KR100583641B1

KR100583641B1 - 반도체 웨이퍼 이송장치

Info

Publication number: KR100583641B1
Application number: KR1019990015085A
Authority: KR
Inventors: 강선진; 강호성
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 1999-04-27
Filing date: 1999-04-27
Publication date: 2006-05-26
Also published as: KR20000067352A

Abstract

본 발명은 카세트와 챔버 사이에서 반도체 웨이퍼를 이송시키기 위한 반도체 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다. 본 발명의 반도체 웨이퍼 이송장치는 베이스, 레일, 아암 그리고 파인더를 구비한다. 상기 레일은 상기 베이스의 윗면에 설치되고, 한 방향으로 일정한 길이를 갖는다. 상기 아암은 상기 레일상에서 이동되고, 상기 반도체 웨이퍼를 이송시키기 위한 역할을 한다. 상기 파인더는 상기 레일의 길이 방향과 동일선상에 위치되도록 상기 베이스의 윗면에 설치되고, 상기 아암에 의해서 로딩된 반도체 웨이퍼의 중심과 플랫 존을 검출한다. 이와 같은 구성을 갖는 반도체 웨이퍼 이송장치는, 반도체 웨이퍼가 측정장치에 로딩되는 시간을 단축시킬 수 있으므로, 공정진행 시간이 절약되어 생산공정의 효율이 향상된다.

Description

반도체 웨이퍼 이송장치{APPARATUS FOR MOVING SEMICONDUCTOR WAFER}

도 1a는 카세트와 챔버 사이에서 반도체 웨이퍼를 이송할 때, 종래에 외부스테이지에서 센터링과 플랫 파인더링을 하는 방식을 보여주기 위한 다이어그램;

도 1b는 카세트와 챔버 사이에서 반도체 웨이퍼를 이송할 때, 종래에 내부스테이지에서 센터링과 플랫 파인더링을 하는 방식을 보여주기 위한 다이어그램;

도 2는 본 발명의 실시예에 의해 반도체 웨이퍼 이송방식을 보여주기 위한 다이어그램;

도 3은 반도체 웨이퍼가 카세트로부터 로봇 아암에 의해 로딩되는 것을 보여주기 위한 다이어그램 및;

도 4는 반도체 웨이퍼가 이동 및 회전되어 파인더에 언로딩되는 것을 보여주기 위한 다이어그램이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

202 : 카세트 204 : 로봇 핸들러

206 : 측정장치 210 : 베이스

212 : 레일 214 : 반도체 웨이퍼

216 : 로봇 아암 218 : 파인더

본 발명은 반도체 제조장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 카세트와 챔버 사이에서 반도체 웨이퍼를 이송하기 위한 반도체 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다.

카세트와 챔버 사이에서 반도체 웨이퍼를 이송하기 위한 반도체 웨이퍼 이송장치는 일반적으로 로봇 아암이 상기 반도체 웨이퍼를 로딩하여 챔버로 이송하는 방식을 취한다. 상기 반도체 웨이퍼를 정렬하기 위한 센터링(centering)과 플랫 파인더링(flat findering)을 수행되는 장소에 의해서 이송 방식은 크게 두가지로 구분할 수 있다.

도 1a는 카세트와 챔버 사이에서 반도체 웨이퍼를 이송할 때, 종래에 외부스테이지에서 센터링과 플랫 파인더링을 하는 방식을 보여주기 위한 다이어그램이고 도 1b는 카세트와 챔버 사이에서 반도체 웨이퍼를 이송할 때, 종래에 내부스테이지에서 센터링과 플랫 파인더링을 하는 방식을 보여주기 위한 다이어그램이다.

도 1a 내지 도 1b를 참조하면, 상기 반도체 웨이퍼를 정렬하기 위한 센터링과 파인더링이 측정장치가 위치한 챔버의 바깥쪽에서 수행되는 경우를 설명하기 위한 도면이 도 1a이다. 도 1a에 표시된 I, II 그리고 III의 순서로 상기 반도체 웨이퍼는 이송되는데 먼저 카세트(102)로부터 상기 반도체 웨이퍼(도시되지 않음)가 핸들러(handle)(103)에 의해서 로딩되면, 상기 반도체 웨이퍼는 파인더(104)로 이송된다. 상기 파인더(104)에서 상기 반도체 웨이퍼의 중심과 플랫 존을 검출해 서 상기 반도체 웨이퍼를 정렬한다. 상기 파인더(104)에서 정렬된 상기 반도체 웨이퍼는 측정장치(106)로 이송된다. 이런 방식으로 공정이 진행되는 경우에, 상기 반도체 웨이퍼가 상기 측정장치(106)에 로딩되는 시간이 너무 많이 소요되는 단점이 발생한다. 그래서 상기 파인더(104)를 챔버(108) 내의 상기 측정장치(106)에 설치해서 로딩 시간을 단축시킨 방식이 도 1b이다. 역시 도 1b에서도 상기 반도체 웨이퍼는 도시된 것처럼 I, II 그리고 III의 순서로 이송이 진행된다. 상기 카세트(102)에서 로딩된 상기 반도체 웨이퍼가 상기 챔버(108) 내의 상기 측정장치(106)에 설치된 상기 파인더(104)로 이송된다. 그리고 상술한 바와 같이 상기 반도체 웨이퍼의 정렬이 완료되면 상기 반도체 웨이퍼는 상기 측정장치(106)로 이송된다. 상기 반도체 웨이퍼가 상기 챔버(108) 내로 일단 이송되어 공정이 진행되고 상기 파인더(104)가 상기 측정장치(106)에 설치되므로 도 1a에 설명된 방식에 비해서는 상기 반도체 웨이퍼가 상기 측정장치(106)에 놓여지는 로딩 시간이 외부 스테이지에서 센터링과 플랫 파인더링을 하는 방식에 비해서는 단축된다. 하지만 전체 공정의 진행을 위해서는 로딩 시간을 좀 더 단축시킬 필요성이 제기된다.

본 발명은 이와 같은 종래의 필요성을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 반도체 웨이퍼가 측정장치에 로딩되는 시간을 단축시킬 수 있는 새로운 형태의 반도체 웨이퍼 이송장치를 제공하는데 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 카세트와 챔버 사이에서 반도체 웨이퍼를 이송시키기 위한 장치는 베이스, 레일, 아암 그리고 파인더를 구비한다. 상기 레일은 상기 베이스의 윗면에 설치되고, 한 방향으로 일정한 길이를 갖는다. 상기 아암은 상기 레일상에서 이동되고, 상기 반도체 웨이퍼를 이송시키기 위한 역할을 한다. 상기 파인더는 상기 레일의 길이 방향과 동일선상에 위치되도록 상기 베이스의 윗면에 설치되고, 상기 아암에 의해서 로딩된 반도체 웨이퍼의 중심과 플랫 존을 검출한다.

이와 같은 본 발명을 적용하면, 반도체 웨이퍼가 측정장치에 로딩되는 시간을 단축시킬 수 있으므로, 공정진행 시간이 절약되어 생산공정의 효율이 향상된다.

이하 본 발명의 실시예를 첨부도면 도 2 내지 도 4에 의거하여 상세히 설명한다. 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호를 병기한다.

도 2는 본 발명의 실시예에 의해 반도체 웨이퍼 이송방식을 보여주기 위한 다이어그램, 도 3은 반도체 웨이퍼가 카세트에서 로봇 아암에 의해 로딩되는 것을 보여주기 위한 다이어그램 그리고 도 4는 반도체 웨이퍼가 이동 및 회전되어 파인더에 언로딩되는 것을 보여주기 위한 다이어그램이다.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 카세트(202)와 측정장치(206)의 사이에서 반도체 웨이퍼를 이송시키기 위한 장치가 로봇 핸들러(robot hander)(204)이다. 상기 로봇 핸들러(robot handler)(204)는 베이스(210)를 구비한다. 상기 베이스(210)의 위쪽에서 일정한 길이를 갖는 레일(212)이 상기 베이스(210)와 연결되어 있다. 상기 레일(212) 상을 직선운동하는 로봇 아암(216)은 회전운동도 가능하도록 구성되 어 있다. 상기 로봇 아암(216)이 상기 카세트(202)에서 반도체 웨이퍼(214)를 로딩하는 것을 보여주는 도면이 도 3이며 로딩된 상기 반도체 웨이퍼(214)를 파인더(218)에 언로딩하기 위해서 상기 로봇 아암(216)은 직선 운동과 회전운동을 같이 수행한다. 상기 반도체 웨이퍼(214)를 상기 파인더(218)에 언로딩하면 상기 파인더(218)에서는 상기 반도체 웨이퍼(214)를 정렬한다. 즉, 센터링(centering)하고 플랫 파인더링(flat findering)을 한다. 상기 파인더(218)가 상기 로봇 핸들러(204) 상에 함께 위치되므로 종래에 비해서 상기 반도체 웨이퍼(214)가 로딩되어 정렬되는 과정까지의 시간과 정렬된 상기 반도체 웨이퍼(214)를 측정장치(206)로 이동시키는 시간, 즉 상기 반도체 웨이퍼(214)가 상기 측정장치로 이송되어 상기 측정장치(206)에 로딩되는 과정까지의 시간이 종래의 방식에 비해 단축된다.

Claims

삭제
카세트와 챔버 사이에서 반도체 웨이퍼를 이송시키기 위한 장치에 있어서,

베이스와;

상기 베이스의 상부에 설치되고, 한 방향으로 일정한 길이를 갖는 레일과;

상기 레일상에서 이동되고, 상기 반도체 웨이퍼를 이송시키기 위한 아암 및;

상기 레일의 일단에 위치되도록 상기 베이스 상부에 설치되며, 상기 아암에 의해서 로딩된 반도체 웨이퍼의 중심과 플랫 존을 검출하기 위한 파인더를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 이송장치.