KR100567881B1 - 웨이퍼의 노치 얼라이너 및 얼라인 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 프레임(110)과, 복수의 제 1 지지홈(121)에 에지부분이 각각 삽입되는 복수의 웨이퍼(W)를 회전시키도록 프레임(110)에 회전가능하게 설치되는 회전롤러(120)와, 회전롤러(120)와 나란하도록 프레임(120)에 설치되며, 복수의 웨이퍼(W) 노치(a)를 정렬시키는 정렬바(130)와, 회전롤러(120)와 나란하도록 프레임(110)에 설치되며, 복수의 제 2 지지홈(141)이 복수의 웨이퍼(W) 에지부분을 지지하는 지지부재(140)와, 정렬바(130)의 상단에 회전가능하게 설치되어 정렬바(130)에 노치(a)가 걸려서 정렬된 복수의 웨이퍼(W)를 재정렬을 위해 회전시키기 위하여 상승시켜서 회전롤러(120)에 밀착시키는 웨이퍼승강플레이트(170)와, 각각의 웨이퍼(W) 에지부분 양측에 마주보게 설치되는 발광소자(151)와 수광소자(152)로 각각 이루어지며, 재정렬하기 위해 회전하는 웨이퍼(W)의 노치(a) 및 파손부분에 대한 감지신호를 출력하는 복수의 노치 및 파손감지부(150)와, 각각의 노치 및 파손감지부(150)로부터 출력되는 감지신호를 수신받아 감지신호가 2회 이상 수신되는 웨이퍼(W)는 파손된 것으로 판단하는 제어부(180)와, 제어부(180)에 의해 제어되어 웨이퍼(W)의 파손을 외부로 표시하는 표시부(191)를 포함하며, 웨이퍼의 노치를 정렬시 식각 공정 등의 실시로 인해 웨이퍼 에지부분이 부서짐으로써 형성된 홈이나 홀 등의 결함을 감지함으로써 웨이퍼의 수율을 증대시키는 효과를 가지고 있다.

Description

웨이퍼의 노치 얼라이너 및 얼라인 방법{ALIGNER FOR USING A NOTCH OF A SEMICONDUCTOR WAFER AND METHOD THEREFOR}
도 1은 종래의 기술에 따른 웨이퍼의 노치 얼라이너를 도시한 사시도이고,
도 2 내지 도 4는 종래의 기술에 따른 웨이퍼의 노치 얼라이너의 동작을 개략적으로 도시한 정단면도이고,
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 웨이퍼의 노치 얼라이너를 도시한 사시도이고,
도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 웨이퍼의 노치 얼라이너를 도시한 블록도이고,
도 7은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 웨이퍼의 노치 얼라이너의 동작을 개략적으로 도시한 정단면도이고,
도 8은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 웨이퍼의 노치 얼라이너의 요부를 도시한 측단면도이고,
도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 웨이퍼의 노치 얼라이너를 도시한 사시도이고,
도 10은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 웨이퍼의 노치 얼라이너의 동작을 개략적으로 도시한 정단면도이다.
도 11은 본 발명의 웨이퍼 노치 얼라인 방법을 도시한 흐름도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
110 : 프레임 120 : 회전롤러
121 : 제 1 지지홈 130 : 정렬바
140 : 지지부재 141 : 제 2 지지홈
150 : 노치 및 파손감지부 151 : 발광소자
152 : 수광소자 161, 162 : 노치정렬감지센서
163 : 센서고정플레이트 170 : 웨이퍼승강플레이트
180 : 제어부 191 : 표시부
192 : 경보발생부
본 발명은 웨이퍼의 노치 얼라이너 및 얼라인 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼의 노치를 정렬시 식각 공정 등의 실시로 인해 웨이퍼 에지부분이 부서짐으로써 형성된 홈이나 홀 등의 결함을 감지하는 웨이퍼의 노치 얼라이너에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위하여 확산공정, 식각공정, 화학기상증착공정, 세정공정 등 다양한 단위공정을 실시하며, 식각공정을 비롯한 여러 단위공정을 실시하는 반도체 소자의 제조장치에는 웨이퍼가 로딩 또는 언로딩되는 웨이퍼 스테이지가 마련되며, 웨이퍼스테이지에는 웨이퍼의 에치를 정렬하는 웨이퍼의 노치(notch) 얼라이너(aligner)가 설치된다.
종래의 반도체 소자의 제조장치의 웨이퍼스테이지에 설치되어 웨이퍼의 노치를 정렬하는 웨이퍼의 노치 얼라이너를 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래의 기술에 따른 웨이퍼의 노치 얼라이너를 도시한 사시도이고, 도 2 내지 도 4는 종래의 기술에 따른 웨이퍼의 노치 얼라이너의 동작을 개략적으로 도시한 정단면도이다. 도시된 바와 같이, 종래의 웨이퍼의 노치 얼라이너(10)는 웨이퍼스테이지(1)에 설치되는 프레임(11)과, 프레임(11)에 나란하게 설치되는 회전롤러(12), 정렬바(13) 및 지지부재(14)를 포함한다.
이와 같은 구조로 이루어진 종래의 웨이퍼의 노치 얼라이너는 도 2 및 도 3에서 나타낸 바와 같이, 프레임(11)은 웨이퍼스테이지(1)에 형성되는 개구(1a)에 설치되고, 프레임(11)에는 웨이퍼(W)를 회전시키는 회전롤러(12)와, 웨이퍼(W)를 정렬시키는 정렬바(13)와 웨이퍼(W)를 지지하는 지지부재(14), 그리고 웨이퍼(W) 노치(a)를 감지하는 노치정렬감지센서(16a,16b)가 각각 설치된다.
회전롤러(12)는 프레임(11)의 일측에 양단이 회전가능하게 결합되고, 복수의 웨이퍼(W) 에지부분이 각각 삽입되어 지지되도록 제 1 지지홈(12a)이 길이방향을 따라 복수로 형성되며, 미도시된 모터의 구동에 의해 회전함으로써 도 2 및 도 4에서 나타낸 바와 같이 제 1 지지홈(12a)에 지지된 웨이퍼(W)를 회전시킨다.
정렬바(13)는 프레임(11)에서 회전롤러(12)와 지지부재(14)사이에 양단이 고 정되고, 복수의 웨이퍼(W) 하단에 위치하여, 복수의 웨이퍼(W)가 회전롤러(12)에 의해 회전시 도 3에서 나타낸 바와 같이 정렬되도록 복수의 웨이퍼(W)의 노치(a)에 걸린다.
지지부재(14)는 프레임(11)의 타측에 회전롤러(12)와 나란하게 양단이 고정되며, 복수의 웨이퍼(W) 에지부분이 각각 삽입되어 회전롤러(12)의 회전시 가이드되도록 제 2 지지홈(14a)이 길이방향을 따라 복수로 형성된다.
웨이퍼승강플레이트(15)는 정렬바(13)의 상단에 위치하여 측면 양단을 기준으로 회전가능하도록 프레임(11)에 설치되며, 모터(미도시)의 구동에 의해 회전함으로써 도 4에서 나타낸 바와 같이 정렬바(13)에 노치(a)가 걸려서 일차적으로 정렬된 웨이퍼(W)를 상승시켜서 회전롤러(12)에 밀착시켜 재정렬을 위해 회전되도록 한다.
웨이퍼승강플레이트(15)는 정렬바(13)로부터 웨이퍼(W)를 상승시켜 회전롤러(12)에 밀착시킨 후 회전롤러(12)의 역회전에 의해 웨이퍼(W)가 회전하면 회전하는 웨이퍼(W) 노치(a)가 정렬바(13)에 재정렬되기 위하여 측면 양단을 기준으로 반대쪽의 측면이 하강하여 도 2 및 도 3에서 나타낸 바와 같은 모습으로 위치한다.
노치정렬감지센서(16a,16b)는 프레임(11)에 양단에 설치되는 센서고정플레이트(16c)에 의해 고정되는 발광소자(16a)와 수광소자(16b)로서, 발광소자(16a)가 정렬바(13)에 정렬된 웨이퍼(W)의 노치(a)를 향해 일정 파장의 빛을 출력하고, 이를 수광소자(16b)가 수신받음으로써 웨이퍼(W) 노치(a)가 제대로 정렬되었는지 감지한다.
그러나, 이와 같은 종래의 웨이퍼의 노치 얼라이너(10)는 식각 공정 등을 실시하게 됨으로써 웨이퍼(W)의 에지부분이 손상됨으로 인해 부서져서 홈 또는 홀이 형성되는 경우 작업자가 육안으로 관찰하여 발견하기 전에는 각각의 웨이퍼(W)는 노치(a)를 제외한 에지부분에 대한 결함을 발견할 수 없다.
물론 노치정렬감지센서(16a,16b)가 있으나, 이는 단지 복수의 웨이퍼(W) 전체에 대한 노치(a)만의 정렬을 감지할 뿐이다.
따라서, 회전롤러(12)가 회전시 웨이퍼(W)의 부서진 홈 또는 홀에 의해 웨이퍼(W)가 깨지게 됨으로써 파티클(particle)을 발생시켜 다른 웨이퍼(W)에 스크랫치를 유발시키거나 장비를 오염시키는 문제점을 발생시킬 뿐만 아니라 웨이퍼(W)의 결함을 간과하고 후속 공정을 진행시 깨지게 됨으로써 다른 웨이퍼(W)에 손상을 일으킴은 물론 역시 다른 장비를 오염시키는 원인이 되었다.
본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 웨이퍼의 노치를 정렬시 식각 공정 등의 실시로 인해 웨이퍼 에지부분이 부서짐으로써 형성된 홈이나 홀 등의 결함을 감지함으로써 웨이퍼가 공정시 파손되어 다른 웨이퍼에 손상을 초래하거나 장비를 오염시키는 것을 방지하여 웨이퍼의 수율을 증대시킴과 아울러 장비의 가동율을 향상시키는 웨이퍼의 노치 얼라이너 및 얼라인 방법을 제공하는데 있다.
이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은, 웨이퍼스테이지에 설치되어 웨 이퍼의 노치를 정렬하는 장치에 있어서, 웨이퍼스테이지상에 설치되는 프레임과, 길이방향을 따라 복수로 형성되는 제 1 지지홈에 에지부분이 각각 삽입되는 복수의 웨이퍼를 회전시키도록 프레임에 회전가능하게 설치되는 회전롤러와, 회전롤러와 나란하도록 프레임에 설치되며, 회전하는 복수의 웨이퍼의 노치가 걸리게 됨으로써 복수의 웨이퍼 노치를 정렬시키는 정렬바와, 회전롤러와 나란하도록 프레임에 설치되며, 길이방향을 따라 복수로 형성되는 제 2 지지홈이 복수의 웨이퍼 에지부분을 지지하는 지지부재와, 정렬바의 상단에 회전가능하게 설치되어 정렬바에 노치가 걸려서 정렬된 복수의 웨이퍼를 재정렬을 위해 회전시키기 위하여 상승시켜서 회전롤러에 밀착시키는 웨이퍼승강플레이트와, 각각의 웨이퍼 에지부분 양측에 마주보게 설치되는 발광소자와 수광소자로 각각 이루어지며, 발광소자로부터 출력되는 빛을 수광소자가 수신받아 재정렬을 위해 회전하는 웨이퍼의 노치 및 파손부분에 대한 감지신호를 출력하는 복수의 노치 및 파손감지부와, 각각의 노치 및 파손감지부로부터 출력되는 감지신호를 수신받아 감지신호가 2회 이상 수신되는 웨이퍼는 파손된 것으로 판단하는 제어부와, 제어부에 의해 제어되어 웨이퍼의 파손을 외부로 표시하는 표시부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 복수의 웨이퍼의 노치를 정렬하는 방법에 있어서, 회전롤러에 의해 회전하는 웨이퍼가 정렬바에 노치가 걸림으로써 정렬되는 단계와, 웨이퍼가 재정렬을 위해 회전시 웨이퍼 각각의 에지부분을 감지하는 복수의 노치 및 파손감지부가 웨이퍼마다 노치를 비롯한 결함을 감지하여 제어부로 출력하는 단계와, 제어부는 복수의 노치 및 파손감지부가 출력하는 감지신호를 수신시 2회 이상의 감지신 호를 출력한 노치 및 파손감지부가 감지하는 웨이퍼는 수신된 감지신호가 n회일 때 (n-1)곳이 파손된 것으로 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 웨이퍼의 노치 얼라이너를 도시한 사시도이고, 도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 웨이퍼의 노치 얼라이너를 도시한 블록도이고, 도 7은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 웨이퍼의 노치 얼라이너의 동작을 개략적으로 도시한 정단면도이고, 도 8은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 웨이퍼의 노치 얼라이너의 요부를 도시한 측단면도이고, 도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 웨이퍼의 노치 얼라이너를 도시한 사시도이고, 도 10은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 웨이퍼의 노치 얼라이너의 동작을 개략적으로 도시한 정단면도이다.
도시된 바와 같이 본 발명에 따른 웨이퍼의 노치 얼라이너(100)는 웨이퍼스테이지(1)에 설치되는 프레임(110)과, 프레임(110)에 일정 간격을 두고서 나란하게 설치되는 회전롤러(120), 정렬바(130) 및 지지부재(140)와, 정렬바(130)의 상단에 위치하도록 프레임(110)에 설치되는 웨이퍼승강플레이트(170)와, 각각의 웨이퍼(W) 에지부분 양측에 각각 설치되는 발광소자(151) 및 수광소자(152)로 이루어진 복수의 노치 및 파손감지부(150)와, 노치 및 파손감지부(150)로부터 출력되는 감지신호를 수신받아 웨이퍼(W)의 파손을 판단하는 제어부(180)와, 제어부(180)에 의해 제 어되어 웨이퍼(W)의 파손을 표시하는 표시부(191)를 포함한다.
프레임(110)은 반도체를 소자를 제조하는 장치(미도시)에서 웨이퍼(W)가 로딩 또는 언로딩되는 웨이퍼스테이지(1)에 형성된 개구(1a)에 설치되며, 웨이퍼(W)의 에지부분 일측과 하단을 각각 지지하는 회전롤러(120)와 정렬바(130)가 각각 설치되며, 웨이퍼(W) 에지부분 타측을 가이드하는 지지부재(140)가 설치된다.
회전롤러(120)는 프레임(110)의 일측에 양단이 회전가능하게 결합되고, 복수의 웨이퍼(W) 에지부분중 일측이 각각 삽입되어 지지되도록 제 1 지지홈(121)이 길이방향을 따라 복수로 형성되며, 미도시된 모터의 구동에 의해 회전함으로써 제 1 지지홈(121)에 지지된 웨이퍼(W)를 원주를 따라 회전시킨다.
정렬바(130)는 프레임(110)에서 회전롤러(120)와 지지부재(140)사이에 양단이 고정되고, 복수의 웨이퍼(W) 하단을 지지하되, 복수의 웨이퍼(W)가 회전롤러(120)에 의해 회전시 정렬되도록 웨이퍼(W)의 노치(a)에 걸린다.
지지부재(140)는 프레임(110)의 타측에 회전롤러(120)와 나란하게 양단이 고정되며, 복수의 웨이퍼(W) 에지부분중 타측이 각각 삽입되어 지지되도록 제 2 지지홈(141)이 길이방향을 따라 복수로 형성된다.
웨이퍼승강플레이트(170)는 정렬바(130)의 상단에 측면 양단을 기준으로 반대 측면이 상하로 회전가능하게 설치되며, 정렬바(130)에 노치(a)가 걸려서 정렬된 복수의 웨이퍼(W)를 재정렬을 위해 회전시키기 위하여 상승시켜서 회전롤러(120)에 밀착시킨다.
노치 및 파손감지부(150)는 복수로 이루어지며, 각각은 웨이퍼(W)마다 에지 부분 양측에 마주보게 설치되는 발광소자(151)와 수광소자(152)로 이루어진다.
발광소자(151)는 일정한 파장의 빛을 출력하며, 수광소자(152)는 발광소자(151)로부터 출력되는 빛을 수신받음으로써 웨이퍼승강플레이트(170)의 회전에 의해 정렬바(130)로부터 상승되어 재정렬을 위해 회전롤러(120)에 밀착되어 회전하는 웨이퍼(W)의 노치(a) 및 파손부분의 감지신호를 제어부(180)로 출력한다.
발광소자(151)와 수광소자(152)는 일예로 발광다이오드와 포토다이오드가 사용된다.
발광소자(151)와 수광소자(152)는 도 5, 도 7 및 도 8에서 나타낸 바와 같이, 지지부재(140)의 제 2 지지홈(141)내에 서로 마주보게 각각 설치될 수 있다. 따라서, 발광소자(151)와 수광소자(152)의 설치를 위해 별도의 부재를 필요로 하지 않아 장치의 구조를 간단하게 할 수 있다.
또 다른 실시예로서 발광소자(151)와 수광소자(152)는 기존의 장치의 구조를 변경하지 않고서, 용이하게 설치할 수 있도록 도 9 및 도 10에서 나타낸 바와 같이, 지지부재(140)와는 별도로 고정대(153)에 설치되어 기존장비에 부착될 수 있다.
고정대(153)는 프레임(110)에 회전로울러(120)와 나란하게 고정 설치되며, 발광소자(151)와 수광소자(152)가 웨이퍼(W)의 에지부분을 사이에 두고 마주보게 위치하도록 각각 설치되는 삽입홈(153a)이 길이방향을 따라 복수로 형성된다.
제어부(180)는 각각의 노치 및 파손감지부(150)로부터 출력되는 감지신호를 수신받으며, 하나의 노치 및 파손감지부(150)로부터 출력되어 수신되는 감지신호가 2회 이상일 때 웨이퍼(W)의 노치(a)에 대한 감지신호 외에 파손부분에 대한 감지신호도 수신받게 됨으로써 2회 이상 n회의 감지신호를 출력한 노치 및 파손감지부(150)가 감지하는 웨이퍼(W)는 (n-1)개의 장소에서 파손된 홈이나 홀이 있는 것으로 판단하여 표시부(191)로 제어신호를 출력한다.
표시부(191)는 제어부(180)의 제어신호에 따라 웨이퍼(W)의 파손을 외부로 표시한다.
제어부(180)는 표시부(191)가 웨이퍼(W)의 파손을 외부로 표시할 때 파손된 것으로 판단한 웨이퍼(W)의 위치를 표시하도록 제어신호를 출력함으로써 표시부(191)는 웨이퍼(W)의 위치를 숫자나 기타 방법으로 디스플레이할 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 웨이퍼의 노치 얼라이너(100)는 웨이퍼(W)가 파손시 외부로 경보를 발생시킴으로써 표시부(191)를 주시하지 않거나 떨어져 있는 작업자에게 알림으로써 후속조치를 신속하게 취할 수 있도록 경보발생부(192)를 구비할 수 있다.
경보발생부(192)는 제어부(180)가 복수의 노치 및 파손감지부(150)로부터 감지신호를 수신받아 복수의 웨이퍼(W)중 파손된 웨이퍼(W)를 판단시 출력하는 제어신호에 의해 외부로 경보음을 발생시키거나 경보등을 점멸시킴으로써 외부로 웨이퍼(W)의 파손을 알린다.
노치정렬감지센서(161,162)는 정렬바(130)의 양단 상측에 위치하도록 프레임(110)에 설치되는 한 쌍의 센서고정플레이트(163)에 고정되며, 정렬바(130)에 의해 정렬된 복수의 웨이퍼(W)의 노치(a)를 감지함으로써 웨이퍼(W)의 노치(a) 의 정렬여부를 감지한다.
도 11은 본 발명의 웨이퍼 노치 얼라인 방법을 도시한 흐름도이다. 도시된 바와 같이, 본 발명의 웨이퍼 노치 얼라인 방법은 웨이퍼(W)의 노치를 정렬하는 단계(S10)와, 웨이퍼(W)의 노치(a) 및 결함을 감지하는 단계(S20)와, 웨이퍼(W)의 파손을 감지하는 단계(S30)를 포함한다.
웨이퍼(W)의 노치를 정렬하는 단계(S10)는 회전롤러(120)에 의해 웨이퍼(W)를 회전시켜서 웨이퍼(W)가 정렬바(130)에 노치(a)가 걸림으로써 정렬되도록 한다.
웨이퍼(W)의 노치(a)가 정렬되면(S10), 웨이퍼(W)가 재정렬을 위해 회전시 웨이퍼(W) 각각의 에지부분을 감지하는 복수의 노치 및 파손감지부(150)가 웨이퍼(W)마다 노치(a)를 비롯한 결함을 감지하여 제어부(180)로 출력하는 웨이퍼(W)의 노치(a) 및 결함을 감지하는 단계(S20)를 실시한다.
웨이퍼(W)의 파손을 감지하는 단계(S30)는 제어부(180)가 복수의 노치 및 파손감지부(150)가 출력하는 감지신호를 수신시 2회 이상의 감지신호를 출력하는지를 판단하여(S31) 2회 이상의 감지신호를 출력한 노치 및 파손감지부(150)가 감지하는 웨이퍼(150)는 수신된 감지신호가 n회일 때 (n-1)곳이 파손된 것으로 판단한다(S32).
본 발명에 따른 웨이퍼 노치 얼라인 방법은 웨이퍼(W)의 파손을 감지하는 단계(S30)에 파손된 웨이퍼(W)를 판단시 파손된 웨이퍼(W)를 영상, 경보의 형태로 외부로 출력하는 단계(S40)와, 파손된 웨이퍼(W)를 선별해 내는 단계(S50)를 더 포함할 수 있다.
파손된 웨이퍼(W)를 영상 및 경보의 형태로 외부로 출력하는 단계(S40)는 제어부(180)가 웨이퍼(W)를 파손된 것으로 판단하는 단계(S30)에서 파손된 것으로 판단한 웨이퍼(W)가 있을 때 영상이나 경보, 또는 영상 및 경보의 형태로 외부로 출력한다.
파손된 웨이퍼(W)를 선별해 내는 단계(S50)는 제어부(180)가 웨이퍼(W)를 파손된 것으로 판단하는 단계(S30)에서 파손된 것으로 판단한 웨이퍼(W)가 있을 때 정상의 웨이퍼(W)로부터 파손된 웨이퍼(W)를 선별하여 후속조치를 취하게 된다.
이와 같은 구조로 이루어진 웨이퍼의 노치 얼라이너(100)와 얼라인 방법의 작용은 다음과 같이 이루어진다.
웨이퍼스테이지(1)로 로딩된 복수의 웨이퍼(W)는 회전롤러(120)의 제 1 지지홈(121)과 지지부재(140)의 제 2 지지홈(141)에 의해 지지되어 회전롤러(120)의 회전에 의해 웨이퍼(W)의 노치(a)가 정렬바(130)에 의해 걸림으로써 정렬된다.
정렬바(130)에 의해 일차적으로 정렬된 복수의 웨이퍼(W)는 도 7 및 도 10에서 나타낸 바와 같이, 웨이퍼승강플레이트(170)가 측면 양단을 기준으로 반대쪽의 측면이 상승하도록 회전함으로써 회전롤러(120)에 밀착되어 회전롤러(120)의 역방향 회전에 의해 재정렬을 위해 회전한다.
회전롤러(120)의 회전에 의해 회전하는 복수의 웨이퍼(W)는 측면 양단을 기준으로 반대쪽의 측면이 하강한 웨이퍼승강플레이트(170) 하측에 위치하는 정렬바(130)에 걸림으로써 노치(a)가 재정렬된다.
복수의 웨이퍼(W)가 재정렬을 위해 회전시 각각의 노치 및 파손감지부(150) 의 발광소자(151) 및 수광소자(152)는 웨이퍼(W)마다 에지부분 양측에 설치되어 발광소자(151)로부터 출력된 빛이 수광소자(152)에 수신됨에 따라 수광소자(152)는 웨이퍼(W)의 노치(a)를 비롯한 에지부분에 파손으로 인해 형성된 홈이나 홀의 결함을 감지신호로써 제어부(180)로 출력한다.
제어부(180)는 하나의 노치 및 파손감지부(150)로부터 출력되어 수신되는 감지신호가 2회 이상 n회일 때 웨이퍼(W)의 노치(a)에 대한 감지신호 외에 파손부분에 대한 감지신호도 수신받게 됨으로써 2회 이상의 감지신호를 출력한 노치 및 파손감지부(150)가 감지하는 웨이퍼(W)는 (n-1)곳이 파손된 것으로 판단하여 표시부(191)를 통해 이를 표시하도록 한다.
즉, 제어부(180)는 정렬바(130)에 일차적으로 정렬된 웨이퍼(W)가 재정렬시 회전하는 횟수가 한번이기 때문에 웨이퍼(W)의 노치(a)에 대한 감지신호는 1회만 수신받게 되므로 2회 이상의 감지신호를 출력한 노치 및 파손감지부(150)가 감지한 웨이퍼(W)는 파손된 것으로 판단하게 된다.
또한, 제어부(180)는 표시부(191)가 웨이퍼(W)의 파손을 외부로 표시할 때 파손된 것으로 판단한 웨이퍼(W)의 위치를 표시하도록 제어신호를 출력하게 되며, 표시부(191)는 웨이퍼(W)의 위치를 순서에 따른 숫자나 기타의 방법으로 디스플레이함으로써 작업자가 용이하게 파손된 웨이퍼(W)의 위치를 인식하도록 한다.
한편, 발광소자(151)와 수광소자(152)는 지지부재(140)의 제 2 지지홈(141)내에 서로 마주보게 각각 설치됨으로써 설치에 따른 별도의 부재를 필요로 하지 않아 장치의 구조를 간단하게 할 수 있으며, 이와는 다르게 고정대(153)에 설치됨으 로써 기존의 장치의 구조를 변경하지 않고서 용이하게 설치할 수도 있다.
또한, 웨이퍼(W)가 파손시 경보발생부(192)가 외부로 경보를 발생시킴으로써 표시부(191)를 주시하지 않거나 떨어져 있는 작업자에게 알림으로써 후속조치를 신속하게 취할 수 있도록 한다.
파손된 웨이퍼(W)는 기계적인 방법 또는 수동적인 방법에 의해서 선별해 내고 정상적인 웨이퍼(W)만 공정을 계속 진행하게 된다.
이상과 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 웨이퍼의 노치를 정렬시 식각 공정 등의 실시로 인해 웨이퍼 에지부분이 부서짐으로써 형성된 홈이나 홀 등의 결함을 감지함으로써 웨이퍼가 공정시 파손되어 다른 웨이퍼에 손상을 초래하거나 장비를 오염시키는 것을 방지하여 웨이퍼의 수율을 증대시킴과 아울러 장비의 가동율을 향상시킨다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼의 노치 얼라이너 및 얼라인 방법은 웨이퍼의 노치를 정렬시 식각 공정 등의 실시로 인해 웨이퍼 에지부분이 부서짐으로써 형성된 홈이나 홀 등의 결함을 감지함으로써 웨이퍼가 공정시 파손되어 다른 웨이퍼에 손상을 초래하거나 장비를 오염시키는 것을 방지하여 웨이퍼의 수율을 증대시킴과 아울러 장비의 가동율을 향상시키는 효과를 가지고 있다.
이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 웨이퍼의 노치 얼라이너 및 얼라인 방법을 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗 어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

Claims (7)

  1. 웨이퍼스테이지에 설치되어 웨이퍼의 노치를 정렬하는 장치에 있어서,
    상기 웨이퍼스테이지상에 설치되는 프레임과,
    길이방향을 따라 복수로 형성되는 제 1 지지홈에 에지부분이 각각 삽입되는 복수의 웨이퍼를 회전시키도록 상기 프레임에 회전가능하게 설치되는 회전롤러와,
    상기 회전롤러와 나란하도록 상기 프레임에 설치되며, 회전하는 상기 복수의 웨이퍼의 노치가 걸리게 됨으로써 상기 복수의 웨이퍼 노치를 정렬시키는 정렬바와,
    상기 회전롤러와 나란하도록 상기 프레임에 설치되며, 길이방향을 따라 복수로 형성되는 제 2 지지홈이 상기 복수의 웨이퍼 에지부분을 지지하는 지지부재와,
    상기 정렬바의 상단에 회전가능하게 설치되어 상기 정렬바에 노치가 걸려서 정렬된 상기 복수의 웨이퍼를 재정렬을 위해 회전시키기 위하여 상승시켜서 상기 회전롤러에 밀착시키는 웨이퍼승강플레이트와,
    상기 지지부재의 제 2 지지홈내에 서로 마주 보도록 각각 설치됨으로써 상기 웨이퍼 각각의 에지부분 양측에 서로 마주 보게 위치하는 발광소자와 수광소자로 각각 이루어지며, 상기 발광소자로부터 출력되는 빛을 상기 수광소자가 수신받아 재정렬을 위해 회전하는 웨이퍼의 노치 및 파손부분에 대한 감지신호를 출력하는 복수의 노치 및 파손감지부와,
    상기 각각의 노치 및 파손감지부로부터 출력되는 감지신호를 수신받아 감지신호가 2회 이상 수신되는 웨이퍼는 파손된 것으로 판단하는 제어부와,
    상기 제어부에 의해 제어되어 상기 웨이퍼의 파손을 외부로 표시하는 표시부
    를 포함하는 웨이퍼의 노치 얼라이너.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부가 상기 복수의 노치 및 파손감지부로부터 감지신호를 수신받아 상기 복수의 웨이퍼중 파손된 웨이퍼를 판단시 출력하는 제어신호에 의해 외부로 경보를 발생시키는 경보발생부
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 노치 얼라이너.
  5. 복수의 웨이퍼의 노치를 정렬하는 방법에 있어서,
    회전롤러에 의해 회전하는 웨이퍼가 정렬바에 노치가 걸림으로써 정렬되는 단계와,
    상기 웨이퍼가 재정렬을 위해 회전시 상기 웨이퍼 각각의 에지부분을 감지하는 복수의 노치 및 파손감지부가 상기 웨이퍼마다 노치를 비롯한 결함을 감지하여 제어부로 출력하는 단계와,
    상기 제어부는 상기 복수의 노치 및 파손감지부가 출력하는 감지신호를 수신시 2회 이상의 감지신호를 출력한 상기 노치 및 파손감지부가 감지하는 웨이퍼는 수신된 감지신호가 n회일 때 (n-1)곳이 파손된 것으로 판단하는 단계와,
    상기 제어부가 웨이퍼를 파손된 것으로 판단하는 단계에서 파손된 것으로 판단한 웨이퍼가 있을 때 파손된 웨이퍼를 선별해 내는 단계
    를 포함하는 웨이퍼 노치 얼라인 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제어부가 웨이퍼를 파손된 것으로 판단하는 단계에서 파손된 것으로 판단한 웨이퍼가 있을 때 영상이나 경보, 또는 영상 및 경보의 형태로 외부로 출력하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 노치 얼라인 방법
  7. 삭제
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