KR100524552B1 - 유기 게이트 절연막 및 이를 이용한 유기박막 트랜지스터 - Google Patents
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Abstract
Description
게이트절연막 | 활성막 | 절연막표면에너지(mN/m) | 이동도(cm2/Vs) | 그레인크기 | |
실시예 1 | S1 | 펜타센 | 46.1 | 1.80 | 약 2.5 |
실시예 2 | S2 | 펜타센 | 38.3 | 0.33 | 약 2.5 |
실시예 3 | S3 | 펜타센 | 38.6 | 0.22 | 약 2 |
실시예 4 | S4 | 펜타센 | 38.3 | 0.43 | 약 2 |
비교실시예 1 | SiO2 | 펜타센 | 57.0 | 0.01 | >1 |
비교실시예 2 | SiO2(OTS) | 펜타센 | 37.1 | 0.3 | 약 1 |
실시예 5 | S1 | P3HT | 46.1 | 0.6 | 측정불가 |
비교실시예 3 | SiO2(OTS) | P3HT | 37.1 | 0.01 | 측정불가 |
Claims (6)
- 하기 화학식 1로 표시되는 유기절연 고분자로 이루어진 유기 게이트 절연막.[화학식 1]상기 식에서 R은 하기 화학식 2으로 표시되며, m과 n의 합은 1이고, m은 0.3 내지 0.7 사이의 실수, n은 0.3 내지 0.7 사이의 실수이며, x와 y의 합은 1이고, x는 0.3 내지 0.7 사이의 실수, y는 0.3 내지 0.7 사이의 실수이며, i와 j의 합은 1이고, i는 0 내지 1 사이의 실수, j는 0 내지 1 사이의 실수이다.[화학식 2]상기 식에서 R1은 하기 화학식 3으로 표시되는 작용기로 이루어진 군으로부터 선택되고, R2는 하기 화학식 4 및 5으로 표시되는 작용기로 이루어진 군으로부터 선택되며, 적어도 하나의 R2는 하기 화학식 4로 표시되는 작용기로 이루어진 군에서 선택된 광배향기이고, R3는 수소원자이거나 또는 하기 화학식 6으로 표시되는 작용기로 이루어진 군으로부터 선택되며, k는 0에서 3의 정수이고, l은 1에서 5의 정수이며, 상기 R1, R2가 복수개인 경우 각각의 R1, R2는 서로 다를 수 있다.[화학식 3]상기 식에서 n은 0에서 10 사이의 정수이다[화학식 4][화학식 5][화학식 6]상기 식에서 X는 수소원자, 탄소수 1∼13의 알킬기 또는 탄소수 6∼20 방향족기(aromatic group), 또는 이종원자가 방향족 링에 포함된 탄소수 4∼14의 헤테로방향족기(heteroaromatic group)이다.
- 제 1항에 있어서, 상기 유기절연 고분자가 하기 화학식 11로 표시되는 것을 특징으로 하는 유기 게이트 절연막.[화학식 11]상기 식에서 m과 n의 합은 1이고, m은 0.3 내지 0.7 사이의 실수, n은 0.3 내지 0.7 사이의 실수이다.
- 기판 위에 게이트 전극, 게이트 절연막, 유기활성막, 소스/드레인 전극 및 보호막 혹은 게이트 전극, 게이트 절연막, 소스/드레인 전극, 유기활성막 및 보호막이 차례로 적층되어 형성된 유기박막 트랜지스터에 있어서, 상기 게이트 절연막이 상기 청구범위 제1항의 것임을 특징으로 하는 유기박막 트랜지스터.
- 제 3항에 있어서, 상기 유기절연 고분자가 프린팅, 스핀코팅 또는 딥핑(dipping)을 통하여 박막으로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기박막 트랜지스터.
- 제 3항에 있어서, 상기 유기활성막이 펜타센(pentacene), 구리 프탈로시아닌(copper phthalocyanine), 폴리티오펜(polythiophene), 폴리아닐린(polyaniline), 폴리아세틸렌(polyacetylene), 폴리피롤(polypyrrole), 폴리페닐렌비닐렌(polyphenylene vinylene) 및 이들의 유도체로 이루어진 군에서 선택된 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기박막 트랜지스터.
- 제 3항에 있어서, 게이트 전극이 금(Au), 은(Ag), 니켈(Ni), 알루미늄(Al), 인듐틴산화물(indium tin oxide: ITO) 및 크롬(Cr)으로 이루어진 군에서 선택된 물질로 형성되고, 소스 전극 및 드레인 전극이 각각 금(Au), 은(Ag), 니켈(Ni), 인듐틴산화물(indium tin oxide, ITO) 및 크롬(Cr)으로 이루어진 군에서 선택된 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기박막 트랜지스터.
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