KR100548708B1 - 다층 코팅에서의 진폭 결함의 복구 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (37)
- 다층 코팅으로부터 진폭 결함을 유발하는 것을 제거함으로써, 상기 결함의 제거 후 상기 다층 코팅의 손상된 부위를 남기는 단계; 및상기 손상된 부위를 에칭하는 단계;를 포함하는 것으로 구성되어있는, 다층 코팅에서 진폭 결함을 복구하기 위한 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 진폭 결함을 유발하는 것을 제거하는 것은 입자, 얕은 구멍 및 스크래치 중의 적어도 하나를 제거하는 것인 방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 손상된 부위를 에칭하는 단계가 상기 다층 코팅의 손대지 않은 하부의 층들을 교란시키지 않고 수행되는 방법.
- 제 2 항에 있어서, 입자를 제거하는 단계가 상기 다층 코팅으로부터 상기 입자를 밀링하는 것을 포함하고 있고, 상기 밀링은 집속 이온빔(focused ion beam: FIB)으로 수행되는 방법.
- 제 4 항에 있어서, 상기 FIB가 보통의 입사각 가까이에서 작동되는 방법.
- 제 4 항에 있어서, 상기 FIB가 100 ㎚ 이하의 직경을 가지는 방법.
- 제 4 항에 있어서, 상기 FIB는 가스 공급원을 포함하는 것으로 구성되어있는 방법.
- 제 7 항에 있어서, 상기 가스 공급원은 He, Ne, Ar, Xe, F, Cl, I 및 Br로 이루어진 군에서 선택되는 가스를 포함하는 것으로 구성되어있는 방법.
- 제 4 항에 있어서, 상기 FIB는 액체 금속 공급원을 포함하는 것으로 구성되어있는 방법.
- 제 9 항에 있어서, 상기 액체 금속 공급원은 Ga, Si, In, Pb 및 Hg로 이루어진 군에서 선택된 액체 금속을 포함하는 것으로 구성되어있는 방법.
- 제 4 항에 있어서, 상기 결함을 상기 FIB를 가지고 영상화하는 것을 더 포함하는 것으로 구성되어있는 방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 제거 단계와 에칭 단계 동안에 상기 결함을 영상화하는 것을 더 포함하는 것으로 구성되어있는 방법.
- 제 12 항에 있어서, 영상화하는 단계가 집속 이온빔을 사용하여 수행되는 방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 손상된 부위를 에칭하는 단계가 5000 V 이하의 전압을 가지는 이온빔을 사용하여 수행되는 방법.
- 제 14 항에 있어서, 상기 이온빔이 약 10 ㎚ 내지 약 1 ㎜의 직경을 가지고 있는 방법.
- 제 14 항에 있어서, 상기 이온빔이 에칭 공정의 균일성을 향상시키기 위하여 상기 다층 코팅에 대하여 회전하는 방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 손상된 부위를 에칭하는 단계가 200℃ 이하의 온도에서 행해지는 방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 손상된 부위를 에칭하는 단계가 상기 다층 코팅의 표면에 10 ㎛ 이상의 직경과 150 ㎚ 이하의 깊이를 가진 크레이터를 생성하는 방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 손상된 부위를 에칭하는 단계가 상기 다층 코팅의 표면으로부터 20도 이하인 경사각으로 이온빔을 사용하여 수행되는 방법.
- 제 19 항에 있어서, 상기 이온빔이 에칭 공정의 균일성을 향상시키기 위하여 상기 다층 코팅에 대하여 회전되는 방법.
- 제 4 항에 있어서, 결함을 제거하기 위한 상기 밀링 단계에 의해 이식된 원자들을 제거하는 것을 포함하는 것으로 구성된 방법.
- 제 2 항에 있어서, 상기 입자가 손상된 다층 코팅의 국부적 부위에 의해 둘러싸인 상기 다층 코팅의 상단에 있거나 그것의 표면 가까이에 박혀 있는 방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 결함을 제거하는 단계가, 크레이터를 생성할 수 있는 능력을 가진 AFM(Atomic Force Microscope)을 가지고 수행되는 방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 복구된 부위에서 상기 다층 코팅의 표면의 경사를 최소화하는 것을 더 포함하는 것으로 구성된 방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 결함을 제거하는 단계에 연이어, 두께가 약 1 내지 4 ㎚이고 노출된 다층 코팅의 산화를 제한하는 Si 층을 침적하는 것을 더 포함하는 것으로 구성된 방법.
- 결함을 물리적으로 제거하고, 하부의 손대지 않은 층들을 노출시키는 넓고 얕은 크레이터를 남겨 코팅의 국부적 반사율을 재건하는 것을 포함하는 것으로 구성되어있는, 다층 코팅에서 진폭 결함을 복구하는 방법.
- 이온빔 생성을 위한 이온빔 공급원; 및다층 코팅을 수행하는 기재를 보지(holding)하고 위치시키기(positioning) 위한 마운트(mount);를 포함하는 것으로 구성되어있는, 진폭 결함을 복구하기 위한 장치.
- 제 27 항에 있어서,상기 결함을 제거하기 위하여 상기 다층 코팅상에 상기 이온빔을 집속하고, 상기 결함의 제거시 남은 손상된 부위를 에칭하기 위한 이온빔 광학기기를 더 포함하는 것으로 구성되어있는 장치.
- 제 28 항에 있어서, 상기 이온빔 광학기기는 상기 다층 코팅상에 100 ㎚ 이하의 직경으로 상기 이온빔을 집속할 수 있는 장치.
- 제 27 항 또는 제 28 항에 있어서, 상기 이온빔 공급원이 가스 공급원을 포함하는 것으로 구성되어있는 장치.
- 제 30 항에 있어서, 상기 가스 공급원이 He, Ne, Ar, Xe, F, Cl, I 및 Br로 이루어진 군에서 선택된 가스를 포함하는 것으로 구성되어있는 장치.
- 제 28 항에 있어서, 상기 이온빔 공급원은 액체 금속 공급원을 포함하는 것으로 구성되어있는 장치.
- 제 32 항에 있어서, 상기 액체 금속 공급원은 Ga, Si, In, Pb 및 Hg로 이루어진 군에서 선택된 액체 금속을 포함하는 것으로 구성되어 있는 장치.
- 제 27 항 또는 제 28 항에 있어서, 상기 이온 공급원으로 상기 결함을 영상화하기 위한 수단을 더 포함하는 것으로 구성되어있는 장치.
- 제 27 항 또는 제 28 항에 있어서, 에칭 공정의 균일성을 향상시키기 위하여 상기 다층 코팅에 대하여 상기 이온빔을 회전시키기 위한 수단을 포함하는 것으로 구성되어있는 장치.
- 제 27 항 또는 제 28 항에 있어서, 상기 다층 코팅의 온도를 모니터링하기 위한 수단을 더 포함하는 것으로 구성되어있는 장치.
- 제 27 항에 있어서, 상기 이온빔 공급원은 크레이터를 생성할 수 있는 능력을 가진 AFM(Atomic Force Microscope)이고, 상기 기재를 보지하고 위치화시키기 위한 상기 마운트는 상기 AFM에 대해 작동가능한 가까운 곳에서 작용을 수행하는 장치.
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