KR100557977B1 - 반도체소자의 듀얼 게이트산화막 형성방법 - Google Patents

반도체소자의 듀얼 게이트산화막 형성방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체소자의 듀얼 게이트산화막 형성방법에 관한 것으로, 종래에는 제1게이트산화막이 원하는 두께가 되도록 습식식각을 실시할때, 노출된 반도체기판을 손상시킴에 따라 소자특성이 열화되며, 또한 제1,제2게이트산화막의 두께조절이 어렵고, 전체적으로 공정이 복잡한 문제점이 있다. 따라서, 본 발명은 반도체기판 상에 필드산화막을 형성하여 액티브영역을 정의한 후, 그 액티브영역 상에 순차적으로 제1게이트산화막 및 폴리실리콘을 형성하는 공정과; 사진식각공정을 적용하여 폴리실리콘 및 제1게이트산화막의 일부를 식각하여 반도체기판을 노출시키는 공정과; 상기 노출된 반도체기판 상에 제2게이트산화막을 형성한 후, 잔류하는 폴리실리콘을 제거하는 공정으로 이루어지는 반도체소자의 듀얼 게이트산화막 형성방법을 제공함으로써, 종래에 비해 전체적으로 공정이 단순해지며, 제1게이트산화막의 습식식각을 실시하지 않으므로, 반도체기판의 손상을 방지할 수 있고, 제1게이트산화막의 최초 증착두께가 최종적인 두께운 게이트산화막으로 형성되므로, 제1,제2게이트산화막의 두께를 효율적으로 제어할 수 있는 효과가 있다.

Description

반도체소자의 듀얼 게이트산화막 형성방법{METHOD FOR FORMING DUAL GATE OXIDE FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE}
도1a 내지 도1d는 종래 반도체소자의 듀얼 게이트산화막 형성방법을 보인 수순단면도.
도2a 내지 도2d는 본 발명의 일 실시예를 보인 수순단면도.
***도면의 주요부분에 대한 부호의 설명***
11:반도체기판 12:필드산화막
13:제1게이트산화막 14:폴리실리콘
15:제2게이트산화막 PR11:감광막 패턴
본 발명은 반도체소자의 듀얼 게이트산화막 형성방법에 관한 것으로, 특히 반도체기판의 손상을 최소화함과 아울러 공정을 단순화하여 두께가 서로 다른 게이트산화막을 효율적으로 형성하기에 적당하도록 한 반도체소자의 듀얼 게이트산화막 형성방법에 관한 것이다.
종래 반도체소자의 듀얼 게이트산화막 형성방법을 첨부한 도1a 내지 도1d에 도시한 수순단면도를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도1a에 도시한 바와같이 반도체기판(1) 상에 필드산화막(2)을 형성하여 액티브영역을 정의한 후, 그 액티브영역 상에 제1게이트산화막(3)을 형성한다.
그리고, 도1b에 도시한 바와같이 상기 필드산화막(2)에 의해 정의된 액티브영역의 일측 제1게이트산화막(3) 상부에 감광막 패턴(PR1)을 형성하여 제1게이트산화막(3)을 식각한다.
그리고, 도1c에 도시한 바와같이 상기 감광막 패턴(PR1)을 제거한 후, 상기 제1게이트산화막(3)이 원하는 두께가 되도록 습식식각을 실시한다.
그리고, 도1d에 도시한 바와같이 상기 제1게이트산화막(3)이 형성된 반도체기판(1)의 액티브영역 상부전면에 제2게이트산화막(4)을 성장시켜 서로 두께가 다른 제1,제2게이트산화막(3,4)의 형성을 완료한다.
그러나, 상기한 바와같은 종래 반도체소자의 듀얼 게이트산화막 형성방법은 제1게이트산화막이 원하는 두께가 되도록 습식식각을 실시할때, 노출된 반도체기판을 손상시킴에 따라 소자특성이 열화되며, 또한 제1,제2게이트산화막의 두께조절이 어렵고, 전체적으로 공정이 복잡한 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 바와같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 창안한 것으로, 본 발명의 목적은 반도체기판의 손상을 최소화함과 아울러 공정을 단순화하여 두께가 서로 다른 게이트산화막을 효율적으로 형성할 수 있는 반도체소자의 듀얼 게이트산화막 형성방법을 제공하는데 있다.
상기한 바와같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 반도체소자의 듀얼 게이트산화막 형성방법은 반도체기판 상에 필드산화막을 형성하여 액티브영역을 정의하고 상기 반도체기판의 상기 액티브영역 상에 열산화에 의해 제1게이트산화막을 형성한 후 상기 제1게이트산화막 상에 폴리실리콘을 형성하는 공정과; 상기 폴리실리콘 및 제1게이트산화막의 일부를 사진식각방법으로 식각하여 상기 반도체기판을 노출시키는 공정과; 상기 반도체기판 상의 노출된 부분을 열산화하여 제2게이트산화막을 형성하고 상기 제1게이트산화막 상에 잔류하는 폴리실리콘을 제거하는 공정을 구비한다.
상기한 바와같은 본 발명에 의한 반도체소자의 듀얼 게이트산화막 형성방법을 첨부한 도2a 내지 도2d에 도시한 수순단면도를 일 실시예로 하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도2a에 도시한 바와같이 반도체기판(11) 상에 필드산화막(12)을 형성 하여 액티브영역을 정의한 후, 그 액티브영역 상에 제1게이트산화막(13) 및 폴리실리콘(14)을 순차적으로 형성한다.
그리고, 도2b에 도시한 바와같이 상기 필드산화막(12)에 의해 정의된 액티브영역의 일측 폴리실리콘(14) 상부에 감광막 패턴(PR11)을 형성하여 폴리실리콘(14) 및 제1게이트산화막(13)을 식각하여 반도체기판(11)을 노출시킨다.
그리고, 도2c에 도시한 바와같이 상기 감광막 패턴(PR11)을 제거한 후, 노출된 반도체기판(11) 상에 제2게이트산화막(15)을 형성한다. 이때, 상기 제1게이트산화막(13)은 성장되지 않으므로, 최초에 형성되는 두께가 최종적인 두꺼운 게이트산화막이 된다.
그리고, 도2d에 도시한 바와같이 상기 잔류하는 폴리실리콘(14)을 제거하여 두께가 서로 다른 제1,제2게이트산화막(13,15)의 형성을 완료한다.
상기한 바와같은 본 발명에 의한 반도체소자의 듀얼 게이트산화막 형성방법은 종래에 비해 전체적으로 공정이 단순해지며, 제1게이트산화막의 습식식각을 실시하지 않으므로, 반도체기판의 손상을 방지할 수 있고, 제1게이트산화막의 최초 증착두께가 최종적인 두께운 게이트산화막으로 형성되므로, 제1,제2게이트산화막의 두께를 효율적으로 제어할 수 있는 효과가 있다.

Claims (1)

  1. 반도체기판 상에 필드산화막을 형성하여 액티브영역을 정의하고 상기 반도체기판의 상기 액티브영역 상에 열산화에 의해 제1게이트산화막을 형성한 후 상기 제1게이트산화막 상에 폴리실리콘을 형성하는 공정과;
    상기 폴리실리콘 및 제1게이트산화막의 일부를 사진식각방법으로 식각하여 상기 반도체기판을 노출시키는 공정과;
    상기 반도체기판 상의 노출된 부분을 열산화하여 제2게이트산화막을 형성하고 상기 제1게이트산화막 상에 잔류하는 폴리실리콘을 제거하는 공정을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체소자의 듀얼 게이트산화막 형성방법.
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