KR100505148B1 - Fixing jig for thin plate of pellicle frame - Google Patents

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Abstract

본 발명은 펠리클 프레임용 박판을 가공하는데 사용하는 고정 지그에 관한 것으로, 중앙에 받침부(3)가 일정 두께로 돌출되어 있는 고정부(1)와, 고정부(1)의 상부에 놓여지고 중앙에 구멍(11)을 가지며 구멍(11)에 인접한 내부모서리에는 누름턱(12)이 형성된 누름부(10)로 구성되어 고정부(1)의 받침부(3)에 박판(2)이 볼트(5)로 고정되고 누름부(10)를 고정부(1)위에 볼트(13)로 고정하면 박판(2)의 외부모서리는 누름부(10)의 누름턱(12)에 의해서 고정된다.The present invention relates to a fixing jig used to process a thin plate for a pellicle frame, wherein the supporting part (3) is projected to a certain thickness in the center, and the fixing part (1) is placed on the upper part of the fixing part (1). The inner edge adjacent to the hole 11 and having a hole 11 is formed of a pressing portion 10 formed with a pressing jaw 12 so that the thin plate 2 is attached to the supporting portion 3 of the fixing portion 1. 5) and the pressing part 10 is fixed by the bolt 13 on the fixing part 1, the outer edge of the thin plate 2 is fixed by the pressing jaw 12 of the pressing part 10.

Description

펠리클 프레임 박판 가공용 고정 지그{Fixing jig for thin plate of pellicle frame}Fixing jig for thin plate of pellicle frame}

본 발명은 펠리클 프레임용 박판을 가공하는데 사용하는 고정 지그에 관한 것이다.펠리클 프레임의 용도는 펠리클 막을 부착하기 위한 것으로 극히 일정한 두께의 정밀도를 필요로 하기 때문에 극도로 정밀한 가공을 필요로 하는 것이다. 보다 상세하게는 펠리클 프레임에 부착된 펠리클막은 일정한 회로 패턴이 형성된 포토마스크의 상하에 부착되어 포토마스크에 형성된 회로 패턴을 보호하며, 먼지 등의 불순물이 부착되어 패턴을 형성할 때 불량을 줄이기 위하여 사용되는 것으로서, 상세하게는 감광성 기판 또는 웨이퍼(wafer) 상에 영상을 형성하는 투시 인쇄 시스템(Projection Printing Systems)은 특히 집적회로의 제조에 있어서 포토레지스트-피복 반도체 웨이퍼를 노출시키는데 적합하다. 이러한 시스템은 통상적으로 표면에 형성되는 불투명 및 투명 영역의 패턴(pattern)이 있는 투명기판을 갖는 포토마스크 또는 초점판(이후, 마스크라 함), 마스크를 통하여 웨이퍼에 가시 광선 또는 UV와 같은 방사에너지의 비임(beam)을 접속시키기 위한 조사(illuminating)장치, 웨이퍼 상 또는 LCD회로나 PDP 회로 상에 마스크 패턴의 초점이 맞은 영상을 형성하는 광학장치 및 마스크의 표면상에 초점이 맞지 않도록 먼지 입자의 영상을 유지시키는 작용을 하는 것이다. 펠리클 막은 펠리클 프레임(frame) 상에 지지가 된 얇고, 빛의 투과성이 높은 필름으로서, 통상적으로, 펠리클 프레임은 마스크에 부착되어 있고, 광학 필름은 마스크 표면으로부터 일정거리로 떨어져 펠리클 프레임의 타단에 부착되어 있어, 마스크 상에 부착되어 웨이퍼 상에 투시될 수 있는 먼지 입자 대신에 펠리클 막 상에 부착되어 먼지의 형상이 패턴을 형성시키는 표면상에서 분산될 것이다. 결과적으로 펠리클막을 통상적인 투시 인쇄 시스템에 사용하는 경우에, 하나 이상의 먼지 입자는 주어진 웨이퍼, LCD 회로 패턴, 컬러필터의 패턴 또는 PDP 회로 등의 패턴형성에 영향을 주지 못하게 하는 역할을 하는 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a stationary jig for use in processing thin plates for pellicle frames. The use of pellicle frames is for attaching a pellicle film, which requires extremely precise thickness and therefore requires extremely precise machining. More specifically, the pellicle film attached to the pellicle frame is attached to the upper and lower portions of the photomask on which a certain circuit pattern is formed to protect the circuit pattern formed on the photomask, and is used to reduce defects when forming patterns by attaching impurities such as dust. Specifically, Projection Printing Systems, which form an image on a photosensitive substrate or wafer, are particularly suitable for exposing photoresist-coated semiconductor wafers in the manufacture of integrated circuits. Such systems typically have a photomask or focusing plate (hereinafter referred to as a mask) having a transparent substrate having a pattern of opaque and transparent regions formed on the surface, and radiant energy such as visible light or UV on the wafer through the mask. Irradiating devices for connecting beams of light, optical devices that form a focused image of the mask pattern on the wafer or on LCD or PDP circuits, and dust particles so as to be out of focus on the surface of the mask. It is to maintain the image. A pellicle film is a thin, high-transmissive film supported on a pellicle frame. Typically, the pellicle frame is attached to a mask, and the optical film is attached to the other end of the pellicle frame at a distance from the mask surface. So that the shape of the dust will be dispersed on the surface forming the pattern instead of the dust particles that can be deposited on the mask and projected onto the wafer. As a result, when the pellicle film is used in a conventional perspective printing system, one or more dust particles serve to prevent the formation of a pattern of a given wafer, LCD circuit pattern, color filter pattern, or PDP circuit.

펠리클 프레임 박판은 알루미늄 소재의 박판을 3 내지 7 mm 두께로 정밀하게 양면을 가공하고 박판의 외측면(외경)을 먼저 가공한 후 내측면(내경)을 절단가공하여 펠리클 프레임을 얻게 되는 것이다. 외경은 박판을 밀링 머신에서 일정 크기로 가공한 후, 머시닝 센터에서 정밀 가공되어 이루어진다.The pellicle frame thin plate is a thin sheet of aluminum material with a thickness of 3 to 7 mm to precisely process both sides and the outer surface (outer diameter) of the thin plate first, and then cut the inner surface (inner diameter) to obtain a pellicle frame. The outer diameter is made by machining the sheet to a certain size on the milling machine and then precision machining in the machining center.

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내경은 박판을 머시닝 센터의 작업대에 고정하고 박판의 외부모서리를 고정한 후 가공되는데, 이때 박판을 작업대에 고정하는 지그가 필요하다.The inner diameter is machined after fixing the thin plate to the workbench of the machining center and fixing the outer edge of the thin plate. At this time, a jig for fixing the thin plate to the workbench is required.

본 발명의 목적은 상기와 같은 요구에 부응하여 머시닝 센터의 작업대에 고정되는 고정부와 고정부의 상부에서 중앙에 위치되는 박판을 고정하는 누름부로 구성되는 펠리클 프레임 박판 가공용 고정 지그를 제공하고자 하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a fixing jig for pellicle frame lamination processing comprising a fixing part fixed to a workbench of a machining center and a pressing part for fixing a thin plate located at the center of the upper part of the fixing part in response to the above requirements. .

본 발명의 박판 가공용 고정 지그의 한 실시예는 사각형 몸체를 가지며, 중앙에는 받침부가 일정 두께로 돌출되어 있는 고정부와, 사각테두리를 가지며 상기 고정부의 상부에 놓여지고 중앙에 구멍을 가지며 구멍에 인접한 내부모서리에는 누름턱이 형성된 누름부로 구성된다.One embodiment of the fixing jig for thin plate processing of the present invention has a rectangular body, in the center has a fixing part protruding to a certain thickness, and a rectangular border, which is placed on top of the fixing part and has a hole in the center and has a hole in the center. Adjacent inner edge is composed of a pressing portion formed with a pressing jaw.

본 발명의 박판 가공용 고정 지그의 다른 실시예는 중앙에 받침부가 일정 두께로 돌출되어 있는 고정부와, 고정부의 상부에 놓여지고 내부모서리에는 누름턱이 형성된 다수개의 누름막대로 구성된다.Another embodiment of the fixing jig for thin plate processing of the present invention is composed of a fixing part in which the base portion protrudes to a certain thickness in the center, and a plurality of pressing bars which are placed on the upper part of the fixing part and the pressing jaw is formed on the inner edge.

본원 발명의 상세한 구성은 머시닝 센터의 작업대에 고정되는 고정부(1)와 고정부(1)의 중앙에 박판(2)이 놓여지는 사각형상의 받침부(3)가 일정 높이로 형성되고, 누름부(10)의 중앙에 사각구멍(11)이 형성되어 있고, 사각구멍(11)의 상부에 돌출된 누름턱(12)을 형성하여 사각형상의 박판(2)의 가장자리를 눌러 고정하는 누름부(10)로 구성되고, 상기 고정부(1)의 받침부(3)에 다수개의 박판(2)이 박판(2)에 형성된 구멍(4)를 통하여 볼트(5)로 받침부(3)에 형성된 구멍에 볼트 결합하여 고정되어 박판(2)의 외경 가공하고, 박판(2)의 외부 모서리는 누름부(10)의 누름턱(12)에 의해서 고정되어 다수개의 박판(2)의 내경을 가공하기 용이하도록 구성된 것을 특징으로 하며, 상기 고정부(1)는 사각형 몸체를 가지며, 중앙에는 받침부(3)가 일정 두께로 돌출되고, 상기 누름부(10)는 사각테두리를 가지며 상기 고정부(1)의 상부에 놓여지고 중앙에 구멍(11)을 가지며 구멍에 인접한 내부모서리에는 누름턱(12)이 형성되고, 고정부(1)에 형성된 다수개의 볼트구멍에 다수개의 볼트(13)로 누름부(10)에 형성된 구멍을 통하여 결합하도록 구성된 것을 특징으로 하고, 머시닝 센터의 작업대에 고정되는 고정부(20)와 고정부(20)의 중앙에 박판(2)이 놓여지는 사각형상의 받침부(23)가 일정 높이로 다수 개가 형성되고, 고정부(20)의 가장자리에 배치되는 누름막대(30)는 한 부분에만 누름턱(32)이 형성되고, 고정부(20)의 내부에 배치되는 누름막대(31)는 양측에 누름턱(32)이 형성되어 사각형상의 박판(2)의 가장자리를 눌러 고정하도록 구성되고, 상기 고정부(20)의 받침부(23)에 다수개의 박판(2)이 박판(2)에 형성된 구멍(4)을 통하여 볼트(5)로 다수개의 받침부(23)에 형성된 구멍에 볼트 결합하여 고정하여 박판(2)의 외경을 가공하고, 박판(2)의 외부 모서리는 다수개의 누름막대(30,31)의 측면에 형성된 누름턱(32)에 의해서 누르도록 위치시키고, 다수개의 누름막대(30,31)는 다수개의 볼트(13)에 의하여 고정부(20)에 형성된 구멍과 다수개의 누름막대(30,31)에 형성된 구멍을 통하여 볼트결합되어 고정하여 다수개의 박판(2)의 내경을 가공하기 용이하도록 구성된 것을 특징으로 하며, 상기 고정부(20)의 받침부(23) 위에 생산될 펠리클 프레임의 크기에 따라 다수개 겹쳐진 박판(2)이 한곳 또는 다수 곳에 놓여 지고 다수개 겹쳐진 박판(2)에 형성된 구멍(4)을 통하여 볼트(5)로 다수개의 받침부(23)에 형성된 구멍에 볼트 결합하여 고정되어 외경을 가공하고, 고정부(20)의 내부에 배치되는 누름막대(31)를 필요에 따라 제거하고, 박판(2)의 외부 모서리를 다수개의 누름막대(30)의 측면에 형성된 누름턱(32)에 의해서 누르도록 위치시키고, 고정부(20)에 형성된 구멍과 다수개의 누름막대(30,31)에 형성된 구멍을 통하여 볼트결합되어 고정되도록 하여 내경을 가공할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 것이다. 이하 본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Detailed configuration of the present invention is a fixed part 1 is fixed to the worktable of the machining center and the rectangular support 3 is placed at a constant height, the pressing portion 3 is placed in the center of the fixing part 1, the pressing portion The square hole 11 is formed in the center of 10, and the pressing part 10 which forms the pressing jaw 12 protruding in the upper part of the square hole 11, and presses and fixes the edge of the rectangular thin plate 2 is provided. A hole formed in the support part 3 by a bolt 5 through a hole 4 formed in the thin plate 2 in the support part 3 of the fixing part 1. It is fixed by bolting to the outer diameter of the thin plate (2), the outer edge of the thin plate (2) is fixed by the pressing jaw 12 of the pressing portion 10 is easy to process the inner diameter of the plurality of thin plates (2) Characterized in that configured to, the fixing part (1) has a rectangular body, the support portion (3) in the center protrudes to a certain thickness, the pressing portion ( 10 has a rectangular border and is placed on top of the fixing part 1, has a hole 11 at the center, and a pressing jaw 12 is formed at an inner edge adjacent to the hole, and a plurality of formed at the fixing part 1 It is characterized in that it is configured to be coupled to the bolt hole through a hole formed in the pressing portion 10 by a plurality of bolts 13, a thin plate in the center of the fixed portion 20 and the fixed portion 20 fixed to the working table of the machining center A plurality of rectangular support portions 23 are placed at a predetermined height (2) is placed, the pressing rod 30 is disposed on the edge of the fixing portion 20, the pressing jaw 32 is formed in only one portion, The pressing rod 31 disposed inside the fixing part 20 is formed with pressing jaw 32 formed at both sides to press and fix the edge of the rectangular thin plate 2, and the supporting part of the fixing part 20 is provided. A plurality of thin plates 2 on the 23 with bolts 5 through holes 4 formed in the thin plates 2 The outer diameter of the thin plate 2 is processed by bolting and fixing to the holes formed in the support 23, the outer edge of the thin plate 2, the pressing jaw 32 formed on the side of the plurality of pressing rods (30, 31) Positioned by pressing, the plurality of push bars (30, 31) is bolted through the holes formed in the fixing portion 20 and the plurality of push bars (30, 31) by a plurality of bolts (13) It is characterized in that it is configured to be easy to process the inner diameter of the plurality of thin plates (2), a plurality of overlapping thin plates (2) according to the size of the pellicle frame to be produced on the base portion 23 of the fixing portion 20 Through the holes 4 formed in the plurality of overlapping thin plates 2, which are placed in one or more places, the bolts 5 are fixed to the holes formed in the plurality of supporting portions 23 to fix the outer diameter, and the fixing portion If necessary, the push bar 31 disposed inside the 20 is Remove and position the outer edge of the thin plate 2 to be pressed by the pressing jaw 32 formed on the side of the plurality of pressing rods 30, the holes formed in the fixing portion 20 and the plurality of pressing rods 30, It is characterized in that it is configured to be fixed to the bolted through the hole formed in 31) to process the inner diameter. Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1에는 본 발명의 펠리클 프레임 박판 가공용 고정 지그의 한 실시예가 분해도로서 도시된다.1 shows an embodiment of the fixing jig for pellicle frame lamination processing of the present invention as an exploded view.

먼저, 머시닝 센터의 작업대에 고정되는 고정부(1)는 사각형 몸체를 가지며, 중앙에는 박판(2)이 놓여지는 받침부(3)가 일정 두께로 돌출되어 있다.First, the fixing part 1 fixed to the worktable of the machining center has a rectangular body, and the supporting part 3 on which the thin plate 2 is placed protrudes to a certain thickness in the center.

박판(2)은 사각형 형상을 가지며, 중앙에는 4개의 구멍(4)이 형성되어 볼트(5)에 의해서 박판(2)을 받침부(3)위에 고정시킨 후 외경(박판(2)의 외부 측면)을 필요한 형태로 가공하며, 가공된 외경을 기준으로 하여 누름부(10)에 형성된 누름턱(12)이 박판(2)의 외곽을 누르도록 위치시키고 고정볼트(13)로 볼트 결합하여 누름부(10)와 고정부(1)을 결합한 후에 내경(박판(2)의 내부 측면)을 절단 가공하게 되는 것이다. The thin plate 2 has a quadrangular shape, and four holes 4 are formed at the center thereof to fix the thin plate 2 on the supporting part 3 by bolts 5, and then to the outer diameter (the outer side of the thin plate 2). ) And the pressing jaw 12 formed on the pressing part 10 on the basis of the processed outer diameter to press the outside of the thin plate 2 and bolted to the fixing bolt 13 After the combination of the 10 and the fixing part 1, the inner diameter (inner side of the thin plate 2) is cut.

고정부(1)의 상부에는 사각테두리를 가지고 중앙에 4각형 구멍(11)을 가지는 누름부(10)가 놓인다.On the upper part of the fixing part 1, the pressing part 10 which has a square border and the quadrangular hole 11 in the center is put.

구멍(11)에 인접한 내부모서리에는 박판(2)의 테두리를 눌러주는 누름턱(12)이 형성된다.An inner edge adjacent to the hole 11 is formed with a pressing jaw 12 for pressing the edge of the thin plate 2.

누름부(10)는 고정부(1)위에 볼트(13)에 의해서 고정부(1)에 형성된 암나사 구멍과 누름부(10)에 형성된 구멍을 통하여 고정된다.The pressing part 10 is fixed to the fixing part 1 via the female threaded hole formed in the fixing part 1 by the bolt 13, and the hole formed in the pressing part 10. FIG.

도 2에는 도 1에 도시된 본 발명의 박판 가공용 고정 지그의 조립상태가 단면도로서 도시된다.2 shows the assembled state of the fixing jig for sheet metal working of the present invention shown in FIG.

본 발명의 박판 가공용 고정 지그를 사용하려면, 여러 개의 박판(2)을 고정부(1)의 받침부(3)상에 볼트(5)로 고정한다.In order to use the fixing jig for thin plate processing of this invention, several thin plates 2 are fixed to the support part 3 of the fixing part 1 with the bolt 5.

다음에, 누름부(10)를 고정부(1)에 볼트(13)로 고정하며 박판(2)의 외부모서리는 누름부(10)의 누름턱(12)에 의해서 고정된다.Next, the pressing portion 10 is fixed to the fixing portion 1 with a bolt 13, and the outer edge of the thin plate 2 is fixed by the pressing jaw 12 of the pressing portion 10.

이러한 상태에서 머시닝 센터의 절삭 공구는 박판(2)의 내경을 가공하여 펠리클 프레임은 사각테 또는 8각테 형상으로 가공된다.In this state, the cutting tool of the machining center processes the inner diameter of the thin plate 2 so that the pellicle frame is processed into a rectangular frame or an octagonal frame shape.

도 3에는 본 발명의 펠리클 프레임 박판 가공용 고정 지그의 다른 실시예가 분해도로서 도시된다.3 shows another embodiment of a fixing jig for pellicle frame sheet processing of the present invention as an exploded view.

먼저, 머시닝 센터의 작업대에 고정되는 고정부(20)는 사각형 몸체를 가지며, 중앙에는 박판(2)이 놓이는 다수개의 받침부(23)가 일정 두께로 돌출되어 있다.First, the fixing part 20 fixed to the worktable of the machining center has a rectangular body, and a plurality of supporting parts 23 on which the thin plate 2 is placed protrude to a predetermined thickness in the center.

도면에는 6개의 받침부(23)가 일정 간격으로 형성되어 있지만, 펠리클 프레임의 크기에 따라 하나의 받침부가 중앙에 위치될 수도 있다.Although six support parts 23 are formed at regular intervals in the drawing, one support part may be located at the center according to the size of the pellicle frame.

박판(2)은 볼트(5)에 의해서 받침부(23)위에 고정시킬 수 있다.The thin plate 2 can be fixed on the support 23 by a bolt 5.

고정부(20)의 상부에는 받침부(23) 주위에 다수개의 누름막대(30)가 놓여진다.On the upper part of the fixing part 20, a plurality of push bars 30 are placed around the supporting part 23.

받침부(23)에 인접한(가장자리에 배치된) 누름막대(30)의 내부모서리에는 일측에만 돌출된 누름턱(32)이 형성된다.An inner edge of the pressing bar 30 adjacent to the supporting part 23 (arranged at an edge) is formed with a pressing jaw 32 protruding only on one side.

누름막대(30)는 고정부(20)위에 볼트(13)에 의해서 고정된다.The push bar 30 is fixed by the bolt 13 on the fixing portion 20.

한편, 받침부(23)사이에는(내부에 배치된) 다수개의 누름막대(31)가 고정되는데 누름막대(31)는 양측 모서리에 누름턱(32)을 가진다. 누름막대(31)도 고정부(20)위에 볼트(13)에 의해서 고정된다. On the other hand, a plurality of pressing bars 31 (arranged inside) are fixed between the supporting parts 23, and the pressing bars 31 have pressing jaw 32 at both edges. The push bar 31 is also fixed on the fixing part 20 by bolts 13.

도 4는 도3에 도시된 본 발명의 박판 가공용 고정 지그의 조립상태가 단면도로서 도시된다.FIG. 4 is a cross-sectional view showing the assembled state of the fixing jig for thin plate processing of the present invention shown in FIG.

본 발명의 박판 가공용 고정 지그를 사용하려면, 여러 개의 박판(2)을 고정부(20)의 받침부(23)상에 볼트(5)로 고정시킨다.In order to use the fixing jig for thin plate processing of this invention, several thin plates 2 are fixed to the support part 23 of the fixing part 20 with the bolt 5.

다음에, 다수개의 누름막대(30)및(31)를 고정부(20)에 볼트(13)로 고정시키며 박판(2)의 외부모서리는 누름막대(30)및(31)의 누름턱(32)에 의해서 고정된다.도 4는 박판(2)의 크기가 큰 경우를 도시한 것으로 크기가 큰 박판(2)을 여러장 겹쳐서 크기에 따라 고정부(20)의 받침부(23)위에 올려놓고 고정부(20)의 상측면 하부에 형성된 암나사공이 다수 개 형성되어 있으므로 필요에 따라 양측에 누름턱(32)이 형성된 누름막대(31)을 제거하고 외측에 배치되며 일측에 누름턱(32)이 형성된 누름막대(30)를 사용하여 박판(2)의 가장자리를 눌러주며 작업을 수행하는 것이다. 이때에 크기가 큰 사이즈는 고정부(20)의 받침부(23)위에 하나로 여러장 겹쳐진 박판(2)이 놓일 수 있고 또는 필요에 따라 여러장 겹쳐진 박판(20)이 두곳 또는 다수 곳에 사이즈에 따라 박판(2)이 여러장 겹쳐서 놓일 수도 있다. 가공은 받침부(23)에 놓여지는 크기에 따라 NC 머신의 프로그램을 변경하여 가공을 수행하게 하게 되는 것이다. 이 경우에도 작업의 순서는 하나 또는 다수개의 박판(2)을 크기에 따라 여러 장씩 겹쳐서 볼트(5)로 고정하고 외경을 가공한 후에 다수개의 누름막대(30)을 사용하여 박판(2)의 외부 테두리를 눌러 위치시키고 볼트(13)로 볼트 결합하여 고정하고 내부를 절단가공하여 정밀한 펠리클프레임(ㅁ 형상)을 얻는 것이다. 이러한 다른 실시예의 구성은 도 1에 나타난 지그보다 다수개의 지그를 사용하여 보다 효과적으로 펠리클프레임을 생산하기 위한 것으로 머시닝 센터에서 작업프로그램을 변경시켜 한번에 도 1의 지그에 비하여 9배의 생산성을 얻기 위한 것이다. 이러한 지그는 도 1의 지그보다 박판(2)을 장착하기 위한 시간을 획기적으로 줄일 수 있기 때문이다.이상으로, 본 발명에 따른 펠리클 프레임 박판 가공용 고정 지그를 실시예에 의하여 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 여기에 한정되지 않으며, 청구범위에 기재된 사항과 균등한 범위의 모든 기술적 사상에 대하여 미친다고 할 것이다.Next, the plurality of push bars 30 and 31 are fixed to the fixing part 20 with bolts 13, and the outer edges of the thin plates 2 are pressed jaws 32 of the push bars 30 and 31. 4 shows a case in which the size of the thin plate 2 is large, and a plurality of large sized thin plates 2 are piled up and placed on the base 23 of the fixing unit 20 according to the size. Since a plurality of female screw holes formed on the lower side of the upper side of the fixing part 20 are formed, if necessary, the pressing bar 31 having the pressing jaw 32 formed on both sides is removed and disposed outside, and the pressing jaw 32 is disposed at one side. Pressing the edge of the thin plate (2) using the formed pressure bar (30) is to perform the operation. At this time, the large size may be placed on the support 23 of the fixing part 20, the thin plate 2 overlapped with one or several overlapping thin plate 20 depending on the size or two places depending on the size The thin plates 2 may be stacked in stacks. Machining is to change the program of the NC machine according to the size placed on the support 23 to perform the machining. Even in this case, the sequence of work is to superimpose one or a plurality of thin plates 2 according to the size, and fix them with bolts 5 and process the outer diameter, and then use a plurality of push bars 30 to external the thin plates 2. By pressing the edge position and bolted to the bolt (13) to fix and cut the inside to obtain a precise pellicle frame (ㅁ shape). The configuration of this other embodiment is to produce a pellicle frame more effectively using a plurality of jigs than the jig shown in FIG. 1 to change the work program at the machining center to obtain 9 times the productivity compared to the jig of FIG. 1 at a time. . This is because the jig can significantly shorten the time for mounting the thin plate 2 than the jig of Fig. 1. Above, although the fixing jig for pellicle frame sheet processing according to the present invention has been described by way of example, The scope of the right is not limited to this, and it will be said that all technical ideas are within the scope equivalent to those described in the claims.

상기와 같이 구성된 본 발명의 펠리클 프레임 박판 가공용 고정 지그는 펠리클 프레임 박판을 작업대에 확실하게 고정시켜 내경 가공시 견고한 지지를 보장하는 효과를 제공하며, 보다 생산성을 높일 수 있는 지그를 제공할 수 있었다. Fixing jig for pellicle frame thin plate processing of the present invention configured as described above was able to provide a jig that can secure the pellicle frame thin plate to the workbench to ensure a solid support during the inner diameter processing, to increase the productivity.

도 1은 본 발명의 펠리클 프레임 박판 가공용 고정 지그의 한 실시예를 도시하는 분해도1 is an exploded view showing one embodiment of a fixing jig for pellicle frame sheet processing of the present invention;

도 2는 도 1에 도시된 본 발명의 박판 가공용 고정 지그의 조립상태를 도시하는 단면도FIG. 2 is a cross-sectional view showing the assembled state of the fixing jig for thin plate processing of the present invention shown in FIG.

도 3은 본 발명의 펠리클 프레임 박판 가공용 고정 지그의 다른 실시예를 도시하는 분해도3 is an exploded view showing another embodiment of the fixing jig for pellicle frame sheet processing of the present invention.

도 4는 도 3에 도시된 본 발명의 박판 가공용 고정 지그의 조립상태를 도시하는 단면도4 is a cross-sectional view showing an assembled state of the fixing jig for sheet processing of the present invention shown in FIG.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1 : 고정부 2 : 박판 3 : 받침부DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Fixed part 2 Thin plate 3 Support part

4 : 구멍 5,13 : 볼트 10 : 누름부4 hole 5, 13 bolt 10 pressing part

11 : 구멍 12 : 누름턱 20 : 고정부23 : 받침부 30 : 누름막대(30) 31 : 누름막대(31)DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Hole 12 Push jaw 20 Fixing part 23 Support part 30 Push bar 30 31 Push bar 31

Claims (5)

머시닝 센터의 작업대에 고정되는 고정부(1)와 고정부(1)의 중앙에 박판(2)이 놓여지는 사각형상의 받침부(3)가 일정 높이로 형성되고, 누름부(10)의 중앙에 사각구멍(11)이 형성되어 있고, 사각구멍(11)의 상부에 돌출된 누름턱(12)을 형성하여 사각형상의 박판(2)의 가장자리를 눌러 고정하는 누름부(10)로 구성되고, The fixed part 1 fixed to the worktable of the machining center and the rectangular support part 3 on which the thin plate 2 is placed in the center of the fixed part 1 are formed to a certain height, and in the center of the pressing part 10. The square hole 11 is formed, and consists of a pressing part 10 which forms a pressing jaw 12 protruding from the upper part of the square hole 11 and presses and fixes the edge of the rectangular thin plate 2, 상기 고정부(1)의 받침부(3)에 다수개의 박판(2)이 박판(2)에 형성된 구멍(4)을 통하여 볼트(5)로 받침부(3)에 형성된 구멍에 볼트 결합하여 고정되어 박판(2)의 외경 가공하고, 박판(2)의 외부 모서리는 누름부(10)의 누름턱(12)에 의해서 고정되어 다수개의 박판(2)의 내경을 가공하기 용이하도록 구성된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임 박판 가공용 고정 지그.A plurality of thin plates 2 are supported by bolts 5 through holes 4 formed in the thin plates 2 and fixed to the holes formed in the supporting portions 3 by the bolts 5. And the outer diameter of the thin plate 2, the outer edge of the thin plate 2 is fixed by the pressing jaw 12 of the pressing portion 10 is characterized in that configured to facilitate the internal diameter of the plurality of thin plates (2) Fixing jig for pellicle frame lamination. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 고정부(1)는 사각형 몸체를 가지며, 중앙에는 받침부(3)가 일정 두께로 돌출되고, 상기 누름부(10)는 사각테두리를 가지며 상기 고정부(1)의 상부에 놓이고 중앙에 구멍(11)을 가지며 구멍에 인접한 내부모서리에는 누름턱(12)이 형성되고, 고정부(1)에 형성된 다수개의 볼트구멍에 다수개의 볼트(13)로 누름부(10)에 형성된 구멍을 통하여 결합하도록 구성된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임 박판 가공용 고정 지그.The fixing part (1) has a rectangular body, in the center the supporting part (3) protrudes to a certain thickness, the pressing part (10) has a rectangular border and is placed on top of the fixing part (1) A pressing jaw 12 is formed at an inner edge adjacent to the hole with a hole 11, and through a hole formed in the pressing part 10 with a plurality of bolts 13 in a plurality of bolt holes formed in the fixing part 1. Fixing jig for pellicle frame lamination, characterized in that configured to engage. 삭제delete 머시닝 센터의 작업대에 고정되는 고정부(20)와 고정부(20)의 중앙에 박판(2)이 놓여지는 사각형상의 받침부(23)가 일정 높이로 다수 개가 형성되고, 고정부(20)의 가장자리에 배치되는 누름막대(30)는 일측에만 누름턱(32)이 형성되고, 고정부(20)의 내부에 배치되는 누름막대(31)는 양측에 누름턱(32)이 형성되어 사각형상의 박판(2)의 가장자리를 눌러 고정하도록 구성되고, The fixing part 20 fixed to the worktable of the machining center and a plurality of rectangular supporting parts 23 on which the thin plate 2 is placed at the center of the fixing part 20 are formed at a predetermined height, and the fixing part 20 The pressing bar 30 is disposed on the edge of the pressing jaw 32 is formed only on one side, the pressing bar 31 disposed inside the fixing part 20, the pressing jaw 32 is formed on both sides of the rectangular thin plate (2) is configured to press and fix the edges, 상기 고정부(20)의 받침부(23)에 다수개 겹쳐진 박판(2)이 다수개 겹쳐진 박판(2)에 형성된 구멍(4)을 통하여 볼트(5)로 다수개의 받침부(23)에 형성된 구멍에 볼트 결합하여 고정하여 박판(2)의 외경을 가공하고, 박판(2)의 외부 모서리는 다수개의 누름막대(30,31)의 측면에 형성된 누름턱(32)에 의해서 누르도록 위치시키고, 다수개의 누름막대(30,31)는 다수개의 볼트(13)에 의하여 고정부(20)에 형성된 구멍과 다수개의 누름막대(30,31)에 형성된 구멍을 통하여 볼트결합되어 고정하여 다수개의 박판(2)의 내경을 가공하기 용이하도록 구성된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임 박판 가공용 고정 지그.A plurality of thin plates 2 superimposed on the supporting portions 23 of the fixing part 20 are formed on the plurality of supporting portions 23 by bolts 5 through holes 4 formed in the plurality of overlapping thin plates 2. Bolted to the hole to fix the outer diameter of the thin plate 2, the outer edge of the thin plate 2 is positioned to press by the pressing jaw 32 formed on the side of the plurality of pressing rods (30, 31), The plurality of push bars 30 and 31 are bolted and fixed through holes formed in the fixing part 20 and holes formed in the plurality of push bars 30 and 31 by a plurality of bolts 13 to form a plurality of thin plates ( 2) Fixing jig for pellicle frame thin plate processing, characterized in that configured to facilitate processing the inner diameter of 2). 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 고정부(20)의 받침부(23) 위에 생산될 펠리클 프레임의 크기에 따라 다수개 겹쳐진 박판(2)이 한곳 또는 다수 곳에 놓여 지고 다수개 겹쳐진 박판(2)에 형성된 구멍(4)을 통하여 볼트(5)로 다수개의 받침부(23)에 형성된 구멍에 볼트 결합하여 고정되어 외경을 가공하고, 고정부(20)의 내부에 배치되는 누름막대(31)를 필요에 따라 제거하고, 박판(2)의 외부 모서리를 다수개의 누름막대(30)의 측면에 형성된 누름턱(32)에 의해서 누르도록 위치시키고, 고정부(20)에 형성된 구멍과 다수개의 누름막대(30,31)에 형성된 구멍을 통하여 볼트결합되어 고정되도록 하여 내경을 가공할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 펠리클 프레임 박판 가공용 고정 지그.According to the size of the pellicle frame to be produced on the support 23 of the fixing portion 20, a plurality of overlapping thin plates 2 are placed in one or a plurality of places and through holes 4 formed in the plurality of overlapping thin plates 2 The bolts 5 are fixed by bolting to holes formed in the plurality of supporting parts 23 to process the outer diameter, and the pressing bar 31 disposed inside the fixing part 20 is removed as necessary, and the thin plate ( Position the outer edge of 2) to be pressed by the pressing jaw 32 formed on the side of the plurality of pressing bars 30, the hole formed in the fixing portion 20 and the holes formed in the plurality of pressing bars (30, 31) Fixing jig for pellicle frame thin plate processing, characterized in that configured to be bolted through through to process the inner diameter.
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