KR100551993B1 - 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈에 관한 것으로, 반도체 소자를 고정하는 랫치의 작동이 유연하게 이루어지며, 간단한 구조로 이루어지도록 한 것이다.

이를 위한 본 발명은, 반도체 소자가 안착되는 포켓부가 형성된 캐리어 몸체와; 상기 포켓부의 양측에 회전축을 중심으로 회전가능하게 설치되어, 상기 포켓부에 안착된 반도체 소자를 고정하는 제 1위치와 반도체 소자를 해제하는 제 2위치로 회동하는 한 쌍의 랫치와; 상기 캐리어 몸체에 수직 이동가능하게 설치된 작동판과; 일단이 상기 작동판에 회전가능하게 연결되고, 타단이 상기 랫치에 연결되어, 상기 작동판의 수직 운동에 연동하여 회전하면서 상기 랫치를 제 1,2위치로 회전시키는 링크부재와; 상기 캐리어 몸체에 대해 작동판을 탄성적으로 지지하는 탄성부재와; 상기 랫치의 일단에 장공형태로 형성되는 결합공에 삽입되도록 상기 링크부재의 일단부에 고정되는 가이드핀과, 상기 캐리어 몸체에 상기 가이드핀의 이동 경로를 따라 경사지게 형성되어 가이드핀의 이동을 안내하는 캠홈으로 이루어진 가이드부를 포함하여 구성된 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈을 제공한다.

핸들러, 캐리어, 캐리어 모듈, 랫치, 작동판, 캠홈, 링크부재

Description

반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈{Carrier Module for Semiconductor Test Handler}

도 1은 종래의 캐리어 모듈의 요부 단면도

도 2는 도 1의 캐리어 모듈의 작동을 나타낸 요부 단면도

도 3은 본 발명에 따른 캐리어 모듈의 사시도

도 4는 도 3의 캐리어 모듈의 평면도

도 5는 도 4의 A-A선 단면도

도 6과 도 7은 각각 도 3의 캐리어 모듈의 작동을 나타낸 요부 단면도

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

100 : 캐리어 모듈 101 : 캐리어 몸체

102 : 포켓부 103 : 랫치

104 : 회전축 105 : 결합공

107 : 링크부재 108 : 힌지핀

109 : 가이드핀 110 : 캠홈

112 : 작동판 113 : 압축스프링

본 발명은 반도체 소자를 테스트하는 핸들러에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 소자를 반송하는 테스트 트레이에 설치되어 반도체 소자를 홀딩하는 캐리어 모듈에 관한 것이다.

일반적으로, 메모리 혹은 비메모리 반도체 소자 및 이들을 적절히 하나의 기판상에 회로적으로 구성한 모듈 아이씨(Module IC)들은 생산 후 여러 가지 테스트과정을 거친 후 출하된다.

핸들러는 상기와 같은 반도체 소자 및 모듈램 등을 자동으로 테스트하는데 사용되고 있는 장치이다. 이러한 핸들러에서는 작업자가 테스트할 반도체 소자를 수납한 트레이들을 핸들러의 로딩스택커에 적재하고, 로딩스택커의 반도체 소자들을 별도의 테스트 트레이로 옮겨 재장착한 후, 이 반도체 소자들이 장착된 테스트 트레이를 테스트 사이트(test site)로 보내고, 반도체 소자들의 리드 또는 볼 부분을 테스트 소켓의 컨넥터에 전기적으로 접속시켜 소정의 전기적 테스트를 한다. 그런 다음, 테스트가 완료된 테스트 트레이의 반도체 소자들을 분리하여 언로딩스택커의 고객 트레이에 테스트 결과에 따라 분류 장착하는 과정으로 테스트를 수행한다.

상기와 같은 핸들러에서 반도체 소자를 반송하는 테스트 트레이는 반도체 소자를 테스트 소켓의 피치와 동일한 피치로 정렬하여 고정하기 위한 복수개의 캐리어 모듈을 구비한다.

미국 특허공보 US 5,742,487호(1998년 4월 21일 등록)에 모든 종류의 반도체 소자를 용이하게 취급할 수 있는 IC 캐리어 모듈(IC Carrier Module)이 개시되어 있다. 이 IC 캐리어 모듈의 구성 및 작동에 대해 도 1과 도 2를 참조하여 간략하게 설명하면 다음과 같다.

도 1과 도 2에 도시된 것과 같이, 캐리어 몸체(1)의 중앙에 반도체 소자(D)가 수용되면서 안착되는 포켓부(2)가 형성되고, 이 포켓부(2)의 양측에 반도체 소자(D)를 고정 및 해제하는 한 쌍의 랫치(3)가 피봇핀(4)을 중심으로 회전가능하게 설치된다.

상기 각 랫치(3)의 외측에 작동블록(5)이 상하로 이동가능하게 설치된다. 상기 작동블록(5)의 중간부분에 결합공(6)이 경사지게 형성되고, 이 결합공(6)에는 상기 랫치(3)의 일단부가 삽입된다. 또한, 상기 작동블록(5)의 하측에는 스프링(7)이 설치되어 캐리어 몸체(1)에 대해 작동블록을 탄성적으로 지지한다.

상기 캐리어 몸체(1)의 상측에 사각 프레임 형태의 작동판(8)이 상하로 이동가능하게 설치되며, 이 작동판(8)은 캐리어 몸체(1)의 상면에 설치되는 스프링(9)에 의해 탄성적으로 지지된다.

상기와 같이 구성된 종래의 캐리어 모듈은 다음과 같이 작동한다.

먼저, 도 1에 도시된 것과 같이, 상기 작동판(8)에 외력이 가해지지 않은 상태에서는 작동판(8)과 작동블록(5)이 모두 스프링(7, 9)의 탄성력에 의해 상측으로 이동된 상태를 유지하고 있다. 따라서, 랫치(3)는 내측으로 회동된 상태가 되어 그 내측 단부가 포켓부(2)에 안착된 반도체 소자(D)를 고정하게 된다.

반대로, 도 2에 도시된 것과 같이, 상기 작동판(8)에 외력, 즉 누르는 힘이 가해지게 되면, 작동판(8)이 하강하면서 작동블록(5)을 누르게 되고, 이에 따라 작동블록(5)이 하강하게 된다.

작동블록(5)이 하강하게 되면, 랫치(3)의 일단부가 작동블록(5)의 결합공(6)을 따라 이동하게 된다. 따라서, 랫치(3)는 외측으로 회동하게 되고, 반도체 소자(D)의 고정이 해제되면서 반도체 소자(D)는 포켓부(2)를 통해 출입이 자유로운 상태로 된다.

다시 작동판(8)에 가해지는 힘이 제거되면, 작동판(8)과 작동블록(5)이 각각의 스프링(7, 9)의 탄성력에 의해 상승하게 되고, 랫치(3)는 도 1에 도시된 것처럼 포켓부(2) 내측으로 회동하게 된다.

그러나, 상기와 같은 종래의 캐리어 모듈은 작동판(8) 및 작동블록(5)의 상하 직선 운동이 랫치(3)의 회전운동으로 바로 변환되기 때문에 랫치와 작동블록 간의 결합부위에 간섭 현상이 발생하여 랫치의 동작이 유연하지 못한 문제가 있다.

또한, 종래의 캐리어 모듈은 작동판(8)을 지지하는 스프링(9) 외에도 작동블록(5)를 별도로 지지하여 주는 스프링(7)을 구성해 주어야 하는 등 그 구조 또한 복잡하여 제조비용이 상승하고, 제작이 난해한 문제도 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 반도체 소자를 고정하는 랫치의 작동이 유연하게 이루어지며, 간단한 구조로 이루어진 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈을 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 반도체 소자가 안착되는 포켓부가 형성된 캐리어 몸체와; 상기 포켓부의 양측에 회전축을 중심으로 회전가능하게 설치되어, 상기 포켓부에 안착된 반도체 소자를 고정하는 제 1위치와 반도체 소자를 해제하는 제 2위치로 회동하는 한 쌍의 랫치와; 상기 캐리어 몸체에 수직 이동가능하게 설치된 작동판과; 일단이 상기 작동판에 회전가능하게 연결되고, 타단이 상기 랫치에 연결되어, 상기 작동판의 수직 운동에 연동하여 회전하면서 상기 랫치를 제 1,2위치로 회전시키는 링크부재를 포함하여 구성된 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈을 제공한다.

본 발명의 다른 한 형태에 따르면, 반도체 소자가 안착되는 포켓부가 형성된 캐리어 몸체와; 상기 포켓부의 양측에 회전축을 중심으로 회전가능하게 설치되어, 상기 포켓부에 안착된 반도체 소자를 고정하는 제 1위치와 반도체 소자를 해제하는 제 2위치로 회동하는 한 쌍의 랫치와; 상기 캐리어 몸체에 수직 이동가능하게 설치된 작동판과; 일단이 상기 작동판에 회전가능하게 연결되고, 타단이 상기 랫치에 연결되어, 상기 작동판의 수직 운동에 연동하여 회전하면서 상기 랫치를 제 1,2위치로 회전시키는 링크부재와; 상기 캐리어 몸체에 대해 작동판을 탄성적으로 지지하는 탄성부재와; 상기 랫치의 일단에 장공형태로 형성되는 결합공에 삽입되도록 상기 링크부재의 일단부에 고정되는 가이드핀과, 상기 캐리어 몸체에 상기 가이드핀의 이동 경로를 따라 경사지게 형성되어 가이드핀의 이동을 안내하는 캠홈으로 이루어진 가이드부를 포함하여 구성된 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈이 제공된다.

이하, 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

먼저, 도 3 내지 도 5에 도시된 것과 같이, 본 발명의 캐리어 모듈(100)은 중앙에 반도체 소자(D)가 삽입되면서 안착되는 포켓부(102)가 형성된 캐리어 몸체(101)를 구비한다.

상기 캐리어 몸체(101)의 포켓부(102)의 양측부에 반도체 소자(D)를 홀딩하는 한 쌍의 랫치(103)가 회전축(104)을 중심으로 회전가능하게 설치된다. 그리고, 상기 캐리어 몸체(101)의 일면(설명의 편의상 이 면을 상부면으로 정의하고 반대면을 하부면으로 정의함)에는 사각프레임 형태의 작동판(112)이 상하로 수직 이동가능하게 설치된다. 상기 작동판(112)과 캐리어 몸체(101) 사이에는 탄성부재로서 압축스프링(113)이 설치된다. 이 압축스프링(113)은 캐리어 몸체(101)에 대해 작동판(112)을 탄성적으로 지지한다.

또한, 상기 작동판(112)의 양측에는 한 쌍의 링크부재(107)가 힌지핀(108)을 중심으로 회전가능하게 결합된다. 상기 각 링크부재(107)의 타단에는 가이드핀(109)이 고정되고, 이 가이드핀(109)은 랫치(103)에 형성된 장공형태의 결합공(105)에 삽입되어 연결된다.

상기 캐리어 몸체(101)의 포켓부(102) 양측에는 상기 링크부재(107)의 가이드핀(109)들이 삽입되어 안내되는 캠홈(110)이 경사지게 형성된다. 상기 캠홈(110) 은 상기 작동판(112)의 상하 직선 운동에 따른 링크부재(107)의 회전 운동시 상기 가이드핀(109)의 이동을 안내함으로써 링크부재(107)의 회전 운동을 안내하는 역할을 하게 된다.

그리고, 상기 캐리어 몸체(101)의 양측부에는 픽커(50)(도 6 참조) 양측의 위치결정핀(54)이 삽입되는 위치결정홈(114)이 형성된다. 상기 위치결정홈(114)은 픽커(50)가 포켓부(102) 내측에 반도체 소자를 안착시킬 때 반도체 소자를 포켓부(102)의 정확한 위치에 안착시킬 수 있도록 픽커(50)와 캐리어 모듈(100) 간의 위치를 안내하는 역할을 하게 된다.

상기와 같이 구성된 본 발명의 캐리어 모듈(100)은 다음과 같이 작동한다.

먼저, 도 6에 도시된 것과 같이, 캐리어 모듈(100)의 작동판(112)에 외력이 가해지지 않은 상태에서는 압축스프링(113)의 탄성력에 의해 작동판(112)이 상측으로 편향력을 받는다. 따라서, 링크부재(107)는 랫치(103)를 포켓부(102) 내측으로 회동시킨 상태로 된다.

그리고, 픽커(50)는 핸들러의 소정 위치, 예컨대 로딩 스택커의 트레이에서 테스트할 반도체 소자(D)를 픽업하여 캐리어 모듈(100)의 상측으로 이송한다.

이 상태에서 도 7에 도시된 것과 같이, 캐리어 모듈(100)의 상측에서 픽커(50)가 하강하여 그의 프레스부(52)가 캐리어 모듈(100)의 작동판(112)을 가압하게 되면, 작동판(112)이 하강 운동하게 된다.

작동판(112)이 하강함에 따라 링크부재(107)는 하단의 가이드핀(109)이 캠홈(110)을 따라 이동함과 동시에 상단의 힌지핀(108)을 중심으로 회동하게 된다. 이 에 따라 상기 가이드핀(109)과 연결된 랫치(103)가 외측으로 회동하여 벌어지게 된다.

상기 랫치(103)가 완전히 회전하면, 픽커(50)는 흡착하고 있던 반도체 소자(D)를 포켓부(102)에 놓고 상승한다.

픽커(50)의 상승에 의해 상기 작동판(112)을 누르던 힘이 제거되면, 작동판(112)은 압축스프링(113)의 탄성력에 의해 위로 상승하게 된다.

따라서, 다시 도 5에 도시된 것과 같이 링크부재(107)의 가이드핀(109)이 캠홈(110)을 따라 이동함과 동시에 링크부재(107)의 상단은 힌지핀(108)을 중심으로 회전하면서 랫치(103)를 내측으로 회전시키게 된다.

상기 랫치(103)가 내측으로 회전하게 되면, 랫치(103)의 내측단부가 반도체 소자(D)의 면에 닿으면서 반도체 소자(D)(도 5참조)를 포켓부(102) 내에 고정시키게 되는 것이다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 작동판의 직선 운동이 링크부재의 회전운동으로 변환되면서 랫치의 회전 운동으로 변환되므로 랫치의 회전이 부드럽고 유연하게 이루어지는 효과를 얻을 수 있다.

또한, 스프링 등 랫치를 구동시키기 위한 구성요소의 수가 줄어들게 되므로 캐리어 모듈의 구성을 더욱 단순화시킬 수 있고, 따라서 제작 비용과 생산성을 향상시킬 수 있는 효과도 얻을 수 있다.

Claims (7)

1. 반도체 소자가 안착되는 포켓부가 형성된 캐리어 몸체와;

   상기 포켓부의 양측에 회전축을 중심으로 회전가능하게 설치되어, 상기 포켓부에 안착된 반도체 소자를 고정하는 제 1위치와 반도체 소자를 해제하는 제 2위치로 회동하는 한 쌍의 랫치와;

   상기 캐리어 몸체에 수직 이동가능하게 설치된 작동판과;

   일단이 상기 작동판에 회전가능하게 연결되고, 타단이 상기 랫치에 연결되어, 상기 작동판의 수직 운동에 연동하여 회전하면서 상기 랫치를 제 1,2위치로 회전시키는 링크부재를 포함하여 구성된 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈.
2. 제 1항에 있어서, 상기 캐리어 몸체에 대해 작동판을 탄성적으로 지지하는 탄성부재를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈.
3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 링크부재의 회전운동을 안내하는 가이드부를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈.
4. 제 3항에 있어서, 상기 가이드부는, 상기 랫치의 일단에 장공형태로 형성되 는 결합공에 삽입되도록 상기 링크부재의 일단부에 고정되는 가이드핀과, 상기 캐리어 몸체에 경사지게 형성되어 가이드핀의 이동을 안내하는 캠홈을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈.
5. 제 1항에 있어서, 상기 작동판은 중앙에 개구부가 형성된 사각프레임 형태로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈.
6. 제 1항에 있어서, 상기 랫치는, 상기 회전축을 기점으로 하여 상기 제 1,2위치 사이에서 회동하며 반도체 소자를 고정 및 해제하는 갈고리형태의 고정부와, 상기 링크부재의 일단부와 연결되는 직선형의 연결부로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈.
7. 반도체 소자가 안착되는 포켓부가 형성된 캐리어 몸체와;

   상기 포켓부의 양측에 회전축을 중심으로 회전가능하게 설치되어, 상기 포켓부에 안착된 반도체 소자를 고정하는 제 1위치와 반도체 소자를 해제하는 제 2위치로 회동하는 한 쌍의 랫치와;

   상기 캐리어 몸체에 수직 이동가능하게 설치된 작동판과;

   일단이 상기 작동판에 회전가능하게 연결되고, 타단이 상기 랫치에 연결되어, 상기 작동판의 수직 운동에 연동하여 회전하면서 상기 랫치를 제 1,2위치로 회전시키는 링크부재와;

   상기 캐리어 몸체에 대해 작동판을 탄성적으로 지지하는 탄성부재와;

   상기 랫치의 일단에 장공형태로 형성되는 결합공에 삽입되도록 상기 링크부재의 일단부에 고정되는 가이드핀과, 상기 캐리어 몸체에 경사지게 형성되어 가이드핀의 이동을 안내하는 캠홈으로 이루어진 가이드부를 포함하여 구성된 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈.

Images