KR100520980B1 - 고밀도 플라즈마 화학적 기상 증착 챔버 및 이를 위한가스 노즐 - Google Patents
고밀도 플라즈마 화학적 기상 증착 챔버 및 이를 위한가스 노즐 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (9)
- 챔버 외측에 감겨진 인덕터 코일;챔버 내측벽에 형성된 다수의 가스 분사구에 결합되는 다수의 공정 가스 분사 노즐, 공정 가스 분사 노즐은 ;웨이퍼가 놓여지는 서셉터;세정 가스를 공급받아 플라즈마를 발생하여 세정 가스 분사 노즐을 통해 챔버로 원격 공급하는 원격 플라즈마 발생기 및;타원형 관구조를 갖고, 분사구는 챔버 상부를 향하도록 챔버 내측 모서리에 설치되어 원격 플라즈마 발생기로부터 제공되는 플라즈마 가스를 챔버 내부로 분사하는 세정 가스 분사 노즐을 포함하는 고밀도 플라즈마 화학적 기상 증착 챔버.
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- 제1항에 있어서,상기 공정 가스 분사 노즐은 소정 길이를 갖고 전단과 후단이 모두 개방된 외관과 외관의 내측에 매입봉이 설치되되 매입봉은 외관과 소정 간격을 갖도록 다수의 지지부재에 의해 지지되는 고밀도 플라즈마 화학적 기상 증착 챔버.
- 제4항에 있어서,상기 매입봉은 외관의 길이보다 짧은 길이를 갖고 전단은 외관과 일치되게 매입 설치되는 고밀도 플라즈마 화학적 기상 증착 챔버.
- 제5항에 있어서,매입봉의 후단은 경사를 갖는 원뿔형상을 갖는 고밀도 플라즈마 화학적 기상 증착 챔버.
- 제1항에 있어서,상기 공정 가스 분사 노즐은 소정 길이를 갖고 전단이 막혀 있되 다수의 관통된 홀이 형성되고 후단이 개방된 관으로 구성되는 고밀도 플라즈마 화학적 기상 증착 챔버.
- 제1항에 있어서,상기 공정 가스 분사 노즐 및 세정 가스 분사 노즐은 각각 전기적 절연체로 구성되는 고밀도 플라즈마 화학적 기상 증착 챔버.
- 제8항에 있어서,상기 전기적 절연체는 세라믹 또는 알루미나 중 어느 하나로 구성되는 고밀도 플라즈마 화학적 기상 증착 챔버.
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