KR100521607B1 - Paste application apparatus - Google Patents

Abstract

페이스트 도포장치는 페이스트를 수납하는 시린지를 유지하는 로봇기구와 로봇기구의 동작을 제어하는 컨트롤러를 포함한다. 로봇기구는 시린지를 유지기구로 이송하고 또 파이프를 시린지에 연결 및 분리한다. 이 로봇기구에 의해, 새로운 시린지에 대한 빈 시린지의 교환 작업은 작업자에 의하지 않고 자동적으로 실행될 수 있다. 작업자의 부담을 경감하고 페이스트 도포 작업시 효율을 향상하는 것이 가능하다.The paste applicator includes a robot mechanism for holding a syringe containing paste and a controller for controlling the operation of the robot mechanism. The robot mechanism transfers the syringe to the holding mechanism and connects and disconnects the pipes to the syringe. By this robot mechanism, the replacement work of the empty syringe for the new syringe can be executed automatically without the operator. It is possible to reduce the burden on the operator and to improve the efficiency during paste application.

Description

페이스트 도포장치{PASTE APPLICATION APPARATUS}Paste Coating Apparatus {PASTE APPLICATION APPARATUS}

본 발명은 기판 표면에 페이스트(paste)를 도포하는 페이스트 도포장치에 관한 것이다.The present invention relates to a paste coating apparatus for applying a paste to the surface of a substrate.

일본국 특개 2000-59017 호는 인쇄회로기판에 다수 종류의 점성 유체를 도포할 수 있는 페이스트 도포장치를 개시한다. 이 페이스트 도포장치는 접착제와 같은 점성 유체를 인쇄회로기판의 소정 위치에 도포하는 이동가능한 디스펜서 헤드를 장착하고 있다. 디스펜서 헤드는 이동가능한 헤드 본체와, 이 헤드 본체에 탈착가능하게 장착된 디스펜서 유니트로 구성된다. 디스펜서 유니트는 시린지, 노즐 등으로 구성된다. 페이스트 도포장치는, 다수의 디스펜서 유니트를 갖는 교환 스테이지를 구비하고 있다. 작동시, 디스펜서 헤드는 교환 스테이지에 접근하고 디스펜서 유니트를 교환한다. 이와 같이, 단일 페이스트 도포장치는 다수 종류의 점성 유체를 인쇄회로기판에 도포할 수 있다. Japanese Patent Laid-Open No. 2000-59017 discloses a paste coating apparatus capable of applying a plurality of types of viscous fluids to a printed circuit board. This paste applicator is equipped with a movable dispenser head for applying a viscous fluid such as an adhesive to a predetermined position on a printed circuit board. The dispenser head is composed of a movable head body and a dispenser unit detachably mounted to the head body. The dispenser unit is composed of a syringe, a nozzle, and the like. The paste applicator has an exchange stage having a plurality of dispenser units. In operation, the dispenser head approaches the exchange stage and replaces the dispenser unit. As such, the single paste applicator can apply a plurality of types of viscous fluids to a printed circuit board.

액정 표시 패널 등의 제조 과정에 있어서, 내부에 액정 층을 각각 개재하는 2매의 유리 기판이 서로 접합된다. 유리 기판에 이런 접합 작업을 실행하기 위해서, 페이스트와 같은 접착제가 한 쪽의 유리 기판의 대향하는 유리 기판에 도포된다.In manufacturing processes, such as a liquid crystal display panel, two glass substrates respectively interposing a liquid crystal layer inside are bonded together. In order to perform this bonding operation on the glass substrate, an adhesive such as a paste is applied to the opposing glass substrate of one glass substrate.

접착제로서, 자외선(UV) 경화 방수제(cured sealant)가 흔히 사용되고 있다. 취급을 위해, 이런 종류의 페이스트는 일단 시린지의 용기에 수용된 후 사용 요청시까지 냉동 저장된다. 그 후에, 페이스트는 등온 욕조(constant temperature bath)에서 20℃ 내지 25℃의 온도로 녹여진 후, 일정 온도로 등온 욕조에 유지된다. 그후에, 온도가 동일 온도로 조정되는 청정실에서의 도포 작업에 페이스트가 사용된다.As the adhesive, an ultraviolet (UV) cured sealant is commonly used. For handling, this type of paste is once stored in a syringe container and then stored frozen until a use request is made. Thereafter, the paste is dissolved in a constant temperature bath at a temperature of 20 ° C to 25 ° C, and then maintained in the isothermal bath at a constant temperature. Thereafter, the paste is used for an application operation in a clean room in which the temperature is adjusted to the same temperature.

이 과정에서, 작업자가 용기와 접촉하여 용기의 온도를 상승하면, 페이스트의 품질이 쉽게 악화되어 페이스트가 경화되기 쉽다. 일단 굳어지면 페이스트를 사용할 수 없기 때문에, 페이스트는 폐기된다. 또는 용기와 작업자의 접촉 빈도가 증가하면, 먼지와 같은 외부 물체가 용기로 유입하는 가능성이 증가한다. 그 결과, 기판의 내부 접합 가능성이 높아진다.In this process, when an operator contacts the container and raises the temperature of the container, the quality of the paste is easily deteriorated and the paste is likely to cure. Once solidified, the paste cannot be used, so the paste is discarded. Alternatively, as the frequency of contact between the container and the operator increases, the likelihood of foreign objects such as dust entering the container increases. As a result, the possibility of internal bonding of the substrate increases.

본 출원인은 액정 표시 패널의 제조 공정에 전술한 페이스트 도포장치의 도포를 연구하였다. 이 경우, 작업자는 교환 스테이지에 시린지, 노즐, 파이프 및 프레임을 갖는 디스펜서 유니트를 설치해야만 한다. 일반적으로, 시린지가 빈 상태이거나 시린지 내에 약간의 페이스트가 존재할 때, 시린지에 페이스트를 보충하지 않고 시린지 전체를 교환한다. 결과적으로, 교환 스테이지에 디스펜서 유니트를 설치하는 예비 단계로서, 작업자는 시린지를 프레임에 장착하고, 사용한 시린지를 프레임에서 분리한 후 프레임에 새로운 시린지를 장착해야 한다. 작업자는 이런 작업에 상당한 시간을 소비해야 한다. 따라서, 작업자가 페이스트를 충진한 시린지에 접촉하는 기회와 시간이 증가하여 페이스트의 품질을 악화시키는 가능성과 외부 물체와 혼합 가능성이 높아져서, 전술한 문제를 유발한다.The present applicant has studied the application of the paste coating apparatus described above in the manufacturing process of the liquid crystal display panel. In this case, the operator must install a dispenser unit having a syringe, a nozzle, a pipe and a frame at the exchange stage. Generally, when the syringe is empty or there is some paste in the syringe, the entire syringe is replaced without refilling the paste with the syringe. As a result, as a preliminary step of installing the dispenser unit in the exchange stage, the operator must mount the syringe on the frame, remove the used syringe from the frame, and then install a new syringe on the frame. The operator must spend considerable time doing this. Thus, the chance and time for the operator to contact the syringe filled with the paste increases, which increases the possibility of deteriorating the quality of the paste and the possibility of mixing with an external object, causing the aforementioned problem.

또, 작업자는 노즐, 사용된 디스펜서 유니트의 파이프와 프레임에서 시린지만을 분리하여 폐기하므로, 정킹(junking) 작업이 복잡하게 된다. 또한, 작업자가 새로운 디스펜서 유니트를 조립하고 새로운 시린지를 프레임에 설치해야 하기 때문에, 작업 효율이 또한 악화된다.In addition, since the operator separates and discards only the syringe from the nozzle, the pipe and the frame of the used dispenser unit, the junking operation is complicated. In addition, the working efficiency is also worsened because the operator has to assemble a new dispenser unit and install a new syringe on the frame.

액정 패널의 제조 공정에 사용될 수 있는 페이스트 도포장치로서, 도 1에 도시한 장치가 예상된다.As the paste coating apparatus that can be used in the manufacturing process of the liquid crystal panel, the apparatus shown in FIG. 1 is expected.

도 1은 반송 로봇에 의해 반송된 기판을 수납하고 기판 표면에 페이스트를 도포하는 도포장치의 구성 배치도이다. 도 2는 도 1의 페이스트 도포장치의 확대 사시도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a block diagram of the structure of the coating device which accommodates the board | substrate conveyed by a carrier robot, and apply | coats a paste to the board | substrate surface. FIG. 2 is an enlarged perspective view of the paste applicator of FIG. 1. FIG.

도 1에 도시한 바와 같이, 공급대(1)에 순차적으로 반송 공급된 기판(2)은 반송 로봇(3)에 흡착 유지된다. 그 후, 반송 로봇(3)은 반송라인을 형성하는 화살표 X방향으로 기판(2)을 반송한다. 기판(2)은 2대씩 서로 대향하는 페이스트 도포장치(41 내지 44)의 각 스테이지(4A) 위에 차례로 공급된다.As shown in FIG. 1, the board | substrate 2 conveyed and supplied sequentially to the supply base 1 is adsorbed-held by the conveyance robot 3. As shown in FIG. Thereafter, the transfer robot 3 carries the substrate 2 in the arrow X direction forming the transfer line. The board | substrates 2 are supplied in order on each stage 4A of the paste application apparatuses 41-44 which mutually oppose each other.

반송라인(X방향)을 향해, 4대의 페이스트 도포장치를 배치하는 이유는, 페이스트 도포 과정에서의 처리 시간과 다른 공정의 처리 시간 사이에 일치성을 유지시켜, 기판 조립시 전체 생산성을 향상하는 것이다.The reason for arranging the four paste coating apparatuses toward the conveying line (X direction) is to maintain the consistency between the processing time in the paste coating process and the processing time of other processes, thereby improving the overall productivity in assembling the substrate. .

이들 (4대의) 페이스트 도포장치(41 내지 44)는 모두 동일 구조로 제공되기 때문에, 도 1은 1대의 페이스트 도포장치(41)의 주요 구조만을 도시하고, 다른 장치의 주요부는 생략하여 도시한다.Since these (four) paste applicators 41 to 44 are all provided in the same structure, Fig. 1 shows only the main structure of one paste applicator 41, and omits the main parts of the other apparatus.

도 2는 페이스트 도포장치(41) 등의 주요부를 확대한 사시도이다. 페이스트 도포장치(41)는, 스테이지(4A)에, 흡착공과 수직방향 이동가능한(즉 도 2의 화살표(Z)의 방향) 다수의 핀(모두 도시 생략)을 장착하고 있다. 작동시, 이들 핀이 상승하여 반송 로봇(3)에서의 기판(2)을 수납하고, 순차로, 기판(2)과 함께 핀이 하강된다. 그리고, 하강된 기판(2)이 흡착공에 흡착 유지된다.2 is an enlarged perspective view of main parts of the paste coating device 41 and the like. The paste application device 41 is equipped with a large number of pins (all of which are not shown) which are movable in the vertical direction with the adsorption hole (that is, the direction of the arrow Z in FIG. 2) in the stage 4A. In operation, these pins are raised to accommodate the substrate 2 in the transfer robot 3, and the pins are lowered together with the substrate 2 in sequence. Then, the lowered substrate 2 is adsorbed and held in the adsorption hole.

스테이지(4A)는 X-Y-θ이동기구(4B)에 의해, 특히 그 "θ"(선회)기구에 지지된다. 이 "θ" 기구는 Y축 이동기구(4B1) 위에 지지되며, 또, Y축 이동기구(4B1)는, X축 이동기구(4B2) 위에 지지된다. X-Y-θ 이동기구(4B) 전체는 테이블(베이스(4C)) 위에 탑재된다.The stage 4A is supported by the X-Y-θ moving mechanism 4B, in particular to the " θ " (orbiting) mechanism. This "θ" mechanism is supported on the Y-axis moving mechanism 4B1, and the Y-axis moving mechanism 4B1 is supported on the X-axis moving mechanism 4B2. The entire X-Y-θ moving mechanism 4B is mounted on a table (base 4C).

기판(2) 이송시, 스테이지(4A)가 전진 이동하여 반송 로봇(3)에 근접한다. 페이스트를 기판(2)에 도포시, 반송로봇(3)에서 후퇴하도록 스테이지(4A)가 후방 이동한다.During the transfer of the substrate 2, the stage 4A moves forward to approach the transfer robot 3. When the paste is applied to the substrate 2, the stage 4A moves backward so as to retreat from the transfer robot 3.

페이스트 도포 작업 개시 이전에, 스테이지(4A)에 유지된 기판(2)은, 2개의 시린지(4D1, 4D2)를 장착한 헤드기구(4D)와의 사이의 기준 위치 조정이 행해진다. (2개의) 시린지(4D1, 4D2)는 페이스트를 내부에 저장하는 용기이다. "다수" 기판(2)(즉 내부에 형성된 다수의 동일 기판을 갖는 기판)으로서, 다수의 기판(2)을 형성하는 인접하는 기판의 "X방향" 피치에 대응하도록 2개의 시린지(4D1, 4D2) 사이의 간격이 설정된다.Prior to the start of the paste coating operation, the substrate 2 held on the stage 4A is subjected to a reference position adjustment between the head mechanism 4D on which the two syringes 4D1 and 4D2 are mounted. The two syringes 4D1 and 4D2 are containers for storing paste therein. As a "multiple" substrate 2 (that is, a substrate having a plurality of identical substrates formed therein), two syringes 4D1 and 4D2 corresponding to the "X direction" pitches of adjacent substrates forming the plurality of substrates 2. The interval between

스테이지(4A) 위에 장착된 기판(2)에 관해서, 반송 로봇(3)의 공급 작업에 의해, X, Y, 및 θ방향으로 약간 이동하는 동안 기판(2)이 대부분 위치되는 것에 주목할 것이다.Regarding the substrate 2 mounted on the stage 4A, it will be noted that the substrate 2 is mostly positioned while slightly moving in the X, Y, and θ directions by the supply operation of the transfer robot 3.

헤드기구(4D)에 있어서, 도 1에 도시한 바와 같이, 시린지(4D1, 4D2)에는 CCD 카메라(4D3, 4D4)를 각각 장착하고 있다. 이 CCD 카메라(4D3, 4D4)에 의해 촬영된 정렬 표시의 화면이 컨트롤러(4E)로 공급된다. 컨트롤러(4E)에서, 그 형태 인식에 기초한 제어에 의해, 기판(2)의 위치 보정을 실행한다.In the head mechanism 4D, as illustrated in FIG. 1, the CCD cameras 4D3 and 4D4 are attached to the syringes 4D1 and 4D2, respectively. The screen of the alignment display taken by the CCD cameras 4D3 and 4D4 is supplied to the controller 4E. In the controller 4E, the positional correction of the board | substrate 2 is performed by the control based on the shape recognition.

기판(2)의 위치 보정을 행한 후에, 프로그램 제어에 의해, 각 시린지(4D1, 4D2)의 노즐로부터 페이스트의 토출량을 제어하면서 기판(2) 표면에 페이스트 형태를 형성한다. 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 컨트롤러(4E)는 모니터 디스플레이(4F)와 키보드(4G)에 연결되어, 작업자(근로자)가 키보드(4G)를 조작하면서 기판(2)에 대한 페이스트 도포 작업을 제어할 수 있다.After the position correction of the board | substrate 2 is performed, a paste form is formed in the surface of the board | substrate 2, controlling the discharge amount of paste from the nozzle of each syringe 4D1, 4D2 by program control. As shown in Figs. 1 and 2, the controller 4E is connected to the monitor display 4F and the keyboard 4G so that an operator (worker) applies paste to the substrate 2 while operating the keyboard 4G. You can control the work.

표면에 페이스트가 도포된 기판(2)은, 전진 이동하여 반송 로봇(3)을 향해 이송된다. 기판(2)의 수령시, 반송 로봇(3)은 다음 공정을 위해 기판을 도 1에 도시한 반출대(5)로 이송한다.The board | substrate 2 to which the paste was apply | coated on the surface moves forward and is conveyed toward the conveyance robot 3. Upon receipt of the substrate 2, the transfer robot 3 transfers the substrate to the unloading table 5 shown in FIG. 1 for the next process.

전술한 바와 같이, 컨트롤러(4E)에 의해 X-Y-θ 이동기구(4B)와 각 시린지(4D1, 4D2)에 대한 프로그램 제어에 의해서, 페이스트 도포장치는 노즐을 통한 페이스트 토출량을 제어하므로, 소정의 페이스트 형태가 기판(2) 위에 형성된다.As described above, the paste application device controls the paste discharge amount through the nozzle by the controller 4E by the program control for the XY-θ moving mechanism 4B and the respective syringes 4D1 and 4D2, so that the predetermined paste The shape is formed on the substrate 2.

페이스트 도포가 행해지고, 빈 용기, 즉 시린지(4D1, 4D2)는 작업자의 수작업에 의해 헤드기구(4D)에서 분리되고, 헤드기구(4D)에 페이스트가 충진된 다른 새로운 시린지와의 교환 장착이 행해진다.Paste application is performed, and empty containers, i.e., syringes 4D1 and 4D2, are separated from the head mechanism 4D by an operator's manual work, and exchanged and mounted with other new syringes in which the head mechanism 4D is filled with paste. .

기판의 대형화가 진전되는 최근에, 단일 기판에 소모되는 페이스트 양도 점차로 증가한다. 용기의 교환 시간이 증가하므로 작업자에 대한 부담이 증가한다.In recent years, as the size of the substrate is advanced, the amount of paste consumed on a single substrate also gradually increases. As the change of container time increases, the burden on the operator increases.

게다가, 작업자가 교환 작업에 상당한 시간을 소모하기 때문에, 작업자가 시린지에 접촉하는 기회와 시간이 증가하여, 페이스트의 품질이 악화되고 외부 물질과의 혼합하는 문제의 가능성이 증가한다.In addition, since the operator spends a considerable amount of time in the exchange operation, the opportunity and time for the operator to contact the syringe are increased, so that the quality of the paste is deteriorated and the possibility of a problem of mixing with an external substance increases.

따라서, 본 발명의 목적은, 용기의 교환 작업을 자동적으로 실행하여, 페이스트의 품질 악화와 외부 물질의 내부 융합을 방지하면서 작업자의 부담을 경감할 수 있는 도포 장치를 제공하는 데에 있다.It is therefore an object of the present invention to provide an application apparatus capable of reducing the burden on an operator while automatically performing a container replacement operation and preventing deterioration of paste quality and internal fusion of external substances.

본 발명에 따르면, 상기 목적은 페이스트(paste)를 수납하고, 토출된 페이스트를 기판에 도포하는 노즐을 구비하는 용기와, 상기 기판을 장착하는 스테이지와, 상기 용기를 분리가능하게 유지하는 유지기구와, 상기 유지기구에 의해 유지된 상기 용기의 노즐과 상기 기판이 기판 표면을 따라 서로 상대 이동할 수 있도록, 상기 스테이지 또는 상기 유지기구 중 적어도 하나를 이동가능하게 구성된 이동기구와, 상기 유지기구에 의해 유지된 용기에 파이프를 통해 연결되고, 노즐에서 토출된 페이스트 토출량을 제어하는 토출량 제어부와, 상기 유지기구로 또는 상기 유지기구로부터 상기 용기를 반송하도록 구성된 이송기구와, 상기 이송기구의 반송 동작을 제어하도록 구성된 컨트롤러를 구비하는 페이스트 도포장치에 의해 달성된다.According to the present invention, the object is a container having a nozzle for storing a paste and applying the discharged paste to a substrate, a stage for mounting the substrate, a holding mechanism for detachably holding the container; And a moving mechanism configured to move at least one of the stage or the holding mechanism so that the nozzle of the container held by the holding mechanism and the substrate can move relative to each other along a substrate surface, and held by the holding mechanism. A discharge amount control unit which is connected via a pipe to the container and controls the amount of paste discharged from the nozzle, a transfer mechanism configured to convey the container to or from the holding mechanism, and to control a transfer operation of the transfer mechanism. It is achieved by a paste coating device having a configured controller.

본 발명에 따르면, 페이스트 도포장치는 이송기구와 컨트롤러를 구비한다. 이송기구와 유지기구 사이에 용기의 이송은 컨트롤러로 제어된다. 따라서, 교환작업이 자동으로 실행되어 작업자의 부담을 현저하게 감소할 수 있다. 또한, 작업자가 용기에 접촉하는 기회를 감소시킬 수 있기 때문에, 페이스트의 품질 악화와 외부 물질과의 혼합을 방지할 수 있다.According to the present invention, the paste coating device includes a transfer mechanism and a controller. The transfer of the vessel between the transfer mechanism and the holding mechanism is controlled by the controller. Therefore, the replacement work can be executed automatically, thereby significantly reducing the burden on the operator. In addition, since the operator can reduce the chance of contacting the container, it is possible to prevent deterioration of the paste quality and mixing with foreign substances.

본 발명의 이들 목적과 특징은 첨부 도면을 참조로 이후의 상세한 설명과 첨부된 특허청구범위로부터 보다 명백하게 된다.These objects and features of the present invention will become more apparent from the following detailed description and the appended claims, taken in conjunction with the accompanying drawings.

도 3 내지 도 13을 참조하면서, 본 발명의 페이스트 도포장치의 일 실시 형태를 이하에 기술한다. 도 1 및 도 2에 도시한 페이스트 도포장치와 동일 구성에는 각각 동일 참조번호를 부여하여 중복되는 설명은 생략한다.3 to 13, an embodiment of the paste coating device of the present invention will be described below. The same reference numerals are given to the same components as the paste coating apparatus shown in Figs. 1 and 2, and overlapping descriptions are omitted.

도 3은 본 발명의 페이스트 도포장치의 제1 실시 형태를 다수의 배치한 주요부 구조 배치도이다. 도 4는 도 3의 페이스트 도포장치의 확대 사시도이다.Fig. 3 is a layout view of the main parts of a plurality of the first embodiments of the paste coating apparatus of the present invention. 4 is an enlarged perspective view of the paste coating apparatus of FIG. 3.

도 3에 도시한 바와 같이, 공급대(1) 위에 순차 반송 공급되는 기판(2)은, 반송 로봇(3)의 아암(3a)에 흡착 유지되고, 도 1의 장치의 동작과 유사하게, 아암의 선회운동(θ방향)과 이동운동(X방향)에 의해, 4대의 페이스트 도포장치(41 내지 44)에 순차적으로 공급된다. As shown in FIG. 3, the board | substrate 2 sequentially conveyed and supplied on the supply stand 1 is attracted | held by the arm 3a of the transfer robot 3, and is similar to the operation | movement of the apparatus of FIG. By the rotational motion (theta direction) and the movement motion (the X direction), it is sequentially supplied to the four paste coating apparatuses 41 to 44.

각 페이스트 도포장치(41 내지 44)는, 기판(2)을 수용하고 장착하는 스테이지(4A)와 이 스테이지(4A)를 내장하는 X-Y-θ 이동기구(4B)를 구비하고 있다.Each paste application device 41-44 is equipped with the stage 4A which accommodates and mounts the board | substrate 2, and the X-Y- (theta) movement mechanism 4B which incorporates this stage 4A.

도 1의 구성과 동일하게, 스테이지(4A)는 X-Y-θ 이동기구(4B)의 회전가능한 θ기구를 통해 Y축 이동기구(4B1) 위에 의해 지지되는 반면, Y축 이동기구(4B1)는 X축 이동기구(4B2) 위에 지지된다.As in the configuration of Fig. 1, the stage 4A is supported by the Y axis moving mechanism 4B1 via the rotatable θ mechanism of the XY-θ moving mechanism 4B, while the Y axis moving mechanism 4B1 is X It is supported on the shaft moving mechanism 4B2.

이와 같이, X-Y-θ 이동기구(4B)의 Y축 이동기구(4B1) 위에 θ기구의 구성에 의해, Y축 이동기구(4B1)에 컨트롤러(4H)의 제어에 의해 반송 로봇(3)을 향해 기판(2)의 이송 위치까지 전진 이동과, 반송 로봇(3)과 별개의 도포 작업 위치까지 후진 이동을 할 수 있다.Thus, by the structure of the θ mechanism on the Y axis moving mechanism 4B1 of the XY-θ moving mechanism 4B, the Y-axis moving mechanism 4B1 is controlled toward the transfer robot 3 by the control of the controller 4H. Forward movement to the transfer position of the board | substrate 2 and backward movement to the application | coating work position separate from the transfer robot 3 can be performed.

도 1의 구성과 동일하게, 스테이지(4A)는, 그 표면에, 다수의 핀과 흡착공을 구비하고 있다. 동작시, 기판(2)은 다수의 핀에 의해 수용되고 그 위에 장착된다. 그 후에, 기판(2)은 핀과 함께 하강되고 흡착공에 의해 최종적으로 유지된다. 역으로, 기판(2)을 반송 로봇(3)으로 이송할 때에는, 상기와 역순으로 동작이 실행된다.As in the configuration of FIG. 1, the stage 4A includes a plurality of fins and adsorption holes on its surface. In operation, the substrate 2 is received by and mounted on a plurality of pins. Thereafter, the substrate 2 is lowered together with the fins and finally held by the adsorption holes. Conversely, when transferring the board | substrate 2 to the transfer robot 3, operation | movement is performed in the reverse order to the above.

도 4에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태의 페이스트 도포장치는, 테이블(베이스)(4C) 위에, X-Y-θ이동기구(4B)와, 페이스트를 수납하는 2개의 용기, 즉 2개의 시린지(4J1)(4J2)를 그 위에 착탈가능하게 장착하는 유지기구(4K)를 구비하고 있다.As shown in Fig. 4, the paste coating apparatus of the present embodiment has two containers for storing paste, namely two syringes 4J1, on the table (base) 4C and the XY-θ moving mechanism 4B. ) 4J2 is provided with a holding mechanism 4K detachably mounted thereon.

스테이지(4A) 위에 놓여진 기판(2)은, 컨트롤러(4H)의 프로그램 제어에 따라 시린지(4J1, 4J2)의 노즐에 상대적으로 이동하기 때문에, 노즐에서 토출된 페이스트의 페이스트 형태가 기판(2) 표면에 형성된다.Since the substrate 2 placed on the stage 4A moves relative to the nozzles of the syringes 4J1 and 4J2 under the program control of the controller 4H, the paste form of the paste discharged from the nozzles is the surface of the substrate 2. Is formed.

도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태의 도포장치는 (2개의) 시린지(4J1, 4J2)의 노즐에서 페이스트를 토출하여 기판(2) 표면에 동시에 도포되도록 구성된다. 여기서 유지기구(4K)에 유지된 이들 시린지(4J1, 4J2)는 서로 동일 구조임에 주의하라. 따라서, 하나의 시린지(41J)의 구성에 관해서 기술하며, 다른 시린지(4J2)의 구성의 설명은 생략한다.As shown in FIG. 3 and FIG. 4, the coating apparatus of this embodiment is comprised so that a paste may be discharged | emitted from the nozzle of the (two) syringes 4J1 and 4J2 and apply | coated to the surface of the board | substrate 2 simultaneously. Note that these syringes 4J1 and 4J2 held in the holding mechanism 4K have the same structure. Therefore, the structure of one syringe 41J is described, and description of the structure of the other syringe 4J2 is abbreviate | omitted.

즉, 이 실시 형태의 페이스트 도포장치에서는, 이송기구를 형성하는 로봇기구(4L)가 페이스트를 수납하는 시린지(4J1)의 유지기구(4K)로 이송하고, 또 페이스트를 소모하는 결과로 비워지는 시린지(4J1)를 유지기구(4K)로부터 수납하고, 즉 로봇기구(4L)는 시린지(4J1)의 적재와 수납 동작을 실행한다.That is, in the paste application device of this embodiment, the robot mechanism 4L forming the transfer mechanism is transferred to the holding mechanism 4K of the syringe 4J1 containing the paste, and the syringe is emptied as a result of consuming the paste. 4J1 is received from the holding mechanism 4K, that is, the robot mechanism 4L executes the loading and storing operation of the syringe 4J1.

도 5는, 시린지(4J1)가 유지기구(4K)의 홀더 본체(4K1)에 장착된 상태를 도시하는 확대 사시도이다. 내부에 페이스트를 수납하는 동축 노즐(4Ja)의 시린지(4J1)는 원통형 용기의 형태로, 유지기구(4K)의 홀더 본체(4K1)에 착탈가능하게 장착된다. 시린지(4J1)를 유지하는 홀더 본체(4K1)는 X방향으로 이동가능하게 구성된다.FIG. 5 is an enlarged perspective view showing a state where the syringe 4J1 is attached to the holder main body 4K1 of the holding mechanism 4K. The syringe 4J1 of the coaxial nozzle 4Ja which accommodates paste therein is detachably attached to the holder main body 4K1 of the holding mechanism 4K in the form of a cylindrical container. The holder main body 4K1 holding the syringe 4J1 is configured to be movable in the X direction.

유지기구(4K)에서, 홀더 본체(4K1)에는 시린지(4J1)를 파지하기 위해, X방향으로 개폐하는 한 쌍의 아암(4K2a, 4K2b)을 장착하고 있다. 아암(4K2a, 4K2b) 사이에 끼워진 시린지(4J1)는 파이프(4M)를 통해 토출량 제어부(4N)(도 3 및 도 4 참조)에 연결되어 있다. 토출량 제어부(4N)는 도시하지 않은 펌프에 연결되어 있다. 이처럼, 홀더 본체(4K1)의 한 쌍의 아암(4K2a, 4K2b)은 파지부를 형성한다. 아암(4K2a, 4K2b)의 밀폐 동작에 의해, 원통형 시린지(4J1)에 대해 그 직경방향으로 집어서 파지한다.In the holding mechanism 4K, the holder main body 4K1 is equipped with a pair of arms 4K2a and 4K2b that open and close in the X direction to hold the syringe 4J1. The syringe 4J1 sandwiched between the arms 4K2a and 4K2b is connected to the discharge amount control unit 4N (see FIGS. 3 and 4) through the pipe 4M. The discharge amount control unit 4N is connected to a pump (not shown). In this way, the pair of arms 4K2a and 4K2b of the holder main body 4K1 form a gripping portion. By the sealing operation of the arms 4K2a and 4K2b, it picks up and grips in the radial direction with respect to the cylindrical syringe 4J1.

토출량 제어부(4N)는 컨트롤러(4H)에 연결되어, 기판(2)에 페이스트를 도포하는 정확한 타이밍으로 시린지(4J1)의 노즐(4Ja)에서 적절한 양의 페이스트를 토출할 수 있도록 시린지(4J1)에 대한 압력을 제어한다.The discharge amount control portion 4N is connected to the controller 4H, and the syringe 4J1 can be discharged to the appropriate amount of the paste from the nozzle 4Ja of the syringe 4J1 at the precise timing of applying the paste to the substrate 2. To control the pressure.

도 5는, 파이프(4M)에 연결된 시린지(4J1)가 홀더 본체(4K1)에 파지되는 상태를 도시한다. 도 5 뿐만 아니라, 도 3, 도 4 및 도 6 내지 도 9를 참조하면서, 로봇기구(4L)에 의해, 시린지(4J1)가 홀더 본체(4K1)에 이송되어, 처리되는 과정을 이하에 설명한다.FIG. 5 shows a state where the syringe 4J1 connected to the pipe 4M is gripped by the holder body 4K1. In addition to FIG. 5, the process by which the syringe 4J1 is transferred to the holder main body 4K1 and processed by the robot mechanism 4L is demonstrated below, referring FIG. 3, FIG. 4, and FIG. 6-9. .

도 6은, 로봇기구(4L)에 유지된 시린지(4J1)가 홀더 본체(4K1)에 장착되는 순서를 설명하는 주요부 확대 사시도이다. 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 로봇기구(4L)는 반송 아암(4La)의 선단부에 유지부(4Lb)가 연결된다. 반송아암(4La)은 구동기구(도시생략)에 의해 수직방향 축선을 중심으로 회전가능하다. 유지부(4Lb)에 유지된 시린지(4J1)는 도 6의 화살표(X1)의 방향을 따라 반송된다. 그 후에, 시린지(4J1)가 화살표(Z1)의 방향으로 하강되고 개방 상태에서 한 쌍의 아암(4K2a, 4K2b) 사이에 삽입된다. 이와 같이 삽입된 시린지(4J1)는 한 쌍의 아암(4K2a, 4K2b)의 밀폐 동작으로 홀더 본체(4K1)에 파지 고정된다. 이 때, 스톱퍼(4K3a, 4K3b)는 홀더 본체(4K1)로 후퇴하여 시린지(4J1)가 스톱퍼(4K3a, 4K3b)와 간섭하는 것을 방지한다.FIG. 6 is an enlarged perspective view of a main part illustrating a procedure in which the syringe 4J1 held by the robot mechanism 4L is attached to the holder body 4K1. As shown in FIG. 3 and FIG. 4, the holding mechanism 4Lb is connected to the front end of the transfer arm 4La in the robot mechanism 4L. The carrier arm 4La is rotatable about a vertical axis by a drive mechanism (not shown). The syringe 4J1 held by the holding | maintenance part 4Lb is conveyed along the direction of the arrow X1 of FIG. Thereafter, the syringe 4J1 is lowered in the direction of the arrow Z1 and inserted between the pair of arms 4K2a and 4K2b in the open state. The syringe 4J1 inserted in this way is gripped and fixed to the holder main body 4K1 by the sealing operation of the pair of arms 4K2a and 4K2b. At this time, the stoppers 4K3a and 4K3b retreat to the holder body 4K1 to prevent the syringe 4J1 from interfering with the stoppers 4K3a and 4K3b.

도 5 또는 도 6에 도시한 바와 같이, 시린지(4J1)는, 그 상단부에, 맞물림부를 형성하는 테두리부(4Jb)를 갖고 있다. 시린지(4J1)의 하방에는 인접면(4Jd)을 형성한 단락부를 구비하고 있다. 그래서, 홀더 본체(4K1)에 파지된 시린지(4J1)는, 맞물림부 상면(맞물림면)이, 홀더 본체(4K1)측에서 이동하여 횡방향으로 돌출한 스톱퍼(4K3a, 4K3b)에 의해 약간 하방 가압된다. 또, 인접면(4Jd)을 형성한 단락부가 한 쌍의 아암(4K2a, 4K2b)의 단락부(4K2c)에 인접하기 때문에, 시린지(4J1)는 축방향으로, 즉 수직방향으로 홀더 본체(4K1)에 안정 지지될 수 있다.As shown in FIG. 5 or FIG. 6, the syringe 4J1 has an edge portion 4Jb that forms an engagement portion at its upper end portion. The short circuit part in which the adjacent surface 4Jd was formed below the syringe 4J1 is provided. Therefore, the syringe 4J1 gripped by the holder main body 4K1 is pressurized slightly downward by stoppers 4K3a and 4K3b in which the upper surface of the engaging portion (engagement surface) moves from the holder main body 4K1 side and protrudes in the transverse direction. do. Moreover, since the short circuit part which formed the adjacent surface 4Jd adjoins the short circuit part 4K2c of the pair of arms 4K2a and 4K2b, the syringe 4J1 is axially, ie, perpendicular to the holder main body 4K1. Can be supported on stable.

시린지(4J1)의 테두리부(4Jb)에는 파이프(4M)가 분리가능하게 연결되는 개 구부(4Jc)를 구비하고 있다.The edge portion 4Jb of the syringe 4J1 is provided with an opening portion 4Jc through which the pipe 4M is detachably connected.

도 7a 및 도 7b에 도시한 바와 같이, 홀더 본체(4K1)에는 U자형 오목부를 갖는 파이핑 맞물림부(4K11)를 구비하며, 파이프(4M)의 테두리부는 파이핑 맞물림부(4K11)에 일시적으로 맞물림된다. 이런 상태에서, 로봇기구(4L)의 유지부(4Lb)가 파이프(4M)를 잡아 파이핑 맞물림부(4K11)에서 분리하고, 파이프(4M)의 연결부를 시린지(4J1)의 개구부(4Jc)에 연속적으로 장착한다.As shown in FIGS. 7A and 7B, the holder body 4K1 is provided with a piping engaging portion 4K11 having a U-shaped recess, and the edge portion of the pipe 4M is temporarily engaged with the piping engaging portion 4K11. . In this state, the holding portion 4Lb of the robot mechanism 4L catches the pipe 4M and separates it from the piping engaging portion 4K11, and the connecting portion of the pipe 4M is continuously connected to the opening 4Jc of the syringe 4J1. To be installed.

시린지(4J1)의 페이스트가 소모될 때, 전술한 순서와 역순으로 새로운 시린지로 교환된다.When the paste of the syringe 4J1 is consumed, it is replaced with a new syringe in the reverse order to the above.

본 실시 형태에 따르면, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 로봇기구(4L)에 의한 시린지(4J1, 4J2)의 교환작업의 효율화를 위해서 테이블(4C)에 스토커(4P)가 배치된다. 스토커(4P)는 시린지(4J1)를 유지하는 다수의 홀더부를 갖고 있다. 스토커(4P)는 사용 완료되고 교환된 시린지, 및 새로운 교환용 시린지를 일시적으로 유지하도록 구성된다.According to this embodiment, as shown in FIG.3 and FIG.4, the stocker 4P is arrange | positioned at the table 4C for the efficiency of the replacement operation of the syringe 4J1, 4J2 by the robot mechanism 4L. The stocker 4P has many holder parts which hold the syringe 4J1. The stocker 4P is configured to temporarily hold used and exchanged syringes, and new replacement syringes.

상기 스토커(4P)는, 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 스테이지(4A)에 인접하게 구성되어도 좋다. 선택적으로, 스토커(4P)는 스테이지(4A) 위에 직접적으로 구성되어도 좋다.The stocker 4P may be configured to be adjacent to the stage 4A, as shown in FIGS. 3 and 4. Optionally, the stocker 4P may be directly configured on the stage 4A.

전술한 바와 같이, 본 실시 형태의 로봇기구(4L)는 홀더 본체(4K1)와의 사이에 시린지(4J1)를 반송하는 이송기구와, 시린지(4J1)로 또는 시린지로부터 파이프(4M)를 착탈하여 시린지(4J1)와 토출량 제어부(4N)와의 사이를 접속, 분리하는 착탈기구를 포함한다.As described above, the robot mechanism 4L of the present embodiment detaches the pipe 4M to or from the syringe 4J1 with the transfer mechanism for conveying the syringe 4J1 between the holder body 4K1 and the syringe. And a attachment / detachment mechanism for connecting and separating between 4J1 and discharge amount control portion 4N.

도 8 및 도 9(도 9a, 도 9b)를 참조하여, 홀더 본체(4K1)의 상세한 구조를 설명한다. 이들 도면에서, 도 8은 도 5 및 도 7(도 7a, 도 7b)에 도시한 주요부의 정면도이다. 도 9a는 도 8의 9A-9A 선을 따라 절취한 단면도이고, 도 9b는 도 8의 9B-9B 선을 따라 절취한 단면도이다.8 and 9 (FIGS. 9A and 9B), the detailed structure of the holder main body 4K1 is demonstrated. In these drawings, FIG. 8 is a front view of the main part shown in FIGS. 5 and 7 (FIGS. 7A and 7B). 9A is a cross-sectional view taken along the line 9A-9A of FIG. 8, and FIG. 9B is a cross-sectional view taken along the line 9B-9B of FIG. 8.

도 9b에 도시한 바와 같이, 홀더 본체(4K1) 내에는, 아암(4K2a, 4K2b)에 연속하는 L자형 톱니바퀴 맞물림부(4K2d, 4K2d)가 각각 대향하고 있다. 대향하는 톱니바퀴 맞물림부(4K2d, 4K2d) 사이에는, 서보 모터(4K2e)에 의해 회전하는 기어(4K2f)가 개재되어 있다. 기어(4K2f)는 양 톱니바퀴 맞물림부(4K2d, 4K2d)에 맞물리고 있다. 서보 모터(4K2e)의 회전이 컨트롤러(4H)에 의해 제어되기 때문에, 아암(4K2a, 4K2b)은 개폐 동작을 실행한다.As shown in FIG. 9B, in the holder main body 4K1, the L-shaped gear engaging portions 4K2d and 4K2d that are continuous to the arms 4K2a and 4K2b face each other. The gear 4K2f which rotates by the servomotor 4K2e is interposed between the opposing gear engagement parts 4K2d and 4K2d. The gear 4K2f is engaged with both gear engagement portions 4K2d and 4K2d. Since the rotation of the servo motor 4K2e is controlled by the controller 4H, the arms 4K2a and 4K2b perform the opening and closing operation.

스톱퍼(4K3a, 4K3b)는, 구동 실린더(또는 두 실린더)(4K3c)의 조작에 의해 전후 이동가능하도록 구성된다. 따라서, 실린더(4K3c)의 구동은 컨트롤러(4H)에 의해 제어되기 때문에, 시린지(4J1)에 대해 상부로부터의 제압 및 해제가 가능하게 된다.The stoppers 4K3a and 4K3b are configured to be movable back and forth by the operation of the drive cylinder (or two cylinders) 4K3c. Therefore, the drive of the cylinder 4K3c is controlled by the controller 4H, so that the syringe 4J1 can be depressed and released from the upper portion.

시린지(4J1, 4J2) 내의 페이스트가 소모되는 결과로서 새로운 시린지(4J1, 4J2)와의 교환이 필요한 때에는, 컨트롤러(4H)는 로봇기구(4L)의 제어와 함께 서보 모터(4K2e)와 실린더(4K3c)의 동작을 제어한다. 이와 같이, 파이프(4M)의 분리 및 유지기구(4K)로부터의 시린지(4J1, 4J2)의 분리가 실행된다.When the paste in the syringes 4J1 and 4J2 is consumed as a result of replacement of the new syringes 4J1 and 4J2, the controller 4H controls the servo mechanism 4L and the cylinder 4K3c together with the control of the robot mechanism 4L. To control the operation. In this manner, the separation of the syringes 4J1 and 4J2 from the separation and holding mechanism 4K of the pipe 4M is performed.

전술한 바와 같이, 로봇기구(4L)는 파이프(4M)를 시린지(4J1)의 개구부(4Jc)와의 사이에 착탈한다. 이와 관련하여, O링(4Ma)이 파이프(4M) 선단의 연결부에 끼워진다. O링(4Ma)을 구비하여 파이프(4M)가 시린지(4J1)에 밀착 연결되도록 구성되어 있다.As described above, the robot mechanism 4L attaches and detaches the pipe 4M between the opening 4Jc of the syringe 4J1. In this connection, the O-ring 4Ma is fitted to the connecting portion of the pipe 4M tip. The O-ring 4Ma is provided so that the pipe 4M is closely connected to the syringe 4J1.

용기로서의 시린지(4J1, 4J2) 각각은 시린지의 반경방향으로 아암(4K2a, 4K2b)에 파지된다. 또한, 상기 파지방향에 직교방향으로, 시린지(4J1, 4J2)는 각각 단부(4K2c)와 스톱퍼(4K3a, 4K3b)에 의해 견고하게 파지된다. 따라서, 시린지(4J1, 4J2)에 상당한 힘이 작용하는 로봇기구(4L)에 대한 파이프(4M)의 착탈 동작 이후에, 노즐(4Ja) 선단의 높이가 높은 재현성으로 안정화되고, 기판(2)과 노즐(4Ja) 선단부와의 사이의 간격을 높은 정밀도로 유지하여, 기판(2)에 적절하게 페이스트를 도포할 수 있다.Each of the syringes 4J1 and 4J2 as a container is gripped by the arms 4K2a and 4K2b in the radial direction of the syringe. In addition, in the direction perpendicular to the gripping direction, the syringes 4J1 and 4J2 are firmly gripped by the end portions 4K2c and the stoppers 4K3a and 4K3b, respectively. Therefore, after the attachment / detachment operation of the pipe 4M to the robot mechanism 4L in which considerable force acts on the syringes 4J1 and 4J2, the height of the tip of the nozzle 4Ja is stabilized with high reproducibility, The gap between the tip of the nozzle 4Ja can be maintained with high precision, and the paste can be applied to the substrate 2 as appropriate.

도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 로봇기구(4L)는 기판(2)의 반송방향(X방향)을 따라 놓이는 가이드레일(4Lc)을 갖고 있다. 따라서, 로봇 본체(4Ld)는 가이드레일(4Lc)을 따라 이동가능하다. 이 이동에 의해, 로봇 본체(4Ld)는 X방향으로 배치된 다수의 페이스트 도포장치(41, 42)의 각 유지기구(4K)에 대해 용기(즉, 시린지(4J1, 4J2))를 반송할 수 있다.As shown in FIG. 3 and FIG. 4, the robot mechanism 4L has a guide rail 4Lc which lies along the conveyance direction (X direction) of the substrate 2. Thus, the robot body 4Ld is movable along the guide rail 4Lc. By this movement, the robot body 4Ld can convey the container (i.e., syringes 4J1 and 4J2) to each holding mechanism 4K of the plurality of paste applicators 41 and 42 arranged in the X direction. have.

컨트롤러(4H)는 또한 유지기구(4K)에 유지된 용기가 비워져 있는지 여부(또는 현재 용기 내의 페이스트의 양이 적게 남아 있기 때문에 새로운 용기의 교환이 필요한지 여부)를 판별한다. 상세하게는, 예컨대, 컨트롤러(4H)는 페이스트가 도포된 기판(2)의 수를 카운트할 수 있다. 카운트된 기판(2)의 수가 소정 수량에 도달할 때, 컨트롤러(4H)는 새로운 용기의 교환시기가 도달하였음을 판별한다. 계속해서, 컨트롤러(4H)는 용기의 교환 작업을 자동적으로 시작하도록 제어한다. 물론, 작업자는 용기의 교환시기를 판단하여 빈 용기를 새로운 용기로 교환하는 추가 지령을 컨트롤러(4H)에 지시하여도 좋다.The controller 4H also determines whether the container held by the holding mechanism 4K is empty (or whether a replacement of a new container is necessary because a small amount of paste in the current container remains). In detail, for example, the controller 4H can count the number of the substrates 2 to which the paste is applied. When the counted number of substrates 2 reaches a predetermined quantity, the controller 4H determines that the replacement timing of the new container has been reached. Subsequently, the controller 4H controls to automatically start the change operation of the container. Of course, the operator may instruct the controller 4H of additional instructions for judging the container replacement time and replacing the empty container with a new container.

선택적으로, 사용중의 용기 무게를 검출하는 센서를 구비하여도 좋다. 이 변형예에서, 사용중의 용기 무게가 소정 무게 이하인 경우에는, 컨트롤러(4H)는 용기가 비워져 용기의 교환 작업(빈 용기, 새로운 용기)을 연속적으로 실행하는 것을 판별한다. 선택적으로, 페이스트 토출 시간의 축적 시간이 소정의 시간에 도달한 때에 용기를 교환하여도 좋다.Optionally, a sensor for detecting the weight of the container in use may be provided. In this modification, when the weight of the container in use is equal to or less than the predetermined weight, the controller 4H determines that the container is emptied to continuously execute the replacement operation (empty container, new container) of the container. Alternatively, the container may be replaced when the accumulation time of the paste discharge time reaches a predetermined time.

전술한 바와 같이, 본 실시 형태의 페이스트 도포장치에 따르면, 기판에 페이스트를 도포하는 과정에서 용기(시린지(4J1, 4J2))의 이송기구를 형성하는 로봇기구와 파이프(4M)의 착탈기구가 새로운 용기로 빈 용기를 자동 교환할 수 있기 때문에, 작업자는 도 1에 도시한 바와 같이 용기 교환을 차례로 실행할 필요가 없다. 결과적으로, 작업자의 부담이 경감되어 기판에 페이스트를 도포하는 작업 효율이 향상될 수 있다.As described above, according to the paste applying apparatus of the present embodiment, the robot mechanism for forming the transfer mechanism of the containers (syringes 4J1 and 4J2) and the detachable mechanism of the pipe 4M are newly formed in the process of applying the paste to the substrate. Since the empty container can be automatically replaced by the container, the operator does not need to sequentially perform container replacement as shown in FIG. As a result, the burden on the operator can be reduced, and the work efficiency of applying the paste to the substrate can be improved.

또한, 용기(시린지(4J1, 4J2)) 교환시에 내부에 페이스트를 수용한 용기를 작업자가 접촉하는 가능성이 없기 때문에, 페이스트가 작업자의 체온에 의해 더워지고, 작업자로부터의 외부 물질과 혼합되기 때문에, 페이스트의 품질이 악화되는 것을 방지할 수 있다.In addition, since there is no possibility for an operator to contact a container containing paste therein at the time of replacing the container (syringe 4J1, 4J2), since the paste is heated by the operator's body temperature and mixed with an external substance from the operator. The quality of the paste can be prevented from deteriorating.

다음에, 본 발명의 실시 형태의 변형예는 도 3, 도 10a 및 도 10b를 참조로 설명한다.Next, the modification of embodiment of this invention is demonstrated with reference to FIG. 3, FIG. 10A and FIG. 10B.

이 변형예에서, 로봇기구(4L)는 스토커(4P)가 통과함으로써 유지기구(4K), 공급장치(6), 및 처리장치(7) 사이의 이송을 직접 실행한다. 반면, 전술한 실시 형태에서, 작업자가 시린지(4J)를 스토커(4P)에 공급하고, 이 변형예에서, 시린지(4J)와 작업자가 접촉하는 기회가 추가로 감소될 수 있다. 전술한 실시 형태에서, 작업자가 단시간에 스토커(4P) 위에 시린지(4J1)를 놓기 때문에, 시린지(4J1) 내의 페이스트는 품질 악화와 외부 물질과의 혼합을 방지할 수 있다.In this modification, the robot mechanism 4L directly executes the transfer between the holding mechanism 4K, the supply device 6, and the processing device 7 by passing the stocker 4P. On the other hand, in the above-described embodiment, the operator supplies the syringe 4J to the stocker 4P, and in this modification, the opportunity for the operator to contact the syringe 4J can be further reduced. In the above-described embodiment, since the operator places the syringe 4J1 on the stocker 4P in a short time, the paste in the syringe 4J1 can prevent deterioration of quality and mixing with foreign substances.

도 3에서, 참조번호(6)는 페이스트를 함유한 시린지(4J1)를 로봇기구(4L)에 공급하는 공급장치를 지시한다. 참조번호(7)는 로봇기구(4L)에 의해, 페이스트가 소모된 빈 시린지(4J1)의 처리하는 처리장치를 지시한다.In Fig. 3, reference numeral 6 designates a supply device for supplying the syringe 4J1 containing paste to the robot mechanism 4L. Reference numeral 7 instructs the processing apparatus for processing the empty syringe 4J1 in which the paste is consumed, by the robot mechanism 4L.

도 10a는 페이스트로 채워진 용기를 공급하는 공급장치(6)를 도시한다. 공급장치(6)는 내부에 페이스트를 수납하는 시린지(4J1)를 냉장 상태로 저장하는 냉장고(8)를 포함한다. 자외선(UV) 경화된 방수제가 페이스트로 사용되었다. 기판(2)에 도포된 후 방수제에 자외선이 조사될 때, 기판(2) 쌍 사이의 간격을 흡착 유지하기 위해 방수제는 경화한다.10A shows a supply device 6 for supplying a container filled with paste. The supply apparatus 6 includes the refrigerator 8 which stores the syringe 4J1 which accommodates paste in a refrigerated state. Ultraviolet (UV) cured waterproofing agents were used as pastes. When the waterproofing agent is irradiated with ultraviolet rays after being applied to the substrate 2, the waterproofing agent is cured to adsorb and hold the gap between the pair of substrates 2.

등온 욕조(9)가 냉장고(8)에 인접하게 배치된다. 등온 욕조(9)의 내부는 20℃ 내지 25℃ 의 온도 범위, 바람직하게는 약 23℃로 유지된다. 욕조(9)에서, 냉동 페이스트가 해동되고 약 23℃로 유지된다. 냉장고(8)와 등온 욕조(9) 사이에, 효과적으로 단열하기 위해 셔터(10)가 배치된다.An isothermal bath 9 is arranged adjacent to the refrigerator 8. The interior of the isothermal bath 9 is maintained at a temperature range of 20 ° C to 25 ° C, preferably about 23 ° C. In the bath 9, the frozen paste is thawed and maintained at about 23 ° C. Between the refrigerator 8 and the isothermal bath 9, a shutter 10 is arranged to effectively insulate.

도 10a에 도시한 벨트 컨베이어(11)는 냉장고(8)와 등온 욕조(9) 사이의 시린지(4J1)를 반송한다. 벨트 컨베이어(11)는 도 10b에 도시한 홀더(13)를 유지한다. 홀더(13)는 벨트 컨베이어(11) 위에 페이스트를 함유한 시린지(4J1)를 안정 유지한다. 벨트 컨베이어(11)의 구동에 의해, 페이스트를 함유한 시린지(4J1)는 냉장고(8)에서 등온 욕조(9)로 그리고 약 23℃로 유지된 청정실(12) 내로 반송된다. 냉장고(8)와 등온 욕조(9) 및 페이스트 도포장치(41-44)는 청정실(12) 내부에 설치된다. 그리고, 청정실(12)로 이동된 시린지(4J1)는 로봇기구(4L)에 의해 유지되고 유지기구(4K)로 이송된다. 약 7시간 동안 해동된 페이스트를 사용하도록 제어된다. 7시간을 초과하면, 페이스트가 청정실(12) 내의 조사 광선에 함유된 자외선과 반응하기 때문에 페이스트는 사용 불능되도록 점차로 굳어진다. 벨트 컨베이어(11)와 셔터(10)의 작업은 컨트롤러(4H)에 의해 제어된다. 이 변형예에서, 전술한 실시 형태와 동일 효과가 달성될 수 있고, 작업자가 용기에 접촉하는 기회가 줄어든다.The belt conveyor 11 shown in FIG. 10A conveys the syringe 4J1 between the refrigerator 8 and the isothermal bath 9. The belt conveyor 11 holds the holder 13 shown in FIG. 10B. The holder 13 stably holds the syringe 4J1 containing paste on the belt conveyor 11. By the drive of the belt conveyor 11, the syringe 4J1 containing paste is conveyed from the refrigerator 8 to the isothermal bath 9 and into the clean room 12 maintained at about 23 ° C. The refrigerator 8, the isothermal bath 9, and the paste application devices 41-44 are installed in the clean room 12. And the syringe 4J1 moved to the clean room 12 is hold | maintained by the robot mechanism 4L, and is conveyed to the holding mechanism 4K. It is controlled to use the paste which has been thawed for about 7 hours. If it exceeds 7 hours, since the paste reacts with the ultraviolet rays contained in the irradiation light in the clean room 12, the paste gradually hardens to be unusable. The work of the belt conveyor 11 and the shutter 10 is controlled by the controller 4H. In this variant, the same effect as in the above-described embodiment can be achieved, and the opportunity for the worker to contact the container is reduced.

전술한 실시 형태에서, 단일 로봇기구(4K)는 용기(즉 시린지(4J1, 4J2))의 교환 작업과 파이프(4M)의 착탈 작업을 차례로 실행한다. 변형예에서, 용기를 교환하는 하나의 전용 로봇기구(상기 이송기구를 형성)와 동일 효과와 작업을 실행하기 위해 파이프(4M)를 착탈하는 다른 하나의 전용 로봇기구(상기 착탈기구를 형성)를 구비하여도 좋다.In the above-described embodiment, the single robotic mechanism 4K sequentially executes the replacement work of the containers (i.e., the syringes 4J1 and 4J2) and the detachment work of the pipe 4M. In a variant, one dedicated robot mechanism (forming the transfer mechanism) and another dedicated robot mechanism (forming the detachment mechanism) that attaches and detaches the pipe 4M to perform the same effect and work as the container exchanged. You may provide it.

선택적으로, 용기의 교환과 파이프(4M)의 착탈을 동시에 실행하기 위한 단일 로봇기구(4L)가 구성되어도 좋다.Optionally, a single robotic mechanism 4L may be configured to simultaneously perform container exchange and removal of the pipe 4M.

예컨대, 도 11에 도시한 바와 같이, 홀더 본체(4K1)에는 가이드 레일(4K1c)을 따라 Z방향으로 파이프(4M)를 유지하는 연결공구(4K1b)를 상하로 이동하는 에어실린더(4K1a)를 장착하고 잇다. 에어실린더(4K1a)의 이동에 의해, 홀더 본체(4K1)에 유지된 용기(즉 시린지(4J1))와의 사이에 파이프(4M)를 착탈하는 것이 가능하다. 도 11의 구조에 의하면, 홀더 본체(4K1)에, 시린지(4J1)로부터 후퇴되는 파이프(4M)의 일시적 맞물림을 위해 이전 파이핑 맞물림부(4K11)(도 7 참조)를 구비할 필요가 없다.For example, as shown in FIG. 11, the holder main body 4K1 is equipped with the air cylinder 4K1a which moves up and down the connection tool 4K1b which hold | maintains the pipe 4M in Z direction along the guide rail 4K1c. It is. By the movement of the air cylinder 4K1a, it is possible to attach and detach the pipe 4M between the container (that is, the syringe 4J1) hold | maintained in the holder main body 4K1. According to the structure of FIG. 11, the holder main body 4K1 need not be provided with the previous piping engagement portion 4K11 (see FIG. 7) for the temporary engagement of the pipe 4M withdrawn from the syringe 4J1.

도 12에 도시한 바와 같이, 트렁크 파이프(4M1)가 미리 시린지(4J1)에 연결되는 경우, 홀더 본체(4K1)와의 사이에 시린지(4J1)를 착탈하는 동작과 홀더 본체(4K1)의 파이프 리시버(4M2)와의 사이에 파이프(4M)를 착탈하는 동작을 동시에 실행하도록 단일 로봇기구(4L)가 구성되어도 좋다. 또한, 반송아암(4La)의 이동은 도 6의 이동과 다른 점에 주의하라. 즉, 도 12에 도시한 바와 같이, 홀더 본체(4K1)의 전방으로부터 Y방향으로 아암(4La)의 이동은 시린지(4J1)와 트렁크 파이프(4M1)를 홀더 본체(4K1)와의 사이에 동시에 착탈하도록 한다. 이와 관련하여, 아암(4K2b)(4K2a : 도시 생략)의 개폐와 스톱퍼(4K3b)(4K3a : 도시 생략)의 슬라이드 이동은 시린지(4J1)와 트렁크 파이프(4M1)의 상기 착탈과 동시에 실행된다.As shown in FIG. 12, when the trunk pipe 4M1 is connected to the syringe 4J1 in advance, the operation of attaching and detaching the syringe 4J1 between the holder body 4K1 and the pipe receiver of the holder body 4K1 The single robot mechanism 4L may be configured to simultaneously execute the operation of attaching and detaching the pipe 4M between the 4M2). Note that the movement of the carrier arm 4La is different from that of FIG. That is, as shown in FIG. 12, the movement of the arm 4La in the Y direction from the front of the holder main body 4K1 is carried out so that the syringe 4J1 and the trunk pipe 4M1 can be attached or detached simultaneously between the holder main body 4K1. do. In this connection, opening and closing of the arm 4K2b (4K2a: not shown) and sliding movement of the stopper 4K3b (4K3a: not shown) are executed simultaneously with the detachment of the syringe 4J1 and the trunk pipe 4M1.

전술한 실시 형태에서, 설명 편의상, 하나의 용기(시린지(4J1))를 파지하는 것으로 로봇기구(4L)를 기술하였다. 도 13에 도시한 변형예에서, 로봇기구(4L)에는 다수의 유지부(4Lb)(도면에 2개)를 구비하여 X1, X2 방향으로의 이동은 용기(즉 시린지(4J1, 4J2))가 파지되어도 좋다. 그리고, 다수의 유지부(4Lb)를 구비하여, 유지부(4Lb)에 의해 유지되는 페이스트로 충진된 새로운 용기를 홀더 본체(4K1)로 반송하는 동안, 다른 하나의 유지부(4Lb)에 의해 사용된 빈 용기를 유지하는 것이 가능하므로, 용기의 교환 작업이 효과적으로 달성될 수 있다.In the above embodiment, for convenience of explanation, the robot mechanism 4L has been described as holding one container (syringe 4J1). In the modification shown in Fig. 13, the robot mechanism 4L is provided with a plurality of holding portions 4Lb (two in the drawing) so that the movement in the X1 and X2 directions is carried out by containers (i.e., syringes 4J1 and 4J2). It may be gripped. And it is equipped with many holding | maintenance part 4Lb, and is used by another holding part 4Lb, while conveying the new container filled with the paste hold | maintained by the holding part 4Lb to the holder main body 4K1. Since it is possible to hold the empty container, the exchange operation of the container can be effectively achieved.

로봇기구(4L)에 의해 취급되는 시린지(4J1)는, 동일 직경 또는 다른 직경을 구비하여도 좋다. 다른 직경의 시린지(4J1)를 유지하는 경우, 다른 직경의 시린지(4J1)를 유지하도록 유지부(4Lb)가 구성되어도 좋다. 보다 상세히, 대직경과 소직경의 두 종류의 시린지(4J1)를 취급할 때, 유지부(4Lb)에는 대직경의 시린지(4J1)에 대응하는 곡선의 오목부와 소직경의 시린지(4J1)에 대응하는 곡선의 다른 오목부를 구비하여도 좋다. 즉, 작업시, 전자의 오목부는 대직경 시린지(4J1)를 유지하는 반면, 후자의 오목부는 소직경 시린지(4J1)를 유지한다.The syringe 4J1 handled by the robot mechanism 4L may have the same diameter or different diameters. When holding syringes 4J1 having different diameters, the holding portions 4Lb may be configured to hold syringes 4J1 having different diameters. More specifically, when handling two types of syringes 4J1 of large diameter and small diameter, the holding portion 4Lb has a curved recess corresponding to the large diameter syringe 4J1 and a small diameter syringe 4J1. Other concave portions of corresponding curves may be provided. That is, during operation, the former recesses hold the large diameter syringe 4J1, while the latter recesses hold the small diameter syringe 4J1.

본 발명의 이전에 언급한 실시 형태에서, X-Y-θ 이동기구(4B)에 의해 이동되는 동안 페이스트가 기판(2)에 도포된다. 선택적으로, 유지기구(4K)에 X-Y 이동기구를 구비하는 경우, 노즐(4Ja)이 이동하는 동안 페이스트가 기판에 도포될 수 있다.In the previously mentioned embodiment of the present invention, the paste is applied to the substrate 2 while being moved by the X-Y-θ moving mechanism 4B. Optionally, when the holding mechanism 4K is provided with the X-Y moving mechanism, the paste may be applied to the substrate while the nozzle 4Ja is moving.

또, 본 발명은, 직선 형태 패턴을 도시하는 페이스트 도포장치에 한정하지 않고, 점 형태로 페이스트를 도포하는 페이스트 도포장치에도 적용할 수 있다.The present invention is not limited to a paste coating device showing a linear pattern, but can also be applied to a paste coating device for applying a paste in a dot form.

전술한 바와 같이, 본 발명의 페이스트 도포장치에 의하면, 용기의 교환 작업을 기계적으로 자동적으로 실행할 수 있기 때문에, 작업자의 부담을 경감하고 페이스트를 도포시 작업 효율을 향상할 수 있으므로, 실제 이용시 현저한 효과를 나타낸다.As described above, according to the paste coating apparatus of the present invention, since the operation of replacing the container can be performed automatically and automatically, the burden on the operator can be reduced and the work efficiency can be improved when the paste is applied. Indicates.

페이스트와 같은 밀봉제로 기능하는 접착제가 전술한 실시 형태에 사용되고 있지만, 본 발명은 접착제를 제외한 페이스트를 도포하는 페이스트 도포장치에 적용가능하다.Although an adhesive functioning as a sealant such as a paste is used in the above-described embodiment, the present invention is applicable to a paste application device for applying a paste except an adhesive.

최종적으로, 전술한 설명은 페이스트 도포장치의 일 실시 형태와 그 변형예이고, 각종 변화와 추가의 변형예가 그 범위를 벗어나지 않고 본 발명에 이루어질 수 있다는 것을 당분야 당업자는 이해할 것이다. Finally, the above description is one embodiment of the paste coating apparatus and variations thereof, and it will be understood by those skilled in the art that various changes and further modifications can be made to the present invention without departing from its scope.

도 1은 액정 패널의 페이스트 도포장치의 구성 배치도.1 is a configuration arrangement diagram of a paste coating device of a liquid crystal panel.

도 2는 도 1의 페이스트 도포장치의 확대 사시도.FIG. 2 is an enlarged perspective view of the paste applicator of FIG. 1. FIG.

도 3은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 페이스트 도포장치의 구성 배치도.3 is a configuration layout view of a paste coating device according to an embodiment of the present invention.

도 4는 도 3의 페이스트 도포장치의 확대 사시도.4 is an enlarged perspective view of the paste coating device of FIG.

도 5는 도 4의 장치의 주요부의 확대 사시도.5 is an enlarged perspective view of the main part of the device of FIG. 4;

도 6은 도 5의 장치에서 용기의 교환 순서를 설명하는 확대 사시도.FIG. 6 is an enlarged perspective view illustrating a procedure for replacing a container in the apparatus of FIG. 5. FIG.

도 7a는 도 4의 파이프 록킹부를 형성한 장치의 주요부의 우측면도.FIG. 7A is a right side view of the main portion of the device forming the pipe locking portion of FIG. 4; FIG.

도 7b는 도 7a의 7B-7B 선을 따라 절취한 단면도.FIG. 7B is a cross-sectional view taken along the line 7B-7B in FIG. 7A. FIG.

도 8은 도 5의 주요부의 정면도.8 is a front view of the main part of FIG. 5;

도 9a는 도 8의 9A-9A 선을 따라 절취한 단면도이고 도 9b는 도 8의 9B-9B 선을 따라 절취한 단면도.9A is a cross-sectional view taken along the line 9A-9A of FIG. 8, and FIG. 9B is a cross-sectional view taken along the line 9B-9B of FIG. 8.

도 10a는 도 3의 페이스트 도포장치의 공급장치의 구성 배치도.FIG. 10A is a configuration arrangement diagram of a supply apparatus of the paste applying apparatus of FIG. 3. FIG.

도 10b는 시린지를 유지하는 홀더의 사시도.10B is a perspective view of a holder for holding a syringe.

도 11은 도 4의 실시 형태의 다른 로봇기구의 주요부의 우측면도.FIG. 11 is a right side view of a main part of another robot mechanism of the embodiment of FIG. 4; FIG.

도 12는 도 4의 실시 형태의 추가 로봇기구의 주요부의 우측면도.12 is a right side view of an essential part of the additional robot mechanism of the embodiment of FIG. 4;

도 13은 도 4의 실시 형태의 로봇기구의 다른 반송 아암의 주요부의 평면도.It is a top view of the principal part of the other conveyance arm of the robot mechanism of embodiment of FIG.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1 : 공급대 2 : 기판1: supply table 2: substrate

3 : 반송 로봇 41 ~ 44 : 페이스트 도포장치3: transfer robot 41 ~ 44: paste coating device

4A : 스테이지 4B : X-Y-θ이동기구(이동기구)4A: stage 4B: X-Y-θ moving mechanism (moving mechanism)

4C : 테이블 4D : 헤드기구4C: Table 4D: Head Mechanism

4D1, 4D2 : 시린지 4E : 컨트롤러4D1, 4D2: Syringe 4E: Controller

4H : 컨트롤러(제어수단) 4J1, 4J2 : 시린지(용기, 원통용기)4H: Controller (control means) 4J1, 4J2: Syringe (container, cylinder)

4Ja : 노즐 4Jb : 테두리부4Ja: Nozzle 4Jb: Rim

4Jd : 인접면 4K : 유지기구4Jd: Adjacent Surface 4K: Retention Mechanism

4K2c : 단부 4K3a, 4K3b : 스톱퍼4K2c: End 4K3a, 4K3b: Stopper

4L : 로봇기구(이송기구, 착탈기구)4L: Robot mechanism (transport mechanism, detachment mechanism)

4M : 파이프 4Ma : O링(연결부)4M: Pipe 4Ma: O-Ring

4N : 토출량 제어부 4P : 스토커4N: discharge amount control unit 4P: stocker

5 : 반출대5: take out

Claims (12)

페이스트(paste)를 수납하고, 토출된 페이스트를 기판에 도포하는 노즐을 구비하는 용기와,A container for storing a paste and having a nozzle for applying the discharged paste to a substrate; 상기 기판을 장착하는 스테이지와,A stage for mounting the substrate; 상기 용기를 분리가능하게 유지하는 유지기구와,A holding mechanism for detachably holding the container; 상기 유지기구에 의해 유지된 상기 용기의 노즐과 상기 기판이 기판 표면을 따라 서로 상대 이동할 수 있도록, 상기 스테이지 또는 상기 유지기구 중 적어도 하나를 이동가능하게 구성된 이동기구와,A moving mechanism configured to move at least one of the stage or the holding mechanism such that the nozzle of the container held by the holding mechanism and the substrate can move relative to each other along a substrate surface; 상기 유지기구에 의해 유지된 용기에 파이프를 통해 연결되고, 노즐에서 토출된 페이스트 토출량을 제어하는 토출량 제어부와,A discharge amount control unit connected to the container held by the holding mechanism via a pipe and controlling the amount of paste discharged from the nozzle; 상기 용기의 자동교환을 위한 이송기구로서, 상기 유지기구로 또는 상기 유지기구로부터 상기 용기를 반송하도록 구성된 이송기구와, A transfer mechanism for automatic replacement of the container, the transfer mechanism configured to convey the container to or from the holding mechanism; 상기 이송기구의 반송 동작을 제어하도록 구성된 컨트롤러를 구비하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포장치.And a controller configured to control a conveying operation of the conveying mechanism. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 용기를 상기 토출량 제어부에 접속하거나 분리가능하게 구성된 착탈기구를 추가로 구비하고,And a detachable mechanism configured to connect the container to the discharge amount control part or to be detachable. 상기 컨트롤러는 상기 착탈기구의 접속 및 분리 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포장치.The controller is a paste coating device, characterized in that for controlling the connection and disconnection operation of the detachable mechanism. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 컨트롤러는 상기 유지기구로부터의 빈 용기를 수납하는 동안 상기 유지기구에 페이스트로 충진된 용기를 적재하는 이송기구를 제어하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포장치.And the controller controls a transfer mechanism for loading the container filled with the paste into the holding mechanism while receiving the empty container from the holding mechanism. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 용기는 동축으로 배치되는 노즐 단부를 갖는 원통형 용기이고, 이 원통형 용기는 하방으로 지향하는 인접면을 구비하는 용기 단락부와, 상방으로 지향하는 맞물림면을 구비하는 맞물림부를 갖고, The container is a cylindrical container having a nozzle end arranged coaxially, the cylindrical container having a container shorting portion having an adjacent facing downward and an engaging portion having an engaging surface facing upward, 상기 유지기구는, 용기 단락부의 인접면에 접촉하는 홀더 단부를 구비하여 상기 원통형 용기를 직경방향으로 파지하는 파지부와, 상기 맞물림부의 맞물림면을 맞물려 상기 인접면을 상기 홀더 단부에 접촉하는 스톱퍼를 포함하며, The holding mechanism has a holder end in contact with an adjacent surface of the container short-circuit, and a gripping portion for gripping the cylindrical container in a radial direction, and a stopper for engaging the engaging surface of the engaging portion to contact the adjacent surface with the holder end. Include, 상기 파이프는 상기 스톱퍼의 맞물림 방향으로 상기 원통형 용기에 착탈가능한 연결부를 구비하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포장치.And said pipe has a connecting portion detachable to said cylindrical container in the engagement direction of said stopper. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 이송기구는 두 개의 용기를 동시에 유지하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포장치.And the transfer mechanism is formed to hold two containers at the same time. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 이송기구는 페이스트로 채워진 용기와 빈 용기를 별도로 유지하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포장치.And the transfer mechanism is formed to separately hold a container filled with a paste and an empty container. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 스테이지에 인접하거나 상기 스테이지 자체에 형성되어, 상기 용기를 유지하는 스토커(stocker)를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포장치.And a stocker formed adjacent to the stage or formed on the stage itself to hold the container. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 컨트롤러는, 용기 내의 상기 페이스트의 소모를 기초로, 상기 이송기구에 의한 용기의 반송 작업의 필요성을 판별하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포장치.And the controller is configured to determine the necessity of the conveyance operation of the container by the transfer mechanism based on the consumption of the paste in the container. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 컨트롤러는 페이스트가 도포된 다수의 기판을 셀 수 있도록 구성되며,The controller is configured to count a plurality of substrates the paste is applied, 상기 컨트롤러는, 카운트된 기판의 수량이 소정 수량에 도달할 때 용기의 교환 시간을 판별하고, 이송기구에 의해 용기의 반송 동작을 연속적으로 시작하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포장치.And the controller is configured to determine an exchange time of the container when the counted number of substrates reaches a predetermined amount, and to continuously start the conveying operation of the container by the transfer mechanism. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 내부에 페이스트를 수납하는 용기를 공급하는 공급장치와 사용된 용기가 폐기되는 처리장치를 추가로 구비하며, 상기 이송기구는 상기 공급장치로부터의 페이스트를 수납하는 용기를 수용하고 사용된 용기를 처리장치로 폐기하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포장치.And a supply device for supplying a container for storing paste therein and a processing device for discarding the used container, wherein the transfer mechanism accommodates a container for storing the paste from the supply device and stores the used container. Paste coating apparatus, characterized in that discarded. 제10항에 있어서, 상기 공급장치는, The method of claim 10, wherein the supply device, 내부에 페이스트를 수납하는 용기를 냉장 저장 상태로 유지하는 냉장고와,A refrigerator for keeping a container storing paste inside in a cold storage state, 상기 냉장고로부터의 페이스트를 수납하는 용기를 수용하고 20℃ 내지 25℃의 온도 범위로 용기를 보존하는 등온 욕조를 포함하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포장치.And an isothermal bath for accommodating the container for storing the paste from the refrigerator and for storing the container in a temperature range of 20 ° C to 25 ° C. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 용기는 자외선 경화 페이스트를 내부에 수납하는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포장치.The container is a paste coating device, characterized in that for storing the ultraviolet curing paste therein.