KR100541967B1 - Electrostatic remove apparatus - Google Patents
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- H01T19/00—Devices providing for corona discharge
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Abstract
본 발명은 코로나 방전을 이용한 정전기 제거장치에 관한 것으로, 고전압 방전에 의하여 생성된 이온을 에어를 분사시켜 원하는 곳으로 이동시키되 에어 전달 효율의 극대화와 고전압 누설차단 및 청정에어의 공급이 가능하도록 하는 것이다.The present invention relates to an apparatus for removing static electricity using corona discharge, and to move ions generated by high voltage discharge to a desired place by maximizing air transfer efficiency and supplying high voltage leakage and cleaning air. .
이러한 본 발명은 방전전극의 외측으로 에어가 분사되어 생성이온을 날리는 에어노즐이 형성된 방전소켓에 있어서, 상기 방전소켓의 에어노즐에 공급되는 에어가 별도로 형성된 에어전달통로를 통하여 각각의 에어노즐에 에어가 별도로 공급되어 분사되게 하므로서 이루어지는 것으로, 에어 압력이 일정하게 분사되는 한편 한쪽 에어전달통로가 이상이 발생하더라도 에어분사가 이루어지게 하는 한편 고전압방전라인이 에어와 분리되어 상호유도물질 생성을 방지하게 된다.The present invention is a discharge socket in which air is blown to the outside of the discharge electrode to generate the generated ions in the discharge socket, the air supplied to the air nozzle of the discharge socket through the air delivery passage formed separately to each air nozzle Is made by separately supplied and sprayed, even if the air pressure is sprayed uniformly, even if one of the air transfer path is abnormal, the air is sprayed while the high-voltage discharge line is separated from the air to prevent the formation of mutually inductive substances. .
고전압, 정전기, 제거, 에어High voltage, static electricity, elimination, air
Description
도 1은 본 발명 정전기 제거장치의 사시도1 is a perspective view of the electrostatic eliminating device of the present invention
도 2는 본 발명 정전기 제거장치의 요부 분해 사시도Figure 2 is an exploded perspective view of the main part of the present invention static eliminator
도 3은 본 발명 정전기 제거장치의 메인 커버 사시도Figure 3 is a perspective view of the main cover of the present invention static eliminator
도 4는 본 발명 정전기 제거장치의 요부 조립 상태 측면도Figure 4 is a side view of the main assembly state of the present invention static eliminator
도 5는 본 발명의 방전소켓 요부 단면도Figure 5 is a cross-sectional view of the main portion of the discharge socket of the present invention
도 6은 본 발명의 에어 노즐 분사 상태 설명도Figure 6 is an explanatory view of the air nozzle injection state of the present invention
도 7은 기존의 방전소켓 단면도7 is a cross-sectional view of a conventional discharge socket
[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명][Description of Symbols for Main Parts of Drawing]
100 : 정전기 제거장치 101 : 메인커버100: static eliminator 101: main cover
110 : 방전소켓 120 : 방전전극110: discharge socket 120: discharge electrode
130,131 : 에어노즐 140 : 모듈 파이프130,131: Air nozzle 140: Modular pipe
141,142 : 에어전달통로 150 : 팁모듈141,142: air transfer passage 150: tip module
160 : 고압바 170 : 절연커버160: high pressure bar 170: insulation cover
본 발명은 코로나 방전을 이용한 정전기 제거장치에 관한 것으로, 고전압 방전에 의하여 생성된 이온을 에어를 분사시켜 원하는 곳으로 이동시키되 에어 전달 효율의 극대화와 고전압 누설차단 및 청정에어의 공급이 가능하도록 하는 것이다.The present invention relates to an apparatus for removing static electricity using corona discharge, and to move ions generated by high voltage discharge to a desired place by maximizing air transfer efficiency and supplying high voltage leakage and cleaning air. .
일반적으로 반도체, 액정디스플레이(LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 유기EL, 다중 레이어 세라믹 콘덴서(MLCC; Multi-Layer Ceramic Condenser)등을 제작하기 위해서는 고도의 청정 작업공간을 요하게 되나, 이들의 인쇄, 도포 및 세정 공정에서는 정전기가 대전하기 쉬운 고절연 물질을 다량으로 취급하게 되어 정전기로 인한 먼지 등의 이물질 부착이 발생하게 되고, 이로 인하여 수율의 저하, 패턴의 파괴, 인쇄불량 등의 문제가 발생한다.Generally, semiconductor, liquid crystal display (LCD), plasma display panel (PDP), organic EL, multi-layer ceramic condenser (MLCC) require high clean working space, but their printing In the application and cleaning process, a large amount of high-insulating material, which is easily charged with static electricity, is treated, resulting in adhesion of foreign substances such as dust due to static electricity, which causes problems such as a decrease in yield, pattern destruction, and poor printing. do.
이러한 문제를 해결하기 위해서는 정전기를 제거해 주어야 하며, 현재 정전기제거를 위하여 코로나 방전 정전기 제거장치가 널리 사용되고 있으나, 정전기 대상 물질로부터의 거리에 따라 +이온과 -이온의 이온량 불균형 문제가 발생하여 정전기를 효과적으로 제거하기가 어려운 문제가 있어, 방전전극에서 생성된 이온을 에어로 분사시켜 정전기 제거효율을 높이는 장치가 국내 공개특허(공개번호 10-2004-0085091호)로 제시되어 있다.To solve this problem, static electricity must be removed, and corona discharge electrostatic eliminators are widely used to remove static electricity.However, the ion amount imbalance between + and-ions occurs depending on the distance from the electrostatic material. Since there is a problem that is difficult to remove, a device for improving the static electricity removal efficiency by injecting ions generated from the discharge electrode with air has been proposed in the Korean Patent Publication (Publication No. 10-2004-0085091).
그러나 상기된 선 공개특허는 도 7에 도시된 바와 같이 중앙에 방전전극(10)이 삽입되어 있고, 방전전극(10)을 중심으로 양측에 방전전극소켓(20)을 관통하는 원기둥형태의 에어노즐(22)이 형성되어 있으며, 상기 에어노즐(22)로 에어통로(30)를 통하여 전달되는 구조를 갖추고 있어, 방전전극(10)에서 발생된 이온을 에어노즐(22)에서 분사되는 에어로 정전대상 물질까지 운반하고 있으나, 에어통로(30)를 통하여 에어노즐(22)로 전달되는 에어는 에어통로(30)에 위치한 고압전달라인(31)에 의해 압력손실이 발생하여 모든 방전전극소켓(20)에서 동일한 에어 압력을 기대하기 어렵고, 또한 에어의 압력이 에어통로(30)를 거치면서 강한 기류를 발생하지 못해 이온을 원하는 곳까지 운반하는데 효율적이지 못하며, 에어통로(30)에 방전전극(10)이 노출되어 상호 유도물질에 의한 방해를 받거나 이물질을 외부로 유출시킬 우려가 있는 것이었다.However, in the above-mentioned patent publication, the
특히 디스플레이 패널의 대형화와 생산성 향상을 위하여 글라스 사이즈가 대형화되고 있고, 이로 인하여 정전기 제거면적과 정전량 증가에 따라 원거리까지 이온을 이동시킬 수 있는 고성능의 노즐을 필요로 하게 되며, 또한 노즐에서 이온을 이동시키기 위한 에어로 질소나 클린에어를 사용하게 되는 데, 노즐의 효율을 증대시켜 청정에어의 사용량을 줄여 줄 필요가 있는 것이었다.In particular, in order to increase the size of the display panel and increase the productivity, the glass size has been enlarged. As a result, a high-performance nozzle capable of moving ions to a long distance according to the static elimination area and the increase of the electrostatic capacitance is required. Nitrogen or clean air was used as the air to move, but it was necessary to reduce the amount of clean air used by increasing the efficiency of the nozzle.
본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 방전전극에서 발생된 이온을 에어노즐에서 분사되는 에어로 전달하는 정전기 제거장치에 있어서, 에어노즐로 공급되는 에어가 일정한 압력으로 전달되어 에어 분사 압력을 균등하게 하는 한편 강한 분사가 가능하게 하고, 고전압 방전라인을 에어전달라인과 별도로 구분하여 상호유도 물질에 의한 방해를 받지 않도록 하므로서 정전기 제거 효율을 높이도록 하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above, the present invention provides a static electricity removing device for transferring ions generated from a discharge electrode to air injected from an air nozzle, wherein the air supplied to the air nozzle is delivered at a constant pressure to equalize the air injection pressure. On the other hand, strong injection is possible, and the high voltage discharge line is separated from the air transfer line so as not to be disturbed by mutually inductive materials, thereby increasing the static elimination efficiency.
이러한 본 발명은 방전전극의 외측으로 에어가 분사되어 생성이온을 날리는 에어노즐이 형성된 방전소켓에 있어서, 상기 방전소켓의 에어노즐에 공급되는 에어 가 별도로 형성된 에어전달통로를 통하여 각각의 에어노즐에 에어가 별도로 공급되어 분사되게 하므로서 이루어지는 것으로, 에어 압력이 일정하게 분사되는 한편 한쪽 에어전달통로가 이상이 발생하더라도 에어분사가 이루어지게 하는 한편 고전압방전라인이 에어와 분리되어 상호유도물질 생성을 방지하게 된다.The present invention is a discharge socket in which air is blown to the outside of the discharge electrode to generate the product ions, the discharge socket, the air supplied to the air nozzle of the discharge socket through each air nozzle through the air delivery passage formed separately Is made by separately supplied and sprayed, even if the air pressure is sprayed uniformly, even if one of the air transfer path is abnormal, the air is sprayed while the high-voltage discharge line is separated from the air to prevent the formation of mutually inductive substances. .
본 발명은 코로나 방전식 정전기 제거장치(100)에 관한 것으로, 정전기 제거장치(100)에 일정간격으로 설치된 방전소켓(110)의 방전전극(120)주변에 방전전극(120)에서 발생된 이온을 원하는 곳으로 날리는 에어노즐(130)(131)을 설치하되 상기 에어노즐(130)(131)로 공급되는 에어가 별도로 설치된 에어전달통로(141)(142)를 통하여 각각의 에어노즐(130)(131)에 공급되게 하므로서 개별적인 에어분사가 이루어지도록 하는 것이다.The present invention relates to a corona discharge type
본 발명의 코로나 방전식 정전기 제거장치(100)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 일정 길이를 갖고 배면에 후면커버(102)가 결합된 메인커버(101)의 전면에 수 개의 방전소켓(110)이 설치되고, 양측으로는 측면커버(104)가 설치되고 전면에는 방전소켓(110)이 노출되게 전면커버(103)가 설치되며, 메인커버(101)와 측면커버(104)는 각각 수평 브라켓(106) 및 수직 브라켓(105)으로 고정된다.Corona discharge type static
메인커버(101)의 전면 내측에는 양쪽으로 에어전달통로(141)(142)가 형성되고 일측이 개방된 형태를 갖는 모듈 파이프(140)를 끼우고, 상기 모듈 파이프(140)의 개방된 쪽에는 에어 노즐(130)(131)이 형성된 팁 모듈(150)을 끼우되 상기 모듈 파이프(140)의 에어전달통로(141)(142)에서 각각의 에어노즐(130)(131)로 에어가 공급되도록 한다.On the inner side of the front cover of the
팁 모듈(150)에는 내측으로 모듈 인서트(151)를 끼우는 한편 그 전방으로 방전전극(120)이 중앙에 결합된 팁 서포트(152)를 결합시키며, 상기된 팁 모듈(150)은 모듈 파이프(140)에 끼워져 결합되게 한다.While inserting the module insert 151 into the
모듈 파이프(140)의 배면에는 고압바(160)를 밀착시키되 볼트(161)로 모듈 파이프(140)를 관통하여 모듈 인서트(151)에 고정시키도록 하고, 상기 고압바(160)와 볼트(161)는 절연커버(170)로 씌워주도록 하되 상기 절연커버(170)는 모듈 파이프(140)의 배면에 형성된 결합구(143)에 끼워지도록 한다.The
방전소켓(110)의 중앙에는 방전전극(120)이 위치하고, 상기 방전전극(120)에서 동일 거리를 갖는 곳에 에어 노즐(130)(131)을 형성시키되 상기 에어노즐(130)(131)은 각각 모듈 파이프(140)의 에어전달통로(141)(142)에서 에어가 독립적으로 전달될 수 있도록 한다.
모듈 파이프(140)와 팁 모듈(150)이 맞닿는 곳에는 오링(155)을 끼워주고, 상기 모듈 파이프(140)의 배면에서 절연 커버(170)가 끼워지는 결합구(143)를 형성시키며, 상기 에어전달통로(141)(142)에는 측면커버(104)에 형성된 피팅(180)을 통하여 에어발생장치에서 발생시킨 청정에어가 공급되도록 한다.Where the
이러한 구성의 본 발명에서 팁 모듈(150)에 모듈 인서트(151)를 결합시키는 한편 중앙에 방전전극(120)이 설치된 팁 서포트(152)를 결합시킨 후 상기 팁 모듈(150)을 모듈 파이프(140)에 끼워 모듈 파이프(140)의 에어전달통로(141)(142)로 공급되는 에어가 에어노즐(130)(131)로 공급되게 한 후 상기 모듈 파이프(140)를 메인 커버(101)의 전면에 결합하고, 메인커버(101)의 전면에 전면커버(103)를 씌우는 한편 배면에 후면커버(102)를 씌운 후 측면커버(104)를 씌워 결합시키면 정전기 제거장치(100)의 조립이 완성되며, 상기 정전기 제거장치(100)는 수평 및 수직 프레임(103)(105)을 이용하여 고정시키게 된다.In the present invention having the above configuration, the
조립된 정전기 제거장치(100)의 피팅(180)에는 에어공급라인을 연결하고, 방전전극(120)에는 공지의 고압발생회로에서 고압을 인가시켜 이온을 발생시키도록 하되 상기 고압발생회로는 제어회로에 의해 주파수 및 펄스폭을 변화시켜 최적의 이온이 발생되도록 하며, 이 같이 방전전극(120)에 주파수와 펄스폭이 조정된 고압을 인가시켜 정전기 제거에 최적의 이온을 생성시키는 과정은 일반적인 사항이므로 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.An air supply line is connected to the
본 발명의 피팅(180)에 연결된 에어라인을 통하여 에어가 공급되면, 에어는 모듈 파이프(140)의 에어전달통로(141)(142)를 통하여 공급될 수 있도록 하고, 에어전달통로(141)(142)로 전달된 에어는 에어노즐(130)(131)을 통하여 분사되게 되어, 방전전극(120)에서 발생된 이온을 원하는 곳까지 전달할 수 있도록 하며, 여기서 에어전달통로(141)(142)는 양쪽으로 구분되어 다른 쪽의 영향을 받지 않게 된다.When air is supplied through an air line connected to the
이러한 본 발명은 에어전달통로(141)(142)의 직경이 커서 에어가 압력 손실 없이 각각의 에어노즐(130)(131)로 전달이 가능하고, 또한 에어전달통로(141)(142)와 에어노즐(130)(131)이 직각으로 교차되게 형성되어 에어노즐(131)간의 압력 차이를 줄이게 되므로, 에어노즐(130)(131)로 공급되는 에어가 일정한 압력으로 전달 되어 에어 분사 압력을 균등하게 하는 한편 강한 분사가 가능하게 된다.The present invention is large in the diameter of the air delivery passage (141, 142), the air can be delivered to each
따라서 방전전극(120)에서 발생된 이온을 원하는 위치로 운반할 수 있으며, 이는 거리에 따른 이온량의 불균형을 없애주어 정전기를 효과적으로 제거할 수 있게 됨을 의미한다.Therefore, the ions generated in the
그리고 모듈 파이프(140)에는 에어전달통로(141)(142)가 각각 양쪽으로 구분되어 있고, 각각의 에어전달통로(141)(142)에 각각의 에어노즐(130)(131)이 설치되어 있어, 에어전달통로(141)(142)중 하나의 에어전달통로(141)에 에어전달이 원활치 못하더라도 하나의 에어전달통로(142)로 정상적인 에어가 전달되어 방전전극(120)에서 발생된 이온을 전달하지 못하는 경우를 없애게 된다.In addition, the
즉 기존에는 하나의 에어전달통로에서 각각의 에어노즐로 에어를 분사시키게 되어 에어전달통로가 막히거나 이물질이 채워질 경우 에어노즐에서의 에어분사가 한꺼번에 이루어지지 않거나 극히 약하게 이루어져 방전전극에서 발생된 이온을 원하는 장소로 운반하지 못하는 경우가 발생되었으나, 본 발명에서는 에어전달통로(141)(142)가 양쪽으로 구성되어 있어, 하나의 에어전달통로(141)가 막히더라도 또 다른 에어전달통로(142)가 막히지 않아 에어노즐(130)(131)에서 에어를 분사시키지 못하는 경우를 없애주게 된다.In other words, in the past, air is injected from each air nozzle to each air nozzle. If the air delivery path is blocked or filled with foreign substances, air spraying from the air nozzle is not performed at once or extremely weakly, thereby generating ions generated from the discharge electrode. Although a case in which it cannot be carried to a desired place has occurred, in the present invention, the
한편 본 발명은 고압바(160)가 에어에 노출되지 않아 에어가 고압바(160)에 흐르는 고압에 영향을 받지 않아 상호 유도 물질에 의한 영향을 최소화시키도록 한다. Meanwhile, the present invention does not expose the
즉 기존에는 에어전달통로에 고압바가 노출되어 있어 에어가 고압바를 흐르 는 고압에 영향을 받아 상호 유도물질이 발생하는 문제가 있었으나, 본 발명에서는 에어가 고압에 노출되는 경우를 없애주어 청정한 에어의 공급이 가능하도록 하는 한편 상호유도 물질의 방해를 받지 않게 된다.That is, the conventional high-pressure bar is exposed in the air delivery passage, the air is affected by the high pressure flowing through the high-pressure bar, there was a problem that the mutual induction material is generated, in the present invention to eliminate the case of air exposure to high pressure supply of clean air While making this possible, they are not disturbed by mutually induced materials.
본 발명은 방전전극에서 발생된 이온을 에어노즐에서 분사되는 에어로 정전기 제거를 원하는 곳까지 전달하는 코로나 방식의 정전기 제거장치에 있어서, 에어노즐로 공급되는 에어가 양쪽으로 구분된 에어전달통로를 통하여 공급되게 하여 일정한 압력으로 에어가 전달되어 에어 분사 압력을 균등하게 하는 한편 강한 분사가 가능하게 하고, 또한 고전압 방전라인을 에어전달라인과 별도로 구분하여 상호유도 물질에 의한 방해를 받지 않도록 하는 한편 한쪽 에어전달통로가 막히더라도 다른 에어전달통로를 통하여 에어가 전달되게 하므로서 효과적인 정전기 제거가 이루어지는 것이다.The present invention is a corona-type static electricity removing device that delivers the ions generated from the discharge electrode to the air discharged from the air nozzle to the desired place, the air supplied to the air nozzle is supplied through the air transfer passage divided into both sides The air is delivered at a constant pressure to equalize the air injection pressure, and enables strong injection, and also separates the high voltage discharge line from the air delivery line so as not to be disturbed by mutually inductive materials, while at the same time Even if the passage is blocked, the air is transferred through another air transfer passage, thereby effectively removing static electricity.
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LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |