JPS61136753A - リニアモ−タ - Google Patents
リニアモ−タInfo
- Publication number
- JPS61136753A JPS61136753A JP25717184A JP25717184A JPS61136753A JP S61136753 A JPS61136753 A JP S61136753A JP 25717184 A JP25717184 A JP 25717184A JP 25717184 A JP25717184 A JP 25717184A JP S61136753 A JPS61136753 A JP S61136753A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- yoke
- magnetic
- onto
- linear motor
- permanent magnet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/035—DC motors; Unipolar motors
- H02K41/0352—Unipolar motors
- H02K41/0354—Lorentz force motors, e.g. voice coil motors
- H02K41/0356—Lorentz force motors, e.g. voice coil motors moving along a straight path
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/28—Electric drives
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K2201/00—Specific aspects not provided for in the other groups of this subclass relating to the magnetic circuits
- H02K2201/18—Machines moving with multiple degrees of freedom
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は精密加工機、精密測定機、半導体製造装置、精
密ロボット等に適用するりニアモータに関する。
密ロボット等に適用するりニアモータに関する。
〈発明の概要〉
本発明は、リニアモータの磁気回路を構成するヨークの
一部に複数の調整孔を列設し、この調整孔に適量の磁性
体を充填して、磁気ギャップ内の磁束密度のばらつきを
減少させ、推力変動の減少を図ったものである。
一部に複数の調整孔を列設し、この調整孔に適量の磁性
体を充填して、磁気ギャップ内の磁束密度のばらつきを
減少させ、推力変動の減少を図ったものである。
〈従来の技術〉
従来、半導体製造装置における位置決めステージの駆動
モータとして、機構の簡素化、省スペース化、高信頼化
、高能率化にともないりニアモータが採用されつつある
。かかる、リニアモータは、推力変動をできる限り小さ
くする必要があるが、現実には、永久磁石とヨークとの
接合方法、磁石間の接合部、永久磁石着磁の不均一等に
よって、第５ｕ（Ａ）に示す如く、磁気ギャップ内の磁
束密度にむらΔＢ、が生じ、従って、リニアモータ推力
に変動が生じやすい。また位置決め − ′
ステージにおいては、ステージのヨーイング防止と運
動安定化のために、２個のりニアモータを対として組込
み使用することが多く、この場合、対をなすモータに推
力のアンバランスが生じ、ステージにねじりモーメ／ト
が作男してヨーイング或いは軸間干渉が発生し、位置決
めおよび走り精度が悪化する等の問題を生じる。
モータとして、機構の簡素化、省スペース化、高信頼化
、高能率化にともないりニアモータが採用されつつある
。かかる、リニアモータは、推力変動をできる限り小さ
くする必要があるが、現実には、永久磁石とヨークとの
接合方法、磁石間の接合部、永久磁石着磁の不均一等に
よって、第５ｕ（Ａ）に示す如く、磁気ギャップ内の磁
束密度にむらΔＢ、が生じ、従って、リニアモータ推力
に変動が生じやすい。また位置決め − ′
ステージにおいては、ステージのヨーイング防止と運
動安定化のために、２個のりニアモータを対として組込
み使用することが多く、この場合、対をなすモータに推
力のアンバランスが生じ、ステージにねじりモーメ／ト
が作男してヨーイング或いは軸間干渉が発生し、位置決
めおよび走り精度が悪化する等の問題を生じる。
〈発明の目的〉
本発明は、簡単な構成および調整作業により一推力変動
を解消し得る新規なリニアモータを提供することを目的
とする。
を解消し得る新規なリニアモータを提供することを目的
とする。
〈発明の構成および効果〉
上記の目的を達成するため、本発明では、ヨークの一部
に多数の調整孔を列設し、この調整孔に適量の磁性体を
充填して磁気ギャップによる磁束密度のばらつきを調整
するようにした。
に多数の調整孔を列設し、この調整孔に適量の磁性体を
充填して磁気ギャップによる磁束密度のばらつきを調整
するようにした。
上記の構成によると、リニアモータ推力の変動が著しく
小となり、位置決めステージの走り精度、位置決め精度
、軸間干渉等の緒特性を向上する所期の目的を達成した
効果を奏する。
小となり、位置決めステージの走り精度、位置決め精度
、軸間干渉等の緒特性を向上する所期の目的を達成した
効果を奏する。
〈実施例の説明〉
第１図は半導体製造装置に適用した位置決め装置、即ち
ＸＹステージを示している。ＸＹステージは、平面正方
形をなすペース１の周辺に本発明に係るリニアモータ２
が互いに平行して配設され、互いに対向するりニアモー
タ２，２間に縦横可動ガイド１１．１２を直交配備して
ガイドの交叉部に自在ステージ１３を支承してなり、可
動ガイド１１．１２の移行による交叉部の変位によりス
テージ１３が位置決めされる。
ＸＹステージを示している。ＸＹステージは、平面正方
形をなすペース１の周辺に本発明に係るリニアモータ２
が互いに平行して配設され、互いに対向するりニアモー
タ２，２間に縦横可動ガイド１１．１２を直交配備して
ガイドの交叉部に自在ステージ１３を支承してなり、可
動ガイド１１．１２の移行による交叉部の変位によりス
テージ１３が位置決めされる。
本発明の特徴をなすりニアモータ２は、高透磁率材料か
らなるヨーク３と、該ヨーク３に接合配備された永久磁
石４と、ヨーク３および永久磁石４を固定子としてこれ
に摺動可能に装着された移動子をなすコイル５とからな
り、前記ヨーク３は、上下に対向したボトムヨーク３１
とトップヨーク３２の両端部をサイドヨーク３３゜３３
にて一体に連設してなり、ボトムヨーク３１の上面およ
びトップヨークの下面にそれぞれ永久磁石４，４をτ体
接合し、永久磁石４を含むトップヨーク３２にコイル５
が嵌挿され、このコイル５に可動ガイド１１および１２
を連設している。
らなるヨーク３と、該ヨーク３に接合配備された永久磁
石４と、ヨーク３および永久磁石４を固定子としてこれ
に摺動可能に装着された移動子をなすコイル５とからな
り、前記ヨーク３は、上下に対向したボトムヨーク３１
とトップヨーク３２の両端部をサイドヨーク３３゜３３
にて一体に連設してなり、ボトムヨーク３１の上面およ
びトップヨークの下面にそれぞれ永久磁石４，４をτ体
接合し、永久磁石４を含むトップヨーク３２にコイル５
が嵌挿され、このコイル５に可動ガイド１１および１２
を連設している。
本発明は、ボトムヨーク３１に対し、移行方向だ等間隔
を存して複数の調整孔３５を穿設し、各調整孔３５に、
鉄粉その他の磁性粉粒体、磁性流体、磁性金属線材等の
磁性体３６をそれぞれ適量宛充填して、磁気ギャップに
よる磁束密度のばらつきを調整するようにしてなるもの
である。
を存して複数の調整孔３５を穿設し、各調整孔３５に、
鉄粉その他の磁性粉粒体、磁性流体、磁性金属線材等の
磁性体３６をそれぞれ適量宛充填して、磁気ギャップに
よる磁束密度のばらつきを調整するようにしてなるもの
である。
第４図はＩＪ ニアモータ２の他の実施例を示し、セン
タヨーク３４の上下に互いに平行してトップヨーク３２
、ボトムヨーク３１を配備し、各々両端部をサイドヨー
ク３３にて連設し、センタヨーク３４の上下面、トップ
ヨーク３２の下面、ボトムヨーク３１の上面にそれぞれ
永久磁石４を接合してなり、センタヨーク３４にコイル
５を嵌挿している。該実施例では、ボトムヨーク３１に
前述例と同様な複数の調整孔３５を列設し、各調整孔３
５に適量宛の磁性体３６を充填することにより、磁束密
度のばらつきを調整し得る。尚、調整孔３５は、図面で
は、円形の貫通孔を示しだが、孔断面は円形に限らず、
また、目暗穴となす等、任意に選択実施する。
タヨーク３４の上下に互いに平行してトップヨーク３２
、ボトムヨーク３１を配備し、各々両端部をサイドヨー
ク３３にて連設し、センタヨーク３４の上下面、トップ
ヨーク３２の下面、ボトムヨーク３１の上面にそれぞれ
永久磁石４を接合してなり、センタヨーク３４にコイル
５を嵌挿している。該実施例では、ボトムヨーク３１に
前述例と同様な複数の調整孔３５を列設し、各調整孔３
５に適量宛の磁性体３６を充填することにより、磁束密
度のばらつきを調整し得る。尚、調整孔３５は、図面で
は、円形の貫通孔を示しだが、孔断面は円形に限らず、
また、目暗穴となす等、任意に選択実施する。
然して、ヨーク３の調整孔３５に磁性体３６を充填する
以前では、第５図の）に示す如く、永久磁石４の着磁む
らやヨーク３との接着むらによってギャップ内の磁束密
度が不均一ΔＢ２となっている。各調整孔３５にそれぞ
れ適量の磁性体３６を充填すると、ギャップ内の磁束密
度は微妙に変化し、この調整作業を精密に実行すること
により、第３図（ｑに示す如く、ギャップ内の磁束密度
をほぼ均一化ΔＢコすることが可能となり、リニアモー
タの推力変動を解消し、所期の目的を達成した効果を有
す。
以前では、第５図の）に示す如く、永久磁石４の着磁む
らやヨーク３との接着むらによってギャップ内の磁束密
度が不均一ΔＢ２となっている。各調整孔３５にそれぞ
れ適量の磁性体３６を充填すると、ギャップ内の磁束密
度は微妙に変化し、この調整作業を精密に実行すること
により、第３図（ｑに示す如く、ギャップ内の磁束密度
をほぼ均一化ΔＢコすることが可能となり、リニアモー
タの推力変動を解消し、所期の目的を達成した効果を有
す。
第１図は本発明に係るリニアモータを適用した位置決め
装置の斜視図、第２図は本発明ＩＪ ニアモータの正面
図、８１−３図は第２図■−■線に沿う断面図、第４図
はリニアモータの他の実施例を示す正面図、第５図（Ａ
） 、 （Ｂ） 、 （Ｃ）は、磁束密度分布を示す図
である。
装置の斜視図、第２図は本発明ＩＪ ニアモータの正面
図、８１−３図は第２図■−■線に沿う断面図、第４図
はリニアモータの他の実施例を示す正面図、第５図（Ａ
） 、 （Ｂ） 、 （Ｃ）は、磁束密度分布を示す図
である。
Claims (2)
- （１）高透磁率材料からなるヨークと、該ヨークに接合
配備された永久磁石と、ヨークおよび永久磁石に対し摺
動可能に装着されたコイルとからなるリニアモータにお
いて、前記ヨークに複数の調整孔を列設し、該調整孔に
、推力を調整する磁性体を充填して成るを特徴とするリ
ニアモータ。 - （２）磁性体は、鉄粉その他の磁性粉粒体或いは磁性流
体または磁性金属線材である特許請求の範囲第１項記載
のリニアモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25717184A JPS61136753A (ja) | 1984-12-04 | 1984-12-04 | リニアモ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25717184A JPS61136753A (ja) | 1984-12-04 | 1984-12-04 | リニアモ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61136753A true JPS61136753A (ja) | 1986-06-24 |
Family
ID=17302671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25717184A Pending JPS61136753A (ja) | 1984-12-04 | 1984-12-04 | リニアモ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61136753A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04183255A (ja) * | 1990-11-16 | 1992-06-30 | Hitachi Ltd | ボイスコイルモータおよび磁気ディスク装置 |
| EP0614724A2 (de) * | 1993-03-10 | 1994-09-14 | MAX RHODIUS GmbH | Werkzeugmaschine |
| WO2000005028A2 (de) * | 1998-07-23 | 2000-02-03 | Actech Gmbh | Flächenportalsystem mit linearen direktantrieben |
| WO2002045245A3 (en) * | 2000-11-02 | 2002-07-25 | Hitachi Ltd | Xyz-axes table |
| WO2006077515A2 (en) * | 2005-01-19 | 2006-07-27 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Actuator and its manufacturing method |
-
1984
- 1984-12-04 JP JP25717184A patent/JPS61136753A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04183255A (ja) * | 1990-11-16 | 1992-06-30 | Hitachi Ltd | ボイスコイルモータおよび磁気ディスク装置 |
| EP0614724A2 (de) * | 1993-03-10 | 1994-09-14 | MAX RHODIUS GmbH | Werkzeugmaschine |
| EP0614724A3 (de) * | 1993-03-10 | 1995-09-06 | Max Rhodius Gmbh | Werkzeugmaschine. |
| EP1155771A2 (de) * | 1993-03-10 | 2001-11-21 | Ex-Cell-O GmbH | Werkzeugmaschine |
| EP1155771A3 (de) * | 1993-03-10 | 2004-07-21 | Ex-Cell-O GmbH | Werkzeugmaschine |
| WO2000005028A2 (de) * | 1998-07-23 | 2000-02-03 | Actech Gmbh | Flächenportalsystem mit linearen direktantrieben |
| WO2000005028A3 (de) * | 1998-07-23 | 2000-05-04 | Actech Gmbh | Flächenportalsystem mit linearen direktantrieben |
| WO2002045245A3 (en) * | 2000-11-02 | 2002-07-25 | Hitachi Ltd | Xyz-axes table |
| WO2006077515A2 (en) * | 2005-01-19 | 2006-07-27 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Actuator and its manufacturing method |
| WO2006077515A3 (en) * | 2005-01-19 | 2007-01-25 | Koninkl Philips Electronics Nv | Actuator and its manufacturing method |
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