KR100547656B1 - 마이크로 모듈 검사용 핸들러 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 조립이 완료된 전자부품 등의 불량여부를 판정하고 선별하는 마이크로 모듈 검사용 핸들러 장치에 관한 것이다.
일반적으로 조립공정에서 제작이 완료된 칩들은 실제 제품에 탑재되기 전 과정으로서 칩의 양품 혹은 불량품의 여부를 판단하는 과정과, 검사결과 불량으로 판정된 칩은 펀치를 이용하여 타공함으로써 불량임을 표시하는 과정을 거치게 되는데, 이와 같이 목적을 위해 사용되어 온 종래의 핸들러는 칩을 테스트하기 위한 테스트 유닛이 하나 밖에 설치되어 있지 않아 칩의 양면에 대한 검사를 실시해야 하는 경우에는 칩의 상단면을 검사한 후 다시 하단면을 검사하는 공정을 거치게 되므로 번거로움과 이로 인한 시간지연의 문제가 있었다.
또한, 종래의 핸들러는 불량품을 타공하기 위한 펀치가 역시 하나 밖에 설치되어 있지 않은 관계로 불량품이 많이 발생하는 경우에는 타공을 위한 대기시간에 길어져, 전체의 작업공정이 지연되는 문제가 있었을 뿐만 아니라, 펀치의 타공 위치를 수동으로 설정해야 하므로 운전에 많은 불편이 있었다.
따라서, 본 발명에서는 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 칩의 양단면을 동시에 검사할 수 있고, 타공속도를 향상시킬 수 있으며, 타공의 위치 설정을 자동으로 용이하게 할 수 있는 마이크로 모듈 검사용 핸들러 장치를 제공한다.
핸들러, 부품, 마이크로 모듈, 스마트카드, 검사, 불량판정, 양면측정, 리젝트 펀치, 위치결정, 로더

Description

마이크로 모듈 검사용 핸들러 장치{A HANDLER FOR MICRO MODULE TEST}
도 1은 본 발명에 따른 핸들러 장치의 전체를 나타낸 개략도
도 2는 본 발명에 따른 핸들러 장치의 이송부 확대도
도 3은 본 발명에 따른 핸들러 장치의 테스트부와 리젝트 펀치부 확대도
도 4는 본 발명에 따른 핸들러 장치의 테스트부 확대도
도 5는 본 발명에 따른 핸들러 장치의 모니터부 구성도
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
10 : 장치의 본체부 20 : 로더부
30 : 언로더부 40 : 이송부
50 : 테스트부 60 : 제어부
70 : 리젝트 펀치부
본 발명은 전자부품을 조립 완료한 후 칩의 불량여부를 판정하고 선별하는 칩 검사용 핸들러에 관한 것으로, 특히 스마트카드 등에 사용되는 Radio Frequency Identification(RFID) Module이나 Combination Type의 칩(Chip)((이하, 이들을 통틀어 "칩"이라 칭한다)과 같은 부품을 검사하는데 사용되는 핸들러 장치에 관한 것이다.
국내공개특허공보 2002-0063503호에도 개시된 바와 같이 일반적으로 조립공정에서 제작이 완료된 칩들은 테이프 형상의 캐리어(이하, “테이프 캐리어”라 한다)에 탑재된 상태에서, 실제 제품에 탑재되기 전 과정으로서 칩의 양품 혹은 불량품의 여부를 판단하는 과정과 검사결과 불량으로 판정된 칩은 소정의 방법으로 표시하는, 예를 들어 펀치를 이용하여 타공함으로써 불량임을 표시하는 과정을 거치게 된다.
그러나, 상기와 같은 목적을 위해 사용되어 온 종래의 핸들러는 칩을 테스트하기 위한 테스트 유닛(Test Unit)이 하나 밖에 설치되어 있지 않은 관계로 칩의 양면에 대한 검사를 실시해야 하는 경우에는 칩의 상단면(Contact Side)를 검사한 후 다시 하단면(Component Side)을 검사하는 공정을 거치게 되므로 하나에 칩에 대하여 두 번의 검사를 실시해야 하는 번거로움과 이로 인한 시간지연의 문제가 있었다.
또한, 종래의 핸들러는 불량품을 타공하기 위한 리젝트 펀치가 역시 하나 밖에 설치되어 있지 않은 관계로 불량품이 많이 발생하는 경우, 특히 연이어 불량품이 발생한 경우에는 타공을 위한 대기시간에 길어져, 전체의 작업공정이 지연되는 문제가 있었을 뿐만 아니라, 펀치의 타공 위치를 Micro Meter 등을 사용하여 수동 으로 설정해야 하므로 운전에 많은 불편이 있었다.
따라서, 본 발명에서는 상기와 같은 문제점을 감안하여, 칩의 양단면을 동시에 검사함으로써 칩의 검사 속도를 획기적으로 향상시킬 수 있는 핸들러 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 불량품 등이 대량으로 발생한 경우에도 타공에 의한 시간 지연없이 작업속도를 향상시킬 수 있는 핸들러 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 리젝트 펀치의 타공위치를 자동으로 용이하게 설정할 수 있는 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 마이크로 모듈 검사용 핸들러 장치는 장치 전체를 지지하고, 제어부를 내장하며, 각종 스위치 및 램프를 구비하고 있는 본체부(10); 검사대상물을 공급하는 로더부(20) 및 검사가 완료된 대상물을 회수하는 언로더부(30); 대상물이 탑재된 테이프 캐리어를 간헐적으로 전진시키는 이송부(40); 테이프 캐리어에 탑재되어 있는 대상물의 불량여부를 검사하는 테스트부(50); 장치 전체를 제어하고 모니터하는 제어부(60); 및 불량품에 대해 타공을 실시하는 리젝트 펀치부(70)로 이루어진 마이크로 모듈 검사용 핸들러 장치에 있어서, 상기 테스트부는 검사대상을 상하 양면에서 동시에 검사할 수 있도록 복수 개의 테스트 유닛(53, 54)을 구비한 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 마이크로 모듈 검사용 핸들러 장치는 장치 전체를 지지하고, 제어부를 내장하며, 각종 스위치 및 램프를 구비하고 있는 본체부(10); 검사대상물을 공급하는 로더부(20) 및 검사가 완료된 대상물을 회수하는 언로더부(30); 대상물이 탑재된 테이프 캐리어를 간헐적으로 소정량씩 전진시키는 이송부(40); 테이프 캐리어에 탑재되어 있는 대상물의 불량여부를 검사하는 테스트부(50); 장치 전체를 제어하고 모니터하는 제어부(60); 및 불량품에 대해 타공을 실시하는 리젝트 펀치부(70)로 이루어진 마이크로 모듈 검사용 핸들러 장치에 있어서, 상기 리젝트 펀치부는 다량의 불량품을 동시에 타공할 수 있도록 대상물의 이동방향으로 복수개의 펀치가 설치된 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 마이크로 모듈 검사용 핸들러 장치는 장치 전체를 지지하고, 제어부를 내장하며, 각종 스위치 및 램프를 구비하고 있는 본체부(10); 검사대상물을 공급하는 로더부(20) 및 검사가 완료된 칩을 회수하는 언로더부(30); 테이프 캐리어에 탑재되어 있는 칩을 간헐적으로 전진시키는 이송부(40); 테이프 캐리어에 탑재되어 있는 칩의 불량여부를 검사하는 테스트부(50); 장치 전체를 제어하고 모니터하는 제어부; 및 불량품에 대해 타공을 실시하는 리젝트 펀치부로 이루어진 칩 검사용 핸들러 장치에 있어서, 상기 테스트부는 검사 대상을 상하 양면에서 동시에 검사할 수 있도록 복수개의 검사 유닛을 구비하고, 상기 리젝트 펀치부는 다량의 불량품을 동시에 타공할 수 있도록 대상물의 이동방향으로 복수개의 펀치가 설치된 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 마이크로 모듈 검사용 핸들러 장치는 상기 리젝트 펀치부 각각에 X축 및 Y축 각각을 제어하여 타공을 위한 위치제어가 가능하도록 복수개의 모터를 구비한 것을 특징으로 한다.
[발명의 실시예]
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 칩 검사용 핸들러의 실시형태에 관하여 보다 구체적으로 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 칩 검사용 핸들러의 주요 구성을 나타낸 개략도이다. 도 1에서 10은 장치의 본체부, 20은 로더(Loader)부, 30은 언로더(Unloader)부, 40은 이송부, 50은 테스트부, 60은 제어부, 70은 리젝트 펀치(Reject Punch)부이다.
도 1에서 도면부호 10은 본체부이다. 본체부는 검사장치와 이송장치 등 장치 전체를 안정감 있게 지지하는 역할을 하는 한편, 제어부(추후 설명)를 내장하고 있고, 작업에 필요한 작동 스위치 등이 설치되어 있다. 또한, 시험운전을 위한 테스트 스위치와 비상용 정지 스위치를 구비하고 있으며, 각종 TAPE 끊김, 카운터의 계수동작 이상, 리젝트 펀치의 동작 이상, 그 외의 장치의 동작에 이상 발생시 사용자에게 경보를 알려주기 위한 알람램프 등(이상 미도시)이 설치되어 있다.
또한, 1Ω이하의 접지저항을 통하여 접지가 되어 있으며, 장치 내부에 교환 부품을 수납할 수 있는 구조로 되어 있다.
또한, 도 1에서 도면부호 20은 로더부를 나타낸 것이고, 도면부호 30은 언로더부를 나타낸 것이다. 앞에서도 언급한 바와 같이 조립공정에서 제작이 완료된 RFID 등의 칩은 스마트카드 등에 최종 조립되기 전에 검사과정을 거치기 위해 검사장치로 이송하게 되는데 로더부(20)은 이 때 검사대상물인 칩을 공급하는 부분이고, 언로더부(30)은 검사가 완료된 칩을 회수하는 부분이다.
로더부(20)와 언로더부(30)은 각각 2세트의 테이프 캐리어를 수용할 수 있으며, 테이프캐리어가 감겨있는 테이프 릴(21)(31)과 공릴(empty Reel)(22)(32)로 나누어진다. 상기 공릴은 로더에서는 칩 보호용 스페이서 파일(Spacer File)을 수용하며 언로더에서는 스페이서 파일을 공급한다. 여기에서 스페이서 파일이란, 칩이 테이프 캐리어에 탑재되어 테이프 릴에 감길 때 마찰등에 의한 칩의 손상을 방지하기 위하여 중간에 삽입하는 일종의 간지를 말한다. 따라서, 로더측에서는 테이프 릴이 풀리면서 발생하는 스페이서 파일을 수용하고, 언로더측에서는 테이프 릴에 테이프 캐리어를 감기 위해 새로운 스페이서 파일을 공급하게 된다. 그리고, 스프로켓에서 테이프 릴의 흐름을 원활하게 하기 위해서 로더와 언로더의 하단부에는 각각 로더버퍼(Loader Buffer)(23)와 언로터 버퍼(Unloader Buffer)(33)가 구성되어 있다.
또한, 로더부와 언로더부의 테이프 캐리어가 감겨있는 테이프 릴(21)(31)은 개별적으로 정회전/역회전/자유(Free) 상태로 설정이 가능하며, 테이프 캐리어의 부피에 따라 토크 조정이 가능하고, 테이프 캐리어가 감긴 량이 다르더라도 서로 간섭함이 없이 회전이 유연(smooth)하게 이루어 질수 있도록 되어 있다
그리고, 테이프 릴을 원터치(one touch) 방식에 의해 로더 버퍼에서 용이하게 착탈 가능하도록 되어 있다. 또한, 로더부와 언로더부에는 검사작업시 오동작이 발생 하게 되면 알람 및 램프를 통하여 경고하거나 긴급 정지할 수 있는 기능이 부여되어 있다.
한편, 테이프 캐리어(24)에 탑재되어 있는 칩은 검사를 위하여 이송부(40)에 의해 테스트부(50)로 이동하게 된다. 테이프 캐리어의 이송은 도 2(a)에 나타낸 바와 같이 이송부(40)의 스프로켓(Sprocket)(41)이 회전함에 따라 테이프 캐리어(24)가 순차적으로 일정량씩 간헐 전진하게 되는데, 이를 위해 스프로켓의 동축상에는 펄스모터(Pulse Motor)가 연결되어 있다. 즉, 언로더의 펄스모터(44)가 소정량씩 간헐 회전함에 따라 스프로켓이 회전하면 로더에 있는 테이프 릴은 조금씩 풀리게 되고, 마찬가지로 언로더측 펄스모터(44)가 소정량씩 간헐 회전함에 따라 스프로켓이 회전하면 언로더측의 테이프 릴은 조금씩 감김에 따라 칩이 한 단계씩 전진하게 된다
여기에서, 도면부호 43은 텐션모터(Tension Motor)인데, 상기 텐션모터는 펄스모터(44)가 소정량씩 간헐 회전할 때 테이프 캐리어의 흔들림을 최소화 하여 칩을 검사할 때 흔들림에 의한 오동작을 최소화하는 역할을 한다.
도 2에서 42는 클램프 롤러(Clamp Roller)로 테이프 캐리어가 이송되는 과정에서 스프로켓으로부터 이탈하지 않도록 캐리어를 잡아주는 롤러이다. 또한, 이송부(40)의 후단에는 테이프 릴이 스프로켓으로부터 자연스럽게 빠질 수 있도록 도면에는 도시되어 있지 않은 테이프 가이드가 설치되어 있다.
도 2(b)에서 도면부호 45는 스프로켓의 주위에 설치된 톱니모양의 돌기가 끼워지는 스프로켓 구멍이며, 46는 검사대상인 칩, 47은 테스트 유닛의 프로브와 접 촉되는 컨택트(Contact)이다. 또한, 도면부호 48은 테이프 캐리어가 로더측으로부터 언로더측으로 이동함에 있어 정상적인 경로를 벗어나지 않도록 하는 가이드 레일부이다.
다음은 테스트부(50)에 대하여 설명한다.
도 3은 테스트부와 리젝트 펀치부를 확대해서 나타낸 도면이고, 도 4는 테스트부 만을 확대해서 나타낸 도면이다. 테이프 캐리어(24)가 전진함에 따라 칩이 테스트부에 진입하게 되면, 먼저 로더측 P/F 및 펀치홀(Punch Hole) 인식부(51)는 테이프 캐리어, P/F(여기에서, P/F란, 스프로켓 구멍 사이의 거리를 말한다) 등에 대한 정보를 검출하여 제어기에 전송함으로써 칩(46)이 검사부에 자동으로 정확한 위치에 이송될 수 있도록 한다.
칩이 검사위치로 이송되면 다음 단계는 프로브(또는 POGO Pin)(52)가 설치되어 있는 테스트 유닛(53, 54)이 퓨셔(미도시)의 구동에 의하여 하강하게 되고, 그 결과 테스트 유닛(53, 54)의 프로브(52)가 칩의 컨택트(47)에 접촉하게 된다. 그리고 동시에 제어부에서는 프로브를 통하여 소정의 정해진 절차에 따라 전기적인 신호를 칩에 보낸 후 되돌아 오는 신호를 이용하여 칩의 불량여부를 판단한다.
한편, 본 발명에서는 종래의 핸들러가 가지는 문제점을 해결하기 위해 테스트부에 두 개의 테스트 유닛(53, 54)를 구비하고 있다. 즉, 종래의 핸들러는 칩을 테스트하기 위한 테스트 유닛이 하나 밖에 설치되어 있지 않아 칩의 양면에 대한 검사를 실시해야 하는 경우에는 칩의 상단면(Contact Side)를 검사한 후 다시 하단면(Component Side)을 검사하는 공정을 거치게 되므로 하나에 칩에 대하여 2번의 검사를 실시해야 하기 때문에 검사작업이 번거로웠을 뿐만 아니라 이로 인하여 시간지연의 문제가 있었다. 따라서, 본 발명은 도 4에 나타낸 바와 같이 테스트 유닛을 상, 하에 설치하고, 제어기로부터 검사에 필요한 전기적인 신호를 동시에 내보냄으로써 짧은 시간 내에 한번에 칩의 불량여부를 측정할 수 있는 장점을 가지게 된다.
도 4에서 도면부호 55는 테스터(Tester)로 이것은 테스트 유닛을 통하여 검사에 필요한 전기적인 신호를 제어하는 기능을 한다. 또한, 도면부호 56은 테스트 유닛과 테스터 사이의 인터페이스 케이블이다.
앞에서도 언급한 바와 같이 로더측 P/F 및 펀치홀 인식부(51)은 테이프 캐리어 상에서 리젝트 펀치홀의 타발 위치 및 칩의 이송정도를 나타내는데 이용되며, 도면부호 59는 언로더측 P/F 및 펀치 홀(Punch hole) 인식부를 나타낸 것인데, 이는 필름에 대하여 리젝트 펀치 홀의 타발 여부 및 칩의 이송정도를 제어하는데 이용된다.
본 발명의 제어부(60)는 제어기와 모니터부로 구성된다. 제어기는 칩의 이송, 검사, 펀칭등 장치 전반을 제어하는 하드웨어적인 부분으로 본체내부에 수납되어 있으며, 모니터부는 도 5에 나타낸 바와 같이 검사장치의 상태 및 검사과정을 한 눈에 파악하기 용이하도록 구성된 화면을 의미한다. 본원의 모니터부는 도 5에 나타낸 바와 같이 사용자나 패키지 정보 등을 나타내는 제품정보화면(61); 생산량 및 수율 등을 나타내는 생산정보화면(62); 운전시간이나 정지시간 등을 나타내는 설비정보화면(63); 실시간 Lot 테스트 정보화면(64); 실시간 잼(Jam) 위치나 클링(Clear) 정보를 타나내는 잼 리스트화면(65) 등으로 구성된다.
또한, 다른 실시예로서, 검사 총수량, 양품수량, 불량수량, 수율 등을 나타내는 운전화면; 가동조건의 설정에 따라 각각의 동작현황을 손쉽게 파악할 수 있도록 에니메이션 기능을 가지며, 보유설비의 보수를 위한 각부의 모터의 온/오프가 가능하고 장치에서 사용하는 입출력 포트의 상태를 모니터링하는 부분동작화면; 1 Lot의 검사 완료시 텍스트(Text) 파일 형식의 카운터 데이터 및 시간, 운전 데이터 보존기능을 가진 파일관리화면; 장치에 고장이 발생하였을 때 고장내용과 함께 간단한 처치방법 및 위치를 표시하고, 조작 스위치에 의해 운전화면으로 복귀가 가능하도록 구성된 알람화면 등으로 구성할 수도 있다.
도 3의 우측부분은 리젝트 펀치(Reject Punch)부를 나타내고 있다. 리젝트 펀치부(70)는 전단계에서의 검사결과가 불량으로 판정된 칩에 대해 불량임을 표시하기 위하여 칩에 구멍을 뚫고 제거하는 부분이다.
도에서 보인 바와 같이 본 발명의 리젝트 펀치부는 타공부(73, 77)의 X축 위치를 제어하기 위한 모터(71, 75)와 Y축 위치를 제어하는 모터(72, 76), 타공부(73, 77) 및 집진부(74, 78)로 구성되어 있다.
본 발명에서는 종래의 핸들러와는 달리 타공부(73, 77)의 위치를 제어하기 위한 모터를 X축과 Y축에 설치하고 있는데, 그 이유는 검사 대상 칩의 종류가 바뀌게 되면 타공 위치가 달라지게 되므로 자동으로 용이하게 타공 위치를 제어하기 위해서이다.
한편, 기존 핸들러의 펀치부는 칩의 종류에 따른 타공의 위치를 지정하기 위 해서는 마이크로미터(Micro Meter) 등을 사용하여 수동으로 Y축의 위치를 세팅하였기 때문에 작업이 매우 불편한 문제점이 있었다. 그러나, 본원 발명의 펀치부는 상기와 같이 X축 모터와 Y축 모터 두개를 사용함으로써 칩의 종류가 달라짐에 따라 타공의 위치가 바뀌어도 제어기로부터의 명령에 의하여 모터를 회전시켜 간단하게 타공의 위치를 지정할 수 있으므로 작업을 용이하고 빠르게 실시할 수 있을 뿐만 아니라 신뢰성을 향상시킬 수 있는 장점을 가지게 된다.
또한, 본 발명은 핸들러에 두 개의 리젝트 펀치부가 구성되어 있는데, 이는 기존의 핸들러가 가지는 단점, 즉 기존의 핸들러는 불량품을 타공하기 위한 펀치가 하나 밖에 설치되어 있지 않은 관계로 불량품이 많이 발생하는 경우에는 타공을 위한 대기시간에 길어져 전체 작업공정이 지연되는 문제점을 해결하기 위한 것이다.
이와 같이 두 개의 리젝트 펀치부를 가지면 연이어 두 개의 칩에 불량이 발생하였을 경우에도 제어기의 명령에 의하여 동시에 두 개의 칩에 타공을 할 수 있으므로 작업속도를 매우 향상시킬 수 있는 장점을 가지게 된다.
일반적으로 리젝트 펀치부에 의하여 칩이 타공이 되면 펀치 유니트 하단에는 타공에 의한 이물질이 발생하게 되고, 이러한 이물질은 기기의 고장을 유발하거나 예기치 않은 사고의 원인이 될 수도 있다. 따라서 이러한 이물질을 제거하기 위하여 본 발명에서는 각각의 펀치 유니트 하단에 집진부(90)를 구비하고 있다. 이와 같은 집진부는 흡입장치에 의해서 구성되는데, 펀치 유니트가 펀칭을 함과 동시에 흡입동작을 하므로써 이물질을 집진하게 된다.
이상에서는 본 발명에서 도시되고 설명된 방법들은 단지 하나의 실시예를 보 인 것으로, 다양한 변화들이 본 발명의 범위와 정신을 벗어남이 없이 당업자에 의해 용이하게 구현될 수 있을 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이 본원 발명에서는 종래의 핸들러가 하나의 테스트 유닛과 하나의 리젝트 펀지치만을 가짐으로 인하여 발생할 수 있는 문제점을 해결하기 위하여, 칩의 양단면을 동시에 검사할 수 있는 두 개의 테스트 유닛과 다수개의 불량품이 발생할 경우를 대비한 두개의 리젝트 펀치 및 자동으로 타공위치를 설정하기 위한 두 개의 모터를 구비하여 제어함으로써, 검사속도와 타공속도를 향상시킴으로써 전체적인 작업공정 속도의 향상과 생산성의 향상을 도모할 수 있고, 작업이 용이할 뿐만 아니라 신뢰성이 높은 검사를 수행할 수 있는 효과를 제공한다.

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  7. 장치 전체를 지지하고, 제어부를 내장하며, 각종 스위치 및 램프를 구비하고 있는 본체부(10); 검사대상물을 공급하는 로더부(20) 및 검사가 완료된 대상물을 회수하는 언로더부(30); 대상물이 탑재된 테이프 캐리어를 간헐적으로 소정량씩 전진시키는 이송부(40); 테이프 캐리어에 탑재되어 있는 대상물의 불량여부를 검사하는 테스트부(50); 장치 전체를 제어하고 모니터하는 제어부(60); 및 불량품에 대해 타공을 실시하는 리젝트 펀치부(70)로 이루어진 마이크로 모듈 검사용 핸들러 장치에 있어서,
    상기 테스트부는 검사대상물을 상하 양면에서 동시에 검사할 수 있도록 복수개의 테스트 유닛(53, 54)을 구비하고,
    리젝트 펀치부는 다량의 불량품을 동시에 타공할 수 있도록 대상물의 이동방향으로 복수개의 펀치가 설치되되, X축 및 Y축 각각을 제어하는 복수개의 모터에 의해 위치가 결정되며, 그 하단에 이물질을 제거하기 위해 석션펌프에 의하여 구동되는 집진기를 구비하며,
    상기 제어부는 사용자나 패키지 정보 등을 나타내는 제품정보화면; 생산량 및 수율 등을 나타내는 생산정보화면; 운전시간이나 정지시간 등을 나타내는 설비정보화면; 실시간 Lot 테스트 정보화면; 실시간 잼(Jam) 위치나 클리어(Clear) 정보를 나타내는 잼 리스트화면으로 구성된 모니터부를 포함한 것을 특징으로 하는 마이크로 모듈 검사용 핸들러 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제어부는 검사 총수량, 양품수량, 불량수량, 수율 등을 나타내는 운전화면;
    가동조건의 설정에 따라 각각의 동작현황을 손쉽게 파악할 수 있도록 에니메이션 기능을 가지며, 보유설비의 보수를 위한 각부의 모터의 온/오프가 가능하고 장치에서 사용하는 입출력 포트의 상태를 모니터링하는 부분동작화면;
    1 Lot의 검사 완료시 텍스트(Text) 파일 형식의 카운터 데이터 및 시간, 운전 데이터 보존기능을 가진 파일관리화면;
    장치에 고장이 발생하였을 때 고장내용과 함께 간단한 처치방법 및 위치를 표시하고, 조작 스위치에 의해 운전화면으로 복귀가 가능하도록 구성된 알람화면으로 구성된 모니터부를 더 포함한 것을 특징으로 하는 마이크로 모듈 검사용 핸들러 장치.
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