KR100487261B1

KR100487261B1 - Object defect inspection method and inspection device

Info

Publication number: KR100487261B1
Application number: KR1019960072350A
Authority: KR
Inventors: 노보루 시라가; 마사오 미노베
Original assignee: 스미또모 가가꾸 가부시끼가이샤
Priority date: 1995-12-28
Filing date: 1996-12-26
Publication date: 2005-09-02
Also published as: TW339407B; KR970048632A

Abstract

간편하면서 신속하게 미묘한 색조의 이상 등의 결함을 검출할 수 있는 동시에, 안정된 검사 결과가 달성되는 고감도의 물체의 결함의 검사방법 및 검사 장치를 제공한다.Provided are a method and an inspection apparatus for inspecting defects of a highly sensitive object that can detect defects such as abnormalities of subtle color tone easily and quickly and at the same time achieve stable inspection results.

검사광을 검사대상인 물체에 조사하고, 상기 물체를 투과한 광 또는 반사된 광에 의해 형성된 상을 관찰함으로써 물체의 결함을 검사하는 방법으로서, 결상 광학 수단을 이용함으로써 집광된 상기 투과된 광 또는 반사된 광 중 산란광 또는 직접광 중 어느 하나를, 상기 결상 광학 수단의 초점면에 설치한 개구 조리개에 의해 차폐하여 얻어지는 광에 의해 형성된 상을 관찰하여, 미묘한 물체 결함을 검출한다.A method of inspecting a defect of an object by irradiating inspection light onto an object to be inspected and observing an image formed by the light transmitted through the object or reflected light, wherein the transmitted light or reflection focused by using an imaging optical means The image formed by the light obtained by shielding any of the scattered light or the direct light from the generated light by the aperture stop provided on the focal plane of the imaging optical means is observed to detect subtle object defects.

Description

물체의 결함 검사 방법 및 검사 장치Defect inspection method and inspection device of the object

본 발명은, 컬러필터, 대전 방지 하드 코트 MMA(메틸 메타 아크릴레이트)판, MMA오팔판 등의 물체의 결함 검사 방법 및 검사 장치에 관한 것이다. 특히, 액정 표시 장치 (Liquid Crystal Display Devices : 이후, LCD라고 약기한다) 등에 사용되는 컬러 필터에 있어서의 색조의 이상, 또는, 혼입된 이물질, 요철, 두께의 불균일, 또는 핀홀 등의 결함을 검출하는데 적합한 물체의 결함 검사 방법 및 검사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a defect inspection method and inspection apparatus for objects such as color filters, antistatic hard coat MMA (methyl methacrylate) plates and MMA opal plates. In particular, the color filter used in Liquid Crystal Display Devices (hereinafter abbreviated as LCD) is used to detect abnormalities of color tone or defects such as mixed foreign matter, irregularities, irregularities in thickness, or pinholes. The present invention relates to a defect inspection method and inspection apparatus of a suitable object.

LCD 등에서 사용되는 컬러 필터에 있어서의 두께의 불균일 등에 의해 생기는 색조의 이상, 혼입된 이물질, 요철, 또는 핀홀 등의 결함을 검출하는 방법으로서, 통상 조명 아래서 컬러 필터를 직접적으로 육안 관찰하는 결함 검사 방법이 알려져 있다.Defect inspection method that detects abnormality in color tone caused by non-uniformity of thickness in color filter used in LCD, defects such as mixed foreign matter, irregularities, pinholes, etc., and visual observation of color filter directly under normal lighting. This is known.

또한, 광원으로부터 출사된 광으로 컬러 필터를 조사하고, 컬러 필터를 투과한 광 또는 컬러 필터에서 반사된 광을 직접적으로 관찰하는 방법이 제안되어 있다 (일본국 특개평 6 - 208017 호 공보, 동 특개평 6 - 94638호 공보).In addition, a method of irradiating a color filter with light emitted from a light source and directly observing the light transmitted through the color filter or the light reflected from the color filter has been proposed. Publication 6-94638).

도 12 는, 이러한 방법의 설명도이다. 도 12(a) 는 컬러 필터에서의 반사광을 관찰하는 방법을 나타내고, 도 12(b) 는 컬러 필터의 투과광을 관찰하는 방법을 나타낸다. 도 12 에 나타낸 바와 같이, 이들의 방법에서는, 먼저, 점광원 (910) 으로부터 검사광 (L1) 을 출력한다. 이 검사광 (L1) 은, 컬러필터 (920) 에 조사되어, 반사광 (L2) 또는 투과광 (L3) 이 발생한다.12 is an explanatory diagram of this method. Fig. 12A shows the method of observing the reflected light in the color filter, and Fig. 12B shows the method of observing the transmitted light of the color filter. As shown in FIG. 12, in these methods, the inspection light L1 is first output from the point light source 910. The inspection light L1 is irradiated to the color filter 920 to generate the reflected light L2 or the transmitted light L3.

도 12(a) 에는, 반사광 (L2) 을 수광 영역이 비교적 작은 CCD 카메라 등의 관찰 장치 (930) 또는 육안으로 직접 관찰한다. 또한, 도 12(b) 에서는, 투과광 (L3) 을 수광 영역이 비교적 작은 CCD 카메라 등의 관찰 장치 (930) 또는 육안으로 직접 관찰한다.In FIG. 12A, the reflected light L2 is directly observed by an observation device 930 or a naked eye such as a CCD camera having a relatively small light receiving area. In addition, in FIG. 12 (b), the transmitted light L3 is directly observed by an observation device 930 such as a CCD camera or the like with the naked eye.

또한, 필름 등의 검사체에 있어서의 찰흔, 팽창부 등의 결함을 검사하는 방법으로서, 검사체에 평행광선을 입사시켜서 그 투과광 또는 반사광을 스크린에 투영시켜, 형성된 투영상에 있어서의 명암부분을 관찰하는 방법이 알려져 있다.(일본국 특공소 61 - 68543호 공보)In addition, as a method of inspecting scratches, defects, and the like in a test object such as a film, a light beam is incident on a test object, the transmitted light or the reflected light is projected onto a screen, and the light and dark portions in the projected image are formed. The method of observation is known. (JP-A 61-68543)

일본국 특개평 6 - 208017호 공보 및 일본국 특개평 6 - 94638호 공보에 기재된 검사 방법에서는, 컬러 필터의 검사가 상기와 같이 행해지므로, 다음과 같은 문제점이 있었다.In the inspection methods described in JP-A-6-208017 and JP-A-6-94638, the inspection of the color filter is carried out as described above, and thus has the following problems.

즉, 광원상이 컬러 필터를 통하여 관찰되기 때문에, 명도의 불균일이 크고, 컬러 필터의 전체면을 한번에 검사할 수 없고, 또한 미묘한 색조의 이상 등의 결함을 검출할 수 없다는 문제가 있었다.That is, since the light source image is observed through the color filter, there is a problem that the unevenness of the brightness is large, the entire surface of the color filter cannot be inspected at once, and defects such as subtle color abnormalities cannot be detected.

특히, 육안에 의한 경우에는, 광원상의 강한 광이 검사자의 눈에 동시에 들어와 버리는 경우가 있으므로, 원래 매우 약한 변화인 색조 이상이나 불균일 등의 결함을 인식하는 것이 매우 곤란해진다.In particular, in the case of the naked eye, since strong light on the light source may enter the eyes of the inspector at the same time, it becomes very difficult to recognize defects such as color tone abnormalities or unevenness, which are originally very weak changes.

또한, 이 종래 검사 방법을 이용하여, 대전 방지 하드 코트 MMA판이나 MMA오팔판 등의 결함을 검출하려고 하는 경우에도 동일한 문제가 생긴다.Moreover, the same problem arises also when trying to detect defects, such as an antistatic hard coat MMA board and an MMA opal board, using this conventional inspection method.

또한, 일본국 특공소 61 - 68543호 공보에 기재된 방법에서는, 필름 등의 검사체에 있어서의 미묘한 색의 불균일, 흠집, 오염 등의 결함을 가시화하는 것은 곤란하였다.In addition, in the method described in Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 61-68543, it was difficult to visualize defects such as subtle color unevenness, scratches, and contamination in test bodies such as films.

본 발명은, 상기의 문제를 해결하기 위하여 이루어진 것이며, 간편하면서 신속하게, 게다가, 미묘한 색조의 이상등의 결함을 검출할수 있는 동시에, 안정된 검사 결과가 달성되는 고감도의 물체의 결함 검사 방법 및 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and it is easy and quick to detect defects such as abnormality of subtle color tone, and at the same time, a defect inspection method and inspection apparatus for a highly sensitive object in which a stable inspection result is achieved. The purpose is to provide.

본 발명의 물체의 결함 검사 방법은, 검사광을 검사 대상인 물체에 조사하고, 물체를 투과한 광 또는 반사된 광에 의해 형성된 상을 관찰함으로써 물체의 결함을 검사하는 방법으로서, 결상 (結像) 광학 수단을 이용함으로써 집광된 투과된 광 또는 반사된 광중 산란광을 결상 광학 수단의 초점면에 설치된 개구 조리개에 의해 차폐하여 얻어지는 광에 의해 형성된 상을 관찰하는 것이다.The defect inspection method of the object of the present invention is a method of inspecting defects of an object by irradiating inspection light to an object to be inspected and observing an image formed by light transmitted through the object or reflected light. By using the optical means, the image formed by the light obtained by shielding the scattered light in the focused transmitted light or the reflected light by the aperture stop provided in the focal plane of the imaging optical means is observed.

이 검사 방법으로 얻어지는 상 (명시야상) 은, 간섭 줄무늬의 발생이나 광원상에 의한 불균일이 저감되어 있고, 미묘한 색조의 이상 등의 결함의 판별이 가능하게 되어 있다. 특히, 결상 광학 수단을 이용하여 물체 표면에서 발산하는 광을 상 면에 집광시키므로, 미소한 이물질이나 흠집 등의 결함을 고감도로 검출할 수 있다.As for the image (bright field image) obtained by this inspection method, generation | occurrence | production of an interference fringe and nonuniformity by a light source image are reduced, and defects, such as an abnormality of a subtle color tone, are attained. In particular, since the light emitted from the surface of the object is condensed on the image surface by using the imaging optical means, defects such as minute foreign matters or scratches can be detected with high sensitivity.

그리고, 검사광으로서는, 대략 평행광을 사용하는 것이 적합하다. 대략 평행광은, 예를 들면 소정의 한 점으로부터 방사형으로 확산되는 방사광을 렌즈 등의 광학계를 사용하여 콜리메이트함으로써 얻을 수 있다. 물체에 조사되는 검사광은, 물체의 검사광의 수광면에 균일도가 높은 것이 적합하며, 대략 평행광의 경우에는, 물체에 조사되는 검사광은 대략 균일하다.And as inspection light, it is suitable to use substantially parallel light. The substantially parallel light can be obtained by collimating, for example, radiation light diffused radially from a predetermined point using an optical system such as a lens. The inspection light irradiated to the object is preferably high in uniformity on the light-receiving surface of the inspection light of the object. In the case of substantially parallel light, the inspection light irradiated to the object is substantially uniform.

상술한 검사 방법으로 얻어진 상 내의 결함에 의한 광강도 변화가 넓은 범위에 걸치는 완만한 것인 경우에는, 그 결함의 유무를 검출하는 것이 곤란한 경우가 있다. 그 경우에는, 검사광의 광축 방향에 대한물체의 광입사면의 각도를 변화시킨다. 그리고, 상을 한 번 관찰한후, 검사광의 광축 방향에 대한 물체의 광입사면의 각도를 변화시키고 나서, 재차 상을 관찰한다.When the light intensity change by the defect in the image obtained by the above-described inspection method is gentle over a wide range, it may be difficult to detect the presence or absence of the defect. In that case, the angle of the light incident surface of the object with respect to the optical axis direction of the inspection light is changed. After the image is observed once, the angle of the light incident surface of the object with respect to the optical axis direction of the inspection light is changed, and then the image is observed again.

이 경우에 얻어지는 상은, 물체의 각도를 변화시키기 전의 물체 표면에서의 광강도 변화와 동일한 변화가 짧은 상 내의 거리에서 발생한 것으로 되므로, 변화가 강조되어 결함을 인식하기 쉽게 된다. 또, 두께의 불균일이 있는 층내에 있어서, 두께의 불균일에 수반하는 광로 길이의 차가 크게 설정된 투영상으로 되므로, 두께의 불균일에 따른 광강도 변화가 강조되어 저밀도 양호하게 인식할 수 있다.The image obtained in this case is that the same change as the light intensity change on the surface of the object before changing the angle of the object occurs at a shorter distance within the image, so that the change is emphasized and the defect is easily recognized. Moreover, in the layer with thickness nonuniformity, since the difference of the optical path length accompanying thickness nonuniformity becomes a projected image set large, the light intensity change according to the thickness nonuniformity is emphasized, and low density can be recognized favorably.

또, 산란광을 차폐하는 개구 조리개에 대신하여, 직접광을 차폐하는 개구 조리개 또는 산란광과 직접광 중 어느 하나를 선택적으로 차폐하는 개구 조리개를 사용해도 된다. 직접광 차폐와 산란광 차폐의 전환은, 예를들면 개구 조리개의 차폐부를 광축과 수직의 방향으로 이동시키는 것에 의해 행할 수 있다. 직접광을 차폐한 경우에는, 상 면에 형성되는 상이 암시야상으로 되어, 미묘한 색조 이상이나 색 불균일을 매우 양호하게 육안으로 확인할 수 있다.Instead of the aperture diaphragm for shielding the scattered light, an aperture diaphragm for shielding the direct light or an aperture diaphragm for selectively shielding either the scattered light or the direct light may be used. Switching of direct light shielding and scattered light shielding can be performed by moving the shielding part of an aperture stop in the direction perpendicular | vertical to an optical axis, for example. In the case where the direct light is shielded, the image formed on the upper surface becomes a dark field image, so that subtle color tone abnormalities and color unevenness can be visually confirmed very well.

또, 본 발명의 물체의 결함 검사 장치는, 검사 대상인 물체에 조사하는 검사광을 출력하는 광원과, 검사광을 집광하여 물체의 실상을 형성하는 결상 광학 수단과, 결상 광학 수단의 상 공간측 초점면에 설치되어, 물체를 투과한 광 또는 물체에서 반사된 광중 산란광을 차폐하는 개구 조리개를 구비한 것이다, 그리고, 산란광을 차폐하는 개구 조리개에 대신하여, 직접광을 차폐하는 개구 조리개 또는 산란광과 직접광중 어느 하나를 선택적으로 차폐하는 개구 조리개를 사용해도 된다. 이로써, 상술한 본 발명의 검사 방법을 가장 적합하게 실시할 수 있다.Moreover, the defect inspection apparatus of the object of this invention is a light source which outputs the inspection light irradiated to the object to test | inspection, the imaging optical means which condenses the inspection light, and forms the real image of an object, and the image space side focus of the imaging optical means. It is provided on the surface, and provided with an aperture diaphragm for shielding the scattered light in the light transmitted through the object or the light reflected from the object, and instead of an aperture diaphragm for shielding the scattered light, an aperture diaphragm or scattered light and direct light shielding the direct light. You may use the aperture stop which selectively shields either. Thereby, the inspection method of this invention mentioned above can be implemented most suitably.

여기에서, 광원으로서 평행광원을 사용하면, 물체의 검사광의 수광면에서 균일도를 높게 한 검사광의 조사가 가능하다.Here, when a parallel light source is used as the light source, it is possible to irradiate the inspection light with high uniformity on the light receiving surface of the inspection light of the object.

또한, 검사광의 광축과 물체의 수광면의 이루는 각을 변화시키는 입사각 가변 수단을 추가로 구비함으로써, 투영상의 상 내의 광 강도 변화율이나 두께에 불균일이 있는 층 내에 있어서의 두께의 불균일에 수반하는 광로 길이의 차를 변화시키면서 투영상의 관찰이 가능하게 되어, 보다 정밀도가 양호한 물체의 결함 검사가 가능해진다.In addition, by providing an angle of incidence varying means for varying the angle between the optical axis of the inspection light and the light receiving surface of the object, the optical path accompanying the nonuniformity of the thickness in the layer having the nonuniformity in the light intensity change rate and thickness in the projected image. Observation of the projected image is possible while changing the difference in length, and defect inspection of a more precise object is attained.

얻어진 상의 검사에 있어서는, 직접 육안 또는 카메라 등의 관찰 장치로 관찰하는 것도 가능하지만, 상을 한 번 스크린에 투영하여, 이 투영상을 관찰할 수 도 있다. 이 경우, 광원의 광의 불균일이라든가 간섭 줄무늬의 영향을 적게 할 수 있어, 미묘한 색조 이상의 검출에 적합하다. 또한, 결상 광학 수단은 상 공간측의 개구 조리개를 구비하고 있으므로, 물체측에 텔레센트릭으로 되어, 결상 광학 수단에 대한 물체의 위치가 바른 위치에서 변위되어도 투영스크린상의 상의 크기가 변화하지 않는다. 그러므로, 결상 광학 수단과 투영스크린의 위치 관계를 고정했을 때의 상의 크기가 안정되어, 조정이 용이해진다. 또한, 이 개구 조리개를 설치함으로써 결함의 콘트라스트가 향상된다.In the inspection of the obtained image, it is also possible to observe directly with an observation apparatus such as a naked eye or a camera, but the projection image can be observed by projecting the image onto the screen once. In this case, the influence of light unevenness or interference fringes of the light source can be reduced, which is suitable for detecting subtle color abnormalities. Further, since the imaging optical means has an aperture diaphragm on the image space side, it becomes telecentric on the object side, and the size of the image on the projection screen does not change even when the position of the object with respect to the imaging optical means is displaced at the correct position. Therefore, the size of the image when the positional relationship between the imaging optical means and the projection screen is fixed is stabilized, and the adjustment is easy. Moreover, the contrast of a defect improves by providing this aperture stop.

이하, 첨부 도면을 참조하여 컬러 필터를 피검사 물체의 예로서, 본 발명의 실시 형태인 물체의 결함 검사 방법 및 물체의 결함 검사 장치의 예의 몇 가지를 설명한다. 그리고, 도면의 설명에 있어서 동일한 요소에는 동일한 부호를 붙이고, 중복하는 설명을 생략한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, some examples of the defect inspection method of the object and the defect inspection apparatus of the object according to the embodiment of the present invention will be described as an example of the inspection object. In addition, in description of drawing, the same code | symbol is attached | subjected to the same element, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

(제 1 실시 형태)(1st embodiment)

도 1 은, 본 발명의 제 1 실시 형태인 컬러 필터 결함의 검사 장치의 구성도이다. 이 장치는, 평행광원을 사용하여, 검사 대상 물체인 컬러 필터의 투과광을 관찰하는 것이다. 그리고, 본 실시 형태에 있어서 컬러 필터라는 것은, 기판 상에, 예를 들면 RGB (Red, Green, Blue) 등의 착색층의 최소한 한 색을 가지는 색필터를 말하며, 이 기본적인 구성에 보호층이나 전극층이 부가된 것도 포함된다. 구체적으로는, 예를 들면 투명 기판의 위에 R, G, B 의 최소한 한 색의 층이 형성된 것, 이 기판 상에 블랙매트릭스가 형성되어, 그 사이에 RGB 컬러 필터 층이 형성된 것, 추가로 그 위에 필요에 따라서 오버 코트층이 형성된 것, 또한 이어서 그 위에 투명전극이 형성되어 있는 것, 및 그들의 구성을 기본으로 하여 추가로 부가적인 층을 가지는 것을 말한다. 또, 컬러 필터의 제조 방법으로서, 염색법, 안료 분산법, 인쇄법, 및 전착(電着) 법이 있으나, 어느 한 제조방법에 의해 제조된 컬러 필터에 대해서도 본 발명의 검사 방법 및 검사 장치는 적용 가능하다. 컬러 필터의 제조에 있어서의 각 공정의 중간 제품 및 최종 제품에 대해서도 본 발명의 검사 방법 및 검사 장치는 적용 가능하다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a block diagram of the inspection apparatus of the color filter defect which is 1st Embodiment of this invention. This apparatus observes the transmitted light of the color filter which is a test object using a parallel light source. In addition, in this embodiment, a color filter means the color filter which has at least one color of colored layers, such as RGB (Red, Green, Blue), on a board | substrate, for this basic structure is a protective layer or an electrode layer. This addition is included. Specifically, for example, a layer of at least one color of R, G, and B is formed on the transparent substrate, a black matrix is formed on the substrate, and an RGB color filter layer is formed therebetween. An overcoat layer is formed as needed on the above, then a transparent electrode is formed thereon, and it has a further additional layer based on those structures. Moreover, as a manufacturing method of a color filter, there exist a dyeing method, a pigment dispersion method, the printing method, and an electrodeposition method, but the inspection method and inspection apparatus of this invention apply also to the color filter manufactured by either manufacturing method. It is possible. The inspection method and inspection apparatus of this invention are applicable also to the intermediate | middle product and final product of each process in manufacture of a color filter.

도 1 에 나타낸 바와 같이, 이 장치는, (a) 검사 대상인 컬러 필터 (81) 에 조사하는 검사광 (L21) 을 출력하는 평행광원 (12) 과, (b) 컬러 필터 (81) 를 지지하는 동시에, 검사광 (L21) 의 광축과 컬러 필터 (81) 의 수광면과의 이루는 각을 변화시키는 입사각 가변 지지기(20) 와, (c) 검사광 (L21) 의 조사 결과 컬러 필터 (81) 를 투과하는 광 (L23) 을 집광하여, 투영광 (L25) 으로서 출사함으로써, 컬러 필터 (81) 의 실상을 상 공간에 형성하는 결상 광학 수단 (60) 과, (d) 결상 광학 수단 (60) 의 상 공간측의 초점면에 설치되어 결상 광학 수단 (60) 에 의해 집광된 광중 산란광만을 차폐하는 기능을 가지는 개구 조리개 (63) 와, (e) 개구 조리개 (63) 에 의해 산란광을 차폐하여, 직접광만으로 이루어진 검사광에 의해 형성되는 실상을 그 표면에 있어서 결상시키는 투영 스크린 (30) 과, (f) 투영 스크린 (30) 에 투영된 투영광 (L25) 의 투영상을 촬상하는 촬상기 (40) 와, (g) 촬상기 (40) 에 의한 촬상 결과를 수집하여 표시하는 동시에, 입사각 가변 지지기 (20) 에 검사광 (L21) 의 광축과 컬러 필터 (81) 의 수광면의 이루는 각을 지시하고, 또한, 결상 광학 수단 (60) 의 경통 (61) 의 위치를 경통 지지기 (64) 에 지시하는 처리부 (50) 를 구비한다.As shown in FIG. 1, this apparatus supports (a) the parallel light source 12 which outputs the inspection light L21 which irradiates the color filter 81 which is the inspection object, and (b) the color filter 81 At the same time, the incident angle variable supporter 20 for changing the angle formed between the optical axis of the inspection light L21 and the light receiving surface of the color filter 81, and (c) the irradiation result color filter 81 of the inspection light L21. Imaging optical means 60 for condensing the light L23 passing through and emitting it as projection light L25 to form the actual image of the color filter 81 in the image space, and (d) the imaging optical means 60. An aperture diaphragm 63 provided at the focal plane on the image space side of the image space and having a function of shielding only the scattered light in the light collected by the imaging optical means 60, and (e) the scattered light by the aperture diaphragm 63, Projection screen 30 for forming an image on the surface of an image formed by inspection light consisting only of direct light and (f) an image pickup device 40 for picking up the projection image of the projection light L25 projected onto the projection screen 30 and (g) an image pick-up result by the image pickup device 40, and at the same time, the incident angle The variable supporter 20 is instructed to form an angle between the optical axis of the inspection light L21 and the light receiving surface of the color filter 81, and the position of the barrel 61 of the imaging optical means 60 is changed to the barrel supporter ( And a processing unit 50 for instructing 64.

결상 광학 수단 (60) 은 결상 렌즈 (62) 와 그를 지지하는 경통 (61) 을 구비하고 있다. 이 경통 (61) 은 경통 지지기 (64) 에 의해 검사광 (L21) 이 컬러 필터 (81) 를 투과한 광의 광축 (검사광 (L21) 의 광축과 일치하고 있다) 에 대략 수직인 이동면을 따라서 이동 가능하게 지지되어 있다. 경통 (61) 의 상기 이동면상의 위치는, 전술한 바와 같이 처리부 (50) 로부터 경통 지지기 (64) 에 부여되는 지시에 따라서 결정된다.The imaging optical means 60 is provided with the imaging lens 62 and the barrel 61 which supports it. This barrel 61 is along the moving surface which is substantially perpendicular to the optical axis of the light transmitted by the barrel support 64 through the color filter 81 (coincides with the optical axis of the inspection light L21). It is supported to be movable. The position on the said moving surface of the barrel 61 is determined according to the instruction | indication given to the barrel support body 64 from the process part 50 as mentioned above.

평행광원 (12) 은, 고압 수은 램프나 크세논 램프 등의 고휘도의 점광원 (11) 과, 이 점광원 (11) 으로부터 출력된 광을 평행화하는 콜리메이터렌즈계 (13) 를 구비하고 있는 것이지만, 이것에 대신하여, 반사경 등을 사용하여 태양 광선을 이용하는 것이라도 된다.The parallel light source 12 is provided with a high brightness point light source 11 such as a high pressure mercury lamp or a xenon lamp and a collimator lens system 13 for parallelizing the light output from the point light source 11, but Instead of this, a sun beam may be used using a reflector or the like.

이와 같이 구성된 본 실시 형태의 장치는, 다음과 같이 하여 컬러 필터 결함의 검사 방법을 실행한다.The apparatus of the present embodiment configured as described above executes a method for inspecting color filter defects as follows.

먼저, 처리부 (50) 가 컬러 필터 (81) 를 지지한 입사각 가변 지지기(20)에 지시하여, 검사광의 광축과 컬러 필터 (81) 의 검사광의 수광면이 소정의 각도로 교차 (예를 들면, 직교) 하도록 설정한다.First, the processing unit 50 instructs the variable angle of incidence supporter 20 supporting the color filter 81 so that the optical axis of the inspection light and the light receiving surface of the inspection light of the color filter 81 intersect at a predetermined angle (for example, , Orthogonal).

이 상태에서, 평행광원 (12) 으로부터 출력된 검사광 (L21) 을 컬러 필터 (81) 에 조사한다. 검사광 (L21) 의 조사에 따라서 컬러 필터 (81) 를 투과한 투과광 (L23) 은, 결상 렌즈 (62) 에 의해 집광되어, 투영광 (L25) 으로서 투영 스크린 (30) 에 도달한다. 이 때, 개구 조리개 (63) 에 의해 산란광은 차폐되고 직접광만으로 상이 형성된다. (명시야상) 투영 스크린 (30) 은 컬러 필터 (81) 의 상이 가장 선명하게 되는 위치에 설치되어 있다. 이 투영상은, 컬러 필터 (81) 의 상태, 즉, 색조의 이상 등의 결함을 반영하고 있는 동시에, 간섭 줄무늬 발생이나 광원상에 의한 불균일이 저감되어 있다. 특히, 컬러 필터 (81) 표면에서 발산하는 광을 결상 광학 수단 (60) 에 의해 상 면에 집광시키므로, 결상 광학 수단 (60) 을 사용하지 않는 경우에 비하여 투영상이 선명하게 영사되므로, 미소한 이물질이나 흠집 등의 결함을 고감도로 검출할 수 있다.In this state, the inspection light L21 output from the parallel light source 12 is irradiated to the color filter 81. The transmitted light L23 transmitted through the color filter 81 in accordance with the irradiation of the inspection light L21 is collected by the imaging lens 62 and reaches the projection screen 30 as the projection light L25. At this time, the scattered light is shielded by the aperture stop 63 and an image is formed only by the direct light. (Night Viewing Image) The projection screen 30 is provided at the position where the image of the color filter 81 becomes clearest. This projected image reflects defects such as the state of the color filter 81, that is, abnormality in color tone, and the occurrence of interference fringes and nonuniformity due to the light source image are reduced. In particular, since light emitted from the surface of the color filter 81 is condensed on the image surface by the imaging optical means 60, the projection image is projected more vividly than when the imaging optical means 60 is not used. Defects such as foreign matter and scratches can be detected with high sensitivity.

이렇게 하여, 투영 스크린 (30) 에 투영된 투영상을, 촬상기 (40) 가 촬상하여, 촬상 결과를 처리부 (50) 가 수집한다. 처리부 (50) 는, 수집한 촬상 결과에 따른 화상처리결과를 표시하는 동시에, 필요에 따라서, 촬상 결과나 처리 결과의 격납 또는 인쇄를 행한다.In this way, the imaging device 40 picks up the projected image projected on the projection screen 30, and the processing part 50 collects the imaging result. The processing unit 50 displays the image processing results according to the collected imaging results, and stores or prints the imaging results and processing results as necessary.

그리고, 처리부 (50) 에 의한 표시 결과, 격납 결과, 또는 인쇄 결과에 따라서 컬러 필터 (81) 의 결함을 검출한다. 투영 스크린 (30) 에 투영된 투영상에서는, 간섭 줄무늬의 발생이나 광원상에 의한 불균일이 저감되어 있으므로, 미묘한 색조 이상 등의 결함의 판별이 가능해진다.And the defect of the color filter 81 is detected according to the display result, the storage result, or the printing result by the process part 50. As shown in FIG. In the projected image projected onto the projection screen 30, the generation of interference fringes and nonuniformity due to the light source image are reduced, so that defects such as subtle color abnormalities or the like can be discriminated.

그런데, 본 실시 형태에서는 결상 렌즈 (62) 에 직경 7.5cm 의 렌즈를 사용하고 있다. 한편, 검사 대상인 컬러 필터 (81) 의 크기는 가로 세로 모두 8cm 이상의 길이이다. 따라서, 검사광 (L21) 이 대략 평행광인 것을 고려해 보면, 결상 렌즈 (62) 에서는 컬러 필터 (81) 의 일부분밖에 투영 스크린 (30) 에 영사할 수 없다. 그래서, 이 실시 형태에서는, 결상 렌즈 (62) 를 구비한 경통 (61) 이, 투과광 (L23) 의 광축과 대략 수직인 면에 있어서 평행이동할 수 있도록 되어 있다. 경통 (61) 의 평행 이동은 경통 지지기 (64) 가 처리부 (50) 로부터의 지시를 받아 달성된다. 즉, 경통지지기 (64) 는 경통 (61) 이 투과광 (L23) 의 광축과 대략 수직인 면에 있어서 평행 이동할 수 있도록 기구를 구비하고 있으며, 이 평행 이동 기구에 의해 경통 (61) 을 주주사 (主走査) 및 부주사 (副走査) 하는 것에 의해 결과로서 컬러 필터 (81) 의 전체면을 투영 스크린 (30) 상에 영사할 수 있다.By the way, in this embodiment, the lens of diameter 7.5cm is used for the imaging lens 62. As shown in FIG. On the other hand, the magnitude | size of the color filter 81 which is a test object is 8 cm or more in length and width | variety. Therefore, considering that the inspection light L21 is substantially parallel light, only a part of the color filter 81 can be projected onto the projection screen 30 in the imaging lens 62. Therefore, in this embodiment, the barrel 61 provided with the imaging lens 62 can be moved in parallel on the surface substantially perpendicular to the optical axis of the transmitted light L23. Parallel movement of the barrel 61 is achieved by the barrel support 64 being directed from the processing unit 50. That is, the barrel support 64 is equipped with the mechanism so that the barrel 61 may move in parallel in the surface which is substantially perpendicular to the optical axis of the transmitted light L23, and this barrel movement mechanism carries out main scan ( As a result, the entire surface of the color filter 81 can be projected onto the projection screen 30 as a result of the main and sub-scanning.

그리고, 결상 렌즈 (62) 의 직경이 컬러 필터 (81) 에 대해 충분히 크면, 컬러 필터 (81) 전체의 상을 투영 스크린 (30) 에 비출 수 있어, 경통 지지기 (64) 의 평행 이동 기구는 불필요하다. 그러나, 일반적으로 결상 렌즈의 가격은 직경의 증대에 따라서 지수 함수적으로 고가로 되므로, 본 실시 형태에서는 평행 이동 기구를 채용하여 전체 코스트의 저감을 도모하고 있다.And if the diameter of the imaging lens 62 is large enough with respect to the color filter 81, the image of the whole color filter 81 can be projected on the projection screen 30, and the parallel movement mechanism of the barrel support body 64 will be It is unnecessary. However, in general, the price of the imaging lens becomes exponentially high as the diameter is increased. Therefore, in this embodiment, the parallel moving mechanism is adopted to reduce the overall cost.

본 실시 형태에서는 경통 (61) 을 평행 이동시키고 있으나, 이것에 대신하여 컬러 필터 (81) 를 입사광 (L21) 의 광축과 대략 수직인 면에 있어서 평행 이동시켜도 된다.In the present embodiment, the barrel 61 is moved in parallel. Alternatively, the color filter 81 may be moved in parallel in a plane substantially perpendicular to the optical axis of the incident light L21.

또한, 본 실시 형태에서는 촬상기 (61) 를 사용하고 있으나, 이것에 대신하여 육안으로 투영 스크린 (30) 상의 투영상을 관찰하여, 컬러 필터 (81) 의 결함을 검출하는 것도 가능하다. 이 경우에도, 투영 스크린 (30) 에 투영된 투영상에서는, 간섭 줄무늬의 발생이나 광원상에 의한 불균일이 저감되고 있으므로, 미묘한 이물질이나 흠집 등의 결함의 판별이 가능해진다.In addition, although the imaging device 61 is used in this embodiment, it is also possible to observe the projection image on the projection screen 30 visually, and to detect the defect of the color filter 81 instead of this. Also in this case, in the projection image projected onto the projection screen 30, generation of interference fringes and nonuniformity due to the light source image are reduced, so that defects such as subtle foreign matters or scratches can be discriminated.

다음에, 전술한 검사 동작이 실행되어도, 투영상 내의 결함에 따른 광강도 변화가 완만하여, 결함의 유무가 확실하지 않은 경우가 있다.Next, even when the above-described inspection operation is performed, there is a case where the light intensity change due to the defect in the projection image is gentle, and the presence or absence of the defect may not be certain.

이러한 경우에는, 처리부 (50) 로부터 입사각 가변 지지기(20) 에, 검사광 (L21) 의 광축이 컬러 필터 (81) 의 검사광 (L21) 의 수광면과 이루는 각도의 변경을 지시한다. 각도의 변형 후 또는 각도를 변경하면서, 재차, 상기의 동일하게 하여, 검사광 (L21) 을 컬러 필터 (81) 에 조사하여, 컬러 필터 (81)를 투과한 투과광 (L23) 을 투영 스크린에 투영하여 투영상을 관찰한다. 전(前)회의 관찰시와 대략 동일한 광강도 변화가 짧은 상내 거리에서 발생한 투영상이나 두께에 불균일이 있는 층 내에 있어서의 두께의 불균일에 수반하는 광로 길이의 차를 변화시킨 투영상을 관찰하게 되므로, 한층 정밀도 양호하게 결함을 검사할 수 있다.In such a case, the processing unit 50 instructs the variable angle of incidence supporter 20 to change the angle at which the optical axis of the inspection light L21 forms the light receiving surface of the inspection light L21 of the color filter 81. After changing the angle or changing the angle, the inspection light L21 is irradiated to the color filter 81 again in the same manner as described above, and the transmitted light L23 transmitted through the color filter 81 is projected onto the projection screen. Observe the projection image. Since the same light intensity change as the previous observation was observed at a short distance in the image or at the projection image in which the difference in the optical path length accompanying the nonuniformity of thickness in a layer having a nonuniform thickness is observed, The defect can be inspected more accurately.

이 경우, 컬러 필터 (81) 가 광축에 대해 경사지게 되므로, 결상 렌즈(62) 로부터 보면, 컬러 필터 (81) 까지의 거리가 동일 시야 내에서 달라지게 된다. 그러나, 결상 렌즈 (62) 의 상 공간측의 초점면에는 개구 조리개 (63)이 설치되어 있으므로, 이 광학계는 물체측에 텔레센트릭으로 되어, 그 때문에러 컬러 필터 (81) 까지의 거리의 상위에 의한 상의 크기의 변화가 없어, 관찰을 하기 쉬워 진다.In this case, since the color filter 81 is inclined with respect to the optical axis, when viewed from the imaging lens 62, the distance to the color filter 81 is changed within the same field of view. However, since the aperture diaphragm 63 is provided in the focal plane on the image space side of the imaging lens 62, this optical system becomes telecentric on the object side, and thus the difference in the distance to the color filter 81 is different. There is no change in the size of the phase due to the film, and the observation becomes easy.

(제 2 실시 형태)(2nd embodiment)

도 2 는, 본 발명의 제 2 실시 형태인 컬러 필터 결함의 검사 장치의 구성도이다. 이 장치는, 점광원을 사용하여, 컬러 필터의 투과광을 관찰하는 것이다. 도 2 에 나타낸 바와 같이, 이 장치의 구성은, 제 1 실시 형태의 장치의 평행광원 (12) 대신에 점광원 (11) 을 사용하는 점만이 상이하다. 점광원 (11) 으로서는, 고압 수은 램프나 크세논 램프 등의 고휘도 램프가 바람직하다.It is a block diagram of the inspection apparatus of the color filter defect which is 2nd Embodiment of this invention. This apparatus observes the transmitted light of a color filter using a point light source. As shown in FIG. 2, the structure of this apparatus differs only in the point of using the point light source 11 instead of the parallel light source 12 of the apparatus of 1st Embodiment. As the point light source 11, high-brightness lamps, such as a high pressure mercury lamp and a xenon lamp, are preferable.

본 실시 형태의 장치는, 다음과 같이 하여 컬러 필터 결함의 검사 방법을 실행한다.The apparatus of this embodiment performs the inspection method of a color filter defect as follows.

먼저, 처리부 (50) 가 컬러 필터 (81) 를 지지한 입사각 가변 지지기(20) 에 지시하여, 검사광의 광축과 컬러 필터 (81) 의 검사광의 수광면이 소정의 각도로 교차 (예를 들면, 직교) 하도록 설정한다.First, the processing unit 50 instructs the variable angle of incidence supporter 20 supporting the color filter 81 so that the optical axis of the inspection light and the light receiving surface of the inspection light of the color filter 81 intersect at a predetermined angle (for example, , Orthogonal).

이 상태에서, 점광원 (11) 으로부터 출력된 검사광 (L11) 을 컬러 필터 (81) 에 조사한다. 이 때, 컬러 필터 (81) 의 수광면에 있어서 단위 면적당 검사광 (L11) 의 광량은 컬러 필터 (81) 의 수광면 내의 위치에 대해 의존성이 낮은 것이 바람직하다. 이를 위해서는, 컬러 필터 (81) 의 크기에 대하여, 점광원 (11) 과 컬러 필터 (81) 와의 거리를 충분히 확보해야 한다. 발명자들이 얻은 지식에 의하면, 도 2 에 나타낸 컬러 필터 (81) 의 외측 둘레부로 진행하는 검사광 (L11) 과 검사광 (L11) 의 광축이 이루는 각 θ 이 6˚ 이하이면, 충분히 양호한 정밀도로 검사할 수 있다.In this state, the inspection light L11 output from the point light source 11 is irradiated to the color filter 81. At this time, it is preferable that the light quantity of the inspection light L11 per unit area in the light receiving surface of the color filter 81 is low in dependence on the position in the light receiving surface of the color filter 81. For this purpose, the distance between the point light source 11 and the color filter 81 should be sufficiently secured with respect to the size of the color filter 81. According to the knowledge obtained by the inventors, when the angle θ formed between the optical axis of the inspection light L11 and the inspection light L11 advancing to the outer periphery of the color filter 81 shown in FIG. can do.

검사광 (L11) 의 조사에 따라서 컬러 필터 (81) 를 투과한 투과광 (L13) 은, 결상 광학 수단 (60) 에 의해 집광되고, 초점면에 설치된 개구 조리개 (63) 에 의해 산란광을 커트한 후, 투영광 (L15) 으로 되어 투영 스크린 (30) 에 도달하고, 투과광에 의한 투영상 (명시야상) 을 형성한다. 이 투영상은, 컬러 필터 (81) 의 상태, 즉, 미소한 이물질이나 흠집 등의 결함을 반영하고 있는 동시에, 간섭 줄무늬의 발생이나 광원상에 의한 불균일은 저감된다.The transmitted light L13 transmitted through the color filter 81 in accordance with the irradiation of the inspection light L11 is collected by the imaging optical means 60, and after the scattered light is cut by the aperture stop 63 provided on the focal plane. It becomes projection light L15 and reaches | attains the projection screen 30, and forms the projection image (bright field image) by transmitted light. This projected image reflects the state of the color filter 81, that is, defects such as minute foreign matters or scratches, while reducing the occurrence of interference fringes and unevenness due to the light source image.

이 후, 제 1 실시 형태와 동일하게, 촬영상의 관찰을 행한다. 본 실시 형태에 있어서도 제 1 실시 형태와 동일하게, 투영 스크린 (30) 에 투영된 투영상에서는, 간섭 줄무늬 발생이나 광원상에 의한 불균일이 저감되므로, 미소한 이물질이나 흠집 등의 결함의 판별이 가능해진다.Thereafter, the photographing image is observed in the same manner as in the first embodiment. Also in this embodiment, in the projection image projected on the projection screen 30 similarly to the first embodiment, the generation of interference fringes and nonuniformity due to the light source image is reduced, so that defects such as minute foreign matters or scratches can be discriminated. .

그리고, 제 1 실시 형태와 동일하게, 촬상기 (40) 를 사용하지 않고, 육안으로 투영 스크린 (30) 상의 투영상을 관찰하여, 컬러 필터 (81) 의 결함을 검출하는 것이 가능하다.And similarly to 1st Embodiment, it is possible to observe the projection image on the projection screen 30 visually, without using the imaging device 40, and to detect the defect of the color filter 81. FIG.

이상의 검사 동작 결과, 투영상 내의 결함에 따른 광강도 변화가 완만하여, 결함의 유무가 확실하지 않은 경우에는, 제 1 실시 형태와 동일하게, 처리부 (50) 로부터 입사각 가변 지지기(20) 에, 검사광 (L11) 의 광축과 컬러 필터 (81) 의 검사광 (L11) 의 수광면이 이루는 각도의 변경을 지시하고, 재차, 상기와 동일하게 하여, 검사광 (L11) 을 컬러 필터 (81) 에 조사하여, 컬러 필터 (81) 를 투과한 투과광 (L13) 을 결상 광학 수단 (60) 을 통하여 투영 스크린에 투영하여 투영상을 관찰함으로써, 정밀도 양호하게 결함을 검사할 수 있다.As a result of the above inspection operation, when the light intensity change due to the defect in the projected image is gentle and the presence or absence of the defect is uncertain, the processing unit 50 to the incident angle variable supporter 20 is the same as in the first embodiment. The change of the angle formed between the optical axis of the inspection light L11 and the light receiving surface of the inspection light L11 of the color filter 81 is instructed, and the inspection light L11 is set again in the same manner as described above. The defect can be inspected with high precision by irradiating the light on the projection screen by projecting the transmitted light L13 transmitted through the color filter 81 onto the projection screen through the imaging optical means 60.

(제 3 실시 형태)(Third embodiment)

도 3 은, 본 발명의 제 3 실시 형태인 컬러 필터의 결함의 검사 장치의 구성도이다. 이 장치는, 평행광원을 사용하여, 컬러 필터의 반사광을 관찰하는 것이다. 도 3 에 나타낸 바와 같이, 이 장치는, (a) 검사 대상인 컬러 필터 (82) 에 조사하는 검사광 (L21) 을 출력하는 평행광원 (12) 과, (b) 컬러 필터 (82) 를 지지하는 동시에, 검사광 (L21) 의 광축과 컬러 필터 (82) 의 수광면이 이루는 각을 변화시키는 입사각 가변 지지기(20) 와, (c) 검사광 (L21) 의 조사의 결과 컬러 필터 (82) 에서 반사하는 광 (L22) 을 집광하여, 투영광 (L24) 으로서 출사함으로써, 컬러 필터 (82) 의 실상을 상 공간에 형성하는 결상 광학 수단 (70) 과, (d) 결상 광학 수단 (70) 의 상 공간측의 초점면에 설치되어 결상 광학 수단 (70) 에 의해 집광된 광중 산란광만을 차폐하는 기능을 가지는 개구 조리개 (73) 와, (e) 개구 조리개 (73) 에 의해 산란광을 차폐하여, 직접광만으로 이루어지는 검사광에 의해 형성되는 실상을 그 표면에 있어서 결상시키는 투영 스크린 (30) 과, (f) 투영 스크린 (30) 에 투영된 광 (L24) 으로 형성되는 투영상을 촬상하는 촬상기 (40) 와, (g) 촬상기 (40) 에 의한 촬상 결과를 수집하여 표시하는 동시에, 입사각 가변 지지기(20) 에 검사광 (L21) 의 광축과 컬러 필터 (82) 의 수광면이 이루는 각을 지시하는 처리부 (50) 를 구비한다.It is a block diagram of the inspection apparatus of the defect of the color filter which is 3rd Embodiment of this invention. This apparatus observes the reflected light of a color filter using a parallel light source. As shown in FIG. 3, this apparatus supports (a) the parallel light source 12 which outputs the inspection light L21 which irradiates the color filter 82 which is the inspection object, and (b) the color filter 82 At the same time, the incident angle variable supporter 20 which changes the angle formed by the optical axis of the inspection light L21 and the light receiving surface of the color filter 82, and (c) the color filter 82 as a result of the irradiation of the inspection light L21. Imaging optical means 70 for condensing the light L22 reflecting from the light and emitting it as projection light L24 to form the actual image of the color filter 82 in the image space, and (d) the imaging optical means 70. An aperture diaphragm 73 having a function of shielding only scattered light in the light collected by the imaging optical means 70 and shielding the scattered light by the aperture diaphragm 73 (e), Projection screen which forms an image on the surface of a real image formed by inspection light consisting only of direct light (30), (f) the imaging device 40 which captures the projection image formed with the light L24 projected on the projection screen 30, and (g) the imaging result by the imaging device 40, At the same time, the processing unit 50 instructs the angle of incidence between the optical axis of the inspection light L21 and the light receiving surface of the color filter 82 on the variable angle of incidence supporter 20.

평행광원 (12) 은, 제 1 실시 형태와 동일하게, 고압 수은 램프나 크세논 램프 등의 점광원 (11) 과 콜리메이터렌즈계 (13) 를 구비한 것이지만, 대신에, 태양광선을 이용하는 것이라도 된다. 또한, 결상 광학 수단 (70) 은, 제 1 실시 형태와 동일하게, 결상 렌즈 (72) 와 경통 (71) 을 구비하고 있으며, 이 경통 (71) 은 경통 지지기 (74) 에 의해 검사광 (L21) 이 컬러 필터 (82) 에서 반사한 광의 광축에 대략 수직인 이동면을 따라서 이동 가능하게 지지되어 있다. 경통 (71) 의 상기 이동면 상의 위치는, 처리부 (50) 로부터 경통 지지기 (74) 에 부여되는 지시에 따라서 결정된다.Similarly to the first embodiment, the parallel light source 12 includes a point light source 11 such as a high-pressure mercury lamp or a xenon lamp and a collimator lens system 13, but instead, a sun ray may be used. In addition, the imaging optical means 70 is provided with the imaging lens 72 and the barrel 71 similarly to the first embodiment, and the barrel 71 is provided with the inspection light 74 by the barrel support 74. L21 is movably supported along the moving surface approximately perpendicular to the optical axis of the light reflected by the color filter 82. The position on the said moving surface of the barrel 71 is determined according to the instruction | indication given to the barrel supporter 74 from the process part 50. FIG.

이와 같이 구성된 본 실시 형태의 장치는, 다음과 같이 하여 컬러 필터의 결함의 검사 방법을 실행한다.The apparatus of this embodiment configured as described above executes a method for inspecting a defect of a color filter as follows.

먼저, 처리부 (50) 가 컬러 필터 (82) 를 지지한 입사각 가변 지지기(20) 에 지시하여, 검사광의 광축과 컬러 필터 (82) 의 검사광의 수광면이 소정의 각도로 교차하도록 설정한다.First, the processing unit 50 instructs the variable angle of incidence supporter 20 supporting the color filter 82 to set the optical axis of the inspection light and the light receiving surface of the inspection light of the color filter 82 to cross at a predetermined angle.

이 상태에서, 평행광원 (12) 으로부터 출력된 검사광 (L21) 을 컬러 필터 (82) 에 조사한다. 검사광 (L21) 은 대략 평행광이므로, 컬러 필터 (82) 의 수광면에 있어서 단위 면적당 검사광 (L21) 의 광량의 컬러 필터 (82) 의 수광면 내의 위치에 관한 의존성이 실질적으로 존재하지 않는다.In this state, the inspection light L21 output from the parallel light source 12 is irradiated to the color filter 82. Since the inspection light L21 is substantially parallel light, there is substantially no dependency on the position in the light receiving surface of the color filter 82 of the amount of light of the inspection light L21 per unit area in the light receiving surface of the color filter 82. .

검사광 (L21) 의 조사에 따라서 컬러 필터 (82) 에서 반사된 반사광 (L22) 은, 결상 광학 수단 (70) 에 의해 집광되어, 개구 조리개 (73) 에 의해 산란광을 차폐한 후, 투영광 (L24) 으로서 투영 스크린 (30) 에 도달하여, 컬러 필터 (82) 의 투영상이 형성된다. 이 투영상은, 컬러 필터 (82) 의 상태, 즉, 미소한 이물질이나 흠집 등의 결함을 반영하고 있는 동시에, 간섭 줄무늬의 발생이나 광원상에 의한 불균일이 저감되고 있다.The reflected light L22 reflected by the color filter 82 in accordance with the irradiation of the inspection light L21 is collected by the imaging optical means 70, shields the scattered light by the aperture stop 73, and then the projection light ( It reaches | attains the projection screen 30 as L24, and the projection image of the color filter 82 is formed. The projected image reflects the state of the color filter 82, that is, defects such as minute foreign matters or scratches, and the occurrence of interference fringes and unevenness due to the light source image are reduced.

본 실시 형태에 있어서도, 컬러 필터 (82) 에 대해 결상 렌즈 (72) 가 작으므로, 경통 지지기 (74) 의 경통 이동 기구에 의해 경통 (71)을 반사광 (L22) 의 광축에 대략 수직으로 평행 이동시키고, 이로써 컬러 필터 (82) 의 전체를 투영 스크린 (30) 에 영사한다. 그리고, 경통 (71) 을 반사광 (L22) 의 광축에 대략 수직으로 평행 이동시키는 대신에, 컬러 필터 (82) 를 반사광 (L22) 의 광축에 대략 수직으로 평행 이동시켜도 된다.Also in this embodiment, since the imaging lens 72 is small with respect to the color filter 82, the barrel 71 is substantially parallel to the optical axis of the reflected light L22 by the barrel moving mechanism of the barrel support 74. And project the entirety of the color filter 82 onto the projection screen 30. And instead of moving the barrel 71 substantially perpendicularly to the optical axis of the reflected light L22, the color filter 82 may be moved substantially parallel to the optical axis of the reflected light L22.

이 후, 제 1 실시 형태와 동일하게, 촬영상의 관찰을 행한다. 본 실시 형태에 있어서도, 투영 스크린 (30) 에 투영된 투영상에서는, 간섭 줄무늬 발생이나 광원상에 의한 불균일이 저감되므로, 미소한 이물질이나 흠집 등의 결함의 판별이 가능해진다.Thereafter, the photographing image is observed in the same manner as in the first embodiment. Also in this embodiment, in the projected image projected onto the projection screen 30, the generation of interference fringes and nonuniformity due to the light source image is reduced, so that defects such as minute foreign matters or scratches can be discriminated.

그리고, 제 1 실시 형태와 동일하게, 촬상기 (40) 를 사용하지 않고, 육안으로 투영 스크린 (30) 상의 투영상을 관찰하여, 컬러 필터 (82) 의 결함을 검출하는 것이 가능하다.And it is possible to observe the projection image on the projection screen 30 visually, without using the imaging device 40, and to detect the defect of the color filter 82 similarly to 1st Embodiment.

이상의 검사 동작을 행해도, 투영상 내의 결함에 따른 광강도 변화가 지나치게 완만하여, 결함의 유무가 확실하지 않은 경우에는, 제 1 실시 형태와 동일하게 하여, 처리부 (50) 로부터 입사각 가변 지지기(20) 로, 검사광 (L21) 의 광축과 컬러 필터 (82) 의 검사광 (L21) 의 수광면과의 이루는 각도의 변경을 지시하고, 재차, 상기와 동일하게 하여, 검사광 (L21) 을 컬러 필터 (82) 에 조사하여, 컬러 필터 (82) 에서 반사된 반사광 (L22) 을 결상 광학 수단 (70) 을 통하여 투영 스크린에 투영하여 투영상을 관찰함으로써, 양호한 정밀도로 결함을 검사할 수 있다.Even if the above inspection operation is performed, when the change in the light intensity due to the defect in the projected image is too slow, and the presence or absence of the defect is not certain, it is the same as in the first embodiment, and the incident angle variable supporter ( 20, the change of the angle formed between the optical axis of the inspection light L21 and the light receiving surface of the inspection light L21 of the color filter 82 is instructed, and again, the inspection light L21 is made in the same manner as described above. By irradiating the color filter 82 and projecting the reflected light L22 reflected by the color filter 82 onto the projection screen via the imaging optical means 70, the defect can be inspected with good accuracy. .

(제 4 실시 형태)(4th embodiment)

도 4 는, 본 발명의 제 4 실시 형태인 컬러 필터의 결함의 검사 장치의 구성도이다. 이 장치는, 점광원을 사용하여, 컬러 필터의 반사광을 관찰하는 것이다. 도 4 에 나타낸 바와 같이, 이 장치의 구성은, 제 3 실시 형태의 장치의 평행광원 (12) 대신에, 점광원 (11) 을 사용하는 점만이 상이하다.It is a block diagram of the inspection apparatus of the defect of the color filter which is 4th Embodiment of this invention. This apparatus observes the reflected light of a color filter using a point light source. As shown in FIG. 4, the structure of this apparatus differs only in the point of using the point light source 11 instead of the parallel light source 12 of the apparatus of 3rd Embodiment.

이 상태에서, 점광원 (11) 으로부터 출력된 검사광 (L11) 을 컬러 필터(82)에 조사한다. 컬러 필터 (82) 의 수광면에 있어서 단위 면적당 검사광 (L11) 의 광량은 컬러 필터 (82) 의 수광면 내의 위치에 대해 의존성이 낮은 것이 바람직하다. 이를 위해서는, 컬러 필터 (82) 의 크기에 대하여, 점광원 (11) 과 컬러 필터 (82) 와의 거리를 충분히 확보해야 한다.In this state, the inspection light L11 output from the point light source 11 is irradiated to the color filter 82. It is preferable that the light quantity of the inspection light L11 per unit area in the light receiving surface of the color filter 82 is low in dependence on the position in the light receiving surface of the color filter 82. For this purpose, the distance between the point light source 11 and the color filter 82 should be sufficiently secured with respect to the size of the color filter 82.

검사광 (L11) 의 조사에 따라서 컬러 필터 (82) 에서 반사된 반사광 (L12) 은, 결상 광학 수단 (70) 으로 집광되어, 개구 조리개 (73) 에 의해 산란광을 차폐한 후, 투영광 (L14) 으로서 투영 스크린 (30) 에 도달하여, 반사광에 의한 투영상을 형성한다. 이 투영상은, 컬러 필터 (82) 의 상태, 즉, 미소한 이물질이나 흠집 등의 결함을 반영하고 있는 동시에, 간섭 줄무늬의 발생이나 광원상에 의한 불균일이 저감된다.The reflected light L12 reflected by the color filter 82 in accordance with the irradiation of the inspection light L11 is collected by the imaging optical means 70 and shielded the scattered light by the aperture stop 73, and then the projection light L14. ), The projection screen 30 is reached to form a projection image by the reflected light. This projection image reflects the state of the color filter 82, that is, defects such as minute foreign matter and scratches, and reduces the occurrence of interference fringes and unevenness due to the light source image.

이 후, 제 3 실시 형태와 동일하게 하여, 투영상의 관찰을 행한다. 본 실시 형태에 있어서도, 제 3 실시 형태와 동일하게, 투영 스크린 (30) 에 투영된 투영상에서는, 간섭 줄무늬의 발생이나 광원상에 의한 불균일이 저감되므로, 미소한 이물질이나 흠집 등의 결함의 판별이 가능해진다.Thereafter, the projection image is observed in the same manner as in the third embodiment. Also in this embodiment, similarly to the third embodiment, in the projection image projected onto the projection screen 30, the generation of interference fringes and nonuniformity due to the light source image is reduced, so that the determination of defects such as minute foreign matters or scratches is difficult. It becomes possible.

그리고, 제 3 실시 형태와 동일하게, 촬상기 (40) 를 사용하지 않고, 육안으로 투영 스크린 (30) 상의 투영상을 관찰하여, 컬러 필터 (82) 의 결함을 검출하는 것이 가능하다.And similarly to 3rd Embodiment, it is possible to observe the projection image on the projection screen 30 visually, without using the imaging device 40, and to detect the defect of the color filter 82.

이상의 검사 동작 결과, 투영상 내의 결함에 따른 광강도 변화가 완만하여, 결함의 유무가 확실하지 않은 경우에는, 제 3 실시 형태와 동일하게 하여, 처리부 (50) 로부터 입사각 가변 지지기 (20) 로, 검사광 (L11) 의 광축과 컬러 필터 (82) 의 검사광 (L11) 의 수광면이 이루는 각도의 변경을 지시하고, 재차, 상기와 동일하게, 검사광 (L11) 을 컬러 필터 (82) 에 조사하여, 컬러 필터 (82)에서 반사된 반사광 (L12) 을 결상 광학 수단 (70) 을 통하여 투영 스크린에 투영하여 투영상을 관찰함으로써, 정밀도 양호하게 결함을 검사할 수 있다.As a result of the above inspection operation, when the light intensity change due to the defect in the projected image is moderate and the presence or absence of the defect is not certain, it is the same as in the third embodiment, from the processing unit 50 to the incident angle variable supporter 20. The change of the angle formed between the optical axis of the inspection light L11 and the light receiving surface of the inspection light L11 of the color filter 82 is instructed, and again, the inspection light L11 is changed to the color filter 82 in the same manner as described above. The defect can be inspected with high precision by irradiating the light on the projection screen by projecting the reflected light L12 reflected by the color filter 82 onto the projection screen through the imaging optical means 70.

(제 5 실시 형태)(5th embodiment)

도 5 는, 본 발명의 제 5 실시 형태인 컬러 필터 결함의 검사 장치의 구성도이다. 이 장치는, 평행광원을 사용하여, 검사 대상 물체인 컬러 필터의 투과광을 관찰하는 것이다.It is a block diagram of the inspection apparatus of the color filter defect which is 5th Embodiment of this invention. This apparatus observes the transmitted light of the color filter which is a test object using a parallel light source.

그리고, 제 1 ∼ 제 4 실시 형태의 장치가 개구 조리개에 의해 산란광을 커트하여 명시야상을 관찰하는 것임에 대하여, 이 장치 및 후술하는 제 6 ∼ 제 8 의 실시 형태의 장치는, 암시야상을 관찰하는 것이다.And while the apparatus of 1st-4th embodiment cuts scattered light by an aperture stop and observes a bright field image, this apparatus and the apparatus of 6th-8th embodiment mentioned later observe a dark field image It is.

도 5 에 나타낸 바와 같이, 이 장치는, (a) 검사 대상인 컬러 필터 (810) 에 조사하는 검사광 (L31) 을 출력하는 평행광원 (120) 과, (b) 컬러 필터 (810) 를 지지하는 동시에, 검사광 (L31) 의 광축과 컬러 필터 (810) 의 수광면이 이루는 각을 변화시키는 입사각 가변 지지기(200) 와, (c) 검사광 (L31) 의 조사의 결과 컬러 필터 (810) 를 투과하는 광 (L33) 을 집광하여, 투영광 (L35) 으로서 출사함으로써, 컬러 필터 (810) 의 실상을 상 공간에 형성하는 결상 광학 수단 (600) 과, (d) 결상 광학 수단 (600) 의 상 공간측의 초점면에 설치되어 결상 광학 수단 (600) 에 의해 집광된 광 중에서 직접광과 영차의 회절광만을 차폐하는 기능을 가지는 개구 조리개 (630) 와, (e) 개구 조리개 (630) 에 의해 직접광과 영차의 회절광을 차폐하여, 산란광만으로 이루어진 검사광에 의해 형성되는 실상을 그 표면에 있어서 결상시키는 투영 스크린 (300) 과, (f) 투영 스크린 (300) 에 투영된 투영광 (L35) 의 투영상을 촬상하는 촬상기 (400) 와, (g) 촬상기 (400) 에 의한 촬상 결과를 수집하여 표시하는 동시에, 입사각 가변 지지기(200) 에 검사광 (L31) 의 광축과 컬러 필터 (810) 의 수광면의 이루는 각을 지시하고, 또한 결상 광학 수단 (600) 의 경통 (610) 의 위치를 경통 지지기 (640) 에 지시하는 처리부 (500) 를 구비한다.As shown in FIG. 5, this apparatus supports (a) the parallel light source 120 which outputs the inspection light L31 which irradiates the color filter 810 which is a test target, and (b) the color filter 810. At the same time, the incident angle variable supporter 200 which changes the angle formed between the optical axis of the inspection light L31 and the light receiving surface of the color filter 810, and (c) the color filter 810 as a result of the irradiation of the inspection light L31. Imaging optical means 600 for condensing the light L33 passing through and emitting it as projection light L35 to form the actual image of the color filter 810 in the image space, and (d) the imaging optical means 600. In the aperture diaphragm 630 and (e) the aperture diaphragm which are provided in the focal plane on the image space side of the lens and have a function of shielding only the direct light and the diffracted light of the zero difference among the light collected by the imaging optical means 600. Real image formed by inspection light composed of only scattered light by shielding direct light and diffracted light of zero order An imager 400 for imaging the projection screen 300 to form an image on the surface, (f) the projection image of the projection light L35 projected onto the projection screen 300, and (g) the imager 400 Captures and displays the imaging results, and instructs the variable angle of incidence supporter 200 to instruct the angle between the optical axis of the inspection light L31 and the light receiving surface of the color filter 810, The processing part 500 which instruct | indicates the position of the barrel 610 to the barrel supporter 640 is provided.

결상 광학 수단 (600) 은 결상 렌즈 (620)를 가지는 경통 (610) 을 구비하고 있다. 또한, 이 경통 (610) 은 결상 렌즈 (620) 의 상 공간측의 초점면에, 직접광과 영차의 회절광을 차폐하는 차폐판 (650) 과, 개구 조리개 (630)을 구비하고 있다. 이 경통 (610) 은 경통 지지기 (640) 에 의해 검사광 (L31) 이 컬러 필터 (810) 를 투과한 광의 광축 (검사광 (L31) 의 광축과 일치하고 있다) 에 대략 수직인 이동면을 따라서 이동 가능하게 지지되어 있다. 경통 (610) 의 상기 이동면상의 위치는, 전술한 바와 같이 처리부 (500) 로부터 경통 지지기 (640) 에 부여되는 지시에 따라서 결정된다.The imaging optical means 600 has a barrel 610 having an imaging lens 620. Moreover, this barrel 610 is provided with the shielding plate 650 which shields direct light and the diffraction light of zero order, and the aperture stop 630 in the focal plane of the imaging lens 620 on the image space side. This barrel 610 is along the moving surface approximately perpendicular to the optical axis of the light transmitted by the barrel support 640 through the color filter 810 (coincides with the optical axis of the inspection light L31). It is supported to be movable. The position on the said moving surface of the barrel 610 is determined according to the instruction | indication given to the barrel supporter 640 from the process part 500 as mentioned above.

평행광원 (120) 은, 고압 수은 램프나 크세논 램프 등의 고휘도의 점광원 (110) 과, 이 점광원 (110) 으로부터 출력된 광을 평행화하는 콜리메이터렌즈계 (121) 를 구비하고 있지만, 대신에, 반사경 등을 사용하여 태양광선을 이용하는 것이라도 된다.The parallel light source 120 includes a high-brightness point light source 110 such as a high-pressure mercury lamp or a xenon lamp and a collimator lens system 121 for parallelizing the light output from the point light source 110, but instead Or a sunbeam may be used using a reflector or the like.

먼저, 처리부 (500) 가 컬러 필터 (810) 를 지지하는 입사각 가변 지지기 (200) 에 지시하여, 검사광의 광축과 컬러 필터 (810) 의 검사광의 수광면이 소정의 각도로 교차 (예를 들면, 직교) 하도록 설정한다.First, the processing unit 500 instructs the incident angle variable supporter 200 supporting the color filter 810 so that the optical axis of the inspection light and the light receiving surface of the inspection light of the color filter 810 cross each other at a predetermined angle (for example, , Orthogonal).

이 상태에서, 평행광원 (120) 으로부터 출력된 검사광 (L31) 을 컬러 필터 (810) 에 조사한다. 이 때, 검사광 (L31) 은 대략 평행광이므로, 컬러 필터 (810) 의 수광면에 있어서 단위 면적당 검사광 (L31) 의 광량의 컬러 필터 (810) 의 수광면 내의 위치에 관한 의존성이 실질적으로 존재하지 않는다.In this state, the inspection light L31 output from the parallel light source 120 is irradiated to the color filter 810. At this time, since the inspection light L31 is substantially parallel light, the dependency on the position in the light receiving surface of the color filter 810 of the amount of light of the inspection light L31 per unit area in the light receiving surface of the color filter 810 is substantially does not exist.

검사광 (L31) 의 조사에 따라서 컬러 필터 (810) 를 투과한 투과광 (L33) 은, 결상 광학 수단 (600) 에 의해 집광되고, 차폐판 (650) 에 의해 직접광이 차폐되어 산란광만이 개구 조리개 (630) 를 통과하여 투영광 (L35) 으로서 투영 스크린 (300) 에 도달한다. 투영 스크린 (300)은 컬러 필터 (810) 의 실상이 형성되는 위치에 배치되어 있으므로, 투영 스크린 (300) 상에는 선명한 컬러 필터 (810) 의 상이 영사된다. 이 투영상은, 컬러 필터 (810) 의 상태, 즉, 색조의 이상 등의 결함을 반영하고 있는 동시에, 간섭 줄무늬의 발생이나 광원상에 의한 불균일이 저감되고 있다. 특히, 컬러 필터 (810) 표면에서 발산하는 광을 결상 렌즈 (620) 에 의해 상 면에 집광시키므로, 결상 렌즈를 사용하지 않는 경우에 비하여 투영상이 선명하게 영사된다.The transmitted light L33 transmitted through the color filter 810 in accordance with the irradiation of the inspection light L31 is collected by the imaging optical means 600, and the direct light is shielded by the shielding plate 650 so that only the scattered light is aperture aperture. Pass 630 to reach the projection screen 300 as projection light L35. Since the projection screen 300 is disposed at the position where the actual image of the color filter 810 is formed, the image of the vivid color filter 810 is projected onto the projection screen 300. This projected image reflects defects such as the state of the color filter 810, that is, abnormality in color tone, and the occurrence of interference fringes and unevenness due to the light source image are reduced. In particular, since light emitted from the surface of the color filter 810 is condensed on the image surface by the imaging lens 620, the projected image is projected more clearly than when the imaging lens is not used.

결상 렌즈 (620) 의 상 공간측의 초점면에는 직접광 및 영차의 회절광을 차폐하기 위한 차폐판 (650)이 설치되어 있으므로, 투영 스크린 (300) 상의 상은 암시야상으로 되고, 직접 관찰이나 명시야상의 관찰로는 알아볼 수 없는 매우 미묘한 색조 이상이나 미소한 흠집이라도 검출할 수 있다. 차폐판 (650) 은 도시를 생략한 복수의 와이어에 의해 개구 조리개 (630) 에 이격 고정되어 있다.Since a shielding plate 650 for shielding direct light and diffracted light of zero order is provided on the focal plane on the image space side of the imaging lens 620, the image on the projection screen 300 becomes a dark field image and is directly observed or a bright field image. Even a very subtle color tone abnormality or a minute scratch can be detected. The shield plate 650 is fixed to the aperture stop 630 by a plurality of wires (not shown).

또한, 결상 렌즈 (620) 의 상 공간측의 초점면에는 경통 (610) 이 설치되어 있으므로, 이 광학계는 물체측에 텔레센트릭으로되어 있다. 그러므로, 컬러 필터 (810) 까지의 거리의 상위에 의한 상의 크기의 변화가 없다. 따라서, 예를 들면, 컬러 필터 (810) 의 광축에 대한 각도가 변경되어, 컬러 필터 (810) 와 결상 광학 수단 (600) 과의 거리가 장소에 따라 상이해도 상의 크기가 변화하지 않아, 관찰을 하기 쉬워진다.Moreover, since the barrel 610 is provided in the focal plane on the image space side of the imaging lens 620, this optical system is telecentric on the object side. Therefore, there is no change in the size of the image due to the difference in distance to the color filter 810. Thus, for example, the angle with respect to the optical axis of the color filter 810 is changed, so that the size of the image does not change even if the distance between the color filter 810 and the imaging optical means 600 varies depending on the place, and observation is performed. It becomes easy to do it.

그리고, 본 실시 형태의 차폐판 (650) 은, 직접광 및 영차의 회절광만을 차폐하는 것이지만, 이것에 더하여 1 차의 회절광이나 또한 고차의 회절광을 차폐하는 것이라도 된다. 도 6 은, 영차만이 아닌 1 차의 회절광도 차폐하는 경우의 예를 나타내는 개략 구성도이다. 결상 렌즈 (620) 의 상 공간측의 초점면에는 개구 조리개 (630) 과 차폐판 (650) 외에, 개구 조리개 (630) 의 내측에 있어서 차폐판 (650) 을 에워싸도록 1 차의 회절광 차폐판 (670) 이 설치되어 있다.In addition, although the shielding plate 650 of this embodiment shields only direct light and zero order diffraction light, in addition to this, the shielding plate 650 may also shield the first order diffraction light and the higher order diffraction light. 6 is a schematic configuration diagram showing an example of shielding not only the zero difference but also the primary diffracted light. Primary diffraction light shielding on the focal plane on the image space side of the imaging lens 620 so as to surround the shield plate 650 inside the aperture stop 630, in addition to the aperture stop 630 and the shield plate 650. Plate 670 is installed.

이와 같이 하면, 암시야의 상태가 한층 진전되고 추가로 색조 이상의 검출이 가능해진다.In this way, the state of the dark field is further advanced, and the color tone abnormality can be detected further.

또한, 개구조리개 (630) 와 차폐판 (650) 에 대신하여, 1 또는 2 이상의 개구를 가지는 조리개판을 사용할 수 있다. 이 경우, 각 개구가 모두 결상 렌즈 (620) 의 광축으로부터 변위되도록 형성되는 것이 필요하다.In addition, in place of the aperture stop 630 and the shield plate 650, an aperture stop plate having one or two or more openings can be used. In this case, it is necessary that all the openings are formed so as to be displaced from the optical axis of the imaging lens 620.

이렇게 하여, 투영 스크린 (300) 에 투영된 투영상을, 촬상기 (400) 가 촬상하여, 촬상 결과를 처리부 (500) 가 수집한다. 처리부 (500) 는, 수집한 촬상 결과에 따른 화상처리결과를 표시하는 동시에, 필요에 따라서, 촬상 결과나 처리 결과의 격납 혹은 인쇄를 행한다.In this way, the imaging device 400 picks up the projected image projected on the projection screen 300, and the processing part 500 collects the imaging result. The processing unit 500 displays the image processing results according to the collected imaging results, and stores or prints the imaging results and processing results as necessary.

그리고, 처리부 (500) 에 의한 표시 결과, 격납 결과, 또는 인쇄 결과에 따라서 컬러 필터 (810) 의 결함을 검출한다. 투영 스크린 (300) 에 투영된 투영상에서는, 간섭 줄무늬의 발생이나 광원상에 의한 불균일이 저감되어 있으므로, 미묘한 색조 이상 등의 결함의 판별이 가능해진다.And the defect of the color filter 810 is detected according to the display result, the storage result, or the printing result by the process part 500. FIG. In the projected image projected onto the projection screen 300, generation of interference fringes and nonuniformity due to the light source image are reduced, so that defects such as subtle color abnormalities or the like can be discriminated.

그런데, 본 실시예에서는 결상 렌즈 (620) 에 직경 7.5cm 의 렌즈를 사용하고 있다. 한편, 검사 대상인 컬러 필터 (810) 의 크기는 가로 세로 모두 8cm 이상의 길이이다. 따라서, 검사광 (L31) 이 평행광에 가까운 발산광인 것을 고려해 보면, 결상 렌즈 (620) 에서는 컬러 필터 (810) 의 일부분밖에 투영스크린 (300) 에 영사될 수 없다. 그래서, 이 실시 형태에서는, 결상 렌즈 (620) 를 구비한 경통 (610) 이 투과광 (L33) 의 광축과 대략 수직인 면에 있어서 평행이동할 수 있도록 되어 있다. 경통 (610) 의 평행 이동은 경통 지지기 (640) 가 처리부 (500) 로부터의 지시를 받아 달성된다. 즉, 경통 지지기 (640) 는 경통 (610) 이 투과광 (L33) 의 광축과 대략 수직인 면에 있어서 평행 이동할 수 있도록 기구를 구비하고 있으며, 이 평행 이동 기구에 의해 경통 (610) 을 주주사 및 부주사하는 것에 의해 결과로서 컬러 필터 (810) 의 전체면을 투영 스크린 (300) 상에 영사할 수 있다.By the way, in the present embodiment, a lens having a diameter of 7.5 cm is used for the imaging lens 620. On the other hand, the size of the color filter 810 to be inspected is at least 8 cm in length and width. Therefore, considering that the inspection light L31 is a diverging light close to parallel light, only a portion of the color filter 810 can be projected onto the projection screen 300 in the imaging lens 620. Therefore, in this embodiment, the barrel 610 provided with the imaging lens 620 can be moved in parallel on the surface substantially perpendicular to the optical axis of the transmitted light L33. Parallel movement of the barrel 610 is achieved by the barrel support 640 receiving instructions from the processing unit 500. That is, the barrel supporter 640 is provided with the mechanism so that the barrel 610 may move in parallel in the surface which is substantially perpendicular to the optical axis of the transmitted light L33, and the barrel 610 is main-scanned by this parallel movement mechanism. By subscanning, the entire surface of the color filter 810 can be projected onto the projection screen 300 as a result.

그리고, 결상 렌즈 (620) 의 직경이 컬러 필터 (810) 에 대해 충분히 크면, 컬러 필터 (810) 전체의 상을 투영 스크린 (300) 에 비출 수 있고, 경통 지지기 (640) 의 평행 이동 기구는 불필요하다. 그러나, 일반적으로 결상 렌즈의 가격은 직경의 증대에 따라서 지수 함수적으로 고가로 되므로, 본 실시 형태에서는 평행 이동 기구를 채용하여 전체 코스트의 저감을 도모하고 있다.And if the diameter of the imaging lens 620 is large enough with respect to the color filter 810, the image of the whole color filter 810 may be projected on the projection screen 300, and the parallel movement mechanism of the barrel supporter 640 will be It is unnecessary. However, in general, the price of the imaging lens becomes exponentially high as the diameter is increased. Therefore, in this embodiment, the parallel moving mechanism is adopted to reduce the overall cost.

본 실시 형태에서는 경통 (610) 을 평행 이동시키고 있으나, 이것에 대신하여 컬러 필터 (810) 를 투과광 (L33) 의 광축과 대략 수직인 면에 있어서 평행이동시켜도 된다.In the present embodiment, the barrel 610 is moved in parallel. Alternatively, the color filter 810 may be moved in parallel in a plane substantially perpendicular to the optical axis of the transmitted light L33.

본 실시 형태에서는 촬상기 (400) 를 사용하고 있으나, 이것에 대신하여, 육안으로 투영 스크린 (300) 상의 투영상을 관찰하여, 컬러 필터 (810) 의 결함을 검출하는 것도 가능하다. 이 경우에도, 투영 스크린 (300) 에 투영된 투영상에서는, 간섭 줄무늬 발생이나 광원상에 의한 불균일이 저감되고 있으므로, 미묘한 색조 이상 등의 결함의 판별이 가능해진다.In this embodiment, although the imaging device 400 is used, it is also possible to observe the projection image on the projection screen 300 visually, and to detect the defect of the color filter 810 instead of this. Also in this case, in the projected image projected onto the projection screen 300, interference fringe generation and nonuniformity due to the light source image are reduced, so that defects such as subtle color tone abnormalities and the like can be discriminated.

다음에, 전술한 검사 동작이 실행되어도, 투영상 내의 광 강도 변화가 완만하여, 결함의 유무가 확실하지 않은 경우가 있다.Next, even when the inspection operation described above is executed, the light intensity change in the projected image may be moderate, and the presence or absence of a defect may not be certain.

이러한 경우에는, 처리부 (500) 로부터 입사각 가변 지지기 (200) 에, 검사광 (L31) 의 광축과 컬러 필터 (810) 의 검사광 (L31) 의 수광면과의 이루는 각도의 변경을 지시한다. 각도의 변경 후 또는 각도를 변경하면서, 재차, 상기와 동일하게 하여, 검사광 (L31) 을 컬러 필터 (810) 에 조사하여, 컬러 필터 (810) 를 투과한 투과광 (L33) 을 투영 스크린에 투영하여 투영상을 관찰한다. 전 회의 관찰일 때와 대략 동일한 광강도 변화가 짧은 상 내 거리에서 발생한 투영상이나, 두께에 불균일이 있는 층 내에 있어서의 두께의 불균일에 수반하는 광로 길이의 차를 변화시킨 투영상을 관찰하게 되므로, 한층 정밀도 양호하게 결함을 검사할 수 있다.In this case, the processing unit 500 instructs the variable angle of incidence supporter 200 to change the angle formed between the optical axis of the inspection light L31 and the light receiving surface of the inspection light L31 of the color filter 810. After changing the angle or changing the angle, the inspection light L31 is irradiated to the color filter 810 again in the same manner as above, and the transmitted light L33 transmitted through the color filter 810 is projected onto the projection screen. Observe the projection image. Since the same light intensity change as in the previous observation is observed at a short distance in the image, or a projection image in which the difference in the optical path length accompanying the nonuniformity of thickness in a layer having a nonuniform thickness is observed, The defect can be inspected more accurately.

이 경우, 컬러 필터 (810)가 광축에 대해 경사지게 되므로, 결상 광학 수단 (600) 에서 보면, 컬러 필터 (810) 까지의 거리가 동일 시야 내에 있어서 상이하게 된다. 그러나, 결상 광학 수단 (600) 의 상 공간측의 초점면에는 개구 조리개 (630) 이 설치되어 있으므로, 이 광학계는 물체측에 텔레센트릭으로 되고, 그 때문에, 컬러 필터 (810) 까지의 거리의 상위에 인한 상의 크기의 변화가 없어, 관찰을 하기 쉽다.In this case, since the color filter 810 is inclined with respect to the optical axis, when viewed from the imaging optical means 600, the distances to the color filter 810 are different in the same field of view. However, since the aperture diaphragm 630 is provided in the focal plane on the image space side of the imaging optical means 600, this optical system becomes telecentric on the object side, and hence the distance to the color filter 810 There is no change in the size of the image due to the difference and is easy to observe.

(제 6 실시 형태)(6th Embodiment)

도 7 은, 본 발명의 제 6 실시 형태인 컬러 필터 결함의 검사 장치의 구성도이다. 이 장치는, 점광원을 사용하여, 컬러 필터의 투과광을 관찰하는 것이다. 도 7 에 나타낸 바와 같이, 이 장치의 구성은, 제 5 실시 형태의 장치의 평행광원 (120) 대신에, 점광원 (110) 을 사용하는 점만이 상이하다. 점광원 (110) 으로서는, 고압 수은 램프나 크세논 램프 등의 고휘도 램프가 바람직하다.It is a block diagram of the inspection apparatus of the color filter defect which is 6th Embodiment of this invention. This apparatus observes the transmitted light of a color filter using a point light source. As shown in FIG. 7, the structure of this apparatus differs only in using the point light source 110 instead of the parallel light source 120 of the apparatus of 5th Embodiment. As the point light source 110, high-brightness lamps, such as a high pressure mercury lamp and a xenon lamp, are preferable.

먼저, 처리부 (500) 가 컬러 필터 (810) 를 지지한 입사각 가변 지지기 (200) 에 지시하여, 검사광의 광축과 컬러 필터 (810) 의 검사광의 수광면이 소정의 각도로 교차 (예를 들면, 직교) 하도록 설정한다.First, the processing unit 500 instructs the incident angle variable supporter 200 that supports the color filter 810 so that the optical axis of the inspection light and the light receiving surface of the inspection light of the color filter 810 intersect at a predetermined angle (for example, , Orthogonal).

이 상태에서, 점광원 (110) 으로부터 출력된 검사광 (L41) 을 컬러 필터 (810) 에 조사한다. 이 때, 컬러 필터 (810) 의 수광면에 있어서의 단위 면적당의 검사광 (L41) 의 광량의 컬러 필터 (810) 의 수광면 내의 위치에 관한 의존성이 낮은 것이 바람직하다. 이를 위해서는, 컬러 필터 (810)의 크기에 대해, 점광원 (110) 과 컬러 필터 (810) 와의 거리를 충분히 확보한다. 발명자들이 얻은 지견에 의하면, 도 7 에 나타낸 컬러 필터 (810) 의 외측 주변부에 전진하는 검사광 (L41) 과 검사광 (L41) 의 광축이 이루는 각 θ 이 6 ˚ 이하이면, 충분히 양호한 정밀도로 검사가 가능하다.In this state, the inspection light L41 output from the point light source 110 is irradiated to the color filter 810. At this time, it is preferable that the dependence on the position in the light receiving surface of the color filter 810 of the light quantity of the inspection light L41 per unit area in the light receiving surface of the color filter 810 is low. To this end, the distance between the point light source 110 and the color filter 810 is sufficiently secured with respect to the size of the color filter 810. According to the findings obtained by the inventors, the inspection is performed with sufficiently good accuracy if the angle θ formed by the optical axis of the inspection light L41 and the inspection light L41 advancing to the outer periphery of the color filter 810 shown in FIG. 7 is 6 degrees or less. Is possible.

검사광 (L41) 의 조사에 응하여 컬러 필터 (810) 를 투과한 투과광 (L43) 은, 결상 광학 수단 (600) 에 의해 집광되고, 차폐판 (650) 및 개구 조리개 (630) 에 의해 직접광 및 영차 회절광이 제거된 투영광 (L45) 으로 되어 투영 스크린 (300) 에 도달하여, 투과광에 의한 투영상을 형성한다. 이 투영상은, 컬러 필터 (810) 의 상태, 즉, 색조 이상 등의 결함을 반영하고 있는 동시에, 간섭 줄무늬의 발생이나 광원상에 의한 불균일이 저감되고 있다.The transmitted light L43 that has passed through the color filter 810 in response to the irradiation of the inspection light L41 is collected by the imaging optical means 600, and the direct light and the zero difference by the shield plate 650 and the aperture stop 630. It becomes the projection light L45 from which the diffracted light was removed, reaches the projection screen 300, and forms the projection image by transmitted light. This projected image reflects defects such as the state of the color filter 810, that is, abnormal color tone, and the occurrence of interference fringes and unevenness due to the light source image are reduced.

이후, 제 5 실시 형태와 동일하게 하여, 투영상의 관찰을 행한다. 본 실시 형태에 있어서도 제 1 실시 형태와 동일하게 혹은 그 이상으로, 투영 스크린 (300) 에 투영된 투영상에서는, 간섭 줄무늬의 발생이나 광원상에 의한 불균일이 저감하고 있으므로, 미묘한 색조 이상 등의 결함의 판별이 가능해진다.Thereafter, the projection image is observed in the same manner as in the fifth embodiment. Also in this embodiment, in the projection image projected on the projection screen 300 in the same or more than the first embodiment, the generation of interference fringes and nonuniformity due to the light source image are reduced, so that defects such as subtle color abnormalities or the like are reduced. Discrimination is possible.

그리고, 제 5 실시 형태와 동일하게, 촬상기 (400) 를 사용하지 않고, 육안으로 투영 스크린 (300) 상의 투영상을 관찰하여, 컬러 필터 (810) 의 결함을 검출하는 것이 가능하다.And similarly to 5th Embodiment, it is possible to observe the projection image on the projection screen 300 visually, without using the imaging device 400, and to detect the defect of the color filter 810. FIG.

이상의 검사 동작 결과, 투영상 내의 광강도 변화가 완만하여, 결함의 유무가 확실하지 않은 경우에는, 제 1 실시 형태와 동일하게 하여, 처리부 (500) 로부터 입사각 가변 지지기(200) 에, 검사광 (L41) 의 광축과 컬러 필터 (810) 의 검사광 (L41) 의 수광면의 이루는 각도의 변경을 지시하고, 재차, 상기와 동일하게 하여, 검사광 (L41) 을 컬러 필터 (810) 에 조사하여, 컬러 필터 (810) 를 투과한 투과광 (L43) 을 결상 광학 수단 (600) 을 통하여 투영 스크린에 투영하여 투영상을 관찰함으로써, 정밀도 양호하게 결함을 검사할 수 있다.As a result of the above inspection operation, when the change in the light intensity in the projected image is gentle and the presence or absence of a defect is uncertain, the inspection light is changed from the processing unit 500 to the incident angle variable supporter 200 in the same manner as in the first embodiment. The change of the angle between the optical axis of L41 and the light receiving surface of the inspection light L41 of the color filter 810 is instructed, and the inspection light L41 is irradiated to the color filter 810 again in the same manner as described above. The defect can be inspected with high accuracy by projecting the transmitted light L43 transmitted through the color filter 810 onto the projection screen through the imaging optical means 600 and observing the projection image.

(제 7 실시 형태)(7th Embodiment)

도 8 은, 본 발명의 제 7 실시 형태인 컬러 필터의 결함의 검사 장치의 구성도이다. 이 장치는, 평행광원을 사용하여, 컬러 필터의 반사광을 관찰하는 것이다. 도 8 에 나타낸 바와 같이, 이 장치는, (a) 검사 대상인 컬러 필터 (820) 에 조사하는 검사광 (L31) 을 출력하는 평행광원 (120) 과, (b) 컬러 필터 (820) 를 지지하는 동시에, 검사광 (L31) 의 광축과 컬러 필터 (820) 의 수광면과의 이루는 각을 변화시키는 입사각 가변 지지기(200) 와, (c) 검사광 (L31) 의 조사 결과 컬러 필터 (820) 에서 반사하는 광 (L32) 을 집광하여, 투영광 (L34) 으로서 출사함으로써, 컬러 필터 (820) 의 실상을 상 공간에 형성하는 결상 광학 수단 (700) 과, (d) 결상 광학 수단 (700) 의 상 공간측의 초점면에 설치되어 결상 광학 수단 (700) 에 의해 집광된 광 중에서 직접광과 영차의 회절광만을 차폐하는 기능을 가지는 개구 조리개 (730) 와, (e) 개구 조리개 (730) 에 의해 직접광과 영차의 회절광을 차폐하여, 산란광만으로 이루어지는 검사광에 의해 형성되는 실상을 그 표면에 있어서 결상시키는 투영 스크린(300) 과, (f) 투영 스크린 (300) 에 투영된 광 (L34) 으로 형성되는 투영상을 촬상하는 촬상기 (400) 와, (g) 촬상기 (400) 에 의한 촬상 결과를 수집하여 표시하는 동시에, 입사각 가변 지지기(200) 에 검사광 (L31) 의 광축과 컬러 필터 (820) 의 수광면이 이루는 각을 지시하는 처리부 (500) 를 구비한다.It is a block diagram of the inspection apparatus of the defect of the color filter which is 7th Embodiment of this invention. This apparatus observes the reflected light of a color filter using a parallel light source. As shown in FIG. 8, this apparatus supports (a) the parallel light source 120 which outputs the inspection light L31 which irradiates the color filter 820 which is a test object, and (b) the color filter 820. At the same time, the incident angle variable supporter 200 which changes the angle formed between the optical axis of the inspection light L31 and the light receiving surface of the color filter 820, and (c) the color filter 820 as a result of the irradiation of the inspection light L31. Imaging optical means 700 for condensing the light L32 reflected by light and emitting it as projection light L34 to form the actual image of the color filter 820 in the image space, and (d) the imaging optical means 700. In the aperture diaphragm 730 and (e) the aperture diaphragm 730 which are provided in the focal plane on the image space side and have a function of shielding only direct light and diffraction light of zero order among the light collected by the imaging optical means 700. Formed by inspection light composed of only scattered light by shielding direct light and diffracted light of zero order (F) an imager 400 for picking up a projection image to form an image on its surface, (f) a projection image formed of light L34 projected onto the projection screen 300, and (g) an imager A processing unit 500 is provided which collects and displays the imaging results by the 400 and indicates an angle between the optical axis of the inspection light L31 and the light receiving surface of the color filter 820 on the incident angle variable supporter 200. do.

평행광원 (120)은, 제 5 실시 형태와 동일하게, 고압 수은 램프나 크세논 램프 등의 점광원 (110) 과 콜리메이터렌즈계 (121) 를 구비한 것이지만, 이것에 대신하여, 태양광선을 이용하는 것이라도 된다. 또, 결상 광학 수단 (700) 은, 제 1 실시 형태와 동일하게, 결상 렌즈 (720) 와 경통 (710) 을 구비하고 있으며, 이 경통 (710) 은 경통 지지기 (740) 에 의해 검사광 (L31) 이 컬러 필터 (820) 에서 반사된 광의 광축에 대략 수직인 이동면을 따라서 이동 가능하게 지지되어 있다. 경통 (710) 의 상기 이동면상의 위치는, 처리부 (500) 로부터 경통 지지기 (740) 에 부여되는 지시에 따라서 결정된다.Similarly to the fifth embodiment, the parallel light source 120 includes a point light source 110 such as a high-pressure mercury lamp or a xenon lamp and a collimator lens system 121, but instead of using the solar light, do. In addition, the imaging optical means 700 is provided with the imaging lens 720 and the barrel 710 similarly to 1st Embodiment, and this barrel 710 is provided with the inspection light by the barrel support | carrier 740 ( L31 is movably supported along the moving surface that is substantially perpendicular to the optical axis of the light reflected by the color filter 820. The position on the moving surface of the barrel 710 is determined in accordance with an instruction given to the barrel supporter 740 from the processing unit 500.

먼저, 처리부 (500) 가 컬러 필터 (820) 를 지지하는 입사각 가변 지지기 (200) 에 지시하여, 검사광의 광축과 컬러 필터 (820) 의 검사광의 수광면이 소정의 각도로 교차하도록 설정한다.First, the processing unit 500 instructs the variable angle of incidence supporter 200 supporting the color filter 820 to set the optical axis of the inspection light and the light receiving surface of the inspection light of the color filter 820 at a predetermined angle.

이 상태에서, 평행광원 (120) 으로부터 출력된 검사광 (L31) 을 컬러 필터 (820) 에 조사한다. 검사광 (L31) 은 대략 평행광이므로, 컬러 필터 (820) 의 수광면에 있어서 단위 면적당 검사광 (L31) 의 광량의 컬러 필터 (820) 의 수광면 내의 위치에 관한 의존성이 실질적으로 존재하지 않는다.In this state, the inspection light L31 output from the parallel light source 120 is irradiated to the color filter 820. Since the inspection light L31 is substantially parallel light, there is substantially no dependency on the position in the light receiving surface of the color filter 820 of the amount of light of the inspection light L31 per unit area in the light receiving surface of the color filter 820. .

검사광 (L31) 의 조사에 따라서 컬러 필터 (820) 에서 반사된 반사광 (L32) 은, 결상 광학 수단 (700) 에 의해 집광되어, 차폐판 (650) 및 개구 조리개 (730) 에 의해 영차의 회절광이 제거된 투영광 (L34) 으로서 투영 스크린 (300) 에 도달하여, 컬러 필터 (820)의 암시야의 투영상이 형성된다. 이 투영상은, 컬러 필터 (820)의 상태, 즉, 색조의 이상 등의 결함을 반영하고 있는 동시에, 간섭 줄무늬의 발생이나 광원상에 의한 불균일이 저감된다.The reflected light L32 reflected by the color filter 820 according to the irradiation of the inspection light L31 is collected by the imaging optical means 700, and the diffraction of zero difference is performed by the shielding plate 650 and the aperture stop 730. The light reaches the projection screen 300 as the projection light L34 from which light has been removed, and a projection image of the dark field of the color filter 820 is formed. This projection image reflects defects such as the state of the color filter 820, that is, abnormality in color tone, and reduces occurrence of interference fringes and unevenness due to the light source image.

본 실시 형태에 있어서도, 컬러 필터 (820) 에 대해 결상 렌즈 (720) 가 작으므로, 경통 지지기 (740) 의 경통 이동 기구에 의해 경통 (710) 을 반사광 (L32) 의 광축에 대략 수직으로 평행 이동시키고, 이로써 컬러 필터 (820) 의 전체를 투영 스크린 (300) 에 영사한다. 그리고, 경통 (710) 을 반사광 (L32) 의 광축에 대략 수직으로 평행 이동시키는 대신에, 컬러 필터 (820) 를 반사광 (L32) 의 광축에 대략 수직으로 평행 이동시켜도 된다.Also in this embodiment, since the imaging lens 720 is small with respect to the color filter 820, the barrel 710 is substantially parallel to the optical axis of the reflected light L32 by the barrel moving mechanism of the barrel support 740. And project the entirety of the color filter 820 onto the projection screen 300. And instead of moving the barrel 710 substantially parallel to the optical axis of the reflected light L32, the color filter 820 may be moved substantially parallel to the optical axis of the reflected light L32.

이 후, 제 5 실시 형태와 동일하게 하여, 투영상의 관찰을 행한다. 본 실시 형태에 있어서도, 투영 스크린 (300) 에 투영된 투영상에서는, 간섭 줄무늬 발생이나 광원상에 의한 불균일이 저감되므로, 미묘한 색조 이상 등의 결함의 판별이 가능해진다.Thereafter, the projection image is observed in the same manner as in the fifth embodiment. Also in this embodiment, in the projection image projected onto the projection screen 300, the generation of interference fringes and nonuniformity due to the light source image are reduced, so that defects such as subtle color tones or the like can be discriminated.

그리고, 제 5 실시 형태와 동일하게, 촬상기 (400) 를 사용하지 않고, 육안으로 투영 스크린 (300) 상의 투영상을 관찰하여, 컬러 필터 (820) 의 결함을 검출하는 것이 가능하다.And it is possible to observe the projection image on the projection screen 300 visually, without using the imaging device 400, and to detect the defect of the color filter 820 similarly to 5th Embodiment.

이상의 검사 동작을 행해도, 투영상 내의 광강도 변화가 지나치게 완만하여, 결함의 유무가 확실하지 않은 경우에는, 제 1 실시 형태와 동일하게 하여, 처리부 (500) 로부터 입사각 가변 지지기 (200) 로, 검사광 (L31) 의 광축과 컬러 필터 (820) 의 검사광 (L31) 의 수광면의 이루는 각도의 변경을 지시하고, 재차, 상기와 동일하게 하여, 검사광 (L31) 을 컬러 필터 (820) 에 조사하여, 컬러 필터 (820) 에서 반사된 반사광 (L32) 을 결상 광학 수단 (700) 을 통하여 투영 스크린에 투영하여 투영상을 관찰함으로써, 양호한 정밀도로 결함을 검사할 수 있다.Even if the above inspection operation is performed, when the change in the light intensity in the projected image is too slow and the presence or absence of a defect is not certain, it is the same as in the first embodiment, from the processing unit 500 to the incident angle variable supporter 200. The change of the angle between the optical axis of the inspection light L31 and the light receiving surface of the inspection light L31 of the color filter 820 is instructed, and again, the inspection light L31 is changed to the color filter 820. ), The reflected light L32 reflected by the color filter 820 is projected onto the projection screen via the imaging optical means 700, and the projection image can be observed to inspect the defect with good accuracy.

(제 8 실시 형태)(8th Embodiment)

도 9 는, 본 발명의 제 8 실시 형태인 컬러 필터의 결함 검사 장치의 구성도이다. 이 장치는, 점광원을 사용하여, 컬러 필터의 반사광을 관찰하는 것이다. 도 9 에 나타낸 바와 같이, 이 장치의 구성은, 제 7 실시 형태의 장치의 평행광원 (120) 대신에, 점광원 (110) 을 사용하는 점만이 상이하다.It is a block diagram of the defect inspection apparatus of the color filter which is 8th Embodiment of this invention. This apparatus observes the reflected light of a color filter using a point light source. As shown in FIG. 9, the structure of this apparatus differs only in using the point light source 110 instead of the parallel light source 120 of the apparatus of 7th Embodiment.

먼저, 처리부 (500) 가 컬러 필터 (820) 를 지지한 입사각 가변 지지기 (200) 에 지시하여, 검사광의 광축과 컬러 필터 (820) 의 검사광의 수광면이 소정의 각도로 교차하도록 설정한다.First, the processing unit 500 instructs the variable angle of incidence supporter 200 supporting the color filter 820 to set the optical axis of the inspection light and the light receiving surface of the inspection light of the color filter 820 at a predetermined angle.

이 상태에서, 점광원 (110) 으로부터 출력된 검사광 (L41) 을 컬러 필터 (820) 에 조사한다. 이 때, 컬러 필터 (820) 의 수광면에 있어서 단위 면적당 검사광 (L41) 의 광량은 컬러 필터 (820) 의 수광면 내의 위치에 관해 의존성이 낮은 것이 바람직하다. 이것을 위해서는, 컬러 필터 (820) 의 크기에 대하여, 점광원 (110) 과 컬러 필터 (820) 와의 거리를 충분히 확보해야 한다.In this state, the inspection light L41 output from the point light source 110 is irradiated to the color filter 820. At this time, it is preferable that the light quantity of the inspection light L41 per unit area in the light receiving surface of the color filter 820 has low dependency on the position in the light receiving surface of the color filter 820. For this purpose, the distance between the point light source 110 and the color filter 820 must be sufficiently secured with respect to the size of the color filter 820.

검사광 (L41) 의 조사에 따라서 컬러 필터 (820) 에서 반사된 반사광 (L42) 은, 결상 광학 수단 (700) 으로 집광되어, 차폐판 (750) 및 개구 조리개 (730) 에 의해 직접광 및 영차의 회절광이 제거된 투영광 (L44) 으로서 투영 스크린 (300) 에 도달하여, 반사광에 의한 암시야의 투영상을 형성한다. 이 투영상은, 컬러 필터 (820) 의 상태, 즉, 색조의 이상 등의 결함을 반영하고 있는 동시에, 간섭 줄무늬 발생이나 광원상에 의한 불균일이 저감된다.The reflected light L42 reflected by the color filter 820 in accordance with the irradiation of the inspection light L41 is collected by the imaging optical means 700, and the shielding plate 750 and the aperture diaphragm 730 are used for direct light and zero order. The projection screen 300 is reached as the projection light L44 from which the diffracted light is removed, thereby forming a projection image of the dark field by the reflected light. This projection image reflects defects such as the state of the color filter 820, that is, abnormality in color tone, and reduces the occurrence of interference fringes and unevenness due to the light source image.

이 후, 제 7 실시 형태와 동일하게 하여, 투영상의 관찰을 행한다. 본 실시 형태에 있어서도 제 7 실시 형태와 동일하게 혹은 그 이상으로, 투영 스크린 (300) 에 투영된 투영상에서는, 간섭 줄무늬의 발생이나 광원상에 의한 불균일이 저감되고 있으므로, 미묘한 색조 등의 결함 이상의 판별이 가능해진다.Thereafter, the projection image is observed in the same manner as in the seventh embodiment. Also in this embodiment, the same or more than the seventh embodiment, in the projection image projected onto the projection screen 300, the occurrence of interference fringes and nonuniformity due to the light source image is reduced, so that defect abnormalities such as subtle color tones are discriminated. This becomes possible.

그리고, 제 3 실시 형태와 동일하게, 촬상기 (400) 를 사용하지 않고, 육안으로 투영 스크린 (300) 상의 투영상을 관찰하여, 컬러 필터 (820) 의 결함을 검출하는 것이 가능하다.And similarly to 3rd Embodiment, it is possible to observe the projection image on the projection screen 300 visually, without using the imaging device 400, and to detect the defect of the color filter 820.

이상의 검사 동작 결과, 투영상 내의 광강도 변화가 완만하여, 결함의 유무가 확실하지 않은 경우에는, 제 7 실시 형태와 동일하게 하여, 처리부 (500) 로부터 입사각 가변 지지기 (200) 로, 검사광 (L41) 의 광축과 컬러 필터 (820) 의 검사광 (L41) 의 수광면이 이루는 각도의 변경을 지시하고, 재차, 상기와 동일하게 하여, 검사광 (L41) 을 컬러 필터 (820) 에 조사하여, 컬러 필터 (820)에서 반사된 반사광 (L42) 을 결상 렌즈 (720) 를 통하여 투영 스크린에 투영하여 투영상을 관찰함으로써, 정밀하게 결함을 검사할 수 있다.As a result of the above inspection operation, when the change in the light intensity in the projected image is gentle and the presence or absence of a defect is not certain, the inspection light is changed from the processing unit 500 to the variable angle of incidence supporter 200 in the same manner as in the seventh embodiment. The change of the angle between the optical axis of L41 and the light receiving surface of inspection light L41 of color filter 820 is instructed, and the inspection light L41 is irradiated to color filter 820 again in the same manner as described above. Thus, the defect can be precisely inspected by projecting the reflected light L42 reflected by the color filter 820 onto the projection screen through the imaging lens 720 and observing the projection image.

실시예 1Example 1

이 실시예 1 은 제 1 실시 형태에 대응하는 것이고, 점광원인 고압 수은등 (200W) 과, 그 앞쪽에 배치된 직경 2.5cm 의 콜리메이터렌즈를 구비한 평행광원을 사용하여, 약 145cm 떨어진 위치에 긴 변이 약 25cm 의 사각형상의 전착법에 의해 얻어진 컬러 필터 (투명 기판의 위에 블랙 매트릭스가 형성되고, 그 사이에 RGB컬러 필터층이 형성되고, 그 위에 오버코트층이 형성되고, 이어서 그 위에 투명전극이 형성되어 있는 것) 를 배치한다. 이 컬러 필터의 앞쪽 약 50cm 의 위치에 직경 7.5cm 의 결상렌즈를 구비한 경통을 배치하고, 이 경통에 추가로 앞쪽 약 50cm 의 위치에 투영 스크린을 배치한다. 경통의 투영 스크린측 즉 결상 렌즈의 상 공간측에는 개구 직경 약 2cm 인 개구 조리개가 결상 렌즈로부터 약 25cm 의 위치 (초점면) 에 설치되어 있다.This Example 1 corresponds to the first embodiment and is long at a position about 145 cm apart using a high-pressure mercury lamp (200 W), which is a point light source, and a parallel light source provided with a collimator lens having a diameter of 2.5 cm disposed in front of it. Color filter obtained by a square electrodeposition method having a side of about 25 cm (a black matrix is formed on the transparent substrate, an RGB color filter layer is formed therebetween, an overcoat layer is formed thereon, and then a transparent electrode is formed thereon, To be placed). A barrel provided with an imaging lens having a diameter of 7.5 cm is disposed at a position of about 50 cm in front of the color filter, and a projection screen is placed at a position of about 50 cm in front of the barrel. On the projection screen side of the barrel, that is, the image space side of the imaging lens, an aperture diaphragm having an opening diameter of about 2 cm is provided at a position (focal plane) of about 25 cm from the imaging lens.

이 장치에 있어서, 컬러 필터의 전체면에 대략 평행광인 검사광을 조사하고, 투과광을 결상 렌즈를 통하여 투영 스크린에 투영하고, 투영 스크린상의 투영상을 비디오 카메라로 확대 촬영하여, 피크트로그라피 3000 (후지 사진 필름 (주) 제) 로 프린트 아웃하였다.In this apparatus, inspection light, which is approximately parallel light, is irradiated to the entire surface of the color filter, the transmitted light is projected onto the projection screen through an imaging lens, and the projection image on the projection screen is enlarged and photographed by a video camera to obtain a peakography 3000 ( Printed out by Fuji Photo Film Co., Ltd. product.

도 10(a) 및 (b) 는, 각각 검사광의 광축과 컬러 필터의 검사광의 수광면이 직교하는 경우의 프린트 아웃 결과를 나타내는 사진을 농담 화상 사진으로 변환한 것이다. 도 10(a) 에서, 물체를 투과한 광을 결상 광학 수단을 통하지 않고 투영 스크린에 투영하여 그 투영상을 관찰하는 방법으로는 검출이 곤란했던 미소 이물질을 명료하게 가시화할수 있음을 알수 있다. 또한, 도 10(b) 에서는 동일하게 직접 관찰로는 검출이 곤란했던 긁힌 흠집을 가시화할 수 있을을 알 수 있다. 또한, 도 10(a) 에 있어서, 중앙에 보이는 점이 검출해야 할 미소한 이물질이며, 그 주위를 에워싸도록 그려져 있는 왜곡된 긴 원형은, 이 미소한 이물질을 가리켜 나타내기 위하여 검사 대상인 컬러 필터 상에 그린 것으로 결함은 아니다. 또한, 도 10(b) 에 있어서, 다소 경사져서 상하로 뻗은 2 개의 굵은 선은, 결함을 가리켜 나타내기 위하여 컬러 필터 상에 그린 것으로, 양자의 사이의 우측에 있는 가는 선이 긁힌 흠집이다.10 (a) and 10 (b) show the photographs showing the printout results when the optical axis of the inspection light and the light receiving surface of the inspection light of the color filter are orthogonal to each other, respectively, to a light and dark image. In Fig. 10 (a), it can be seen that the micro foreign matter which was difficult to detect can be clearly visualized by the method of projecting the light transmitted through the object onto the projection screen without passing through the imaging optical means and observing the projection image. In addition, it can be seen from FIG. 10 (b) that the scratches that were difficult to detect by direct observation can be visualized. In addition, in FIG.10 (a), the dot shown in the center is a fine foreign matter to be detected, and the distorted elongate circle | round | yen drawn so that the periphery is enclosed on the color filter which is a test object in order to show this fine foreign matter. It is not a defect to be drawn on. In addition, in FIG. 10 (b), two thick lines which are slightly inclined and extend up and down are drawn on the color filter to indicate defects, and scratches are scratched by thin lines on the right side between the two.

실시예 2Example 2

실시예 2 은 제 3 실시 형태에 대응하는 것이고, 직경 2.5cm 의 콜리메이터렌즈를 앞쪽에 구비한 고압 수은등 (200W) 을 점광원으로 하여, 약 145cm 떨어진 위치에 긴 변이 약 25cm 의 사각형상의 전착법에 의해 얻어진 컬러 필터의 전체면에 점광원으로부터 출력된 검사광을 조사하고, 반사광을 컬러 필터로부터 약 50cm 떨어진 위치에 배치된 실시예 1 과 동일 경통 (결상 광학 수단) 으로 집광하고, 거기서부터 약 50cm 떨어진 위치의 투영 스크린에 투영하고, 투영 스크린상의 투영상을 비디오 카메라로 촬영하여, 피크트로그라피 3000 으로 프린트 아웃하였다. 이 실시예에서도 제 1 실시예와 동일하게 물체를 투과한 광을 결상 광학 수단을 통하지 않고 투영 스크린에 투영하여 그 투영상을 관찰하는 방법으로는 검출하는 것이 곤란했던 컬러 필터상의 미소한 이물질의 혼입을 명료하게 가시화할 수 있었다.Example 2 corresponds to the third embodiment, and employs a high-pressure mercury lamp (200W) equipped with a collimator lens with a diameter of 2.5 cm in front as a point light source, and has a rectangular electrodeposition method of about 25 cm in a long side at a distance of about 145 cm. Irradiates the inspection light output from the point light source to the entire surface of the color filter obtained by condensing the reflected light with the same barrel (imaging optical means) as in Example 1 disposed at a position about 50 cm away from the color filter, and thereafter about 50 cm It projected on the projection screen of the distant position, the projection image on the projection screen was image | photographed with the video camera, and it printed out with the peak trophy 3000. Also in this embodiment, similarly to the first embodiment, fine foreign matters on the color filter were difficult to detect by projecting the light transmitted through the object onto the projection screen without the optical imaging means and observing the projected image. Could be visualized clearly.

실시예 3Example 3

실시예 3 도 실시예 2 와 동일하게 제 3 실시 형태에 대응하는 것이고, 직경 2.5cm 의 콜리메이터렌즈를 앞쪽에 구비한 고압 수은등 (200W) 을 점광원으로 하여, 약 145cm 떨어진 위치에 두께가 5mm 이고 긴 변이 약 30cm 의 사각형상의 MMA오팔판의 전체면에 점광원으로부터 출력된 검사광을 조사하고, 반사광을 MMA오팔판으로부터 약 50cm 떨어진 위치에 배치된 실시예 1 과 동일 경통 (결상 광학 수단) 으로 집광하고, 거기서부터 약 50cm 떨어진 위치의 투영 스크린에 투영하고, 투영 스크린상의 투영상을 비디오 카메라로 촬영하여, 피크트로그라피 3000 으로 프린트 아웃하였다. 이 실시예에서도 제 1 실시예와 동일하게, 물체를 투과한 광을 결상 광학 수단을 통하지 않고 투영 스크린에 투영하여 그 투영상을 관찰하는 방법으로는 검출하는 것이 곤란했던 MMA오팔판의 미소한 흠집이나 미묘한 오손을 명료하게 가시화할 수 있었다.Example 3 corresponds to the third embodiment in the same manner as in Example 2, and has a thickness of 5 mm at a position about 145 cm apart using a high-pressure mercury lamp (200W) equipped with a collimator lens having a diameter of 2.5 cm as a point light source. With the same barrel (image forming means) as in Example 1, the inspection light outputted from the point light source was irradiated on the entire surface of the rectangular MMA opal plate having a long side of about 30 cm, and the reflected light was disposed at a position about 50 cm away from the MMA opal plate. The light was condensed, projected onto a projection screen at a distance of about 50 cm from there, the projection image on the projection screen was photographed with a video camera, and printed out with a peak trophy 3000. Also in this embodiment, similarly to the first embodiment, minute scratches of the MMA opal plate were difficult to detect by the method of projecting the light transmitted through the object onto the projection screen without the image forming optical means and observing the projected image. Or subtle fouling could be clearly visualized.

실시예 4Example 4

이 실시예는 제 5 실시 형태에 대응하는 것이고, 점광원인 고압 수은등 (200W) 과, 그 앞쪽에 배치된 직경 2.5cm 의 콜리메이터렌즈를 구비한 평행광원을 사용하여, 약 145cm 떨어진 위치에 긴 변이 약 25cm 의 사각형상의 전착법에 의해 얻어진 컬러 필터 (투명 기판의 위에 블랙 매트릭스가 형성되고, 그 사이에 RGB컬러 필터층이 형성되고, 그 위에 오버코트층이 형성되고, 이어서 그 위에 투명전극이 형성되어 있는 것) 를 배치한다. 이 컬러 필터의 앞쪽 약 50cm 의 위치에 직경 7.5cm 의 결상렌즈를 구비한 경통을 배치하고, 이 경통의 추가로 앞쪽 약 50cm 의 위치에 투영 스크린을 배치한다. 경통의 투영 스크린측 즉 결상 렌즈의 상 공간측에는 직경 약 2cm 의 원형 개구를 가지는 조리개판이 결상 렌즈로부터 약 25cm 의 위치 (초점면) 에 설치되어 있다. 이 조리개판은, 원형 개구가 결상 렌즈의 광축으로부터 변위되도록 경통에 부착되어 있으며, 이로써, 개구 조리개과, 직접광 및 영차 회절광을 차폐하는 차폐판의 양쪽의 기능을 가진다.This example corresponds to the fifth embodiment, and uses a high-pressure mercury lamp (200W), which is a point light source, and a parallel light source having a collimator lens having a diameter of 2.5 cm disposed in front of it, and a long side at a position about 145 cm apart. Color filter obtained by a rectangular electrodeposition method of about 25 cm (a black matrix is formed on the transparent substrate, an RGB color filter layer is formed therebetween, an overcoat layer is formed thereon, and then a transparent electrode is formed thereon. Will be placed. A barrel provided with an imaging lens having a diameter of 7.5 cm is disposed at a position of about 50 cm in front of the color filter, and a projection screen is disposed at a position of about 50 cm in front of the barrel. On the projection screen side of the barrel, that is, the image space side of the imaging lens, an aperture plate having a circular opening having a diameter of about 2 cm is provided at a position (focal plane) of about 25 cm from the imaging lens. This diaphragm plate is attached to the barrel such that the circular aperture is displaced from the optical axis of the imaging lens, thereby having the function of both the aperture diaphragm and the shield plate shielding the direct light and the zero-order diffraction light.

이 장치에 있어서, 컬러 필터의 전체면에 대략 평행광인 검사광을 조사하고, 투과광을 결상 렌즈를 통하여 투영 스크린에 투영하고, 투영 스크린상의 투영상을 비디오 카메라로 촬영하여, 피크트로그라피 3000 (후지 사진 필름 (주) 제) 으로 프린트 아웃하였다.In this apparatus, the entire surface of the color filter is irradiated with inspection light which is approximately parallel light, the transmitted light is projected on the projection screen through an imaging lens, and the projection image on the projection screen is photographed with a video camera, and the peak trophy 3000 (Fuji) It printed out with the photographic film.

도 11(a) 은, 검사광의 광축과 컬러 필터의 검사광의 수광면이 직교하는 경우의 프린트 아웃 결과를 나타내는 사진을 농담 화상 사진으로 변환한 것이다. 도 11(a) 에서, 물체를 투과한 광을 결상 광학 수단을 통하지 않고 투영 스크린에 투영하여 그 투영상을 관찰하는 방법으로는 검출이 곤란했던 컬러 필터의 미묘한 색조 이상을 명료하게 가시화할수 있는 것을 알았다. 그리고, 이 도면에 있어서, 사진 중앙부에 보이는 농담 모양이 검출될 색조 이상이고, 오른쪽 위로부터 오른쪽 아래를 지나서 왼쪽 아래에 이르는 선은, 색조 이상을 가리켜 나타내기 위하여 발명자들이 그린 것으로, 결함은 아니다.FIG. 11 (a) shows a photograph showing a printout result when the optical axis of the inspection light and the light receiving surface of the inspection light of the color filter are perpendicular to each other. In Fig. 11 (a), the method of projecting the light transmitted through the object onto the projection screen without the image forming optical means and observing the projected image can clearly visualize the subtle color tone abnormality of the color filter which was difficult to detect. okay. Incidentally, in this figure, the shades of light appearing in the center of the photograph are more than the color tone to be detected, and the line from the upper right to the lower right through the lower left is drawn by the inventors to indicate the color tone or more, and is not a defect.

실시예 5Example 5

이 실시예는, 제 7 실시 형태에 대응하는 것이고, 실시예 4 와 동일 평행 광원을 사용하여, 약 145cm 떨어진 위치에 긴 변이 약 25cm 의 사각형상의 전착법에 의해 얻어진 컬러 필터의 전체면에 검사광을 조사하고, 반사광을 컬러 필터로부터 약 50cm 떨어진 위치에 배치된 실시예 4 와 동일 경통 (결상 광학 수단) 으로 집광하고, 거기서부터 약 50 cm 떨어진 위치의 투영 스크린에 투영하고, 투영 스크린상의 투영상을 비디오 카메라로 촬영하여, 피크트로그라피 3000 으로 프린트 아웃하였다. 도 11(b) 은, 그 때의 프린트 아웃 결과를 나타내는 사진을 농담 화상 사진으로 변환한 것이다. 이 실시예에서도 제 4 실시예와 동일하게 물체를 투과한 광을 결상 광학 수단을 통하지 않고 투영 스크린에 투영하여 그 투영상을 관찰하는 방법으로는 검출하는 것이 곤란했던 컬러 필터의 미묘한 색조 이상을 명료하게 가시화할 수 있었다. 이 사진에서는, 중앙부의 색이 진한부분이 색조 이상의 결함이고, 그를 에워싸도록 그려진 왜곡된 원형은, 결함을 가리켜 나타내기 위하여 발명자들이 컬러 필터 상에 그린 것이다.This example corresponds to the seventh embodiment, using inspection light on the entire surface of the color filter obtained by a rectangular electrodeposition method having a long side of about 25 cm at a position 145 cm apart using the same parallel light source as in Example 4. Is irradiated, and the reflected light is collected by the same barrel (imaging optical means) as in Example 4 arranged at a position about 50 cm away from the color filter, projected onto a projection screen at a position about 50 cm away from there, and a projection image on the projection screen. Were photographed with a video camera and printed out with a pictography 3000. Fig. 11 (b) shows the photographs showing the printout results at that time, which are converted into a shaded image. Also in this embodiment, as in the fourth embodiment, the subtle color tone abnormality of the color filter, which was difficult to detect by the method of projecting the light transmitted through the object onto the projection screen without the image forming optical means and observing the projected image, is clear. Could be visualized. In this photograph, the darker part of the center part is a defect more than the hue, and the distorted circle drawn to surround it is what the inventors have drawn on the color filter to indicate the defect.

실시예 6Example 6

이 실시예도, 제 7 실시 형태에 대응하는 것이고, 실시예 4 와 동일 평행 광원을 사용하여, 약 145cm 떨어진 위치에, 두께가 1.5mm 이고 긴 변이 약 30cm 의 사각형상의 투명 유리판의 전체면에 검사광을 조사하고, 반사광을 투명 유리판으로부터 약 50cm 떨어진 위치에 배치된 실시예 1 과 동일 경통 (결상 광학 수단) 으로 집광하고, 거기서부터 약 50cm 떨어진 위치의 투영 스크린에 투영하고, 투영 스크린상의 투영상을 비디오 카메라로 촬영하여, 피크트로그라피 3000 으로 프린트 아웃하였다. 이 실시예에서도 물체를 투과한 광을 결상 광학 수단을 통하지 않고 투영 스크린에 투영하여 그 투영상을 관찰하는 방법으로는 검출이 곤란했던 투명 유리 표면의 미묘한 오손을 명료하게 가시화할 수 있었다.This example also corresponds to the seventh embodiment, using the same parallel light source as in Example 4, inspection light is applied to the entire surface of the rectangular transparent glass plate having a thickness of 1.5 mm and a long side of about 30 cm at a position 145 cm apart. Is irradiated, and the reflected light is collected by the same barrel (imaging optical means) as in Example 1 arranged at a position about 50 cm away from the transparent glass plate, and projected onto a projection screen at a position about 50 cm away from there, and the projection image on the projection screen is It was photographed with a video camera and printed out with a pictography 3000. Also in this embodiment, it was possible to clearly visualize subtle stains on the surface of the transparent glass, which was difficult to detect by projecting the light transmitted through the object onto the projection screen without through the imaging optical means and observing the projection image.

그리고, 본 발명은, 상기한 실시 형태나 실시예에 한정되는 것은 아니고 변형이 가능하다. 예를 들면, 광원이 출력하는 검사광의 색은, 백색광 즉 모든 가시광 파장을 포함하는 광을 사용할 수도 있지만, 측정 대상에 따라서 적절한 파장의 광을 선택하는 것이 가능하다. 또한, 투과광에 의한 투영상과 반사광에 의한 투영상을 동시에 형성하고, 대비하면서 관찰하여 검사하는 것도 가능하다. 또한, 투영 스크린으로서는 투사용 스크린이 적합하지만, 종이나 평활한 벽면으로 할 수도 있다.Incidentally, the present invention is not limited to the above-described embodiments and examples, but may be modified. For example, as the color of the inspection light output by the light source, white light, that is, light including all visible light wavelengths, may be used, but light of an appropriate wavelength can be selected according to a measurement object. It is also possible to simultaneously form the projection image by the transmitted light and the projection image by the reflected light, observe and inspect while contrasting. In addition, although the projection screen is suitable as a projection screen, it can also be set as paper or a smooth wall surface.

본 발명의 적합한 검사 대상 물체로서는, 컬러 필터 외에, 예를 들면, 대전 방지 하드 코트층이 표면에 실시된 MMA오팔판, 투명유리판, 광학 필름 등을 들 수 있다.As a suitable test | inspection object of this invention, in addition to a color filter, MMA opal board, transparent glass plate, optical film, etc. which the antistatic hard coat layer was given to the surface are mentioned, for example.

또한, 제 5 ∼ 제 8 실시 형태의 조리개 (630) 또는 (730) 에 설치된 차폐판 (650) 또는 (750) 을 탈착 가능하게 하거나, 또는, 광축에 수직의 방향으로 이동 가능하게 하여 선택적으로 광축 위치로부터 변위되도록 하면, 암시야상 관찰의 실시 형태인 제 5 ∼ 제 8 실시 형태의 장치를 사용하여, 제 1 ∼ 제 4 실시 형태와 동등한 물체의 명시야 관찰이 가능해진다.In addition, the shielding plate 650 or 750 provided in the diaphragm 630 or 730 of 5th-8th embodiment is detachable, or it can be moved to the direction perpendicular to an optical axis, and an optical axis is selectively performed. When it displaces from a position, bright field observation of the object equivalent to 1st-4th embodiment is attained using the apparatus of 5th-8th embodiment which is embodiment of darkfield image observation.

이상, 상세하게 설명한 바와 같이, 본 발명의 물체의 결함 검사 방법 및 물체의 결함 검사 장치에 의하면, 검사광을 검사 대상인 물체에 조사하고, 결상 광학 수단을 이용하여 검사광이 조사된 물체의 상을 형성하는 동시에, 그 상을 형성할 때에 산란광 또는 직접광을 개구 조리개에서 차폐하므로, 투과광이나 반사광을 직접 관찰한 경우에 발생하는 간섭 줄무늬의 발생이나 광원상에 의한 불균일이 저감될 뿐만 아니라, 물체를 투과한 광을 결상 광학 수단을 통하지 않고 투영 스크린에 투영하여 그 투영상을 관찰하는 방법으로는 검출하는 것이 곤란했던 미소한 이물질의 혼입 등의 결함의 검출이 가능해지고, 간편하고 신속하게 안정된 검사 결과가 달성되는 고감도 검사를 행할 수 있다.As described above, according to the defect inspection method of the object and the defect inspection apparatus of the object of the present invention, the inspection light is irradiated to the object to be inspected, and the image of the object to which the inspection light is irradiated using the imaging optical means. At the same time, the scattered light or the direct light is shielded by the aperture stop when the image is formed, so that the generation of interference fringes and nonuniformity caused by the light source when the transmitted light or the reflected light is observed directly is reduced, and the object is transmitted. It is possible to detect defects such as the incorporation of minute foreign matter, which has been difficult to detect by projecting a light onto a projection screen without the image forming optical means and observing the projected image. Achieve high sensitivity inspection can be performed.

또한, 검사광의 광축과 물체의 검사광의 수광면이 이루는 각도를 변화하면서 검사를 행함으로써, 더욱 안정된 검사 결과가 달성되는 고감도 검사를 행할 수 있다.Further, by performing inspection while varying the angle between the optical axis of the inspection light and the light receiving surface of the inspection light of the object, it is possible to perform a high sensitivity inspection in which a more stable inspection result is achieved.

도 1 은 본 발명의 제 1 실시 형태의 컬러 필터 결함의 검사 장치의 구성도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The block diagram of the inspection apparatus of the color filter defect of 1st Embodiment of this invention.

도 2 는 본 발명의 제 2 실시 형태의 컬러 필터 결함의 검사 장치의 구성도.2 is a configuration diagram of an inspection device for color filter defects according to a second embodiment of the present invention.

도 3 은 본 발명의 제 3 실시 형태의 컬러 필터 결함의 검사 장치의 구성도.3 is a configuration diagram of an inspection apparatus for color filter defects according to a third embodiment of the present invention.

도 4 는 본 발명의 제 4 실시 형태의 컬러 필터 결함의 검사 장치의 구성도.4 is a configuration diagram of an inspection apparatus for color filter defects according to a fourth embodiment of the present invention.

도 5 는 본 발명의 제 5 실시 형태의 컬러 필터 결함의 검사 장치의 구성도.5 is a configuration diagram of an inspection apparatus for color filter defects according to a fifth embodiment of the present invention.

도 6 은 도 5 의 검사장치의 경통 내의 영차 회절광 차폐판을 영차 회절광 및 1차 회절광을 차폐하는 차폐판으로 치환했을 때의 광학계를 나타낸 개략 구성도.FIG. 6 is a schematic configuration diagram showing an optical system when the zero-order diffraction light shielding plate in the barrel of the inspection apparatus of FIG. 5 is replaced with a shielding plate shielding the zero-order diffraction light and the first-order diffraction light. FIG.

도 7 은 본 발명의 제 6 실시 형태의 컬러 필터 결함의 검사 장치의 구성도.The structural figure of the inspection apparatus of the color filter defect of 6th Embodiment of this invention.

도 8 은 본 발명의 제 7 실시 형태의 컬러 필터 결함의 검사 장치의 구성도.8 is a configuration diagram of an inspection device for color filter defects according to a seventh embodiment of the present invention.

도 9 는 본 발명의 제 8 실시 형태의 컬러 필터 결함의 검사 장치의 구성도.9 is a configuration diagram of an inspection apparatus for color filter defects according to an eighth embodiment of the present invention.

도 10 은 실시예 1 의 결과를 나타낸 사진.10 is a photograph showing the results of Example 1;

도 11 은 실시예 4 및 5 의 결과를 나타낸 사진.11 is a photograph showing the results of Examples 4 and 5. FIG.

도 12 는 종래의 컬러 필터 결함의 검사 방법의 설명도.12 is an explanatory diagram of a method for inspecting a conventional color filter defect.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings

11, 110 : 점광원 12, 120 : 평행광원11, 110: point light source 12, 120: parallel light source

20, 200 : 입사각 가변 지지기 30, 300 : 투영 스크린20, 200: Incident angle variable supporter 30, 300: Projection screen

40, 400 : 촬상기 50, 500 : 처리부40, 400: imager 50, 500: processor

60, 70, 600, 700 : 결상 광학 수단 61, 71, 610, 710 : 경통60, 70, 600, 700: imaging optical means 61, 71, 610, 710: barrel

62, 72, 620, 720 : 결상 렌즈 63, 73, 630, 730 : 개구 조리개62, 72, 620, 720: imaging lens 63, 73, 630, 730: aperture stop

64, 74, 640, 740 : 경통 지지기 650, 750 : 영차 회절광 차폐판64, 74, 640, 740: barrel supporters 650, 750: zero order diffraction light shielding plate

670 : 1차 회절광 차폐판 81, 82, 810, 820 : 컬러 필터670: primary diffraction light shielding plate 81, 82, 810, 820: color filter

Claims

검사광을 검사 대상인 물체에 조사하고, 상기 물체를 투과 또는 반사된 광에 의해 형성된 상을 관찰하여 물체의 결함을 검사하는 방법으로서, 결상 광학 수단을 이용함으로써, 상기 투과 또는 반사되어 집광된 광 중 산란광 또는 직접광 중의 어느 하나를, 상기 결상 광학 수단의 초점면에 설치된 개구 조리개에 의해 차폐하여 얻어지는 광에 의해 형성된 상을 관찰하는 것을 특징으로 하는 물체의 결함 검사 방법.A method of inspecting a defect of an object by irradiating inspection light to an object to be inspected and observing an image formed by the light transmitted or reflected by the object, wherein the imaging optical means is used to An image formed by the light obtained by shielding either scattered light or direct light by an aperture stop provided on a focal plane of the imaging optical means is observed.

제 1 항에 있어서, 상기 상의 관찰은 상을 스크린에 투영하여 행하는 것인 것을 특징으로 하는 물체의 결함 검사 방법.The method of claim 1, wherein the observation of the image is performed by projecting the image onto a screen.

제 2 항에 있어서, 상기 검사광이 대략 평행광인 것을 특징으로 하는 물체의 결함 검사 방법.3. The method for inspecting a defect of an object according to claim 2, wherein said inspection light is substantially parallel light.

제 3 항에 있어서, 상기 물체가 컬러 필터인 것을 특징으로 하는 물체의 결함 검사 방법.4. The method for inspecting a defect of an object according to claim 3, wherein said object is a color filter.

제 4 항에 있어서, 상기 검사광의 광축 방향에 대한 상기 물체의 광 입사면의 각도를 변화시킨 후에 재차 상기 상을 관찰하는 것을 특징으로 하는 물체의 결함 검사 방법.The object defect inspection method according to claim 4, wherein the image is observed again after changing the angle of the light incident surface of the object with respect to the optical axis direction of the inspection light.

검사 대상인 물체에 조사하는 검사광을 출력하는 광원과, 상기 검사광을 집광하여 상기 물체의 상을 형성하는 결상 광학 수단과, 상기 결상 광학 수단의 초점면에 설치되어, 물체를 투과하거나 또는 물체에서 반사된 광 중 산란광 또는 직접광 중의 어느 하나를, 선택적으로 차폐하는 개구 조리개를 구비한 것을 특징으로 하는 물체의 결함 검사 장치.A light source for outputting inspection light irradiated to the object to be inspected, imaging optical means for condensing the inspection light to form an image of the object, and a focal plane of the imaging optical means to transmit an object or An aperture diaphragm which comprises an aperture stop which selectively shields either scattered light or direct light from the reflected light.

제 6 항에 있어서, 상기 결상 광학 수단이 형성하는 상기 물체의 상을 그 표면에서 결상시키는 스크린을 구비한 것을 특징으로 하는 물체의 결함 검사 장치.7. The apparatus for inspecting a defect of an object according to claim 6, further comprising a screen for forming an image of the object formed by the imaging optical means on the surface thereof.

제 7 항에 있어서, 상기 광원은 대략 평행광원인 것을 특징으로 하는 물체의 결함 검사 장치.8. The apparatus of claim 7, wherein the light source is a substantially parallel light source.

제 8 항에 있어서, 상기 물체가 컬러 필터인 것을 특징으로 하는 물체의 결함 검사 장치.9. The apparatus of claim 8, wherein the object is a color filter.

제 9 항에 있어서, 상기 결상 광학 수단은 상기 검사광이 상기 컬러 필터를 투과 또는 반사된 광의 광축 방향에 대해 대략 수직인 면을 따라서 이동 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 물체의 결함 검사 장치.10. The apparatus as set forth in claim 9, wherein said imaging optical means is capable of moving said inspection light along a plane substantially perpendicular to the optical axis direction of the light transmitted or reflected through said color filter.

제 10 항에 있어서, 상기 컬러 필터는 상기 컬러 필터를 투과 또는 반사된 광의 광축 방향에 대해 대략 수직인 면을 따라서 이동 가능하게 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 물체의 결함 검사 장치.The apparatus of claim 10, wherein the color filter is movably supported along a plane substantially perpendicular to the optical axis direction of the light transmitted or reflected through the color filter.

제 11 항에 있어서, 상기 검사광의 광축과 상기 컬러 필터의 표면이 이루는 각을 변화시키는 입사각 가변 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 물체의 결함 검사 장치.12. The apparatus for inspecting a defect of an object according to claim 11, further comprising an incidence angle varying means for varying an angle formed between the optical axis of the inspection light and the surface of the color filter.