KR100483373B1 - 오버코트용 레지스트 조성물 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 하기 일반식1로 표시되는 바인더 수지에 총수지 고형분의 5 내지 95중량%에 해당하는 다기능 모노머를 첨가하고; 총 수지 고형분의 0.1 내지 50중량%의 광개시제; 총 수지 고형분의 0.1 내지 10중량%의 에폭시기를 포함하는 실리콘계 화합물; 및 용매를 첨가하여 점도가 2 내지 20 cps로 제조되는 것을 특징으로 하는 오버코트용 레지스트 조성물.[일반식1]여기서, X는 수소원자 또는 메틸기이고, Y1은 2개 내지 16개의 탄소원자를 갖는 알킬기 또는 하이드록시알킬기를 나타내며, Y2는 다음의 화학식(Ⅰ) 내지 화학식(XX)을 나타낸다.화학식(Ⅰ) 내지 화학식(XX) 중에서, R1은, 수소 또는 메틸기이고, R2는 1 내지 10의 탄소원자를 보유한 알킬렌 그룹이고, R3는 1 내지 10의 탄소원자를 보유한 탄화수소의 잔류 그룹이고, R4는 수소 또는 메틸기이고, R5는 1 내지 10의 탄소원자를 보유한 알킬렌 그룹이며, 그리고 k는 0 또는 1 내지 10의 정수이다.
- 제1항에 있어서,일반식1로 표시되는 바인더 수지인 공중합체의 평균분자량은 5,000 내지 40,000이고, 분산도는 1.6 내지 3.0이며, 산도는 50 내지 150 KOHmg/g인 것을 사용하여 제조되는 것을 특징으로 하는 오버코트용 레지스트 조성물.
- 제1항에 있어서,에틸렌성 불포화 결합을 갖는 중합성 화합물인 다기능 모노머는 에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 에틸렌옥사이드기의 수가 2 내지 14인 폴리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판디(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라(메타)아크릴레이트, 프로필렌옥사이드기의 수가 2 내지 14인 프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사(메타)아크릴레이트 등의 다가 알콜과 α,β-불포화 카르복시산를 에스테르화하여 얻어지는 화합물; 트리메틸올프로판트리글리시딜에테르아크릴산 부가물, 비스페놀 A 디글리시딜에테르아크릴산 부가물 등의 글리시딜기 함유 화합물에 (메타)아크릴산을 부가하여 얻어지는 화합물; β-히드록시에틸(메타)아크릴레이트의 프탈산디에스테르, β-히드록시에틸(메타)아크릴레이트의 톨루엔 디이소시아네이트부가물 등의 수산기 및 에틸렌성 불포화 결합을 가지는 화합물과 다가 카르복시산과의 에스테르 화합물 또는 폴리이소시아네이트와의 부가물; 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 부틸(메타)아크릴레이트, 2-에틸헥실(메타)아크릴레이트 등의 (메타)아크릴산알킬에스테르 중에서 선택된 하나 또는 둘 이상을 혼합하여 제조되는 것을 특징으로 하는 오버코트용 레지스트 조성물.
- 제1항에 있어서,광개시제는 벤조페논계 또는 트리아진계의 광개시제 중에서 선택된 하나 또는 둘 이상을 혼합하여 제조되는 것을 특징으로 하는 오버코트용 레지스트 조성물.
- 제1항에 있어서,에폭시기를 갖는 실리콘계 첨가물은 (3-글리시드옥시프로필)트리메톡시(에톡시)실레인 (3-글리시드옥시프로필)메틸디메톡시(에톡시)실레인, (3-글리시드옥시프로필) 디메틸메톡시(에톡시)실레인, 3, 4-에폭시부틸트리메톡시(에톡시)실레인, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시(에톡시)실레인 중에서 선택된 하나 또는 둘 이상을 혼합하여 제조되는 것을 특징으로 하는 오버코트용 레지스트 조성물.
- 제1항에 있어서,용제로는 에틸아세테이트, 뷰틸아세테이트, 메틸메톡시프로피오네이트, 에틸에톡시프로피오네이트(EEP), 에틸락테이트, 프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트(PGMEA), 프로필렌글리콜메틸에테르, 프로필렌글리콜프로필에테르, 메틸셀로솔브아세테이트, 에틸셀로솔브아세테이트, 디에틸렌글리콜메틸(또는 에틸)아세테이트, 아세톤, 메틸이소부틸케톤, 시클로헥사논, 디메틸포룸아미드(DMF), N,N-디메틸아세트아미드(DMAc), N-메틸피롤리디논(NMP), g-부틸로락톤, 디에틸에테르, 에틸렌글리콜디메틸에테르, 디글림, 테트라하이드로퓨란(THF), 메탄올, 에탄올, 프로판올, 이소-프로판올, 메틸(또는 에틸)셀로솔브, 디에틸렌글리콜메틸(또는 에틸) 에테르, 디프로필렌글리콜메틸에테르, 톨루엔, 크실렌, 헥산, 헵탄, 옥탄 중에서 선택된 하나 또는 둘 이상을 혼합하여 제조되는 것을 특징으로 하는 오버코트용 레지스트 조성물.
- 제1항에 있어서,혼합된 조성물의 점도가 5 내지 15 cps 범위인 것을 특징으로 하는 오버코트용 레지스트 조성물.
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