KR100469252B1 - Shadow Mask and Full Color Organic Electroluminescence Display Device Using the same - Google Patents

Shadow Mask and Full Color Organic Electroluminescence Display Device Using the same Download PDF

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Abstract

본 발명은 쉐도우 마스크 및 그를 이용한 풀칼라 유기 EL 표시소자를 제공하기 위한 것으로, 쉐도우 마스크는 다수개의 일방향으로 배열된 스트립 형태의 홀 패턴을 갖는 박막판으로 형성되고, 상기 홀 패턴이 상기 두 화소 간격 크기를 갖도록 상기 두 화소 간격당 하나의 브리지가 형성된 구조를 가짐으로써, 상기 쉐도우 마스크의 인장력에 의한 변형 및 쳐짐을 방지할 수 있으며, 풀칼라 유기 EL 표시소자 등의 평판 디스플레이 패널의 화소 어레이 방법 중 스트립 타입을 채택할 때 상기의 쉐도우 마스크를 이용하면 유기발광층 증착에 유리하고, 화소의 개구율을 높이고, 소자의 구동전압을 낮출수 있다.The present invention provides a shadow mask and a full-color organic EL display device using the shadow mask, wherein the shadow mask is formed of a thin plate having a plurality of strip-shaped hole patterns arranged in one direction, and the hole pattern is spaced between the two pixels. By having a structure in which one bridge is formed per two pixel intervals to have a size, it is possible to prevent deformation and sag caused by the tensile force of the shadow mask, and among the pixel array methods of a flat panel display panel such as a full color organic EL display device. When the strip type is adopted, the above-mentioned shadow mask is advantageous for deposition of the organic light emitting layer, increases the aperture ratio of the pixel, and lowers the driving voltage of the device.

Description

쉐도우 마스크 및 그를 이용한 풀칼라 유기 ＥＬ 표시소자{Shadow Mask and Full Color Organic Electroluminescence Display Device Using the same}Shadow mask and full color organic electroluminescence display device using the same

본 발명은 풀칼라(Full-color) 유기 EL(electroluminescence) 소자 등의 평판 디스플레이 (flat panel display) 패널의 발광층 형성시에 사용되는 쉐도우 마스크(shadowmask) 구조 및 그에 맞는 인정된 픽셀 어레이(pixel array) 방식의 유기 EL 표시소자에 관한 것이다.The present invention provides a shadowmask structure used in forming a light emitting layer of a flat panel display panel such as a full-color organic electroluminescence (EL) element, and a recognized pixel array according thereto. An organic EL display device of the type.

풀칼라 유기 EL 표시소자를 만드는데 있어서 R, G, B 화소들을 형성하기 위한 방법 중에 가장 색감이 좋고 발광효율을 개선할 수 있는 방법은 도1a와 같이 쉐도우 마스크를 이용하는 방법이 있다.Among the methods for forming the R, G, and B pixels in making a full color organic EL display device, a method using a shadow mask as shown in FIG.

쉐도우 마스크를 이용하여 풀칼라 유기 EL소자를 제조하는 방법을 도1a를 참조하여 설명하면 다음과 같다.A method of manufacturing a full color organic EL device using a shadow mask is described with reference to FIG. 1A as follows.

먼저, 글래스 기판(1) 상에 양극을 인가하기 위한 투명 전극인 ITO 스트립(2)을 형성한다.First, the ITO strip 2 which is a transparent electrode for applying an anode on the glass substrate 1 is formed.

그리고 그 상부에 절연막(3) 및 이후 형성될 음극 스트립을 절연하기 위해 격벽(4)을 형성한다.The barrier rib 4 is formed on the insulating layer 3 to insulate the insulating layer 3 and the negative electrode strip to be formed thereafter.

그리고, 쉐도우 마스크(6)를 이용하여 R, G, B 공통발광층(5)을 증착하고, R, G, B 유기발광층(5-1, 5-2, 5-3)을 해당 R, G, B 공통발광층(5) 상에 각각 형성한다.The R, G, and B common light emitting layers 5 are deposited using the shadow mask 6, and the R, G, and B organic light emitting layers 5-1, 5-2, and 5-3 are applied to the corresponding R, G, It is formed on the B common light emitting layer 5, respectively.

그리고, 전면을 금속으로 덮고, 이때 상기 격벽(6)에 의해 분리되도록 음극(미도시)을 형성한다.Then, the front surface is covered with a metal, and at this time, a cathode (not shown) is formed to be separated by the partition wall 6.

도1b 내지 도1d는 도1a와 같은 방법으로 화소 어레이 방식에 따라 구분되는 풀칼라 유기 EL 표시 소자 및 유기발광층을 형성하기 위한 쉐도우 마스크를 도시한 도면이다.1B to 1D are diagrams illustrating a full color organic EL display element and an organic light emitting layer, which are classified according to a pixel array method in the same manner as in FIG. 1A.

상기와 같이 쉐도우 마스크를 이용하여 유기발광층을 형성하는 방법에는 화소의 어레이 방식에 따라 도1b와 같은 스트립 방법과, 도1c와 같은 델타(delta)방법과, 도1d의 적색(R) 발광효율을 보완하기 위해 R 화소의 면적을 녹색(G) 또는 청색(B) 화소보다 크게 형성한 어레이 방법이 있다.As described above, the method of forming the organic light emitting layer using the shadow mask includes a strip method as shown in FIG. 1B, a delta method as shown in FIG. 1C, and a red (R) light emitting efficiency as shown in FIG. 1D according to an array method of pixels. In order to compensate, there is an array method in which an area of an R pixel is larger than a green (G) or blue (B) pixel.

상기 세가지 화소 어레이 방법 중 개구율이나 ITO 스트립(양극) 저항면에서 스트립 타입이 가장 우수하다. 즉, 스트립 형태로 ITO 스트립이 형성되므로 저항이 적어 적은 구동전압으로도 구동이 가능한 장점이 있다.Among the three pixel array methods, the strip type is the best in terms of aperture ratio and ITO strip (anode) resistance. That is, since the ITO strip is formed in the form of a strip, there is an advantage that it can be driven even with a small driving voltage because of low resistance.

반면 도1b의 방식의 문제점은 쉐도우 마스크(6)가 스트립형태로 만들어져야 한다는 점인데, 이런 경우 외부 인장력에 대한 쉐도우 마스크(6)의 변형 및 쉐도우 마스크(6)의 쳐짐현상이 심각하게 일어나 유기발광층 증착시 쉐도우 효과가 일어나, 원하는 화소 영역에만 증착되지 않고 색 번짐이 심해지게 된다.On the other hand, a problem with the scheme of FIG. 1B is that the shadow mask 6 must be made in strip form, in which case the deformation of the shadow mask 6 and the drooping of the shadow mask 6 to the external tensile force are seriously induced. When the light emitting layer is deposited, a shadow effect occurs, so that color bleeding is increased without being deposited only in a desired pixel area.

따라서, 도1b와 같은 스트립 형태의 화소 어레이 구조를 가지면서, 쉐도우 마스크의 변형 및 처짐현상을 제거하기 위한 방법으로, 도2a에 도시된 바와 같이 교대로 마스크 홀이 뚫린 쉐도우 마스크를 이용하는 것이다.Accordingly, as a method of removing the deformation and deflection of the shadow mask while having the strip array pixel array structure as illustrated in FIG. 1B, a shadow mask in which mask holes are alternately drilled is used as shown in FIG. 2A.

도2a 내지 도2d에 도시된 바와 같이, 이러한 쉐도우 마스크 구조를 이용한 풀칼라 유기 EL 표시소자의 유기발광층 증착 공정을 도시한 도면이다.As shown in Figs. 2A to 2D, an organic light emitting layer deposition process of a full color organic EL display device using such a shadow mask structure is shown.

그러나 이 방법은 R, G, B 하나의 칼라를 내는 유기발광층을 2번에 걸쳐 형성해야 하므로, 총 6번의 얼라인 후 6번 증착을 해야 하는 단점이 있다.However, this method has a disadvantage in that the organic light emitting layer having one color of R, G, and B must be formed twice, so that six depositions are performed after six alignments in total.

즉, R, G, B 유기발광층을 형성함에 있어 도1b, 도1c, 도1d의 쉐도우 마스크(6)를 이용하는 경우 상기 쉐도우 마스크를 3번 얼라인하여 3번을 증착하면 되지만, 도2a에 도시된 쉐도우 마스크를 이용하는 경우, 6번 얼라인하여 6번을 증착해야 하는 단점이 있다.That is, in forming the R, G, and B organic light emitting layers, when the shadow mask 6 of FIGS. 1B, 1C, and 1D is used, the shadow mask may be aligned three times and then deposited three times. In the case of using a shadow mask, there is a disadvantage in that six depositions must be aligned six times.

따라서, 도3a 내지 도3d는 이를 개선하기 위한 쉐도우 마스크 구조를 이용한 풀칼라 유기 EL 표시소자의 유기발광층 증착 공정을 도시한 도면이다.3A to 3D illustrate a process of depositing an organic light emitting layer of a full-color organic EL display device using a shadow mask structure to improve this.

도3a에 도시된 쉐도우 마스크(6)는 도1b에 도시된 스트립 형태의 쉐도우 마스크의 마스크 홀(mask hole) 패턴에 브리지(6-1)를 도입한 구조로, 개구율 및 배선저항에 유리한 스트립 형태이면서 마스크의 쳐짐이 없고, R·G·B각각 1번씩 증착할 수 있게 만든 방식으로, 이 방식은 기 출원하였다.The shadow mask 6 shown in FIG. 3A has a structure in which a bridge 6-1 is introduced into a mask hole pattern of the shadow mask of the strip form shown in FIG. 1B, and has a strip shape that is advantageous in opening ratio and wiring resistance. In the meantime, there is no sag of the mask, and R, G, and B are allowed to be deposited once, and this method has been previously filed.

도4는 상기 도3과 같은 쉐도우 마스크(6)를 이용하여 증착한 R, G, B 유기발광층을 도시한 도면이다.FIG. 4 is a view showing R, G, and B organic light emitting layers deposited using the shadow mask 6 as shown in FIG.

그러나 도4에 도시된 쉐도우 마스크(6)의 브리지(6-1)의 폭 a를 얇게 만들어야 발광 픽셀의 개구율을 높일 수 있지만, 실제로 이 브리지(6-1)를 얇게 만들기가 쉽지 않다는데 있다.However, although the aperture ratio of the light emitting pixels can be increased by making the width a of the bridge 6-1 of the shadow mask 6 shown in FIG. 4 thin, it is not easy to make the bridge 6-1 thin.

특히 실제 양산시에는 대면적 기판을 사용해야 하고, 따라서 쉐도우 마스크(6)의 크기도 커져야 하며, 이와 비례하여 브리지(6-1)의 폭도 넓어져야 한다.In particular, in actual production, a large area substrate should be used, and thus the size of the shadow mask 6 should be large, and the width of the bridge 6-1 should be widened in proportion to it.

이렇게 브리지(6-1)의 폭이 넓어질수록 개구율은 기하급수적으로 작아진다.As the width of the bridge 6-1 increases, the opening ratio decreases exponentially.

따라서 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 풀칼라 유기 EL 표시소자 등의 평판 디스플레이 패널의 화소 어레이 방법 중 스트립 타입을 채택하고, 인장력에 대한 변형 및 쳐짐을 방지할 수 있는 쉐도우 마스크의 구조를 도입하여 화소의 개구율이 높고 구동전압이 낮은 풀칼라 소자의 유기 EL 표시소자를 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, and adopts a strip type of the pixel array method of a flat panel display panel such as a full-color organic EL display device, and a shadow that can prevent deformation and sag against tensile force. An object of the present invention is to provide a full color organic EL display device having a high aperture ratio of pixels and a low driving voltage by introducing a mask structure.

도1a 내지 도1d는 화소 어레이 방식에 따른 풀칼라 유기 EL 표시소자 및 종래의 쉐도우 마스크를 도시한 도면이다.1A to 1D are diagrams showing a full color organic EL display device and a conventional shadow mask according to a pixel array method.

도2a 내지 도2d는 종래 기술에 따른 쉐도우 마스크 구조를 이용한 풀칼라 유기 EL 표시소자의 유기발광층 증착 공정을 도시한 도면이다.2A to 2D are diagrams illustrating an organic light emitting layer deposition process of a full color organic EL display device using a shadow mask structure according to the prior art.

도3a 내지 도3d는 종래 기술에 따른 쉐도우 마스크 구조를 이용한 풀칼라 유기 EL 표시소자의 유기발광층 증착 공정을 도시한 도면이다.3A to 3D are diagrams illustrating an organic light emitting layer deposition process of a full color organic EL display device using a shadow mask structure according to the prior art.

도4는 상기 도3과 같은 쉐도우 마스크를 이용하여 증착한 R, G, B 유기발광층을 도시한 도면이다.FIG. 4 is a diagram illustrating R, G, and B organic light emitting layers deposited using a shadow mask as shown in FIG.

도5a 내지 도5h는 본 발명에 따른 쉐도우 마스크를 이용한 스트립 형태의 화소 어레이 방식에 따른 유기 EL 소자의 제조 공정의 투시 평면도이다.5A to 5H are perspective plan views of a manufacturing process of an organic EL element according to a strip array pixel array method using a shadow mask according to the present invention.

도6은 본 발명에 따른 쉐도우 마스크의 평면도이다.6 is a plan view of a shadow mask according to the present invention.

도7a 내지 도7c는 상기 도6의 쉐도우 마스크의 A 부분의 상세도이다.7A to 7C are detailed views of portion A of the shadow mask of FIG.

도8은 본 발명에 따른 스트립 형태의 화소 어레이 방식에 따른 유기 EL 표시소자의 제조 공정의 일과정을 도시한 투시 평면도이다.8 is a perspective plan view showing one process of a manufacturing process of an organic EL display device according to a strip array pixel array method according to the present invention.

도9는 도8의 'B' 부분을 쉐도우 마스크를 이용하여 증착한 R, G, B 유기발광층을 도시한 투시 평면도이다.FIG. 9 is a perspective plan view illustrating R, G, and B organic light emitting layers in which a portion 'B' of FIG. 8 is deposited using a shadow mask. FIG.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

10 : 투명기판 20 : 제1전극10: transparent substrate 20: first electrode

20-1 : 제1전극 탭 20-2 : 제2전극 탭20-1: first electrode tab 20-2: second electrode tab

30 : 보조전극 40 : 절연막30: auxiliary electrode 40: insulating film

50 : 절연 격벽 60 : 쉐도우 마스크50: insulation partition 60: shadow mask

60-1 : 브리지 60-2: 홀 패턴60-1: Bridge 60-2: Hole Pattern

70-1 : R 유기발광층 70-2 : G 유기발광층70-1: R organic light emitting layer 70-2: G organic light emitting layer

70-3 : B 유기발광층 90 : 제2전극70-3: B organic light emitting layer 90: second electrode

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 쉐도우 마스크의 특징은 평판 표시소자의 화소에 마스킹하여 발광층 형성할 때 이용되는 것으로, 다수개의 일방향으로 배열된 스트립 형태의 홀 패턴을 갖는 박막판으로 형성되고, 상기 홀패턴이 상기 두 화소 간격 크기를 갖도록 상기 두 화소 간격당 하나의 브리지가 형성된 구조를 갖는데 있다.A feature of the shadow mask according to the present invention for achieving the above object is to be used when forming the light emitting layer by masking the pixel of the flat panel display device, it is formed of a thin film plate having a plurality of hole-shaped strip pattern arranged in one direction And a bridge is formed per two pixel intervals such that the hole pattern has the size of the two pixel intervals.

상기 브리지는 상기 쉐도우 마스크의 대각선 방향으로 형성되고, 상기 브리지의 폭과 두께는 1~1000㎛인 것을 특징으로 한다.The bridge is formed in a diagonal direction of the shadow mask, the width and thickness of the bridge is characterized in that 1 ~ 1000㎛.

그리고, 상기 브리지는 박막 메탈로 형성되고, 상기 박막판과 같은 두께로 상기 박막판과 같은 평면에 형성되거나, 상기 브리지는 상기 박막판과 같은 두께로 상기 박막판의 뒷면 또는 앞면에 형성되거나, 상기 브리지는 상기 박막판과 같은 두께로 상기 박막판과 같은 평면에 형성되고, 동시에 상기 박막판과 다른 두께로 상기 박막판과 다른 평면에 형성되는 것을 특징으로 한다.And, the bridge is formed of a thin metal, the same thickness as the thin film plate is formed on the same plane as the thin film plate, or the bridge is formed on the back or front of the thin film plate to the same thickness as the thin film plate, or The bridge is formed on the same plane as the thin film plate with the same thickness as the thin film plate, and at the same time is formed on a plane different from the thin film plate with a different thickness from the thin film plate.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 풀칼라 유기 EL 표시소자의 특징은 투명기판 상에 제1전극 및 제2전극이 교차하는 영역에 의해 정의되는 다수개의 화소에 R, G, B 유기발광층이 스트립 타입으로 형성되는 풀칼라 유기 EL 표시소자에 있어서, 투명기판 상에 상기 일방향으로 배열된 제1전극; 상기 제1 전극 상부에 상기 화소가 형성될 개구홀을 갖고, 상기 개구홀은 상기 제1전극 배열방향과 수직방향으로 배열된 인접한 두 화소 어레이에 있어서, 두 인접하는 화소 간의 간격이 넓은 부분과 좁은 부분이 상기 화소 어레이 방향으로 반복되도록 상기 제1 전극 및 투명기판 상에 형성된 절연막; 상기 절연막 상에 상기 제1 전극 배열방향과 수직방향으로 배열된 한 화소 어레이 당 형성된 절연 격벽; 다수개의 스트립 형태의 홀 패턴을 갖고, 상기 홀 패턴이 상기 제1 전극 배열방향으로 두 화소 간격 크기를 갖도록 상기 두 화소 간격당 하나의 브리지가 형성되고, 상기 브리지는 상기 두 인접하는 화소 간의 간격이 넓은 부분에 형성된 구조를 갖는 쉐도우 마스크를 이용하여 상기 화소에 상기 R, G, B 유기 발광층; 상기 유기발광층 상에 형성되고 상기 제1전극과 교차하여 형성된 제2전극을 포함하여 구성되는데 있다.A feature of the full color organic EL display device according to the present invention for achieving the above object is R, G, B organic in a plurality of pixels defined by the region where the first electrode and the second electrode intersect on the transparent substrate A full color organic EL display device in which a light emitting layer is formed in a strip type, comprising: a first electrode arranged in the one direction on a transparent substrate; An opening hole in which the pixel is to be formed on the first electrode, and the opening hole is formed in two adjacent pixel arrays arranged in a direction perpendicular to the first electrode array direction, the portion having a wide interval between two adjacent pixels and a narrow portion; An insulating film formed on the first electrode and the transparent substrate such that a portion is repeated in the pixel array direction; An insulating barrier rib formed on the insulating layer per pixel array arranged in a direction perpendicular to the first electrode array direction; It has a plurality of strip-shaped hole patterns, one bridge is formed for each of the two pixel intervals so that the hole pattern has a size of two pixel intervals in the first electrode array direction, the bridge is a gap between the two adjacent pixels The R, G, and B organic light emitting layers on the pixel using a shadow mask having a structure formed in a wide portion; And a second electrode formed on the organic light emitting layer and intersecting the first electrode.

그리고, 상기 제1전극 상부 또는 하부에 상기 제1 전극보다 도전성이 높은 물질의 보조전극을 더 포함하여 구성되며, 상기 브리지의 폭과 두께는 1~1000㎛이다.Further, an auxiliary electrode of a material having a higher conductivity than the first electrode is further included above or below the first electrode, and the width and thickness of the bridge are 1 to 1000 μm.

이러한 쉐도우 마스크를 3번 얼라인하여 R, G, B 각 유기발광층이 교대로 상기 제1 전극방향으로 배열되도록 상기 화소에 R, G, B 유기 발광층을 형성한다.The shadow mask is aligned three times to form R, G, and B organic light emitting layers on the pixels such that R, G, and B organic light emitting layers are alternately arranged in the first electrode direction.

상기와 같은 본 발명의 특징에 따른 작용은 유기발광층의 증착은 RGB각각 한번씩만 해도 되는 구조를 가지고, 종래 풀칼라 소자의 화소 어레이 방식 중 개구율 및 양극 저항면에서 유리한 스트립 타입을 채택하여 구동전압을 감소시키고, 이때 쉐도우 마스크의 스트립 형태의 긴 홀 패턴 중간 중간에 박막 메탈을 브리지를 형성함으로써 인장력에 대한 쉐도우 마스크의 변형 및 쳐짐을 방지하며, 또한 브리지를 매번 형성하지 않고 두 화소당 하나씩 형성하는 것에 의해 화소의 개구율을 높일 수 있다.As described above, the organic light emitting layer has a structure in which the deposition of the organic light emitting layer may be performed only once for each RGB, and adopts a strip type which is advantageous in terms of aperture ratio and anode resistance in the pixel array method of the conventional full color device. In this case, the thin film metal is formed in the middle of the long hole pattern in the form of the strip of the shadow mask to prevent deformation and sag of the shadow mask against tensile force, and also to form one bridge for each two pixels without forming the bridge each time. This can increase the aperture ratio of the pixel.

또한 상기 절연막에 의해 화소를 엇갈려 형성함으로써 RGB 픽셀이 한쪽으로 편중되지 않고 화면전체에 고르게 분포하는 구조를 적용하여 화면의 균일도(uniformity)를 높여 개구율 감소를 더욱 줄일 수 있다.In addition, by forming the pixels alternately by the insulating layer, by applying a structure in which the RGB pixels are evenly distributed throughout the screen without biasing to one side, the uniformity of the screen may be increased to further reduce the aperture ratio.

본 발명의 다른 목적, 특성 및 잇점들은 첨부한 도면을 참조한 실시예들의 상세한 설명을 통해 명백해질 것이다.Other objects, features and advantages of the present invention will become apparent from the following detailed description of embodiments taken in conjunction with the accompanying drawings.

본 발명에 따른 쉐도우 마스크 및 그를 이용한 유기 EL 표시소자의 바람직한 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.A preferred embodiment of a shadow mask and an organic EL display device using the same according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도5a 내지 도5h는 본 발명에 따른 쉐도우 마스크를 이용한 스트립 형태의 화소 어레이 방식에 따른 유기 EL 소자의 제조 공정의 투시 평면도이다.5A to 5H are perspective plan views of a manufacturing process of an organic EL element according to a strip array pixel array method using a shadow mask according to the present invention.

도5a와 같이 투명기판(10) 상에 일방향으로 배열된 화소 어레이와 수직한 방향으로 하나의 화소 어레이당 두 라인으로 홀수번째 화소는 한 라인에 연결되고, 짝수번째 화소는 다른 한 라인에 연결되도록 투명전극물질로 제1전극(20) 패턴을 형성한다.As shown in FIG. 5A, the odd-numbered pixels are connected to one line and the even-numbered pixels are connected to one line in two lines per pixel array in a direction perpendicular to the pixel array arranged in one direction on the transparent substrate 10. The first electrode 20 pattern is formed of a transparent electrode material.

그리고, 제1전극 탭(20-1) 및 제2전극을 빼내기 위한 제2전극 탭(20-2)을 함께 형성한다.Then, the first electrode tab 20-1 and the second electrode tab 20-2 for extracting the second electrode are formed together.

그리고, 도5b와 같이 제1전극(20)의 저항을 줄이기 위해 보조전극(30)을 형성한다.As shown in FIG. 5B, the auxiliary electrode 30 is formed to reduce the resistance of the first electrode 20.

이 보조전극으로 쓰이는 물질은 상기 제1전극(20)보다 상대적으로 저항이 작은 금속을 쓰면 된다. 예를 들어 Cr, Al, Cu, W, Au, Ni, Ag 등이다.The material used as the auxiliary electrode may be made of a metal having a smaller resistance than that of the first electrode 20. For example, Cr, Al, Cu, W, Au, Ni, Ag and the like.

통상 풀칼라 구현시에는 보조전극(30)을 반드시 사용해야 한다.In general, when implementing a full color, the auxiliary electrode 30 must be used.

이어, 도5c와 같이, 상기 제1전극(20) 패턴의 에지 부분을 커버하도록 상기 투명기판(10) 상에 절연막(40)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 5C, an insulating film 40 is formed on the transparent substrate 10 to cover the edge portion of the first electrode 20 pattern.

절연막(40) 형성시 발광 화소(pixel)의 사이즈가 결정되는데, 화소와 화소간의 간격이 넓은 부분(a)과 좁은 부분(b)이 지그재그형태로 만들어야 한다.When the insulating film 40 is formed, the size of the light emitting pixel is determined, and a wide portion (a) and a narrow portion (b) between the pixels and the pixel should be zigzag-shaped.

여기서 넓은 부분(a)은 아래에 설명할 쉐도우 마스크의 브리지가 위치할 부분이다.Here, the wide part (a) is the part where the bridge of the shadow mask will be described below.

이어, 그 위에 일방향으로 배열된 두 화소 어레이가 외부의 스캔라인과 연결되어 상기 두 화소 어레이가 동시에 스캔 구동되며, 제2 전극(미도시) 사이의 도록 절연 격벽(50)을 형성한다.Subsequently, two pixel arrays arranged in one direction thereon are connected to an external scan line so that the two pixel arrays are simultaneously scanned and driven to form an insulating barrier 50 between the second electrodes (not shown).

투명기판(10) 상에 제1전극(20) 및 제2전극(미도시)이 교차하는 영역에 의해 정의되는 다수개의 화소에 R, G, B 유기발광층을 형성하기 위해 도6에 도시한 바와 같은 쉐도우 마스크(60)를 이용한다.As shown in FIG. 6 to form R, G, and B organic light emitting layers on a plurality of pixels defined by regions where the first electrode 20 and the second electrode (not shown) intersect on the transparent substrate 10. The same shadow mask 60 is used.

도6은 본 발명에 따른 쉐도우 마스크(60)의 평면도로, 상기 쉐도우 마스크(60)는 도3과 같이, 다수개의 스트립 형태의 홀(hole) 패턴(60-2)을 갖고, 상기 홀 패턴(60-2)을 가로지르는 다수개의 브리지(60-1)가 형성된다.FIG. 6 is a plan view of a shadow mask 60 according to the present invention. The shadow mask 60 has a plurality of strip-shaped hole patterns 60-2, as shown in FIG. A plurality of bridges 60-1 across 60-2 are formed.

즉, 스트립 형태의 홀 패턴(60-2) 중간 중간에 두 화소 간격당 하나씩 브리지(60-1)를 만들어 마스크 홀 패턴(60-2)의 변형을 막는다.That is, the bridge 60-1 is formed in the middle of the strip-shaped hole pattern 60-2 for each pixel interval to prevent the deformation of the mask hole pattern 60-2.

브리지(60-1)를 매 화소와 화소 사이에 만들지 않고 하나 건너 하나씩 만든다.The bridge 60-1 is made one by one without making it between every pixel.

도7a 내지 도7c는 상기 도6의 쉐도우 마스크의 A 부분의 상세도로, 브리지(60-1)의 형태는 도4a에 도시한 바와 같이 쉐도우 마스크(60)와 같은 두께로 같은 평면상에 형성되거나, 도4b에 도시한 바와 같이 쉐도우 마스크(60)와 다른 두께로 다른 평면상에 형성되거나, 이들의 혼합형으로, 도4c에 도시한 바와 같이 같은 두께 및 다른 두께로 같은 평면 및 다른 평면에 형성할 수 있다.7A to 7C are detailed views of a portion A of the shadow mask of FIG. 6, wherein the shape of the bridge 60-1 is formed on the same plane as the shadow mask 60 as shown in FIG. 4A, or 4B may be formed on different planes with different thicknesses as the shadow mask 60, as shown in FIG. 4B, or may be formed on the same plane and different planes with the same thickness and different thickness as shown in FIG. Can be.

또한 이 브리지(60-1)의 폭(a)과 두께(b)는 1~1000㎛면 적당하며 폭(a)을 얇게 하여야 개구율이 향상된다.In addition, the width a and the thickness b of the bridge 60-1 are suitably in the range of 1 to 1000 m, and the width a should be made thin to improve the aperture ratio.

상기 투명기판(10) 위에 R, G, B에 공통으로 사용되는 물질들을 전체 발광 영역을 다 증착시킬 수 있는 블랭크 마스크를 이용하여 한번에 R, G, B 공통발광층(미도시)을 증착시킨다.Materials commonly used for R, G, and B are deposited on the transparent substrate 10 at a time by using a blank mask capable of depositing all of the emission regions, using a blank mask (not shown).

이어, 도5d 내지 도5f와 같이, 상기와 같은 쉐도우 마스크(60)를 3번 얼라인(align)하여 R, G, B 각 유기발광층이 교대로 열방향으로 배열되도록 도5g와 같이 화소에 R, G, B 유기발광층(70-1, 70-2, 70-3)을 형성한다.5D to 5F, the shadow mask 60 is aligned three times so that the organic light emitting layers of R, G, and B are alternately arranged in the column direction as shown in FIG. 5G. , G, and B organic light emitting layers 70-1, 70-2, and 70-3 are formed.

물론 R, G, B 공통발광층을 발광 영역 전체에 증착시키지 않고 쉐도우 마스크(60)를 이용하여 R, G, B 각 화소에 각각 형성할 수도 있다.Of course, the R, G, and B common emission layers may be formed on each of the R, G, and B pixels by using the shadow mask 60 without depositing the entire emission region.

그 다음 블랭크 쉐도우 마스크를 이용하여 도5h와 같이 음극 물질(Mg-Ag 합금, Al 또는 기타 도전성 물질)층을 형성하여 제2전극(90)을 형성한다.Next, a second electrode 90 is formed by forming a layer of a negative electrode material (Mg-Ag alloy, Al, or other conductive material) as shown in FIG. 5H using a blank shadow mask.

그 위에 보호막층(산소 흡착층, 수분 흡착층, 방습층 등)을 형성시키고, 인캡슐레이션(미도시)을 한다.A protective film layer (oxygen adsorption layer, moisture adsorption layer, moisture barrier layer, etc.) is formed thereon and encapsulated (not shown).

상기 도5a 및 도5g에 도시한 예는 기출원한 스택(stack) 구조를 모델로 하였으나, 본 발명은 도8에 도시한 바와 같은 스트립 형태의 화소 어레이 방식에 따른 유기 EL 표시소자 및 도시되지 않았지만 TFT를 이용한 AM(Active Matrix)-EL도 적용된다.Although the example shown in FIGS. 5A and 5G is modeled on a stacked stack structure, the present invention is an organic EL display device according to a strip array pixel array method as shown in FIG. AM (Active Matrix) -EL using TFT is also applied.

도8 또한 절연막(40) 형성시 제1전극(20) 패턴의 에지 부분을 커버하며, 화소와 화소간의 간격이 넓은 부분(a)과 좁은 부분(b)이 지그재그형태로 되도록 형성한다.8 also covers the edge portion of the pattern of the first electrode 20 when the insulating film 40 is formed, and is formed such that a wide portion (a) and a narrow portion (b) between the pixels are zigzag.

여기서 넓은 부분(a)은 아래에 설명할 쉐도우 마스크의 브리지(60-1)가 위치할 부분이다.Here, the wide portion (a) is a portion where the bridge 60-1 of the shadow mask to be described below will be located.

도9는 도8의 'B' 부분을 쉐도우 마스크(60)를 이용하여 증착한 R, G, B 유기발광층(70-1, 70-2, 70-3)을 도시한 투시 평면도이다.FIG. 9 is a perspective plan view illustrating R, G, and B organic light emitting layers 70-1, 70-2, and 70-3 in which a portion 'B' of FIG. 8 is deposited using a shadow mask 60.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 쉐도우 마스크 및 그를 이용한 유기 EL 표시소자는 다음과 같은 효과가 있다.The shadow mask and the organic EL display device using the same according to the present invention as described above has the following effects.

개구율 및 제1전극(양극)의 저항면에서 유리한 스트립 형태의 화소 어레이 방식을 채택함에 있어서, 최대의 기술적인 문제인 쉐도우 마스크의 인장력에 대한 변형 및 쳐짐을 방지하는 방법으로 브리지 형태의 마스크 홀 패턴을 형성하되, 이 브리지에 의한 소자의 개구율 감소 영향을 최소화하기 위해, 기 출원한 1 화소 당 1 홀 패턴이 아닌, 2 화소 당 1홀 패턴을 형성하여, 브리지 하나를 없앰으로써 개구율을 높이고, 또한 기판의 화소를 엇갈려 고르게 형성하여 균일도(uniformity)를 확보하여, 최종적으로는 소자의 개구율을 극대화하는 효과가 있다.In adopting the strip-shaped pixel array method which is advantageous in terms of the aperture ratio and the resistance of the first electrode (anode), the bridge-type mask hole pattern is formed in such a way as to prevent deformation and sag of the tensile force of the shadow mask, which is the biggest technical problem. In order to minimize the effect of reducing the aperture ratio of the device by the bridge, a hole pattern per two pixels is formed instead of the previously applied one-hole pattern per pixel, thereby increasing the aperture ratio by eliminating one bridge, and furthermore, By uniformly forming the pixels of the to ensure uniformity (finality), and finally has the effect of maximizing the aperture ratio of the device.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술 사상을 이탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

따라서, 본 발명의 기술적 범위는 실시예에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의하여 정해져야 한다.Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the embodiments, but should be defined by the claims.

Claims (11)

평판 표시소자의 화소에 마스킹하여 발광층 형성할 때 이용되는 쉐도우 마스크에 있어서,In the shadow mask used when masking the pixels of the flat panel display element to form a light emitting layer, 다수개의 일방향으로 배열된 스트립 형태의 홀 패턴을 갖는 박막판으로 형성되고, 상기 홀 패턴이 상기 두 화소 간격 크기를 갖도록 상기 두 화소 간격당 하나의 브리지가 형성되며, 상기 브리지는 상기 박막판과 같은 두께로 상기 박막판과 같은 평면에 형성되거나 다른 두께로 상기 박막판과 다른 평면에 형성되는 것을 특징으로 하는 쉐도우 마스크.It is formed of a thin film plate having a plurality of strip-shaped hole patterns arranged in one direction, one bridge is formed for each of the two pixel intervals so that the hole pattern has a size of the two pixel interval, the bridge is the same as the thin plate The shadow mask is formed on the same plane as the thin film plate in a thickness or different from the thin film plate in a different thickness. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 브리지는 상기 박막판과 같은 두께로 상기 박막판과 같은 평면에 형성되고, 동시에 상기 박막판과 다른 두께로 상기 박막판과 다른 평면에 형성되는 것을 특징으로 하는 쉐도우 마스크.The shadow mask of claim 1, wherein the bridge is formed on the same plane as the thin film plate at the same thickness as the thin film plate, and is formed on a plane different from the thin film plate at a thickness different from that of the thin film plate. 제1항에 있어서, 상기 브리지의 폭과 두께는 1~1000㎛인 것을 특징으로 하는 쉐도우 마스크.The shadow mask of claim 1, wherein a width and a thickness of the bridge are 1 μm to 1000 μm. 투명기판 상에 제1전극 및 제2전극이 교차하는 영역에 의해 정의되는 다수개의 화소에 R, G, B 유기발광층이 스트립 타입으로 형성되는 풀칼라 유기 EL 표시소자에 있어서,In a full color organic EL display device in which R, G, B organic light emitting layers are formed in a strip type in a plurality of pixels defined by regions where a first electrode and a second electrode intersect on a transparent substrate, 투명기판 상에 상기 일방향으로 배열된 제1전극;A first electrode arranged in the one direction on the transparent substrate; 상기 제1 전극 상부에 상기 화소가 형성될 개구홀을 갖고, 상기 개구홀은 상기 제1전극 배열방향과 수직방향으로 배열된 인접한 두 화소 어레이에 있어서, 두 인접하는 화소 간의 간격이 넓은 부분과 좁은 부분이 상기 화소 어레이 방향으로 반복되도록 상기 제1 전극 및 투명기판 상에 형성된 절연막;An opening hole in which the pixel is to be formed on the first electrode, and the opening hole is formed in two adjacent pixel arrays arranged in a direction perpendicular to the first electrode array direction, the portion having a wide interval between two adjacent pixels and a narrow portion; An insulating film formed on the first electrode and the transparent substrate such that a portion is repeated in the pixel array direction; 상기 절연막 상에 상기 제1 전극 배열방향과 수직방향으로 배열된 한 화소 어레이 당 형성된 절연 격벽;An insulating barrier rib formed on the insulating layer per pixel array arranged in a direction perpendicular to the first electrode array direction; 다수개의 스트립 형태의 홀 패턴을 갖고, 상기 홀 패턴이 상기 제1 전극 배열방향으로 두 화소 간격 크기를 갖도록 상기 두 화소 간격당 하나의 브리지가 형성되고, 상기 브리지는 상기 두 인접하는 화소 간의 간격이 넓은 부분에 형성된 구조를 갖는 쉐도우 마스크를 이용하여 상기 화소에 상기 R, G, B 유기 발광층;It has a plurality of strip-shaped hole patterns, one bridge is formed for each of the two pixel intervals so that the hole pattern has a size of two pixel intervals in the first electrode array direction, the bridge is a gap between the two adjacent pixels The R, G, and B organic light emitting layers on the pixel using a shadow mask having a structure formed in a wide portion; 상기 유기발광층 상에 형성되고 상기 제1전극과 교차하여 형성된 제2전극을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기 EL 표시소자.And a second electrode formed on said organic light emitting layer and intersecting with said first electrode. 제8항에 있어서, 상기 브리지의 폭과 두께는 1~1000㎛인 것을 특징으로 하는 유기 EL 표시소자.The organic EL display device according to claim 8, wherein the bridge has a width and a thickness of 1 to 1000 mu m. 제8항에 있어서, 상기 제1전극 상부 또는 하부에 상기 제1 전극보다 도전성이 높은 물질의 보조전극을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기 EL 표시소자.The full color organic EL display device of claim 8, further comprising an auxiliary electrode formed of a material having a higher conductivity than the first electrode above or below the first electrode. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 쉐도우 마스크를 3번 얼라인하여 R, G, B 각 유기발광층이 교대로 상기 제1 전극방향으로 배열되도록 상기 화소에 R, G, B 유기 발광층을 형성하는 것을 특징으로 하는 풀칼라 유기 EL 표시소자.Full-color organic EL display device, wherein the shadow mask is aligned three times to form R, G, and B organic light emitting layers on the pixels such that R, G, and B organic light emitting layers are alternately arranged in the first electrode direction. .
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