KR100533705B1 - The method for enhancing an appearance inspection speed of TAB or COF - Google Patents

Abstract

본 발명에 따르면 탭 또는 씨오에프의 결함을 검사하기 위해 영역 설정을 다각형으로 설정함으로써 검사가 불필요한 영역을 최소화함은 물론이고, 환경설정이 같은 영역을 다각형으로 동일 영역에 포함시킴으로써 환경 설정 시간을 크게 단축시킬 수 있다. According to the present invention, by setting the area setting to polygons to check for defects of tabs or CFOs, the area that is not required for inspection is minimized, and the setting time is greatly increased by including the same area as polygons in the same area. It can be shortened.

또한, 검사 영역의 중복 처리를 최소화함으로써 영상 처리 시간을 단축할 수 있게 된다. In addition, it is possible to shorten the image processing time by minimizing the overlapping processing of the inspection area.

또한, 이미지의 영역을 판별하기 위해 마스크 버퍼를 두고 이미지의 외각선에 대한 값에서만 영역 판별이 이루어지도록 함으로써 속도를 향상시키는 효과가 있다. In addition, it is possible to improve the speed by providing a mask buffer to determine the area of the image so that only the value of the outer line of the image is determined.

Description

탭 또는 씨오에프의 외형 검사 속도 향상 방법{The method for enhancing an appearance inspection speed of TAB or COF}The method for enhancing an appearance inspection speed of TAB or COF}

탭 또는 씨오에프의 결함을 검사하는 방법으로는 현미경을 통해 사람이 육안으로 결함을 검사하는 방식이 있다. 이러한 육안 검사의 문제점은 불량 판단 기준이 정확하지 않고 검사 시간이 길다는 데 있다. One way to check for defects on a tab or CFO is to visually inspect the defects through a microscope. The problem with the visual inspection is that the defect judgment criteria are not accurate and the inspection time is long.

최근, 육안 검사의 문제점을 해결하기 위한 방법으로 불량의 기준을 확립하고 그 기준에 따라 일률적인 고정밀 검사 결과를 얻을 수 있도록 고해상도 라인 스캐너 카메라에 의한 연속 검사를 구현해 공정 중에 발생하는 다양한 패턴 결함을 신속하게 검사하는 외형 검사기에 의한 검사 방식이 늘고 있다.In order to solve the problem of visual inspection recently, continuous inspection by high-resolution line scanner camera is implemented to establish the standard of defect and to obtain uniform high precision inspection result according to the standard, so that various pattern defects occurring during the process can be promptly checked. Increasingly, inspection methods using external inspection machines are being examined.

외형 검사기로 탭(TAB: Tape Automated Binding) 또는 씨오에프(COF: Chip On Firm)의 결함 검사를 할 때 탭 또는 씨오에프의 영역을 여러 개로 설정할 필요가 있다. 이는 탭 또는 씨오에프의 영역별로 검사항목이 다르고, 이에 따른 환경변수 설정 및 적용알고리즘이 다르기 때문이다. When checking the tape automated binding (TAB) or chip on firm (COF) with the visual inspection machine, it is necessary to set multiple areas of the tab or the seaf. This is because the inspection items are different for each tap or the area of the CPU, and the environment variable setting and application algorithms are different accordingly.

종래에는, 탭 또는 씨오에프의 영역을 크기가 다른 사각형으로 설정하였다. 이와 같이 크기가 다른 사각형으로 탭 또는 씨오에프의 영역을 설정하는 경우에는 검사하고자 하는 영역 이외의 불필요한 영역이 많이 포함되는 문제점이 있었다.Conventionally, the areas of the tabs or the Seaf are set to rectangles of different sizes. As described above, when setting the area of the tab or the Seaf with a rectangle having a different size, there is a problem that a lot of unnecessary areas other than the area to be inspected are included.

더구나, 검사항목 및 환경변수가 같은 영역이라 하더라도 여러 개의 영역으로 나누어지는 경우가 많아져서 환경 설정 시간이 길어진다는 단점이 있었다. In addition, even if the inspection items and the environment variables are the same area, they are often divided into several areas, which results in a long environment setting time.

또한, 많은 검사 영역 및 중복 처리로 인하여 영상 처리 시간이 늘어난다는 단점이 있었다.In addition, there is a disadvantage that the image processing time is increased due to a large number of inspection areas and overlapping processing.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 탭 또는 씨오에프의 검사항목과 환경변수 및 적용알고리즘이 같은 영역을 동일 영역으로 설정하여 검사 영역을 최소화하고 환경 설정 시간을 단축할 수 있는 다각형 영역 설정 방법을 제공함으로써 탭 또는 씨오에프의 외형 검사 속도를 향상시킬 수 있는 방법을 제공함에 있다.The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to set the same area of the inspection items and environmental variables and application algorithm of the tab or Seaf to the same area to minimize the inspection area and set the environment time The present invention provides a method for improving the appearance inspection speed of a tap or CFO by providing a polygonal area setting method capable of shortening the time.

본 발명의 다른 목적은, 상기 설정된 다각형 영역의 영역 판별을 보다 효율적으로 하기 위해 마스크 버퍼를 생성하고, 생성된 마스크 버퍼 값을 이용하여 영역 판별을 실시하여 영역 판별 시간을 단축하는 방법을 제공함으로써 탭 또는 씨오에프의 외형 검사 속도를 향상시킬 수 있는 방법을 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a method of generating a mask buffer to more efficiently determine the area of the set polygon area, and using the generated mask buffer value to shorten the area discrimination time by performing the area discrimination. Another aspect of the present invention is to provide a method for improving the appearance inspection speed of CFO.

이와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 탭 또는 씨오에프의 외형 검사 장치의 구성은 본 출원에 의한 대한민국 특허출원 제2003-88510호와 다르지 않다. In order to solve such a technical problem, the configuration of the external inspection device of the tab or CFO according to the present invention is not different from Korean Patent Application No. 2003-88510 according to the present application.

본원 발명의 탭 또는 씨오에프의 결함을 검사하기 위한 외형 검사기의 화상처리 시스템 구성은, 검사 대상이 되는 탭 또는 씨오에프 필름과; 탭 또는 씨오에프의 이미지를 획득하기 위해 라인카메라와 에어리어 카메라에서 이미지를 스캔하고 스캔된 이미지에서 마스터 이미지를 선택하여 다각형 영역별로 검사항목과 환경 변수 및 적용알고리즘을 설정하여 마스터 이미지의 정보를 획득하고 상기 마스터 이미지와 스캔된 검사 대상 이미지를 비교하여 결함을 검사하는 이미지 획득 처리부와; 상기 이미지 획득 처리부의 동작과 장비제어부의 동작을 관할하는 화상처리부; 및 상기 이미지 획득 처리부의 검사 결과 결함이 있는 경우 상기 화상처리부의 지시에 따라 탭 또는 씨오에프 필름에 결함 표시를 하는 장비제어부;로 구성된다.An image processing system configuration of an external appearance inspector for inspecting a defect of a tab or CFO of the present invention includes a tab or CFO film to be inspected; Scan the image from the line camera and the area camera to acquire the image of the tap or the Seaf, select the master image from the scanned image and set the inspection items, environment variables and application algorithms for each polygon area to obtain the information of the master image. An image acquisition processor configured to inspect the defect by comparing the master image with the scanned inspection target image; An image processing unit which controls the operation of the image acquisition processing unit and the operation of the equipment control unit; And when the inspection result of the image acquisition processing unit is defective, the tab or CFO film is instructed according to the instruction of the image processing unit. Equipment control unit for displaying a fault;

본 발명에 따른 탭 또는 씨오에프의 결함을 검사하기 위한 외형 검사 단계는, 탭 또는 씨오에프 외형 검사의 기준이 되는 마스터 이미지를 획득하는 단계; 상기 마스터 이미지 위에 여러개의 영역이 설정되는 마스터 이미지 영역 설정 단계; 상기 마스터 이미지 위의 각 영역별 검사항목과 환경변수 및 적용알고리즘을 설정하는 환경 설정 단계; 상기 마스터 이미지 위에 설정된 각 영역별로 영역의 내부 또는 외부를 판단하는 영역 판별 값을 갖는 마스크 버퍼 값 설정 단계; 상기 마스터 이미지의 각 영역별 환경 설정에 따른 마스터 이미지의 정보 추출을 위한 영역 판별이 마스크 버퍼 값에 의해 이루어져 마스터 이미지의 정보가 추출되는 단계; 상기 마스터 이미지와 비교 검사되는 탭 또는 씨오에프의 검사 대상 이미지를 획득하는 검사 대상 이미지 획득 단계; 상기 검사 대상 이미지를 검사하기 위해 마스터 이미지의 기준점과 검사 대상 이미지의 기준점을 맞추는 단계; 상기 검사 대상 이미지의 기준점에서 상대적으로 동일한 위치에 있는 마스크 버퍼의 값에 따라 검사 대상 이미지의 영역과 마스터 이미지 영역이 매핑되는 검사 대상 이미지 영역 판별 단계; 상기 검사 대상 이미지의 영역과 동일한 위치의 마스터 이미지의 영역에 설정된 검사 환경 설정에 따른 검사가 이루어지는 대상 이미지 검사 단계; 로 이루어지는 것을 특징으로 한다.According to the present invention, the external inspection step for inspecting a defect of a tab or CFO may include: acquiring a master image as a reference for the tab or CFO appearance inspection; A master image region setting step of setting a plurality of regions on the master image; An environment setting step of setting an inspection item, an environment variable, and an application algorithm for each region on the master image; A mask buffer value setting step having an area determination value for determining an inside or an outside of an area for each area set on the master image; Extracting information of the master image by determining a region for extracting the information of the master image according to an environment setting for each region of the master image by using a mask buffer value; An inspection object image obtaining step of acquiring an inspection object image of a tap or CFO to be compared with the master image; Matching a reference point of the master image with a reference point of the inspection target image to inspect the inspection target image; An inspection target image region determination step of mapping an area of an inspection target image and a master image region according to a value of a mask buffer at a relatively same position from a reference point of the inspection target image; A target image inspection step of performing inspection according to an inspection environment setting set in an area of a master image at the same position as that of the inspection target image; Characterized in that consists of.

상기 마스터 이미지 위에 여러 개의 영역이 설정되는 마스터 이미지 영역 설정 단계는 마스터 이미지 위에 기준점을 두고 다각형으로 설정됨을 특징으로 한다.The master image region setting step of setting a plurality of regions on the master image is characterized in that the polygon is set with a reference point on the master image.

상기 마스크 이미지 위에 설정된 각 영역별 영역의 내부 또는 외부를 판단하는 영역 판별 값을 가지는 마스크 버퍼 값 설정 단계는, 상기 마스터 이미지에 설정된 각각의 다각형 크기와 동일한 크기의 마스크 버퍼를 생성하여 "1"로 초기화 하는 마스크 버퍼 초기화 단계; 상기 마스터 이미지의 다각형 외각선 위치와 동일한 위치의 마스크 버퍼의 값을 "0"으로 설정하는 다각형의 외각선 설정 단계; 상기 마스크 버퍼에서 "0"으로 설정된 다각형 외각선을 기준으로 다각형의 내부 또는 외부를 판단하여 마스크 버퍼의 값을 완성하는 단계;로 이루어지는 것을 특징으로 한다.A mask buffer value setting step having an area determination value for determining an inside or an outside of each area set on the mask image may include generating a mask buffer having a size equal to each polygon size set in the master image to “1”. A mask buffer initialization step of initializing; A polygonal outline setting step of setting a value of a mask buffer at the same position as the polygonal outline line of the master image to "0"; Determining the inside or outside of the polygon based on the polygon outer line set to "0" in the mask buffer to complete a value of the mask buffer.

상기 마스터 이미지의 다각형 외각선 위치와 동일한 위치의 마스크 버퍼의 값을 "0"으로 설정하는 다각형의 외각선 설정은, 상기 마스터 이미지 내에 설정된 다각형의 인접한 점으로 직선의 방정식을 구하고, 직선상에 있는 동일한 위치의 마스크 버퍼의 값을 "0"으로 설정함을 특징으로 한다.The polygonal outline setting of the polygon which sets the value of the mask buffer at the same position as the polygonal outline line of the master image to "0", obtains an equation of a straight line from adjacent points of the polygon set in the master image, Characterized in that the value of the mask buffer of the same position is set to "0".

상기 마스크 버퍼에서 "0"으로 설정된 다각형 외각선을 기준으로 다각형의 내부 또는 외부를 판단하여 마스크 버퍼의 값을 완성하는 단계는, 상기 마스크 버퍼의 값이 "0" 인지 확인하는 단계와 상기 마스크 버퍼의 값이 "0" 인 경우에 영역 판별을 시도하는 단계 및 상기 영역 판별 결과 영역의 내부인 경우 마스크 버퍼 값을 "0"으로 설정하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.Comprising the inside or outside of the polygon based on the polygon outer line set to "0" in the mask buffer to complete the value of the mask buffer, checking whether the value of the mask buffer is "0" and the mask buffer And determining a region when the value of "0" is "0", and setting a mask buffer value to "0" when the region is determined inside the region.

상기 마스터 이미지의 각 영역별 환경설정에 따른 마스터 이미지의 정보 추출을 위한 영역 판별이 마스크 버퍼 값에 의해 이루지고 마스터 이미지의 정보가 추출되는 단계는, 상기 마스터 이미지의 위치와 동일한 위치의 마스크 버퍼의 값을 읽어서 마스크 버퍼의 값이 영역의 내부를 나타내는 경우 적용된 환경설정에 따른 마스터 이미지 정보를 추출하는 것을 특징으로 한다.Determining a region for extracting the information of the master image according to the configuration of each region of the master image is performed by a mask buffer value and extracting the information of the master image comprises: a mask buffer having the same position as that of the master image. When the value of the mask buffer indicates the inside of the region by reading the value, the master image information according to the applied environment setting is extracted.

상기 검사 대상 이미지의 기준점에서 상대적으로 동일한 위치에 있는 마스크 버퍼의 값에 따라 검사 대상 이미지의 영역과 마스크 이미지 영역이 매핑되는 검사 대상 이미지 영역 판별 단계는, 상기 마스터 이미지의 영역 판별을 위해 사용되었던 마스크 버퍼 값에 따라 검사 대상 이미지의 영역 판별이 이루어짐을 특징으로 한다.The inspecting image region determining step in which the region of the inspected image and the mask image region are mapped according to a value of a mask buffer located at the same position relative to the reference point of the inspected image may include: a mask used for determining the region of the master image The area of the inspection target image is determined according to the buffer value.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예의 구성 및 작용을 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described the configuration and operation of the embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 외형 검시기의 화상처리 시스템 개략 블록도이다. 도 1을 참조하면, 검사할 탭 또는 씨오에프 필름(1)은 이미지 획득 처리부(2)에서 라인카메라와 에어리어 카메라를 통해 스캔되어 영상으로 바뀌고, 스캔된 탭 또는 씨오에프의 영상에서 가장 마스터 이미지 기준에 적합하다고 판단되는 이미지를 선택하여 마스터 이미지로 등록하게 된다. 이때 마스터 이미지의 각 영역별로 검사항목과 환경변수 및 적용알고리즘이 다르기 때문에 마스터 이미지의 영역 설정이 필요하다. 이렇게 설정된 마스터 이미지를 기준으로 탭 또는 씨오에프의 외형 검사가 이루어진다. 화상처리부(3)는 이미지 획득 처리부(2)와 장비제어부(4)의 동작을 관할한다. 검사된 탭 또는 씨오에프의 검사 결과 결함이 있는 경우 화상처리부(3)의 명령으로 장비제어부(4)에서 탭 또는 씨오에프 필름(1)에 결함이 표시된다.1 is a schematic block diagram of an image processing system of an external inspection device of the present invention. Referring to FIG. 1, the tab or seaf film 1 to be inspected is converted into an image by being scanned by a line camera and an area camera by the image acquisition processing unit 2, and based on the most master image in the scanned tap or seaf image. The image that is determined to be suitable for is selected and registered as a master image. In this case, it is necessary to set the area of the master image because inspection items, environment variables, and application algorithms are different for each area of the master image. Based on the master image set as above, the appearance of the tap or CFO is checked. The image processing unit 3 is responsible for the operation of the image acquisition processing unit 2 and the equipment control unit 4. If the inspection result of the inspected tab or Seaf is defective, the defect is displayed on the tab or Seaf film 1 in the equipment control unit 4 by the command of the image processing unit 3.

탭 또는 씨오에프의 결함을 검사하는 외형 검사 단계를 도 2를 참조하여 살펴보면, 탭 또는 씨오에프의 결함을 검사하기 위한 외형 검사 단계는, 탭 또는 씨오에프 외형 검사의 기준이 되는 마스터 이미지를 획득하고, 상기 마스터 이미지 위에 여러 개의 영역이 설정하여, 영역별 검사항목과 환경변수 및 적용알고리즘을 설정하고, 상기 마스터 이미지에 설정된 각 영역별 영역의 내부 또는 외부를 판단하는 영역 판별 값을 갖는 마스크 버퍼 값을 생성하여, 상기 마스크 버퍼 값에 의해 마스터 이미지의 영역이 판별되어 각 영역별 환경설정에 따른 마스터 이미지의 정보가 추출된다.Referring to FIG. 2, the inspection step for inspecting the defects of the taps or seaf, the appearance inspection step for inspecting the defects of the tabs or seaf, obtains a master image that is the basis of the inspection of the taps or seaf. A mask buffer value having a region discrimination value configured to set a plurality of regions on the master image, set inspection items, environment variables, and application algorithms for each region, and determine the inside or outside of the region for each region set in the master image. By generating the, the area of the master image is determined by the mask buffer value, and the information of the master image according to the configuration of each area is extracted.

상기 단계를 통해 마스터 이미지가 등록되면 상기 마스터 이미지와 비교 검사되는 탭 또는 씨오에프의 검사 대상 이미지를 획득하여, 상기 마스터 이미지의 기준점과 검사 대상 이미지의 기준점을 맞추고, 상기 검사 대상 이미지의 기준점에서 상대적으로 동일한 위치에 있는 마스크 버퍼의 값에 따라 검사 대상 이미지의 영역과 마스터 이미지 영역이 매핑되어, 상기 검사 대상 이미지의 영역과 동일한 위치의 마스터 이미지의 영역에 설정된 환경 설정에 따라 검사 대상 이미지의 검사가 이루어진다.  When the master image is registered through the above step, the inspection target image of the tab or CFO is compared with the master image, and the reference point of the master image is aligned with the reference point of the inspection target image, and the relative image is compared with the reference point of the inspection target image. Thus, the region of the inspection target image and the master image region are mapped according to the value of the mask buffer at the same position, and the inspection of the inspection target image is performed according to the environment setting set in the region of the master image at the same position as the region of the inspection target image. Is done.

상기 마스터 이미지 위에 설정되는 여러 개의 영역은 마스터 이미지 위에 기준점을 두고 다각형으로 설정된다.The plurality of areas set on the master image are set to polygons with reference points on the master image.

상기 마스크 이미지 위에 설정된 각 영역별 영역의 내부 또는 외부를 판단하는 마스크 버퍼 값은, 상기 마스터 이미지에 설정된 각각의 다각형 크기와 동일한 크기의 마스크 버퍼를 생성하여 "1"로 초기화하고, 상기 마스터 이미지의 다각형 외각선 위치와 동일한 위치의 마스크 버퍼의 값을 "0"으로 설정하여, 마스크 버퍼 값이 "0"인 지점에서 영역의 내부 또는 외부를 판단한 값으로 이루어진다.The mask buffer value for determining the inside or the outside of each region set on the mask image is generated by initializing the mask buffer having the same size as each polygon size set in the master image to "1", and The value of the mask buffer at the same position as the polygonal outline is set to "0", and the value is determined by determining the inside or the outside of the region at the point where the mask buffer value is "0".

본 발명의 검사 대상인 탭에 대한 이미지는 도 3a이고 a1 내지 a13은 탭에서 검사되어야 할 항목을 도시한 것이다. 일부 예로 a1은 탭 위의 문자를, a2는 아웃리드(Out Lead)입력측, a3은 디바이스홀(Device Hole)을 나타내고 있다. 이는 나머지 a4 내지 a13 외 검사항목에 따라 더 추가 또는 삭제 될 수 있다. 또한, 도 3b의 씨오에프 이미지 위의 b1 내지 b6 역시 각 영역별 검사되어야 할 항목을 도시한 예로서 b1은 아웃리드(Out Lead)입력측, b2는 인식마크, b3은 문자를 나타내고 있다. 나머지 b4 내지 b6 외 검사항목에 따라 더 추가 또는 삭제 될 수 있다. 도 3a 내지 도 3b에서 보듯이 탭 또는 씨오에프의 각 부분별 검사 대상이 각각 다르다. 따라서 탭 또는 씨오에프의 정확한 검사를 위해서는 부분별로 영역을 설정할 필요가 있다.The image of the tab to be inspected of the present invention is shown in Figure 3a and a1 to a13 show items to be inspected in the tab. In some examples, a1 represents a character on a tab, a2 represents an out lead input side, and a3 represents a device hole. This may be further added or deleted according to the remaining inspection items other than a4 to a13. In addition, b1 to b6 on the CFO image of FIG. 3B also show items to be inspected for each region, b1 indicates an out lead input side, b2 indicates a recognition mark, and b3 indicates a character. It may be added or deleted according to the remaining inspection items other than b4 to b6. As shown in FIGS. 3A to 3B, the inspection targets for each part of the tap or CFO are different. Therefore, it is necessary to set the area for each part for accurate inspection of tap or Seaf.

도 4a는 영역 설정을 하는 일반적인 방법으로 이미지를 크기가 다른 사각형으로 영역을 설정하고 있다. 이와 같이 크기가 다른 사각형으로 영역을 설정할 경우, 도 4a에서와 같이 검사를 하지 않아도 되는 불필요한 영역이 많이 포함되는 것은 물론이고, 같은 검사항목과 환경변수 및 알고리즘을 적용해야 할 영역이 여러 개로 분할되므로 환경 설정 시간이 길어지게 된다. 4A illustrates a region in which the image is set to a rectangle having a different size as a general method of setting the region. As such, when the area is set to a rectangle having a different size, as shown in FIG. 4A, not only the unnecessary area that does not need to be inspected is included, but also the area to which the same test item, environment variable, and algorithm are applied is divided into several parts. The configuration time will be longer.

또한, 많은 검사 영역이 중복 처리됨으로 인하여 영상 처리 시간이 늘어나게 된다.In addition, since many inspection areas are overlapped, image processing time is increased.

도 4b는 상기 4a와 같이 사각형으로 영역을 나누었을 때 발생하는 문제점을 줄이는 방법으로, 본 발명에서 탭 또는 씨오에프의 결함을 검사하기 위한 영역 설정을 다각형으로 한 영역 설정도이다. 이와 같이 탭 또는 씨오에프의 검사 영역을 다각형으로 설정함으로써 검사가 불필요한 영역을 최소화함은 물론이고 환경설정이 같은 영역을 다각형으로 동일 영역에 포함시킴으로써 환경 설정 시간이 크게 단축될 수 있다. Figure 4b is a method for reducing the problem caused when the area is divided into squares as shown in 4a, in the present invention is a region setting diagram for setting the area for inspecting the defect of the tap or the Seaf as a polygon. In this way, by setting the inspection area of the tab or CFO to polygon, it is possible to minimize an unnecessary area for inspection and to include an area having the same configuration as the polygon in the same area, thereby greatly reducing the environment setting time.

또한, 검사할 부분의 영역만을 다각형으로 설정하므로 검사가 필요하지 않은 영역을 제외시킬 수 있어 영역의 중복처리를 최소화하게 됨으로써 영상 처리 시간을 단축할 수 있게 된다. In addition, since only the area of the part to be inspected is set as a polygon, an area not required to be inspected can be excluded, thereby minimizing the overlapping of the area, thereby shortening the image processing time.

이와 같이, 검사 영역을 다각형으로 설정할 때 대상 이미지가 다각형의 영역 내부인지 또는 외부인지 판별하는 영역 판별이 중요하다. 도 5a는 다각형 영역 설정의 한 예로 크기가 가로 세로 31*31 인 이미지 내에 존재하는 십자형 이미지를 다각형으로 영역 설정한 예시도이고, 도 5b는 도 5a와 같이 설정된 다각형 이미지에서 영역 판별이 이루어진 결과 이미지이다. As such, when setting the inspection area as a polygon, it is important to determine an area for determining whether the target image is inside or outside the area of the polygon. FIG. 5A illustrates an example in which a cross-sectional image existing in an image having a size of 31 * 31 as a polygon is set as a polygon as an example of setting a polygonal region. FIG. 5B is a result image in which a region is determined in a polygonal image set as shown in FIG. 5A. to be.

도 5c는 도 5a의 다각형 이미지 영역이 도 5b와 같은 영역 판별 결과를 얻기 위해 적용되는 일반적인 영역 판별 순서도이다. 예시에서 원이미지 도 5a의 십자형 이미지 영역을 포함할 수 있는 최소 크기를 31*31로 하였으므로 도 5b는 961번의 영역 판별을 통해 생성된다. 이때 사용되는 영역 판별에 사용되는 다각형의 영역을 판별 알고리즘은 기존의 제시되는 C++ 언어의 MFC 라이브러리에서 제공하는 CRgn.PtInRegion() 함수를 사용하였다. 그러나 이는 발명을 한정하는 것은 아니다. 이와 같이 다각형 영역을 판별할 경우 영역 판별 시간은 다각형을 포함하는 이미지의 크기에 따라 비례적으로 증가하게 됨으로 탭 또는 씨오에프의 외형 검사에서 차지하는 시간이 길어지게 된다. 따라서 영역 판별 시간을 단축하는 것은 탭 또는 씨오에프의 외형 검사의 전 공정의 시간을 단축하기 위해 중요한 의미를 지닌다. FIG. 5C is a general area discrimination flowchart in which the polygonal image area of FIG. 5A is applied to obtain an area discrimination result as shown in FIG. 5B. In the example, since the minimum size of the original image that can include the cross-shaped image area of FIG. 5A is 31 * 31, FIG. 5B is generated through the area identification of 961. At this time, the algorithm for discriminating the polygon area used to determine the used area uses the CRgn.PtInRegion () function provided by the MFC library of the existing C ++ language. However, this does not limit the invention. As described above, when determining the polygon area, the area discrimination time is proportionally increased according to the size of the image including the polygon, and thus, the time taken by the external inspection of the tap or CFO is longer. Therefore, shortening the area discrimination time is important in order to shorten the time of the entire process of the external inspection of the tap or CFO.

이와 같이 탭 또는 씨오에프의 외형 검사 속도를 향상하기 위한 영역 판별 방법을 도 6a 내지 6d 및 도 7을 통해 살펴본다. As described above, a method for determining an area for improving the appearance inspection speed of the tap or CFO will be described with reference to FIGS. 6A to 6D and 7.

우선, 도 6a는 도 5a와 같은 십자형 이미지 영역을 설정한 31*31 크기의 다각형 영역이 설정된 예시도이고, 도 6b 내지 도 6d는 도 6a에 설정된 다각형 영역의 판별에 사용되는 마스크 버퍼 값이 생성되는 과정을 나타내고 있다. 도 6b 내지 도 6d의 영역 판별 마스크 버퍼 값 생성을 순서대로 살펴보면, 도 6b는 도 6a의 원이미지 내의 다각형을 포함하는 최소 크기 31*31 의 마스크 버퍼가 생성되고 "1"로 초기화 된 예시도이다. 이후, 도 6c는 도 6a의 다각형 영역의 외각에 해당하는 각 점 P1에서 P12까지 연결한 직선상의 위치에 해당하는 마스크 버퍼 값을 "0"으로 설정한 예시도이다. 도 6d는 도 6c의 마스크 버퍼 값이 "0"인 지점에서 영역 판별이 이루어지고 해당하는 버퍼 값이 생성된 예시도이다.First, FIG. 6A is an exemplary diagram in which a 31 * 31 size polygonal region in which a cross-sectional image region is set as shown in FIG. 5A is set, and FIGS. 6B to 6D are mask buffer values used to determine the polygonal region set in FIG. 6A. The process of becoming is shown. Referring to the generation of the area discrimination mask buffer values of FIGS. 6B to 6D in sequence, FIG. 6B is an exemplary view in which a mask buffer of a minimum size 31 * 31 including a polygon in the original image of FIG. 6A is generated and initialized to "1". . 6C is an exemplary diagram in which a mask buffer value corresponding to a linear position connected to each point P1 to P12 corresponding to the outer corner of the polygonal region of FIG. 6A is set to "0". FIG. 6D is an exemplary diagram in which an area is determined at a point where a mask buffer value of FIG. 6C is “0” and a corresponding buffer value is generated.

도 6c에서 도 6d의 영역 판별이 이루어져 마스크 버퍼 값이 생성되는 과정을 도 7을 통해 살펴보면, 도 6a의 다각형 외각의 위치에 해당하는 직선상의 값을 마스크 버퍼 위에 "0"으로 표현한 후 마스크 버퍼의 값이 "0"인 지점에서만 영역 판별을 실시한다. 이때 사용되는 다각형 영역을 판별 알고리즘은 상기 도 5c의 순서도에서 사용했던 것과 동일하다. 이와 같이 마스크 버퍼 위에 먼저 다각형 영역의 외각선에 해당하는 부분을 설정하고 외각선 부분에서만 영역의 판별이 이루어지도록 상태값(state)을 두어 마스크 버퍼 값이 "0"인 지점에서 영역 판별을 수행하고 영역의 내부인 경우 상태값을 "0"으로 하여 마스크 버퍼 값을 설정한다. Referring to FIG. 7, a process of generating a mask buffer value by determining the region of FIG. 6D through FIG. 6D is performed by expressing a linear value corresponding to the position of the polygonal outer shell of FIG. Area determination is performed only at the point where the value is "0". At this time, the algorithm for determining the polygonal region used is the same as that used in the flowchart of FIG. 5C. In this way, the area corresponding to the outer line of the polygonal area is first set on the mask buffer, and a state value is set so that the area is determined only in the outer line area, and the area is discriminated at the point where the mask buffer value is "0". If inside the area, set the mask buffer value with the status value as "0".

이와 같이 영역 판별을 할 경우 다각형의 크기에 비례했던 영역 판별 시간 보다 다각형의 길이에 비례한 영역 판별이 이루어짐으로 영역 판별 시간이 짧아져 탭 또는 씨오에프의 외형 검사 속도를 크게 개선할 수 있게 된다.In the case of the area discrimination, the area discrimination time is shortened because the area discrimination is made in proportion to the length of the polygon rather than the area discrimination time in proportion to the size of the polygon, thereby greatly improving the appearance inspection speed of the tap or CFO.

상기 작성된 마스크 버퍼의 값은 마스터 이미지 정보를 추출하기 위한 영역 판별에 사용되며, 검사하게 될 탭 또는 씨오에프의 검사 대상 이미지와 마스터 이미지의 영역을 매핑하는데 사용된다. 도 8의 도 a 내지 도 b는 다각형 영역 판별에 마스크 버퍼 값을 사용하는 예이다. 도 a는 원이미지로, 마스터 이미지 또는 검사 대상 이미지 어느 쪽이나 가능하다. 도 a 위의 두점 s1은 다각형 영역 외부에 있는 점을 나타내고 s2는 다각형 영역의 내부에 있는 점을 나타낸다. 도 a의 점 s1 내지 s2의 영역을 판별하기 위해 도 b의 마스크 버퍼 값을 사용한다. 도 b의 점 d1은 도 a의 점 s1과 같은 위치에 해당하고 버퍼값으로 "1"을 가지고 있으므로 도 a의 점 s1이 다각형 영역의 외부에 있음을 나타낸다. 도 b의 점 d2는 도 a의 점 s2와 같은 위치에 해당하고 버퍼 값으로 "0"을 가지고 있으므로 도 a의 점 s2가 다각형 영역의 내부에 있음을 나타낸다. 이처럼 마스터 이미지와 검사 이미지의 영역을 판별할 때 마스터 이미지와 검사 이미지의 기준점을 맞추고 기준점에서 상대적인 거리에 떨어진 마스크 버퍼의 값을 읽음으로써 영역 판별을 손쉽게 할 수 있다.The value of the prepared mask buffer is used to determine an area for extracting master image information, and is used to map an area of the master image and an inspection target image of a tab or CFO to be inspected. 8 are examples of using a mask buffer value for polygon region determination. A is an original image, which can be either a master image or an inspection target image. The two points s1 on FIG. A represent points outside the polygonal area and s2 represents points inside the polygonal area. The mask buffer value of FIG. B is used to determine the area of points s1 to s2 of FIG. Since point d1 of FIG. B corresponds to the same position as point s1 of FIG. A and has "1" as a buffer value, it indicates that point s1 of FIG. A is outside the polygonal region. Since point d2 of FIG. B corresponds to the same position as point s2 of FIG. A and has "0" as a buffer value, it indicates that point s2 of FIG. A is inside the polygonal region. As such, when determining the area of the master image and the inspection image, it is easy to determine the area by matching the reference point of the master image and the inspection image and reading the value of the mask buffer away from the reference point.

본 발명에 의하면 탭 또는 씨오에프의 결함을 검사하기 위해 영역 설정을 다각형으로 설정함으로써 검사가 불필요한 영역을 최소화함은 물론이고, 환경설정이 같은 영역을 다각형으로 동일 영역에 포함시킴으로써 환경 설정 시간이 크게 단축될 수 있다. According to the present invention, by setting the area setting to polygons to check for defects of tabs or CFOs, the area for which inspection is unnecessary is minimized, and the environment setting time is greatly increased by including the same area as polygons in the same area. Can be shortened.

또한, 검사 영역의 중복 처리를 최소화함으로써 영상 처리 시간을 단축할 수 있게 된다. In addition, it is possible to shorten the image processing time by minimizing the overlapping processing of the inspection area.

또한, 이미지의 영역을 판별하기 위해 마스크 버퍼를 두고 이미지의 외각선에 대한 값에서만 영역 판별이 이루어지도록 함으로써 속도를 향상시키는 효과가 있다. In addition, it is possible to improve the speed by providing a mask buffer to determine the area of the image so that only the value of the outer line of the image is determined.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만, 본 발명의 기술사상 범위내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the embodiments described, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical spirit of the present invention, and such modifications and modifications belong to the appended claims. .

도 1은 본 발명의 외형 검시기의 화상처리 시스템 개략 블록도이다.1 is a schematic block diagram of an image processing system of an external inspection device of the present invention.

도 2는 본 발명의 탭 또는 씨오에프의 외형 검사 단계 흐름도이다.Figure 2 is a flow chart of the external inspection step of the tab or CFO of the present invention.

도 3a 은 본 발명의 검사 대상인 탭의 예시도이다.3A is an exemplary view of a tab to be inspected according to the present invention.

도 3b 는 본 발명의 검사 대상인 씨오에프의 예시도이다.3B is an exemplary view of CFO which is a test object of the present invention.

도 4a는 탭 또는 씨오에프의 결함을 검사하기 위해 크기가 다른 사각형으로 영역 설정을 한 일반적인 영역 설정도이다.4A is a general area setting diagram in which areas are set in squares having different sizes to check for defects of a tab or CFO.

도 4b는 본 발명에서 탭 또는 씨오에프의 결함을 검사하기 위해 다각형으로 영역 설정을 한 영역 설정도이다. 4B is an area setting diagram in which a region is set in a polygon in order to inspect a defect of a tab or a core in the present invention.

도 5a는 다각형 이미지의 영역 설정을 한 예시도이다.5A illustrates an example of setting a region of a polygonal image.

도 5b는 도 5a와 같이 설정된 다각형의 영역 판별 결과이다.FIG. 5B is a result of determining a region of a polygon set as shown in FIG. 5A.

도 5c는 도 5b의 결과를 얻기 위한 일반적인 영역 판별 순서도이다. FIG. 5C is a general area discrimination flowchart for obtaining the result of FIG. 5B.

도 6a는 본 발명에서 사용되는 다각형 이미지의 영역 설정을 한 예시도이다.6A is an exemplary diagram of area setting of a polygonal image used in the present invention.

도 6b는 도 6a 와 같이 설정된 다각형 이미지의 영역 판별을 하기 위해 사용될 마스터 버퍼를 "1"로 초기화한 도이다.FIG. 6B is a diagram in which a master buffer to be used for area determination of a polygonal image set as shown in FIG. 6A is initialized to "1".

도 6c는 도 6a와 같이 설정된 다각형 이미지 위의 점 P1에서 P12까지 연결하는 외각선에 해당하는 부분을 "0"으로 표현하는 도이다.FIG. 6C is a view illustrating a portion corresponding to an outer line connecting points P1 to P12 on the polygonal image set as shown in FIG. 6A as "0".

도 6d는 도 6c에서 설정된 외각선 위치 "0"에서 영역 판별이 이루어져 생성된 마스크 버퍼 값이다.FIG. 6D is a mask buffer value generated by region discrimination at the outline position “0” set in FIG. 6C.

도 7은 도 6c에서 도 6d의 영역 판별이 이루어지는 순서도이다.FIG. 7 is a flowchart in which the area discrimination of FIG. 6D is performed in FIG. 6C.

도 8은 다각형 이미지의 영역 판별에 마스크 버퍼 값을 사용하는 예시도이다. 8 illustrates an example of using a mask buffer value to determine a region of a polygonal image.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

1: 탭 또는 씨오에프의 필름 2: 이미지 획득 처리부 3: 화상처리부1: Film of Tab or Seaf 2: Image Acquisition Processing Unit 3: Image Processing Unit

4: 장비제어부 4: Equipment control unit

a1 내지 a13 : 탭의 검사 항목 a1 to a13: inspection item of tab

b1 내지 b6 : 씨오에프의 검사항목b1 to b6: CFO inspection items

P1 내지 P12 : 다각형의 외각을 이루는 점P1 to P12: points forming the outer shell of the polygon

Claims (7)

탭 또는 씨오에프의 결함을 검사하기 위한 외형 검사 단계는,Appearance inspection steps to check for defects on the tab or Seaf, 탭 또는 씨오에프 외형 검사의 기준이 되는 마스터 이미지를 획득하는 단계;Acquiring a master image as a reference for tap or CFO appearance inspection; 상기 마스터 이미지 위에 여러 개의 영역이 설정되는 마스터 이미지 영역설정 단계;A master image region setting step of setting a plurality of regions on the master image; 상기 마스터 이미지 위의 각 영역별 검사항목과 환경변수 및 적용알고리즘을 설정하는 환경설정 단계;An environment setting step of setting an inspection item, an environment variable, and an application algorithm for each region on the master image; 상기 마스터 이미지 위에 설정된 각 영역별 영역의 내부 또는 외부를 판단하는 영역 판별 값을 갖는 마스크 버퍼 값 설정 단계; A mask buffer value setting step having an area determination value for determining an inside or an outside of an area for each area set on the master image; 상기 마스터 이미지의 각 영역별 환경설정에 따른 마스터 이미지의 정보 추출을 위한 영역 판별이 마스크 버퍼 값에 의해 이루지고 마스터 이미지의 정보가 추출되는 단계;Determining a region for extracting information of the master image according to a configuration of each region of the master image by a mask buffer value and extracting information of the master image; 상기 마스터 이미지와 비교 검사되는 탭 또는 씨오에프의 검사 대상 이미지를 획득하는 검사 대상 이미지 획득 단계;An inspection object image obtaining step of acquiring an inspection object image of a tap or CFO to be compared with the master image; 상기 검사 대상 이미지를 검사하기 위해 마스터 이미지의 기준점과 검사 대상 이미지의 기준점을 맞추는 단계;Matching a reference point of the master image with a reference point of the inspection target image to inspect the inspection target image; 상기 검사 대상 이미지의 기준점에서 상대적으로 동일한 위치에 있는 마스크 버퍼의 값에 따라 검사 대상 이미지의 영역과 마스터 이미지 영역이 매핑되는 검사 대상 이미지 영역 판별 단계;An inspection target image region determination step of mapping an area of an inspection target image and a master image region according to a value of a mask buffer at a relatively same position from a reference point of the inspection target image; 상기 검사 대상 이미지의 영역과 동일한 위치의 마스터 이미지의 영역에 설정된 검사 환경설정에 따른 검사가 이루어지는 검사 대상 이미지 검사 단계;An inspection subject image inspection step of inspecting according to an inspection environment setting set in an region of a master image at the same position as the region of the inspection subject image; 로 이루어지는 것을 특징으로 하는 탭 또는 씨오에프의 외형 검사 속도 향상 방법.Method for improving the appearance inspection speed of the tab or CFO, characterized in that consisting of. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 마스터 이미지 위에 여러 개의 영역이 설정되는 마스터 이미지 영역설정 단계는 마스터 이미지 위에 기준점을 두고 다각형으로 설정됨을 특징으로 하는 상기 탭 또는 씨오에프의 외형 검사 속도 향상 방법. The master image region setting step of setting a plurality of regions on the master image is a polygon or a reference point on the master image is characterized in that the appearance of the tab or Seaf improved speed. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 상기 마스터 이미지 위에 설정된 각 영역별 영역의 내부 또는 외부를 판단하는 영역 판별 값을 가지는 마스크 버퍼 값 설정 단계는,A mask buffer value setting step having an area determination value for determining an inside or an outside of each area set on the master image may include: 상기 마스터 이미지에 설정된 각각의 다각형 크기와 동일한 크기의 마스크 버퍼를 생성하여 "1"로 초기화하는 마스크 버퍼 초기화 단계;A mask buffer initialization step of generating a mask buffer having a size equal to each polygon size set in the master image and initializing the mask buffer; 상기 마스터 이미지의 다각형의 외각선 위치와 동일한 위치의 마스크 버퍼 값을 "0"으로 설정하는 다각형 외각선 설정 단계;Setting a polygonal outline line for setting a mask buffer value at the same position as that of the polygon line of the master image to "0"; 상기 마스크 버퍼에서 "0"으로 설정된 다각형 외각선을 기준으로 다각형의 내부 또는 외부를 판단하여 마스크 버퍼의 값을 완성하는 단계;Determining the inside or outside of the polygon based on the polygon outer line set to "0" in the mask buffer to complete a value of the mask buffer; 로 이루어지는 것을 특징으로 하는 상기 탭 또는 씨오에프의 외형 검사 속도 향상 방법. Method for improving the appearance inspection speed of the tab or Sea F, characterized in that consisting of. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 마스터 이미지의 다각형 외각선 위치와 동일한 위치의 마스크 버퍼 값을 "0"으로 설정하는 다각형의 외각선 설정은,The polygonal outline setting for setting a mask buffer value at the same position as the polygonal outline line of the master image to "0", 상기 마스터 이미지에 설정된 다각형의 인접한 점으로 직선의 방정식을 구하고, 직선상에 있는 동일한 위치의 마스크 버퍼의 값을 "0"으로 설정함을 특징으로 하는 상기 탭 또는 씨오에프의 외형검사 속도 향상 방법. And obtaining an equation of a straight line from adjacent points of the polygon set in the master image, and setting a value of a mask buffer at the same position on a straight line to "0". 제 3 항에 있어서, The method of claim 3, wherein 상기 마스크 버퍼에서 "0"으로 설정된 다각형 외각선을 기준으로 다각형의 내부 또는 외부를 판단하는 마스크 버퍼 값을 완성하는 단계는,Comprising the mask buffer value for determining the inside or outside of the polygon on the basis of the polygon outer line set to "0" in the mask buffer, 상기 마스크 버퍼의 값이 "0"인지 확인하는 단계;Checking whether a value of the mask buffer is “0”; 상기 마스크 버퍼의 값이 "0"인 경우에 영역 판별을 시도하는 단계;Attempting to determine an area when the value of the mask buffer is "0"; 상기 영역 판별 결과 영역의 내부인 경우 마스크 버퍼 값을 "0"으로 설정하는 단계;Setting a mask buffer value to "0" in the case of the area determination result area; 로 이루어지는 것을 특징으로 하는 상기 탭 또는 씨오에프의 외형검사 속도 향상 방법.How to improve the appearance inspection speed of the tab or CFP, characterized in that consisting of. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 마스터 이미지의 각 영역별 환경설정에 따른 마스터 이미지의 정보 추출을 위한 영역 판별이 마스크 버퍼 값에 의해 이루지고 마스터 이미지의 정보가 추출되는 단계는,The step of determining the region for extracting the information of the master image according to the configuration of each region of the master image by the mask buffer value and extracting the information of the master image, 상기 마스터 이미지의 위치와 동일한 위치의 마스크 버퍼의 값을 읽어서 마스크 버퍼의 값이 영역의 내부를 나타내는 경우 적용된 환경설정에 따른 마스터 이미지 정보를 추출하는 것을 특징으로 하는 탭 또는 씨오에프의 외형검사 속도 향상 방법. Improved appearance inspection speed of a tab or Seaf by reading the mask buffer at the same position as the position of the master image and extracting the master image information according to the applied configuration when the value of the mask buffer indicates the inside of the region. Way. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 검사 대상 이미지의 기준점에서 상대적으로 동일한 위치에 있는 마스크 버퍼의 값에 따라 검사 대상 이미지의 영역과 마스터 이미지 영역이 매핑되는 검사 대상 이미지 영역 판별 단계는,The determining of the inspection target image region in which the region of the inspection target image and the master image region are mapped according to the value of the mask buffer located at the same position relative to the reference point of the inspection target image, 상기 마스터 이미지의 영역 판별을 위해 사용되었던 마스크 버퍼 값에 따라 검사 대상 이미지의 영역 판별이 이루어짐을 특징으로 하는 상기 탭 또는 씨오에프의 외형검사 속도 향상 방법.And determining the area of the inspection target image according to a mask buffer value used to determine the area of the master image.