KR100514989B1 - 인라인 오차 보상 가공장치 및 그 방법 - Google Patents

인라인 오차 보상 가공장치 및 그 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100514989B1
KR100514989B1 KR10-2002-0086836A KR20020086836A KR100514989B1 KR 100514989 B1 KR100514989 B1 KR 100514989B1 KR 20020086836 A KR20020086836 A KR 20020086836A KR 100514989 B1 KR100514989 B1 KR 100514989B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
tool
precision
sensor
error
precision machining
Prior art date
Application number
KR10-2002-0086836A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20040061059A (ko
Inventor
김호상
민흥기
이대희
나혁민
Original Assignee
고등기술연구원연구조합
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 고등기술연구원연구조합 filed Critical 고등기술연구원연구조합
Priority to KR10-2002-0086836A priority Critical patent/KR100514989B1/ko
Publication of KR20040061059A publication Critical patent/KR20040061059A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100514989B1 publication Critical patent/KR100514989B1/ko

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/09—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring cutting pressure or for determining cutting-tool condition, e.g. cutting ability, load on tool
    • B23Q17/0952—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring cutting pressure or for determining cutting-tool condition, e.g. cutting ability, load on tool during machining
    • B23Q17/099—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring cutting pressure or for determining cutting-tool condition, e.g. cutting ability, load on tool during machining by measuring features of the machined workpiece
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/20—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring workpiece characteristics, e.g. contour, dimension, hardness
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/401—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for measuring, e.g. calibration and initialisation, measuring workpiece for machining purposes
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/402—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for positioning, e.g. centring a tool relative to a hole in the workpiece, additional detection means to correct position

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)

Abstract

본 발명은 일반공구와 고정밀 광학식 표면센서, 그리고 미소이동서보(FTS)가 인라인(In-line)으로 설치된 공구대를 이용한 인라인(In-line) 오차보상 가공장치 및 방법을 공개한다. 본 발명의 오차 보상 가공장치는 일반공구(33)에 의한 가공시편(25)의 형상오차를 검출하기 위한 고정밀 광학식 표면센서(34)와; 정밀가공을 위한 공구(36)와 정밀가공위치를 검출하기 위한 정전용량형 위치센서(38)와, 정밀가공 공구(36)를 구동하기 위한 구동부(37)로 이루어져 제어신호에 따라 정밀 가공을 수행하는 미소이동서보(FTS:35); 위치센서(38)로부터 검출된 신호를 증폭하는 센서앰프(45); 센서앰프(45)로부터 FTS(35)의 위치신호와 표면센서(34)로부터 형상오차를 입력받아 정밀가공을 위한 제어신호를 제공하는 위치제어부(39); 및 제어신호에 따라 구동부(37)를 구동하기 위한 고전압 증폭기(44)로 구성된다. 이러한 본 발명은 고정밀 광학식 표면센서가 감지한 형상오차정보를 위치제어부에 저장해 놓은 후, 정전용량형 센서를 통해 그 위치에서의 형상오차정보를 적용함으로써 오차가 감지된 위치와 보상하고자 하는 위치를 일치시켜 보다 정밀한 가공을 가능하게 한다.

Description

인라인 오차 보상 가공장치 및 그 방법 { Apparatus and method for cutting work-piece according to compensation of in-line error }
본 발명은 인라인 형태의 공구대를 사용하는 정밀 공작기계장치에서 인라인 오차를 보상하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 한번의 가공을 통해서 가공표면에 전사된 초정밀 가공기의 오차성분을 측정하고 보상함으로써 가공시간 단축 및 가공물의 형상정도를 높일 수 있는 인라인(In-line) 오차보상 가공장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로, CNC 공작기계장치는 본체와 NC장치로 이루어지고, 본체는 공작물을 절삭하기 위하여 공구를 장착시키고 이동시키는 공구대(tool post)와, 공작물을 고정시키기 위한 척(chuck), 이송장치(ball screw), 헤드 스톡 등으로 구성되며, NC장치는 각종 서보모터와 위치검출기, 포지션 코더 등으로 구성된다. 여기서, 공구대는 터릿(turret) 공구대와 갱 타입 공구대 혹은 인라인(in-line) 타입 공구대가 있다.
그런데 종래 인라인(In-line) 타입의 공구대를 사용하여 초정밀 가공을 진행하는 경우에 다음과 같은 문제점이 발생한다. 첫째는 종래의 인라인(In-line) 타입 공구대는 표면센서와 미소공구서보(Micro Tool Servo; MTS)를 이용한 공구대로서 절삭공구와 표면센서를 일정거리를 두고 설치하여 공작물을 가공하므로, 이러한 설치거리에 의해서 결정되는 특정한 파장의 오차성분은 전혀 보상하지 못하는 문제점이 있다. 둘째는 미소공구서보(MTS)가 보상해주어야 할 기준신호가 현재 미소공구서보(MTS)가 위치한 가공표면이 아니고, 이미 가공된 지점의 형상오차이므로 현재 미소공구서보(MTS)의 위치에 전사되는 초정밀 가공기의 기계적 오차와 센서부분에서 측정된 오차가 상이한 경우, 오히려 가공표면의 형상정도를 감소시킬 수 있는 문제점이 있다.
도 1은 종래의 공작기계장치에서 정밀가공하는 절차를 도시한 공정도이다.
도 1을 참조하면, 공작물을 공작기계장치에 장착한 후 일반공구를 이용하여 일반가공하고(S1,S2), 이후 공작물을 분리하여 가공정도를 측정하고 공작물을 다시 장착하여 정밀가공(혹은 보정)하였다(S3~S6).
그런데 이와 같은 종래의 방식에서는 공작물을 장착했다가 측정하기 위해 분리한 후 다시 장착하여 가공해야 했기 때문에 작업시간이 많이 걸리고, 번거로운 문제점이 있었다.
이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 종래의 인라인 오차 보상 가공장치를 이용한 정밀가공장치는 주축 모터에 의한 일반가공과 함께 정밀가공을 위한 미소공구서보(Micro Tool Servo; MTS)를 이용하여 보다 간편하게 정밀가공을 할 수 있도록 하였다.
도 2는 종래 인라인(In-line) 타입의 오차보상 가공장치를 갖는 공구대의 사시도로서, 종래의 인라인(In-line) 타입의 오차보상 가공장치는 공구대(21)에 미소공구서보(22)와 고정밀 광학식 표면센서(24)를 구비한 후 미소공구서보(MTS:22 )에 장착된 공구(23)에 의해서 먼저 공작물(25)을 가공하고, 고정밀 광학식 표면센서(24)를 통하여 가공표면의 형상오차를 측정한다. 이렇게 측정된 형상오차는 일정거리 앞에 놓여진 미소공구서보(MTS:22)가 보상해주어야 할 기준신호로 사용된다.
따라서 종래의 인라인(In-line) 타입의 오차보상 가공장치는 미소공구서보(MTS:22)가 오차 보상하는 가공표면의 위치와 오차량을 측정하는 표면센서(24)의 위치 차로 인해서 생기는 특정한 파장의 오차성분은 전혀 보상되지 않고, 미소공구서보(MTS:22)의 위치에 전사되는 초정밀 가공기의 기계적 오차와 센서(24) 부분에서 측정된 오차가 상이한 경우, 오히려 가공표면의 형상정도를 감소시킬 수 있는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 일반 공구와 고정밀 광학식 표면센서, 그리고 미소이동서보(Fast Tool Servo; FTS)가 인라인(In -line)으로 설치된 공구대를 이용하여 가공표면의 형상오차를 실시간으로 측정하고 미소이동서보(FTS)를 통해서 오차를 보상할 수 있는 인라인(In-line) 오차 보상 가공장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 장치는, 일반공구에 의한 가공시편의 형상오차를 검출하기 위한 표면센서; 정밀가공을 위한 공구와 정밀가공위치를 검출하기 위한 위치센서와 상기 정밀가공을 위한 공구를 구동하기 위한 구동부로 이루어져 제어신호에 따라 정밀 가공을 수행하는 미소이동서보(FTS); 및 상기 위치센서로부터 정밀가공을 위한 위치신호와 상기 표면센서로부터 상기 형상오차신호를 입력받아 정밀가공을 위한 제어신호를 제공하는 위치제어부를 구비한 것을 특징으로 한다.
또한 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 방법은, 공작물을 장착하는 단계; 인라인 공구대의 일반공구를 이용하여 일반가공하는 단계; 표면센서를 이용하여 상기 일반가공에 의한 형상오차를 검출하는 단계; 정밀가공할 위치를 감지하고 상기 형상오차를 전달받아 정밀가공을 위한 보정치를 연산하는 단계; 및 상기 보정치에 따라 미소이동서보를 제어하여 정밀가공하는 단계를 구비하여 형상오차가 감지된 위치와 정밀가공하는 위치를 일치시켜 보정 연산한 후 정밀가공하여 가공정도를 향상시킬 수 있는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 자세히 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명에 따른 인라인 오차 보상 가공장치를 도시한 개략도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 인라인(In-line) 오차보상 가공장치는 공구대(31)의 공구 장착부(32)에 일반 공구(33)가 장착되어 있고, 일반공구(33)와 거리를 두고 공구대(31)에 고정밀 광학식 표면센서(34)가 부착되어 있으며, 표면센서(34) 뒤의 공구대(31) 상에 인라인 형태로 미소이동서보(FTS:35)가 설치되어 있다. 그리고 미소이동서보(35)에는 정밀가공을 위한 공구(36)가 일반공구(33)와 별도로 장착되어 있고, 미소이동서보(35)의 내부에는 정밀가공 공구를 구동하기 위한 구동부(37)와 정밀가공 위치를 감지하기 위한 위치센서로서 정전용량형 센서(38)가 위치하고 있어 위치제어부(39)의 제어에 따라 정밀가공을 할 수 있도록 되어 있다.
먼저, 일반공구(33)를 이용하여 공작물(25)을 일반가공하면 초정밀 가공기의 종합적인 기계적 오차가 가공표면에 전사된다. 가공표면에 오차성분이 전사되면 일정한 거리를 두고 장착된 고정밀 광학식 표면센서(34)에 의해 가공면의 형상오차가 실시간으로 측정된다. 이렇게 측정된 형상오차신호는 미소이동서보(FTS:35)를 구동하기 위한 기준신호로 사용된다. 미소이동서보(FTS:35)의 제어를 담당하는 위치제어부(39)는 미소이동서보(FTS:35)와 고정밀 광학식 표면센서(34)와의 설치위치 차를 고려하여 형상오차가 측정된 동일한 위치에서 미소이동서보(FTS:35)가 오차보상을 하도록 측정 데이터를 저장해둔다.
다음으로 정전용량형 센서(38)로부터 미소이동서보(FTS:35)의 위치를 측정하고, 이 위치신호와 현재의 미소이동서보(FTS:35)가 위치한 가공표면의 형상오차신호를 비교하여 차이가 발생하면, 위치제어부(39)의 내부에서 설정된 알고리즘에 의해 구동부(37)를 동작시켜 가공표면에 나타난 형상오차를 보상한다.
이와 같이 본 발명에 따르면, 표면센서(34)가 감지한 위치정보와 그 위치에서의 형상오차정보를 위치제어부(39)에 저장해 놓은 후, 정전용량형 센서(35)를 통해 미소이동서보(35)의 위치를 감지하여 그 위치에서의 형상오차정보를 적용함으로써 오차가 감지된 위치와 보상하고자 하는 위치가 일치하게 되어 보다 정밀한 가공을 가능하게 한다.
도 4는 본 발명에 따른 인라인 오차 보상 가공장치의 세부 구성을 도시한 블럭도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 오차 보상 가공장치는 일반공구(33)에 의한 가공시편(25)의 형상오차를 검출하기 위한 고정밀 광학식 표면센서(34)와; 정밀가공을 위한 공구(36)와 정밀가공위치를 검출하기 위한 정전용량형 위치센서(38)와, 정밀가공 공구(36)를 구동하기 위한 구동부(37)로 이루어져 제어신호에 따라 정밀 가공을 수행하는 미소이동서보(FTS:35); 위치센서(38)로부터 검출된 신호를 증폭하는 센서앰프(45); 센서앰프(45)로부터 FTS(35)의 위치신호와 표면센서(34)로부터 형상오차를 입력받아 정밀가공을 위한 제어신호를 제공하는 위치제어부(39); 및 제어신호에 따라 구동부(37)를 구동하기 위한 고전압 증폭기(44)로 구성된다. 그리고 위치제어부(39)는 아날로그 형상오차신호를 디지털로 변환하기 위한 아날로그-디지털 변환기(41)와, 소정의 알고리즘에 따라 보정치를 계산하여 정밀가공을 위한 제어신호를 출력하는 제어기(42)와, 제어기(42)의 디지털 데이터를 아날로그신호로 변환하는 디지털-아날로그 변환기(43)로 구성된다.
이어서, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 동작을 도 5를 참조하여 자세히 설명한다.
도 5는 본 발명에 따른 인라인 오차 보상 가공방법의 절차를 도시한 순서도이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 오차 보상 가공방법은 공작물(25)을 장착하는 단계(51)와, 인라인 공구대의 일반공구(33)를 이용하여 일반가공하는 단계(52), 고정밀 광학식 표면센서(34)를 통해 형상오차를 검출하는 단계(53), 정전용량형 위치센서(38)를 통해 정밀가공할 위치를 감지하고 그 위치에서의 형상오차를 전달받아 정밀가공을 위한 보정치를 연산하는 단계(54), 보정치에 따라 미소이동서보(35)를 제어하여 정밀가공(혹은 보정가공)하는 단계(55)를 구비하여 형상오차가 감지된 위치와 미소이동서보(35)에 의한 정밀가공 위치를 일치시켜 가공정도를 향상시킬 수 있다.
즉, 본 발명의 방법은 크게 다음의 3가지 단계를 포함하는 것으로, 제 1 단계는 일반공구(33)을 이용하여 초정밀 가공기가 갖고 있는 종합적인 운동오차가 가공표면에 전사되도록 하고(51,52), 제 2 단계는 고정밀 광학식 표면센서(34)로 가공표면의 형상오차를 측정하고 이 값을 FTS(35)의 기준신호로 이용한다(53). 제 3단계는 고정밀 광학식 표면센서(34)로부터 측정된 오차신호와 해당 위치에서의 FTS(35)의 신호를 비교하여 그 차가 발생하지 않도록 위치제어부(39)에 저장된 알고리즘에 의해서 구동부(37)를 동작시켜 형상오차를 보상하는 단계이다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 일반공구와 고정밀 광학식 표면센서, 그리고 미소이동서보(FTS)가 인라인(In-line)으로 설치된 공구대를 이용한 인라인(In-line) 가공장치에서 한번의 가공을 통해서 일반 공구를 이용하여 초정밀 가공기의 종합적인 운동 오차성분이 가공표면에 전사되게 하고, 가공표면의 형상정도를 고정밀 광학식 표면센서로 측정하고, 이를 미소이동서보(FTS)로 실시간 보상함으로써 가공시간을 단축할 수 있으며, 동일한 위치에서 가공표면의 형상오차를 측정하고, 이를 보상함으로써 가공물의 형상정도를 높일 수 있는 이점이 있다. 즉, 본 발명은 고정밀 광학식 표면센서가 감지한 형상오차정보를 위치제어부에 저장해 놓은 후, 정전용량형 센서를 통해 그 위치에서의 형상오차정보를 적용함으로써 오차가 감지된 위치와 보상하고자 하는 위치를 일치시켜 보다 정밀한 가공을 가능하게 한다.
도 1은 종래의 공작기계장치에서 정밀가공하는 절차를 도시한 공정도,
도 2는 종래의 인라인 오차 보상장치를 이용한 정밀가공 개념을 도시한 개략도,
도 3은 본 발명에 따른 인라인 오차 보상 가공장치를 이용한 정밀가공 개념을 도시한 개략도,
도 4는 본 발명에 따른 인라인 오차 보상 가공장치의 구성을 도시한 블럭도,
도 5는 본 발명에 따른 인라인 오차 보상 가공방법의 절차를 도시한 순서도.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
25: 공작물 31: 공구대
32: 공구장착부 33: 일반공구
34: 고정밀 광학식 표면센서 35: FTS
36: 정밀가공 공구 37: 구동부
38: 정전용량형 센서 39: 위치제어부
41: 아날로그-디지털 변환기 42: 제어기
43: 디지털-아날로그 변환기 44: 고전압 증폭기
45: 센서 앰프

Claims (2)

  1. 일반공구에 의한 가공시편의 형상오차를 검출하기 위한 표면센서;
    정밀가공을 위한 공구와, 정밀가공위치를 검출하기 위한 위치센서와, 상기 정밀가공을 위한 공구를 구동하기 위한 구동부로 이루어져 제어신호에 따라 정밀 가공을 수행하는 미소이동서보(FTS); 및
    상기 위치센서로부터 정밀가공을 위한 위치신호와 상기 표면센서로부터 상기 형상오차신호를 입력받아 정밀가공을 위한 제어신호를 제공하는 위치제어부를 구비하여
    형상오차가 감지된 위치와 정밀가공하는 위치를 일치시켜 보정 연산한 후 정밀가공하여 가공정도를 향상시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 인라인 오차 보상 가공장치.
  2. 공작물을 장착하는 단계;
    인라인 공구대의 일반공구를 이용하여 일반가공하는 단계;
    표면센서를 이용하여 상기 일반가공에 의한 형상오차를 검출하는 단계;
    정밀가공할 위치를 감지하고 상기 형상오차를 전달받아 정밀가공을 위한 보정치를 연산하는 단계; 및
    상기 보정치에 따라 미소이동서보를 제어하여 정밀가공하는 단계를 구비하여
    형상오차가 감지된 위치와 정밀가공하는 위치를 일치시켜 보정 연산한 후 정밀가공하여 가공정도를 향상시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 인라인 오차 보상 가공방법.
KR10-2002-0086836A 2002-12-30 2002-12-30 인라인 오차 보상 가공장치 및 그 방법 KR100514989B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2002-0086836A KR100514989B1 (ko) 2002-12-30 2002-12-30 인라인 오차 보상 가공장치 및 그 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2002-0086836A KR100514989B1 (ko) 2002-12-30 2002-12-30 인라인 오차 보상 가공장치 및 그 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20040061059A KR20040061059A (ko) 2004-07-07
KR100514989B1 true KR100514989B1 (ko) 2005-09-15

Family

ID=37352647

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2002-0086836A KR100514989B1 (ko) 2002-12-30 2002-12-30 인라인 오차 보상 가공장치 및 그 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100514989B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107272580A (zh) * 2017-06-15 2017-10-20 大连理工大学 一种硬脆材料薄壁零件切削加工误差补偿方法

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106597993A (zh) * 2016-10-28 2017-04-26 北京海普瑞森科技发展有限公司 快刀伺服控制***的软件架构
CN109318058A (zh) * 2018-11-29 2019-02-12 中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司 一种基于数控机床的自适应加工方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107272580A (zh) * 2017-06-15 2017-10-20 大连理工大学 一种硬脆材料薄壁零件切削加工误差补偿方法
CN107272580B (zh) * 2017-06-15 2019-06-25 大连理工大学 一种硬脆材料薄壁零件切削加工误差补偿方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR20040061059A (ko) 2004-07-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5123789A (en) Method of and apparatus for machining printed circuit board
US5523953A (en) Method and apparatus for correcting positioning errors on a machine tool
US5095788A (en) Method for compensating thermally induced displacement in machine tools
JPWO2006077629A1 (ja) 位置決め装置及び位置決め方法
FR2466312A1 (fr) Procede et appareil pour commander le deplacement d'un element mobile d'une machine-outil
KR100514989B1 (ko) 인라인 오차 보상 가공장치 및 그 방법
EP0886811B1 (en) Improved monitoring system for workpiece and tool carriage movement
JP2014237204A (ja) 工作機械
US11376667B2 (en) Machining tool and workpiece measurement method
JP4859941B2 (ja) 加工装置及び加工方法
JP4622683B2 (ja) 加工機
US5735028A (en) Processing apparatus with movable processing tool and processing method
JPH05269651A (ja) Ｎｃ工作機械における刃先の経時変位補正装置
JPH05318287A (ja) 超精密加工機
JPS6354509B2 (ko)
JPH10309653A (ja) 刃先位置変位検出方法及び刃先位置変位検出機能を備えた工作機械並びに該工作機械用工具ホルダ
JP6165461B2 (ja) 機上測定機能付き加工装置
KR100506793B1 (ko) 초정밀 가공을 위한 진직도 측정시스템
JPH03111148A (ja) 工作機械
JPH05318283A (ja) 工具たわみ補正方式
JP2001179621A (ja) 移動量測定装置及び研削装置
JP2715615B2 (ja) 磁気軸受の制御装置
JP2001212757A (ja) 研削方法及び研削装置
KR100608270B1 (ko) 초정밀 가공에서의 공구 윤곽도 보상방법
KR100194196B1 (ko) 온 머신측정과 반복가공을 이용한 공작기계의가공정밀도향상방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee