KR100479302B1 - 반도체장치이송용캐리어 - Google Patents

Abstract

본 발명은 캐리어를 이용한 웨이퍼의 이송시 캐리어에 적재된 웨이퍼의 유동을 방지할 수 있는 반도체장치 이송용 캐리어에 관한 것이다. 본 발명의 캐리어는, 다수매의 웨이퍼를 적재하는 캐리어에 상기 웨이퍼를 낱장으로 분리시켜 적재할 수 있도록 상기 캐리어의 양측부에 연속적으로 형성되는 슬롯; 및 상기 웨이퍼의 적재시 상기 웨이퍼가 고정되도록 상기 슬롯과 상기 슬롯에 인접하는 슬롯사이에서 가변할 수 있도록 형성되는 가변고정부를 구비하여 이루어짐을 특징으로 한다. 따라서, 캐리어를 이용한 웨이퍼의 이송시 웨이퍼의 유동으로 인해 웨이퍼가 손상되는 상황 등을 방지할 수 있어 생산성이 향상되는 효과가 있다.

Description

반도체장치 이송용 캐리어{Carrier for transfer of a semiconductor device}

본 발명은 반도체장치 이송용 캐리어에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 캐리어(Carrier)에 적재되는 웨이퍼(Wafer)가 고정되도록 가변고정부를 구비시킨 반도체장치 이송용 캐리어에 관한 것이다.

일반적으로 반도체장치는 성막공정, 사진식각공정, 불순물주입공정 및 금속공정 등으로 이루어지는 단위공정들의 수행으로써 제조된다.

이러한 상기 단위공정들의 수행에서 반도체장치로 제조되어지는 웨이퍼들은 제조설비들 사이에서의 이송 또는 상기 단위공정들 사이에서의 이송 등이 빈번하게 수행된다.

이에 따라 반도체장치의 제조에서는 상기 웨이퍼를 다수매로 적재하는 캐리어를 사용하여 이송을 수행하는 것이 일반적이다.

즉, 상기 웨이퍼의 이송시 상기 웨이퍼가 손상되거나 오염되는 것을 방지하기 위하여 상기 캐리어를 사용한 이송을 수행하는 것으로써, 상기 캐리어에는 다수매로 적재되는 웨이퍼를 낱장으로 분리시켜 적재할 수 있도록 상기 캐리어의 양측부에 연속적으로 슬롯(Solt)이 구비된다.

그러나 종래의 캐리어는 일반적으로 도1에 도시된 바와 같이 슬롯(10)과 슬롯(10) 사이의 간격이 웨이퍼(W)의 두께보다 넓음으로 인하여 상기 캐리어(1)에 적재된 웨이퍼(W)가 손상되는 경우가 빈번하게 발생하였다.

즉, 상기 캐리어(1)를 이용한 이송시 상기 캐리어(1)에 적재된 웨이퍼(W)는 사소한 충격 등에도 심하게 유동됨으로 인해 상기 웨이퍼(W)의 표면을 손상시키거나, 파티클(Particle)을 발생시키거나 또는 상기 웨이퍼(W)를 파손시키는 등의 상황이 빈번하게 발생되었다.

따라서 종래의 캐리어를 이용한 웨이퍼의 이송에서는 캐리어에 적재되는 웨이퍼의 유동으로 인해 웨이퍼의 표면손상, 파티클의 발생 또는 웨이퍼의 파손 등의 상황이 빈번하게 발생함에 따라 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.

본 발명의 목적은, 캐리어를 이용한 웨이퍼의 이송시 캐리어에 적재되는 웨이퍼의 유동을 최소화시켜 이로 인해 발생되는 웨이퍼의 손상 등을 방지함으로써 생산성을 향상시키기 위한 반도체장치 이송용 캐리어를 제공하는 데 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체장치 이송용 캐리어는, 다수매의 웨이퍼를 적재하는 캐리어에 상기 웨이퍼를 낱장으로 분리시켜 적재할 수 있도록 상기 캐리어의 양측부에 연속적으로 형성되는 슬롯; 및 상기 웨이퍼의 적재시 상기 웨이퍼가 고정되도록 상기 슬롯과 상기 슬롯에 인접하는 슬롯사이에서 가변할 수 있도록 형성되는 가변고정부를 구비하여 이루어짐을 특징으로 한다.

상기 가변고정부는 상기 캐리어의 슬롯과 슬롯사이에 연속적으로 형성시키는 것이 바람직하다.

상기 연속적으로 형성되는 가변고정부는 일체로 이루어지는 것이 바람직하다.

상기 웨이퍼의 적재시 상기 가변고정부가 고정되도록 상기 가변고정부를 고정시키는 고정부가 더 구비되는 것이 바람직하다.

상기 고정부는 나사체결로 고정시키는 것이 바람직하다.

상기 가변고정부는 테프론재질 또는 피크재질로 형성시키는 것이 바람직하다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도2는 본 발명에 따른 반도체장치 이송용 캐리어의 일 실시예를 나타내는 상세도이다.

먼저, 다수매의 웨이퍼(W)를 적재하는 캐리어(2)에 상기 웨이퍼(W)를 낱장으로 분리시켜 적재할 수 있도록 상기 캐리어(2)의 양측부에 구비되는 슬롯(20)을 나타내고 있다.

여기서 상기 슬롯(20)은 상기 캐리어(2)에 연속적으로 구비시킬 수 있다.

그리고 본 발명은 상기 웨이퍼(W)의 적재시 상기 웨이퍼(W)가 고정되도록 상기 슬롯(20)과 상기 슬롯(20)에 인접하는 슬롯(20)사이에서 가변할 수 있도록 형성되는 가변고정부(22)가 구비된다.

즉, 본 발명은 상기 가변고정부(22)를 이용하여 상기 슬롯(20)과 슬롯(20)사이에 삽입되는 웨이퍼(W)를 상기 가변고정부(22)와 슬롯(20)의 일측면에 고정되도록 한다.

그리고 본 발명은 상기 가변고정부(22)를 상기 캐리어(2)의 슬롯(20)과 슬롯(20)사이에 연속적으로 형성시킬 수 있고, 또한 연속적으로 형성되는 가변고정부(22)를 일체로 형성시킬 수 있다.

또한 본 발명은 상기 웨이퍼(W)의 적재시 상기 가변고정부(22)가 고정되도록 상기 가변고정부(22)를 고정시키는 고정부(24)를 더 구비시킬 수 있고, 실시예에서는 나사체결로 이루어지는 고정부(24)를 이용하여 상기 가변고정부(22)를 고정시킨다.

그리고 본 발명의 상기 가변고정부(22)는 테프론(Teflon)재질 또는 피크(Peek)재질로 형성시킬 수 있다.

즉, 본 발명은 상기와 같은 재질들을 이용한 상기 가변고정부(22)의 형성은 상기 가변고정부(22)와 접촉하는 웨이퍼(W)의 오염을 방지하기 위함이다.

이러한 구성으로 이루어지는 본 발명은 상기 가변고정부(22)를 이용함으로써 상기 캐리어(2)를 이용한 웨이퍼(W)의 이송시 상기 웨이퍼(W)의 유동을 방지할 수 있다.

즉, 상기 웨이퍼(W)를 상기 캐리어(2)에 적재시킨 후, 상기 가변고정부(22)를 이용하여 상기 웨이퍼(W)를 상기 캐리어(2)의 슬롯(20)의 일측면에 고정시킴으로써 슬롯(20)과 슬롯(20)의 간격과 웨이퍼(W)의 두께차이로 인한 웨이퍼(W)의 유동을 방지할 수 있다.

그리고 본 발명은 상기 가변고정부(22)를 고정시키는 상기 고정부(24)를 이용함으로써 상기 가변고정부(22)의 형성으로 인해 웨이퍼(W)의 적재 및 이송에 따른 지장은 없다.

즉, 상기 고정부(24)를 이용하여 상기 웨이퍼(W)의 두께에 따라 상기 가변고정부(22)와 슬롯(20)의 간격을 조절하여 웨이퍼(W)를 고정시킬 수 있기 때문이다.

또한 본 발명의 가변고정부(22)가 구비되는 캐리어(2)는 대구경화되어가는 최근의 반도체장치의 제조에 더욱 효율적으로 이용할 수 있다.

이에 따라 본 발명은 상기 가변고정부(22)가 구비되는 캐리어(2)를 이용한 웨이퍼(W)의 이송시 상기 웨이퍼(W)의 유동을 방지함으로써 상기 웨이퍼(W)의 표면이 손상되거나, 파티클이 발생하거나 또는 웨이퍼(W)가 파손되는 등의 상황의 발생을 미연에 방지할 수 있다.

따라서, 본 발명에 의하면 캐리어를 이용한 웨이퍼의 이송시 웨이퍼의 유동으로 인해 웨이퍼가 손상되는 상황 등을 방지할 수 있어 생산성이 향상되는 효과가 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

도1은 종래의 반도체장치 이송용 캐리어의 일측부를 나타내는 상세도이다.

도2는 본 발명에 따른 반도체장치 이송용 캐리어의 일 실시예를 나타내는 상세도이다.

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1, 2 : 캐리어 10, 20 : 슬롯

22 : 가변고정부 24 : 고정부

W : 웨이퍼

Claims (7)

1. 다수매의 웨이퍼를 적재하는 캐리어에 웨이퍼를 낱장으로 분리시켜 각각의 웨이퍼의 양측부가 삽입되는 형태로 적재할 수 있도록 상기 캐리어의 양측부에 연속적으로 형성되는 슬롯(Slot); 및

   상기 웨이퍼의 적재시 상기 웨이퍼가 고정되도록 상기 슬롯과 상기 슬롯에 인접하는 슬롯사이에서 가변할 수 있도록 형성되는 가변고정부;

   를 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 반도체장치 이송용 캐리어.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 가변고정부는 상기 캐리어의 슬롯과 슬롯사이에 연속적으로 형성시킴을 특징으로 하는 상기 반도체장치 이송용 캐리어.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 연속적으로 형성되는 가변고정부는 일체로 이루어짐을 특징으로 하는 상기 반도체장치 이송용 캐리어.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 웨이퍼의 적재시 상기 가변고정부가 고정되도록 상기 가변고정부를 고정시키는 고정부가 더 구비됨을 특징으로 하는 상기 반도체장치 이송용 캐리어.
5. 제 4 항에 있어서,

   상기 고정부는 나사체결로 고정시킴을 특징으로 하는 상기 반도체장치 이송용 캐리어.
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 가변고정부는 테프론(Teflon)재질로 형성시킴을 특징으로 하는 상기 반도체장치 이송용 캐리어.
7. 제 1 항에 있어서,

   상기 가변고정부는 피크(Peek)재질로 형성시킴을 특징으로 하는 상기 반도체장치 이송용 캐리어.

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