KR100589592B1 - 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템의 미러 각도 측정 및서보 장치 - Google Patents

홀로그래픽 디지털 데이터 시스템의 미러 각도 측정 및서보 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템의 미러 각도 측정 및 서보 장치에 관한 것으로서, 특히 본 발명의 서보 장치는 미러는 기준광을 반사하는 앞면뿐만 아니라 뒷면에도 반사면을 구비하고, 미러의 뒷 반사면에 광을 입사시키는 빔 스플리터와, 미러의 뒷 반사면으로부터 입사된 광을 다시 미러로 반사시키는 다른 미러와, 미러에서 반사되어 빔 스플리터를 투과하는 광을 검출하는 광 검출부와, 광 검출부의 광량과 설정된 값을 비교하고 그 비교 결과에 따라 액츄에이터를 구동하는 서보 제어부를 포함한다. 그러므로 본 발명은 재생시 기준광용 미러 각도의 에러를 측정할 수 있으며 이의 서보 제어를 수행할 수 있다.
홀로그래픽 디지털 데이터 시스템, 미러 각도 측정, 서보 장치, 광 검출부

Description

홀로그래픽 디지털 데이터 시스템의 미러 각도 측정 및 서보 장치{DETECTOR AND SERVO DEVICE FOR MIRROR ANGLE OF THE HOLOGRAPHIC DIGITAL DATA SYSTEM}
도 1은 종래 기술에 의한 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템을 나타낸 구성도,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템의 미러 각도 측정 장치를 나타낸 구성도,
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템의 리머 각도 측정 장치를 나타낸 구성도,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템의 미러 각도 서보 장치를 나타낸 구성도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100 : 광원 104 : 빔 스플리터
106 : 공간 광 변조기(SLM) 110, 114, 122, 124, 128 : 미러
116 : 저장 매체 118 : 대물 렌즈
120 : CCD 126 : λ/4 플레이트
130 : 집광 렌즈 132 : 광 검출부(PDIC)
본 발명은 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템(HDDS : Holographic Digital Data Storage System)에 관한 것으로서, 특히 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템의 미러 각도 측정 및 서보 장치에 관한 것이다.
최근 들어, 홀로그래픽 디지털 데이터를 저장하는 기술은 예를 들어 반도체 레이저, CCD(Charge Coupled Device), LCD(Liquid Crystal Display) 등의 눈부신 발전에 힘입어 여러 분야에서 활발한 연구가 진행되고 있으며, 이러한 연구의 결과로서 지문을 저장하고 재생하는 지문 인식 시스템 등이 실용화되고 있을 뿐만 아니라, 대용량의 저장 능력과 초고속 데이터 전송 속도의 장점을 응용할 수 있는 여러 분야로 확대되어 가고 있는 추세에 있다. 이 중에서 대용량 데이터를 저장하는 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템은 대상 물체로부터의 신호광과 기준광을 서로 간섭시킬 때 발생하는 간섭 무늬를 간섭 무늬의 강도(amplitude)에 민감하게 반응하는 저장매체, 예를 들면 광 굴절성(photorefractive) 크리스탈(crystal) 등의 저장매체에 기록하는 것으로, 물체의 3차원 상을 표시할 수 있고, 또한 2진 데이터로 된 페이지(page) 단위로 구성되는 수백에서 수천 개의 홀로그램 데이터를 동일 장소에 저장할 수 있다.
도 1은 종래 기술에 의한 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템을 나타낸 구성도이다. 도 1을 참조하면, 종래 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템은 광원(10), 빔 스플리터(beam splitter)(14), 공간 광 변조기(SLM : Spatial Light Modulator)(16), 제 1 및 제 2미러(20, 24), 저장 매체(26), CCD(Charge Coupled Device)(30) 등으로 구성된다.
빔 스플리터(14)는 광원(10)의 레이저 광을 기준광(reference beam)과 신호광(signal beam)으로 분리시킨다.
공간 광 변조기(SLM)(16)는 빔 스플리터(14)에서 분리된 신호광에 입력 데이터, 즉 페이지 단위로 구성되는 다수 픽셀의 2진 데이터를 실어 준다.
제 1미러(20)는 빔 스플리터(14)에서 분리된 기준광을 제 2미러(24)로 반사한다. 제 2미러(24)는 저장 매체(26)에 입사되는 각도로 제 1미러(20)에서 반사된 기준광을 다시 반사한다. 이때 제 2미러(24)의 각도는 도면에 미도시된 액츄에이터에서 조정한다.
저장 매체(26)는 공간 광 변조기(SLM)(16)로부터 전달된 신호광과 제 2미러(24)에서 반사된 기준광의 간섭으로 발생된 간섭 무늬가 기록층에 기록되고, 이후 신호광을 차단한 채 기준광만 조사될 경우 기록층에 기록된 간섭 무늬를 회절하여 출력한다.
CCD(30)는 저장 매체(26)에 기준광만 조사하여 저장 매체에 간섭 무늬 형태로 기록된 한 페이지의 2진 픽셀 데이터 이미지를 재생하였을 경우 이 재생된 데이터 이미지를 촬영하여 전기적인 데이터로 변환하여 출력한다.
한편 상기 종래 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템에 있어서 미설명된 도면 부호 12는 광 확대 렌즈, 22는 지연 렌즈, 18 및 28은 퓨리에 방식의 집광 및 대물 렌즈를 나타낸다.
이와 같이 구성된 종래 기술의 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템은 다음과 같이 데이터가 기록된다.
광원(10)에서 발생된 레이저 광은 광 확대 렌즈(12)를 통해 빔 스플리터(14)에서 기준광과 신호광으로 분리된다. 이때 신호광은 공간 광 변조기(SLM)(16)에 입력되어 변조된다. 즉, 신호광은 공간 광 변조기(SLM)(16)에서 입력된 데이터가 실제 픽셀들이 이루는 명암의 2진 데이터의 한 페이지 단위로 변조된 후에 집광 렌즈(18)를 통해서 저장 매체(26)에 입사된다. 또한, 기준광은 제 1미러(20) 및 제 2미러(24)에 의해 반사되는데, 제 2미러(24)를 통해 설정된 기록 각도로 반사되어 저장 매체(26)에 입사된다. 신호광과 기준광은 홀로그램을 기록하기 위한 저장 매체(26) 내부에서 간섭을 일으키고, 이때 발생된 간섭 무늬의 강도에 따라서 저장 매체(26)의 내부 운동 전하의 광유도 현상(Light-induced generation of mobile charge)에 의해 기록층에 간섭 무늬가 기록된다.
반면에 종래 기술의 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템은 다음과 같이 저장 매체(26)의 데이터가 재생된다. 이때 저장 매체(26)에 기록된 데이터를 읽어내기 위해서는 신호광을 차단한 채 기준광만을 저장 매체(26)에 조사하면 된다. 이에 빔 스플리터(14)를 통해 분리된 신호광은 빔 스플리터(14)와 공간 광 변조기(SLM)(16) 사이에 있는 셔터(미도시됨)가 클로우즈됨에 따라 차단되고, 분리된 기준광은 빔 스플리터(14)와 제 1미러(20) 사이에 있는 다른 셔터(미도시됨)가 오픈됨에 따라 제 1미러(20)에 입사된다. 제 1미러(20) 및 제 2미러(24)에 의해 반사된 기준광은 간섭 무늬인 데이터가 기록된 저장 매체(26)에 기록시와 동일한 각도로 입사된다. 그러면, 저장 매체(26)의 기록층에 기록된 간섭 무늬가 기준광을 회절시켜 원래의 픽셀 명암으로 구성되는 한 페이지의 2진 데이터(즉, 바둑판 형상 무늬)를 재생하게 된다. 저장 매체(26)로부터 재생되는 2진 데이터(한 페이지 단위)는 대물 렌즈(28)를 통해서 CCD(30)에 전달되고, CCD(30)는 재생된 데이터 이미지를 촬영하여 전기적인 데이터로 변환하여 출력한다.
그런데 상술한 종래 기술에 의한 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템은 재생시 저장 매체(26)에 기준광을 입사시키기 위한 제 2미러(24)의 각도 조정이 중요하다. 하지만 종래에는 재생시 기록시와 동일한 각도로 제 2미러(24)의 각도를 액츄에이터에서 조정하도록 하고 있으며 이의 미러 각도 에러를 측정하고 이를 서보 제어하는 별도의 장치가 없었다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 저장 매체에 기준광을 입사시키는 미러의 뒷면에도 반사면을 추가하고 미러의 뒷 반사면과 다른 미러 사이에서의 광을 검출함으로써 재생시 미러 각도의 에러를 측정할 수 있으며 이의 서보 제어를 수행할 수 있는 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템의 미러 각도 측정 및 서보 장치를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 장치는 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템에서 저장 매체에 기준광을 입사시키는 미러의 각도를 측정하는 장치로서, 미러는 기준광을 반사하는 앞면뿐만 아니라 뒷면에도 반사면을 구비하고, 미러의 뒷 반사면에 광을 입사시키는 빔 스플리터와, 미러의 뒷 반사면으로부터 입사된 광 을 다시 미러로 반사시키는 다른 미러와, 미러에서 반사되어 빔 스플리터를 투과하는 광을 검출하는 광 검출부를 포함한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 다른 장치는 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템에서 저장 매체에 기준광을 입사시키는 미러의 액츄에이터를 조정하는 장치로서, 미러는 기준광을 반사하는 앞면뿐만 아니라 뒷면에도 반사면을 구비하고, 미러의 뒷 반사면에 광을 입사시키는 빔 스플리터와, 미러의 뒷 반사면으로부터 입사된 광을 다시 미러로 반사시키는 다른 미러와, 미러에서 반사되어 빔 스플리터를 투과하는 광을 검출하는 광 검출부와, 광 검출부의 광량과 설정된 값을 비교하고 그 비교 결과에 따라 액츄에이터를 구동하는 서보 제어부를 포함한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템의 미러 각도 측정 장치를 나타낸 구성도이다. 도 2를 참조하면, 본 발명이 적용된 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템은 광원(100), 제 1빔 스플리터(104), 공간 광 변조기(SLM)(106), 제 1 및 제 2미러(110, 114), 저장 매체(116), CCD(120) 등으로 구성된다. 여기서 미설명된 도면 부호 102는 광 확대 렌즈, 112는 지연 렌즈, 108 및 118은 퓨리에 방식의 집광 및 대물 렌즈를 나타낸다.
그리고 본 발명의 일 실시예에 따른 미러 각도 측정 장치는 제 3 및 제 4미 러(122, 128), 제 2빔 스플리터(124),
Figure 112004019609160-pat00001
플레이트(126), 퓨리에 방식의 집광 렌즈(130), 광검출부(PDIC : Photo Detect Integrated Circuit)(132) 등으로 구성된다. 이때 제 4미러(128)는 제 2미러(114)에 대해 평행으로 배치된다.
본 실시예의 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템의 제 1빔 스플리터(104), 공간 광 변조기(SLM)(106), 제 1 및 제 2미러(110, 114), 저장 매체(116), CCD(120)은 종래 시스템과 동일하므로 이에 대한 설명은 생략하고자 한다. 다만, 저장 매체(116)에 기준광을 입사시키는 회전형 제 2미러(114)는 앞면뿐만 아니라 뒷면도 반사면으로 형성된다. 제 2미러(114)의 앞 반사면을 통해서는 제 1미러(110)로부터 입사된 광을 반사키고 제 2미러(114)의 뒷 반사면을 통해서는 해당 미러의 각도를 측정하기 위한 광 경로의 제 4미러(128)로 입사광을 반사시킨다.
다음에 보다 상세하게 본 실시예의 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템의 미러 각도 측정 장치에 대해 설명하고자 한다.
제 3미러(122)는 광원(100)에서 발생된 레이저 광을 입사받아 이를 제 2빔 스플리터(124)에 반사한다. 제 2빔 스플리터(124)는 제 3미러(122)로부터 입사된 광을 반사하여
Figure 112004019609160-pat00002
플레이트(126)로 전달하며
Figure 112004019609160-pat00003
플레이트(126)의 광을 그대로 투과하여 집광 렌즈(130)로 전달한다.
Figure 112004019609160-pat00004
플레이트(126)는 입사광의 위상을
Figure 112004019609160-pat00005
만큼 지연시키는데, 제 2빔 스플리터(124)에서 반사된 수평 편광을
Figure 112004019609160-pat00006
만큼 지연시켜 원편광으로 변형하고 제 2미러(114)에서 반사된 원편광을
Figure 112004019609160-pat00007
만큼 지연시켜 수직 편광으로 변형한다. 제 4미러(128)는 제 2미러(114)의 뒷 반사면을 통해서 반사된 광을 다시 반사하여 제 2미러(114)의 뒷 반사면으로 입사시킨다. 그리고 광 검출부(PDIC)(132)는 집광 렌즈(130)를 통해 전달된 제 2빔 스플리터(124)의 광량을 검출한다. 이때 광 검출부(PDIC)(132)는 적어도 2개이상 분할된 센서 영역을 갖는 센서로 구비되고, 예를 들어 2분할 포토다이오드 등에서 각 분할 센서 영역(A, B)의 광량 데이터를 검출한다.
이와 같이 구성된 본 실시예에 따른 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템의 미러 각도 측정 장치는 광원(100)에서 발생된 레이저 광이 제 3미러(122)에 입사된다. 제 3미러(122)에서 반사된 광은 제 2빔 스플리터(124)에 입사되고, 제 2빔 스플리터(124)는 제 3미러(122)로부터 입사된 광이 수평 편광이므로 이를 반사하여
Figure 112004019609160-pat00008
플레이트(126)로 전달한다.
Figure 112004019609160-pat00009
플레이트(126)는 제 2빔 스플리터(124)에서 반사된 수평 편광을
Figure 112004019609160-pat00010
만큼 지연시켜 원편광으로 변형하여 제 2미러(114)의 뒷 반사면에 전달한다. 제 2미러(114)는 뒷 반사면에 입사된 원편광을 제 4미러(128)로 반사시킨다. 제 4미러(128)에서 반사된 원편광은 다시 제 2미러(114)의 뒷 반사면으로 입사된다. 이때 제 4미러(128)는 제 2미러(114)와 평행으로 배치되어 있으므로 재생시 설정된 각도로 정확하게 제 2미러(114)가 놓여있다면, 제 2미러(114)를 통해 제 4미러(128)에 반사되는 광과 제 4미러(128)에서 제 2미러(114)로 다시 반 사되는 광의 동일한 입사각도를 갖아야만 한다. 제 2미러(114)의 뒷 반사면에서 반사된 원편광은
Figure 112004019609160-pat00011
플레이트(126)로 전달되고,
Figure 112004019609160-pat00012
플레이트(126)를 통해
Figure 112004019609160-pat00013
만큼 지연되어 수평 편광으로 변형된다. 제 2빔 스플리터(124)는
Figure 112004019609160-pat00014
플레이트(126)의 수평 편광을 그대로 투과하여 집광 렌즈(130)를 통해 광 검출부(PDIC)(132)에 전달한다. 광 검출부(PDIC)(132)는 제 2빔 스플리터(124) 및 집광 렌즈(130)통해 전달된 광을 분할된 센서 영역(A, B)에서 검출한다. 이에 광 검출부(PDIC)(132)인 2분할된 센서 영역(A, B)의 광량 데이터가 서로 동일할 경우 시스템내 서보 제어부(미도시됨)는 제 2미러(114)의 각도가 정확하게 맞춰져 있고, 이들 센서 영역(A, B)의 광량 데이터가 서로 동일하지 않을 경우에는 제 2미러(114)의 각도를 에러로 측정한다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템의 미러 각도 측정 장치를 나타낸 구성도이다. 도 3을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예는 상술한 일 실시예의 제 4미러를 적어도 1이상의 각도로 이루어진 다수개 반사면을 갖는 다중 미러(128a)로 변형한 것이다. 예를 들어, 다중 미러(128a)의 내부 각도가 θ1, θ2(θ1=θ2, 또는 θ1≠θ2)로 되어 있을 경우 다중 미러(128a)의 다수개의 각 반사면에 의해 제 2미러(114)로부터 입사되는 광을 서로 다른 각도로 반사시킬 수 있다.
그러므로 본 발명의 다른 실시예에 따른 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템의 미러 각도 측정 장치는 저장 매체(116)에 기준광을 입사시키는 제 2미러(114)의 입 사 각도에 따라 다중 미러(128a)의 위치를 조정하여 제 2미러(114)와 다중 미러(128a)의 반사면이 서로 평행이 되도록 한 후에, 광 검출부(PDIC)(132)를 통해 제 2미러(114)의 뒷 반사면으로부터 반사된 광을 검출하여 제 2미러(114)의 각도가 정확하게 맞춰져 있는지를 측정한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템의 미러 각도 서보 장치를 나타낸 구성도이다. 도 4를 참조하면, 도 2에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템의 미러 각도 측정 장치에 서보 제어부(134) 및 액츄에이터(136) 등의 서보 장치를 추가한 것이다.
본 발명의 서보 장치는 광 검출부(PDIC)(132)에서 검출된 분할된 센서 영역(A, B)의 광량 데이터를 서보 제어부(134)에 전달한다. 서보 제어부(134)는 광 검출부(PDIC)(132)에서 전달된 광량 데이터가 설정된 데이터와 동일한지를 비교하고, 그 비교 결과에 따라 제 2미러(114)의 각도를 조정하는 액츄에이터(136)를 조정하는 서보 제어를 수행하도록 한다. 즉, 광 검출부(PDIC)(132)에서 검출된 2분할 센서 영역의 광량 데이터가 서로 동일할 경우 서보 제어부(134)는 제 2미러(114)의 각도가 설정된 각도에 맞추어져 있다고 판단하고, 제 2미러(114)의 액츄에이터(136)를 구동시키지 않는다. 하지만 광 검출부(PDIC)(132)에서 검출된 2분할 센서 영역의 광량 데이터가 서로 동일하지 않을 경우 서보 제어부(134)는 제 2미러(114)의 각도가 설정된 각도에 맞추어지지 않았다고 판단하고, 제 2미러(114)의 액츄에이터(136)를 구동시켜 제 2미러(114)의 각도를 조정한다.
그런 다음 다시 광원(100)에서 발생된 레이저 광을 제 3미러(122), 제 2빔 스플리터(124),
Figure 112004019609160-pat00015
플레이트(126)를 통해 제 2미러(114)의 뒷 반사면에 입사시켜 제 4미러(128)로 반사시키고, 제 4미러(128)에서 다시 반사된 광을 제 2미러(114)의 뒷 반사면으로 보내서 다시
Figure 112004019609160-pat00016
플레이트(126), 제 2빔 스플리터(124), 집광 렌즈(130)를 통해 광 검출부(PDIC)(132)에 전달한다. 광 검출부(PDIC)(132)에서 검출된 광은 다시 서보 제어부(134)에 전달되고, 서보 제어부(134)는 광 검출부(PDIC)(132)의 분할된 센서 영역의 광량 데이터가 서로 동일한지 비교하여 그 비교 결과에 따라 액츄에이터(136)의 구동을 제어한다. 즉, 서보 제어부(134)는 광 검출부(PDIC)(132)에서 검출된 데이터가 설정된 값과 동일할 때까지 액츄에이터(136)를 구동하여 기준광을 저장 매체(116)에 입사시키는 제 2미러(114)의 각도를 조정한다.
한편, 본 발명은 상술한 실시예에 국한되는 것이 아니라 후술되는 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상과 범주내에서 당업자에 의해 여러 가지 변형이 가능하다.
이상 상술한 바와 같이, 본 발명은 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템에 있어서, 저장 매체에 기준광을 입사시키는 미러의 뒷면에도 반사면을 추가하고 미러의 뒷 반사면과 다른 미러 사이에서 반사된 광을 검출하는 미러 각도 측정 장치를 구비함으로써 재생시 미러 각도의 에러를 측정할 수 있다.
또한 본 발명은 저장 매체에 기준광을 입사시키는 미러의 뒷면으로부터 반사 된 광을 검출하고 그 검출 결과에 따라 미러의 액츄에이터를 조정하는 서보 제어부를 구비함으로써 재생시 미러 각도를 설정된 각도로 맞출 수 있는 서보 제어가 가능하다.

Claims (11)

  1. 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템에서 저장 매체에 기준광을 입사시키는 미러의 각도를 측정하는 미러 각도 측정 장치로서,
    상기 미러는 상기 기준광을 반사하는 반사면을 앞면에 구비할 뿐만 아니라 뒷면에도 광을 반사하는 반사면을 구비하며,
    상기 미러 각도 측정 장치는,
    광원으로부터 입사된 광을 반사시켜 상기 미러의 뒷면 반사면으로 입사시키거나 상기 뒷면 반사면의 반사에 의해 입사되는 광을 투과하는 빔 스플리터와,
    상기 빔 스플리터에서 반사되어 상기 뒷면 반사면에 입사된 후 상기 뒷면 반사면의 반사에 의해 입사되는 광을 다시 상기 뒷면 반사면으로 반사시키는 다른 미러와,
    상기 다른 미러에서 반사되어 상기 뒷면 반사면으로 입사된 후 상기 뒷면 반사면의 반사에 의해 상기 빔 스플리터로 입사되어 상기 빔 스플리터를 투과한 광을 검출하는 광 검출부와,
    상기 광 검출부에서 검출한 광량 데이터에 의거하여 상기 저장 매체의 재생시 상기 미러의 각도에 대한 에러를 측정하는 제어부
    를 포함하는 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템의 미러 각도 측정 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 빔 스플리터와 상기 미러 사이에는
    Figure 112004019609160-pat00017
    플레이트가 더 포함되는 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템의 미러 각도 측정 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 다른 미러는 상기 미러와 평행으로 배치된 것을 특징으로 하는 홀로그 래픽 디지털 데이터 시스템의 미러 각도 측정 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 다른 미러는 적어도 1이상의 각도로 이루어진 다수개 반사면을 갖는 다중 미러인 것을 특징으로 하는 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템의 미러 각도 측정 장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 광 검출부는 적어도 2개이상 분할된 센서 영역을 갖는 센서인 것을 특징으로 하는 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템의 미러 각도 측정 장치.
  6. 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템에서 저장 매체에 기준광을 입사시키는 미러의 액츄에이터를 조정하는 미러 각도 서보 장치로서,
    상기 미러는 상기 기준광을 반사하는 반사면을 앞면에 구비할 뿐만 아니라 뒷면에도 광을 반사하는 반사면을 구비하며,
    상기 미러 각도 서보 장치는,
    광원으로부터 입사된 광을 반사시켜 상기 미러의 뒷면 반사면으로 입사시키거나 상기 뒷면 반사면의 반사에 의해 입사되는 광을 투과하는 빔 스플리터와,
    상기 빔 스플리터에서 반사되어 상기 뒷면 반사면에 입사된 후 상기 뒷면 반사면의 반사에 의해 입사되는 광을 다시 상기 뒷면 반사면으로 반사시키는 다른 미러와,
    상기 다른 미러에서 반사되어 상기 뒷면 반사면으로 입사된 후 상기 뒷면 반사면의 반사에 의해 상기 빔 스플리터로 입사되어 상기 빔 스플리터를 투과한 광을 검출하는 광 검출부와,
    상기 광 검출부에서 검출한 광량 데이터와 설정된 값을 비교하고 그 비교 결과에 따라 상기 액츄에이터를 구동하는 서보 제어부
    를 포함하는 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템의 미러 각도 서보 장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 빔 스플리터와 상기 미러 사이에는
    Figure 112004019609160-pat00018
    플레이트가 더 포함되는 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템의 미러 각도 서보 장치.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 다른 미러는 상기 미러와 평행으로 배치된 것을 특징으로 하는 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템의 미러 각도 서보 장치.
  9. 제 6항에 있어서,
    상기 다른 미러는 적어도 1이상의 각도로 이루어진 다수개 반사면을 갖는 다중 미러인 것을 특징으로 하는 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템의 미러 각도 서보 장치.
  10. 제 6항에 있어서,
    상기 광 검출부는 적어도 2개이상 분할된 센서 영역을 갖는 센서인 것을 특 징으로 하는 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템의 미러 각도 서보 장치.
  11. 제 6항에 있어서,
    상기 서보 제어부는 상기 광 검출부의 광량과 상기 설정된 값이 동일하지 않을 경우 상기 액츄에이터를 구동시키는 것을 특징으로 하는 홀로그래픽 디지털 데이터 시스템의 미러 각도 서보 장치.
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