KR100551993B1 - 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 반도체 소자가 안착되는 포켓부가 형성된 캐리어 몸체와;상기 포켓부의 양측에 회전축을 중심으로 회전가능하게 설치되어, 상기 포켓부에 안착된 반도체 소자를 고정하는 제 1위치와 반도체 소자를 해제하는 제 2위치로 회동하는 한 쌍의 랫치와;상기 캐리어 몸체에 수직 이동가능하게 설치된 작동판과;일단이 상기 작동판에 회전가능하게 연결되고, 타단이 상기 랫치에 연결되어, 상기 작동판의 수직 운동에 연동하여 회전하면서 상기 랫치를 제 1,2위치로 회전시키는 링크부재를 포함하여 구성된 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈.
- 제 1항에 있어서, 상기 캐리어 몸체에 대해 작동판을 탄성적으로 지지하는 탄성부재를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 링크부재의 회전운동을 안내하는 가이드부를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈.
- 제 3항에 있어서, 상기 가이드부는, 상기 랫치의 일단에 장공형태로 형성되 는 결합공에 삽입되도록 상기 링크부재의 일단부에 고정되는 가이드핀과, 상기 캐리어 몸체에 경사지게 형성되어 가이드핀의 이동을 안내하는 캠홈을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈.
- 제 1항에 있어서, 상기 작동판은 중앙에 개구부가 형성된 사각프레임 형태로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈.
- 제 1항에 있어서, 상기 랫치는, 상기 회전축을 기점으로 하여 상기 제 1,2위치 사이에서 회동하며 반도체 소자를 고정 및 해제하는 갈고리형태의 고정부와, 상기 링크부재의 일단부와 연결되는 직선형의 연결부로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈.
- 반도체 소자가 안착되는 포켓부가 형성된 캐리어 몸체와;상기 포켓부의 양측에 회전축을 중심으로 회전가능하게 설치되어, 상기 포켓부에 안착된 반도체 소자를 고정하는 제 1위치와 반도체 소자를 해제하는 제 2위치로 회동하는 한 쌍의 랫치와;상기 캐리어 몸체에 수직 이동가능하게 설치된 작동판과;일단이 상기 작동판에 회전가능하게 연결되고, 타단이 상기 랫치에 연결되어, 상기 작동판의 수직 운동에 연동하여 회전하면서 상기 랫치를 제 1,2위치로 회전시키는 링크부재와;상기 캐리어 몸체에 대해 작동판을 탄성적으로 지지하는 탄성부재와;상기 랫치의 일단에 장공형태로 형성되는 결합공에 삽입되도록 상기 링크부재의 일단부에 고정되는 가이드핀과, 상기 캐리어 몸체에 경사지게 형성되어 가이드핀의 이동을 안내하는 캠홈으로 이루어진 가이드부를 포함하여 구성된 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈.
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KR1020040101010A KR100551993B1 (ko) | 2004-12-03 | 2004-12-03 | 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈 |
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KR1020040101010A KR100551993B1 (ko) | 2004-12-03 | 2004-12-03 | 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈 |
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KR1020040101010A KR100551993B1 (ko) | 2004-12-03 | 2004-12-03 | 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈 |
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KR (1) | KR100551993B1 (ko) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113227903A (zh) * | 2018-12-21 | 2021-08-06 | Asml控股股份有限公司 | 直接驱动式掩模版安全闩锁 |
CN113811818A (zh) * | 2019-05-08 | 2021-12-17 | Asml控股股份有限公司 | 带有形状记忆合金和磁耦合机构的掩模版笼式致动器 |
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2004
- 2004-12-03 KR KR1020040101010A patent/KR100551993B1/ko active IP Right Grant
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CN113227903A (zh) * | 2018-12-21 | 2021-08-06 | Asml控股股份有限公司 | 直接驱动式掩模版安全闩锁 |
CN113811818A (zh) * | 2019-05-08 | 2021-12-17 | Asml控股股份有限公司 | 带有形状记忆合金和磁耦合机构的掩模版笼式致动器 |
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