 구비된 것으로, 상기 슬롯(39)에 상기 웨이퍼(43)가 탑재된 상태로 상기 세정수조(35)에 담궈진 것이다.

상기 세정수조(35)에서 필요한 세정 공정을 실시하고 상기 이송로봇(41)을 이용하여 상기 건조기(37)로 이동시킨다. 이때, 상기 이동공정은 상기 슬롯(39)에 웨이퍼(43)가 탑재된 상태 그대로 실시한다.

또한, 상기 언로딩부(600)는 상기 세정수조부(500)의 건조기(37)에서 건조된 상기 슬롯(39)에 탑재된 웨이퍼(43)를 언로딩부(600)의 카세트(31)로 이동시킨다. 이때, 상기 이동공정은 푸셔(47)를 이용하여 실시한다.

이때, 상기 카세트(31)는 상기 도 3 의 점선을 따라 카세트 이송장치(미도시)에 의해 이동된 것으로, 상기 로봇암(45)을 이용하여 상기 카세트(31)에 정렬시킴으로써 탑재하는 것이다.

도 4 는 푸셔 조정장치(49)가 부착된 푸셔(47)와 카세트(31)가 모듈 형태로 구비된 것을 도시한 평면도로서, 푸셔 조정장치(49)가 부착된 푸셔(47)와 카세트(31)가 모듈 형태로 구비된 것이다.

도 4를 참조하면, 상기 카세트(31)를 통하여 피스톤 운동을 하는 푸셔(47)에 상기 웨이퍼(43)가 탑재된 것을 도시한다.

이때, 상기 웨이퍼(43)는 상기 이송로봇(41)의 로봇암(45)에 물린 형태로 상기 푸셔(47)에 탑재된 것이다.

상기 푸셔(47)는 하부에 푸셔 조정장치(49)가 구비된 것이다.

이때, 상기 푸셔 조정장치(49)는 다음과 같이 형성된 것이다.

상기 푸셔 조정장치(49)는 사각형틀(70)의 중앙부에 상기 사각형틀(70)과 이격되고 상기 사격형틀(70)과 평행한 사각구조의 푸셔 이동판(53)이 구비되되, 상기 푸셔 이동판(53)은 상측 중앙부에 상기 사각형틀(70) 방향으로부터 홈(54)이 구비되고 상부에 푸셔(47)를 고정할 수 있는 나사홀(65)이 구비된다.

또한, 상기 푸셔 조정장치(49)는 상기 사각형틀(70)로부터 상기 홈(54)으로 삽입되는 안내핀(55)이 구비되되, 상기 안내핀(55)의 단부에 볼(57)이 구비되고 상기 안내핀(55)의 외부에 압축코일스프링(59)이 구비된다. 여기서, 상기 압축코일스프링(59)은 상기 볼(57)과 사각형틀(70) 사이의 안내핀(55) 외부를 감싸는 형태로 형성된 것이다.

상기 푸셔 조정장치(49)는 상기 푸셔 이동판(53)을 기준으로 상기 안내핀(55)의 반대편 양측 끝부분에 각각 제1조정스크루(61) 및 제2조정스크루(63)가 구비된다.
이때, 상기 푸셔(47)는 상기 푸셔 조정장치(49)의 안내핀(55)과 나사홀(65)에 의해 상기 푸셔 이동판(53)에 고정되어 있다.
여기서, 상기 압축코일스프링(59)은 푸셔 이동판(53)을 미는 힘으로 작용되며, 상기 볼(57)은 푸셔 이동판(53)이 회전 가능하도록 하는 작용을 한다.

또한, 상기 조정스크루(61,63)를 동시에 조이거나 푸는 경우에 상기 안내핀(55) 방향으로 상기 푸셔 이동판(53)을 이동시키거나 그 반대편으로 이동시키게 되고, 상기 제1조정스크루(61) 또는 제2조정스크루(63)의 회전 정도를 다르게 하는 경우 상기 푸셔 이동판(53)의 어느 일측이 기울어진 형태로 상기 푸셔 이동판(53)을 이동시키게 된다.
상기와 같이 상기 조정스크루(61. 63)을 사용하여 푸셔(47)가 고정되어 있는 푸셔 이동판(53)을 조정하여 푸셔(47)의 슬롯과 로봇암(45)의 슬롯이 정확하게 정렬을 할 수 있도록 한다.

이때, 상기 푸셔 이동판(53)의 이동은 그 상부에 결착된 푸셔(47)를 이동시키는 것과 동일하다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 웨이퍼의 세정 시스템은, 카세트에서 웨이퍼를 분리 및 탑재시키는 푸셔와 로봇암 및 카세트의 정렬을 정확하게 실시할 수 있도록 푸셔 조정장치를 형성하여 웨이퍼의 손상을 방지할 수 있도록 함으로써 반도체소자의 수율을 향상시키는 효과를 제공한다.

Claims (5)

1. 로딩부, 세정수조부 및 언로딩부로 구비되는 웨이퍼 세정 시스템에 있어서,

   상기 로딩부 및 언로딩부에서 카세트와 웨이퍼의 정렬 및 탈착시키는 푸셔가 상기 카세트와 결합된 모듈 형태로 구비되되, 상기 푸셔의 하측에 구비되는 푸셔 조정장치와,

   상기 웨이퍼를 운반하는 로봇암이 구비되는 이송로봇이 포함되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정 시스템.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 푸셔 조정장치는

   사각형틀과,

   상기 사각형틀의 중앙부에 상기 사각형틀과 이격되고 상기 사각형틀과 평행한 사각구조로 구비되는 푸셔 이동판과,

   상기 사각형틀의 상측 중앙부로부터 상기 푸셔 이동판의 상측 중앙부에 연결되는 안내핀과,

   상기 사각형틀의 통하여 상기 푸셔 이동판에 접속되되, 상기 푸셔 이동판 하측의 양측 끝부분에 접속되는 조정 스크루가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정 시스템.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 푸셔 이동판의 상측 중앙부는 홈이 구비되어 상기 안내핀의 단부가 상기 홈의 내부에 접속되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정 시스템.
4. 제 2 항에 있어서,

   상기 안내핀은 단부에 회전되는 볼이 구비되고 상기 사각형틀과 볼 사이에 탄성물질이 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정 시스템.
5. 제 2 항에 있어서,

   상기 푸셔 이동판은 푸셔를 고정시키는 나사홀이 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정 시스템.

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