KR100446467B1 - Method for manufacturing flat panel display device using supplementary mask - Google Patents
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Abstract
본 발명은 기판에 새도우 마스크를 정확히 정렬하여, 유기 발광 물질, 전극 물질 등의 증착 물질을 기판에 오차없이 증착할 수 있는 보조 마스크를 사용한 평판 표시 소자의 제조방법에 관한 것으로서, 액티브 영역과 상기 액티브 영역의 가장자리에 형성된 프레임으로 이루어진 새도우 마스크의 일측면에 상기 액티브 영역을 개방하는 개구부가 형성되어 있으며 상기 프레임의 적어도 일부분을 지지하는 보조 마스크를 장착하는 과정; 상기 새도우 마스크의 타측면에 기판을 정렬하는 과정; 및 상기 새도우 마스크의 액티브 영역을 통하여 증작물질을 기판에 증착하는 과정을 포함하는 평판 표시 소자의 제조방법을 제공한다.The present invention relates to a method of manufacturing a flat panel display device using an auxiliary mask capable of precisely aligning a shadow mask on a substrate and depositing deposition materials such as organic light emitting materials and electrode materials on the substrate without errors. Mounting an auxiliary mask for opening at least a portion of the frame, the opening being formed on one side of the shadow mask formed of a frame formed at an edge of the region and supporting at least a portion of the frame; Aligning the substrate to the other side of the shadow mask; And depositing a deposition material on a substrate through an active region of the shadow mask.
Description
본 발명은 보조 마스크를 사용한 평판 표시 소자의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기판에 새도우 마스크를 정확히 정렬(align)하여, 유기 발광 물질, 전극 물질 등의 증착 물질을 기판에 오차없이 증착할 수 있는 보조 마스크를 사용한 평판 표시 소자의 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a flat panel display device using an auxiliary mask, and more particularly, to precisely align a shadow mask on a substrate so that deposition materials such as organic light emitting materials and electrode materials can be deposited without error on the substrate. The manufacturing method of the flat panel display element using the auxiliary mask which can be used.
최근 핸드폰, PDA 등 포터블(portable) 전자 기기의 사용이 일반화되고, 표시 장치가 대형화됨에 따라, 부피가 적은 평판 표시 소자에 대한 요구가 증대되고 있으며, 이러한 평판 표시 소자 중 하나로서 유기 전계발광 소자에 대한 연구가 활발히 이루어지고 있다. 유기 전계발광 소자는 5 내지 20V 정도의 낮은 전압으로 구동할 수 있다는 장점이 있을 뿐만 아니라, 넓은 시야각, 고속 응답성, 고 컨트라스트(contrast) 등의 뛰어난 특징을 가지고 있고, 얇고 가벼우며 색감이 좋기 때문에 차세대 평판 표시 소자로서 적합하다.Recently, as the use of portable electronic devices such as mobile phones and PDAs has become common, and display devices have been enlarged, demands for low-volume flat panel display devices are increasing. As one of such flat panel display devices, organic electroluminescent devices Research is being actively conducted. Organic electroluminescent devices not only have the advantage of being able to drive at a low voltage of about 5 to 20V, but also have excellent features such as wide viewing angle, high-speed response and high contrast, and are thin, light and have good color. It is suitable as a next generation flat panel display element.
유기 전계발광 소자는 일반적으로 기판 상에 제1 전극이 띠(stripe)형태로 형성되고, 상기 제1 전극 상부에 R, G, B 유기 전계발광층이 형성되며, 상기 유기 전계발광층 상부에 제2 전극이 상기 제1 전극과 수직한 방향으로 띠 형태로 형성되는 구조를 가지고 있다. 이와 같은 유기 전계발광 소자에서 상기 R, G, B 유기 전계발광층 및 제2 전극 등을 형성하는 방법으로는 포토레지스트를 이용하여 포토리쏘그래피 공정을 수행하는 방법과, 기판 상에 별도의 세퍼레이터를 형성하고, 각 세퍼레이터의 사이에 원하는 물질을 증착시키는 방법, 및 메탈 새도우 마스크를 사용하는 방법이 알려져 있다.In general, an organic electroluminescent device has a first electrode formed in a stripe shape on a substrate, R, G, and B organic electroluminescent layers are formed on the first electrode, and a second electrode on the organic electroluminescent layer. It has a structure formed in a strip shape in the direction perpendicular to the first electrode. In the organic electroluminescent device, the R, G, B organic electroluminescent layer and the second electrode may be formed by a photolithography process using a photoresist and a separate separator on the substrate. In addition, a method of depositing a desired material between each separator and a method of using a metal shadow mask are known.
여기서 포토리쏘그래피 공정을 이용하는 방법은 정밀한 R, G, B 유기 발광층 패턴을 형성할 수 있다는 장점이 있으나, 포토레지스트의 코팅, 노광, 현상 등 복잡한 공정을 거쳐야 할뿐 만 아니라, 포토레지스트를 현상하기 위한 용매에 의하여 R, G, B 유기 발광층의 패턴 및 물질의 특성이 변화하지 않도록 주의를 기울여야 하며, 상기 용매의 사용에 의한 공해 문제를 유발한다는 단점이 있다. 또한, 원하는 패턴으로 R, G, B 유기 발광물질 등, 증착물질을 증착하기 위하여 세퍼레이터를 별도로 형성하는 것은, 세퍼레이터를 형성하기 위한 공정에 많은 비용 및 시간이 소요되며, 세퍼레이터를 형성하는 것만으로는 다양한 증착 물질을 원하는 패턴으로 증착할 수 없다는 단점이 있다.The method using the photolithography process has the advantage of forming a precise R, G, B organic light emitting layer pattern, but not only has to go through a complicated process such as coating, exposure, development of the photoresist, but also to develop the photoresist. Care should be taken not to change the pattern of the R, G, B organic light emitting layer and the properties of the material by the solvent, and there is a disadvantage of causing pollution by the use of the solvent. In addition, separately forming a separator in order to deposit deposition materials such as R, G, and B organic light emitting materials in a desired pattern is expensive and time consuming to form the separator, and only forming the separator The disadvantage is that various deposition materials cannot be deposited in a desired pattern.
따라서, 상기와 같은 단점을 해소하기 위하여 금속 새도우 마스크(metal shadow mask)를 사용하여 R, G, B 유기 발광물질, 제2 전극 등을 기판 상에 형성하는 방법이 널리 이용되고 있다. 새도우 마스크를 사용하는 방법은 원하는 모양의 패턴으로 홀(hole)이 형성되어 있는 새도우 마스크를 기판 상부에 정렬(align)시키고, 상기 홀을 통하여 R, G, B 유기 발광물질, 제2 전극을 형성하는 물질 등 증착 물질을 기판에 증착함으로서, 기판 상부에 원하는 모양의 증착 물질 패턴을 형성하는 것으로서, 필요에서 따라서는 별도의 세퍼레이터를 형성한 상태에서 새도우 마스크를 사용하여 원하는 물질을 증착하기도 한다.Therefore, in order to alleviate the drawbacks described above, a method of forming R, G, B organic light emitting materials, a second electrode, and the like on a substrate using a metal shadow mask is widely used. In the shadow mask method, a shadow mask having holes formed in a pattern having a desired shape is aligned on an upper portion of a substrate, and R, G, B organic light emitting materials and second electrodes are formed through the holes. By depositing a deposition material such as a material on the substrate to form a pattern of a deposition material having a desired shape on the substrate, if necessary, a desired material may be deposited using a shadow mask in a state where a separate separator is formed.
이와 같이 새도우 마스크를 사용하여, R, G, B 유기 발광물질을 기판에 증착하는 방법의 일 예를 도 1a 내지 1d에 나타내었다. 도 1a에 도시한 바와 같이, 제1 전극(12)이 형성된 기판(10)에 세퍼레이터(14)를 형성하고, 적색(R) 유기 발광물질이 증착될 부분에 홀이 형성된 금속 새도우 마스크(100)를 밀착시킨 다음, 적색 유기 발광물질을 증착하여 적색(R) 유기 발광물질층(16a)을 형성한다. 다음으로, 상기 새도우 마스크(100)를 이동시켜, 이미 증착된 적색 유기 발광물질층(16a)의 상부를 폐쇄하고, 녹색(G) 유기 발광 물질이 증착될 부분을 개방한 후, 녹색(G) 유기 발광 물질을 증착하여, 녹색(G) 유기 발광물질층(16b)을 형성한다(도 1b 참조). 이와 같은 방식으로 청색(B) 유기 발광물질층(16c)을 형성한 후(도 1c 참조), 새도우 마스크(100)를 제거하고, 상기 R, G, B 유기 발광물질층(16c) 상부에 제2 전극물질(18)을 증착함으로서 유기 전계발광 소자를 제조한다.As described above, an example of a method of depositing R, G, and B organic light emitting materials on a substrate using a shadow mask is illustrated in FIGS. 1A to 1D. As shown in FIG. 1A, the separator 14 is formed on the substrate 10 on which the first electrode 12 is formed, and the metal shadow mask 100 having holes formed in a portion where the red (R) organic light emitting material is to be deposited. Then, the red organic light emitting material layer is deposited to form a red (R) organic light emitting material layer 16a. Next, the shadow mask 100 is moved to close the upper portion of the red organic light emitting material layer 16a that is already deposited, and to open the portion where the green (G) organic light emitting material is to be deposited, and then to green (G). The organic light emitting material is deposited to form a green (G) organic light emitting material layer 16b (see FIG. 1B). After the blue (B) organic light emitting material layer 16c is formed in this manner (see FIG. 1C), the shadow mask 100 is removed, and the R, G, B organic light emitting material layer 16c is formed on the upper layer. The organic electroluminescent device is manufactured by depositing the two electrode materials 18.
상기 유기 전계발광 소자의 제조 시에 사용되는 금속 새도우 마스크(100)는 도 2a 및 2b에 도시한 바와 같이, 소정의 패턴으로 홀(32)이 형성된 액티브(active) 영역(34)과 상기 액티브 영역(34)의 가장자리에 형성된 프레임(frame, 30)으로 구성되어 있다. 일반적으로 물질을 증착(deposition)하는 소스(source)와 기판의 거리를 무한히 길게 하여, 증착 물질을 새도우 마스크(100)에 수직으로 입사시킬 수는 없으므로, 증착 물질을 정확히 기판 상에 증착시키기 위해서는 새도우 마스크(100)의 두께를 가능한 얇게, 일반적으로는 100㎛이하로 하여야 하며, 또한 새도우 마스크(100)가 가능한 기판(10)에 밀착되어 있는 것이 바람직하다.As shown in FIGS. 2A and 2B, the metal shadow mask 100 used in the manufacture of the organic electroluminescent device includes an active region 34 and an active region in which holes 32 are formed in a predetermined pattern. It consists of the frame 30 formed in the edge of 34. As shown in FIG. In general, the distance between the source and the substrate for depositing the material is infinitely long, so that the deposition material cannot be vertically incident on the shadow mask 100. Therefore, in order to deposit the deposition material on the substrate accurately, The thickness of the mask 100 should be as thin as possible, generally 100 μm or less, and the shadow mask 100 is preferably in close contact with the substrate 10.
그러나 이와 같이 새도우 마스크(100)의 두께를 가능한 얇게 하면, 액티브 영역(34)의 홀(32)을 형성하는 그리드 영역(36)은 작은 힘에도 끊어지기 쉽고, 세퍼레이터(14)가 형성된 기판(10)에 상기 새도우 마스크(100)를 장착하는 경우(도 1a 내지 1d 참조), 또는 증착 공정이 기판(10)의 하부에서 상부로 이루어져, 새도우 마스크(100)가 기판(12)의 하부에 장착되는 경우에는 상기 그리드 영역(36)이 중력의 영향으로 인하여 휘어지게 되는 문제점이 있다. 이와 같이 상기 그리드 영역(36)이 중력에 의하여 휘어지는 것을 방지하기 위하여, 가능한 새도우 마스크(100)를 정밀하고 견고하게 가공하여야 하며, 또한 새도우 마스크(100)의 상, 하, 좌, 우 방면으로 텐션(tension)을 가하는 방법도 사용되고 있으나, 이 경우에는 새도우 마스크(100)에 가해진 텐션에 의하여 새도우 마스크(100)가 늘어나게 되는 문제점이 있다.However, if the thickness of the shadow mask 100 is made as thin as possible, the grid region 36 forming the hole 32 of the active region 34 is easily broken even with a small force, and the substrate 10 having the separator 14 formed thereon. ) Or the deposition process is performed from the lower part of the substrate 10 to the upper part so that the shadow mask 100 is mounted to the lower part of the substrate 12. In this case, there is a problem that the grid area 36 is bent due to the influence of gravity. In order to prevent the grid region 36 from being bent by gravity, the shadow mask 100 should be processed as precisely and firmly as possible, and the tension of the shadow mask 100 in the up, down, left, and right directions is as follows. Although a method of applying a tension is also used, in this case, there is a problem in that the shadow mask 100 is stretched due to the tension applied to the shadow mask 100.
이와 같이 새도우 마스크(100)가 중력에 의해 하방으로 처지거나, 새도우 마스크(100)에 가해진 텐션에 의하여 늘어나게 되면, 증착하고자 하는 증착물질이 기판(10)과 금속 새도우 마스크(100) 사이에 형성된 틈으로 들어가서, 증착시키고자 하는 부분보다 넓은 부분에 증착되어 오정렬(misalign)되는 문제점이 있다.As such, when the shadow mask 100 sags downward due to gravity or is stretched by tension applied to the shadow mask 100, a deposition material to be deposited is formed between the substrate 10 and the metal shadow mask 100. To enter into, there is a problem that is misaligned by being deposited on a portion wider than the portion to be deposited.
따라서, 본 발명의 목적은 증착 물질을 기판 상에 오차없이 증착할 수 있는 평판 표시 소자의 제조방법을 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a flat panel display device capable of depositing a deposition material on a substrate without error.
본 발명의 다른 목적은 증착 물질을 소정 패턴으로 기판에 증착시키기 위한새도우 마스크와 기판을 정확히 정렬시킬 수 있는 유기 전계발광 소자의 제조방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing an organic electroluminescent device capable of accurately aligning a substrate with a shadow mask for depositing a deposition material on a substrate in a predetermined pattern.
본 발명의 또 다른 목적은 새도우 마스크의 휘어짐에 의하여, 기판과 새도우 마스크 사이에 틈이 발생하는 것을 방지할 수 있는 보조 마스크를 사용한 유기 전계발광 소자의 제조방법을 제공하는 것이다.Still another object of the present invention is to provide a method of manufacturing an organic electroluminescent device using an auxiliary mask that can prevent a gap between a substrate and a shadow mask due to the bending of the shadow mask.
도 1a 내지 1d는 종래 기술에 따른 평판 표시 소자의 제조 공정을 설명하기 위한 도면.1A to 1D are views for explaining a manufacturing process of a flat panel display device according to the prior art.
도 2a 및 2b는 일반적으로 사용되는 새도우 마스크의 일 예를 나타내는 평면도.2A and 2B are plan views illustrating examples of shadow masks that are generally used.
도 3a 내지 3c는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 도면.3A to 3C illustrate a method of manufacturing a flat panel display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 평판 표시 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 도면.4 is a view for explaining a method of manufacturing a flat panel display device according to another embodiment of the present invention.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 평판 표시 소자의 제조 방법을 설명하기 위한 도면.5 is a view for explaining a method of manufacturing a flat panel display device according to another embodiment of the present invention.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 액티브 영역과 상기 액티브 영역의 가장자리에 형성된 프레임으로 이루어진 새도우 마스크의 일측면에 상기 액티브 영역을 개방하는 개구부가 형성되어 있으며 상기 프레임의 적어도 일부분을 지지하는 보조 마스크를 장착하는 과정, 상기 새도우 마스크의 타측면에 기판을 정렬하는 과정, 및 상기 새도우 마스크의 액티브 영역을 통하여 증작물질을 기판에 증착하는 과정을 포함하는 평판 표시 소자의 제조방법을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides an auxiliary mask for opening at least a portion of the frame, the opening having an opening for opening the active region formed on one side of a shadow mask comprising an active region and a frame formed at an edge of the active region. It provides a method of manufacturing a flat panel display device comprising the step of mounting, the step of aligning the substrate on the other side of the shadow mask, and depositing a deposition material on the substrate through the active region of the shadow mask.
본 발명은 또한 기판의 일면에 소정 패턴의 액티브 영역을 갖는 새도우 마스크를 정렬하는 과정, 상기 새도우 마스크가 장착되는 기판의 반대면에 자기장 발생 장치를 장착하고 자기장을 발생시키는 과정, 및 상기 새도우 마스크의 액티브 영역을 통하여 증작물질을 기판에 증착하는 과정을 포함하는 평판 표시 소자의 제조방법을 제공한다.The present invention also provides a method of aligning a shadow mask having an active area of a predetermined pattern on one surface of a substrate, mounting a magnetic field generating device on an opposite surface of the substrate on which the shadow mask is mounted, and generating a magnetic field, and Provided is a method of manufacturing a flat panel display device including depositing a deposition material on a substrate through an active region.
여기서, 상기 보조 마스크는 상기 새도우 마스크의 프레임과 동일한 형상을 가지며, 상기 보조 마스크는 상기 새도우 마스크가 상기 기판에 정렬된 후 장착될수 있다.Here, the auxiliary mask has the same shape as the frame of the shadow mask, and the auxiliary mask may be mounted after the shadow mask is aligned with the substrate.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
도 3a 내지 3c는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 소자의 제조 과정을 도시한 것이다. 도 3a에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따라 평판 표시 소자를 제조하기 위해서는, 먼저 소정 패턴으로 홀(32)이 형성된 액티브 영역(34)과 프레임(30)으로 이루어진 새도우 마스크(100)의 일측면에 상기 액티브 영역(34)을 개방하는 개구부(50)가 형성되어 있으며 상기 프레임(30)의 적어도 일부분을 지지하는 보조 마스크(102)를 장착한다.3A to 3C illustrate a manufacturing process of a flat panel display device according to an exemplary embodiment of the present invention. As shown in FIG. 3A, in order to manufacture the flat panel display device according to the exemplary embodiment of the present invention, first, a shadow mask 100 including an active region 34 and a frame 30 in which holes 32 are formed in a predetermined pattern is formed. An opening 50 for opening the active region 34 is formed at one side of the second side, and an auxiliary mask 102 supporting at least a portion of the frame 30 is mounted.
이때 상기 보조 마스크(102)에 형성된 개구부(50)는 새도우 마스크(100)의 액티브 영역(34)과 동일하거나 다소 크게 형성되어, 증착 물질이 상기 액티브 영역(34)의 홀(32)을 통과할 수 있도록 되어 있어야 한다. 상기 보조 마스크(102)는 상기 프레임(30)을 지지하여 상기 프레임(30)의 처짐을 방지할 수 있는 크기 및 형상을 가지면 충분하지만, 바람직하기로는 상기 프레임(30)과 동일한 형상 및 크기를 가지도록 제작되어 있어, 상기 프레임(30)의 처짐을 최대한 방지할 수 있는 것이 좋으며, 상기 보조 마스크(102)의 두께는 상기 프레임(30)을 지지할 수 있는 강도를 가지도록 적절히 설정할 수 있으나, 바람직하게는 약 5mm 인 것이 좋다.In this case, the opening 50 formed in the auxiliary mask 102 is formed to be the same as or slightly larger than the active region 34 of the shadow mask 100 so that the deposition material may pass through the hole 32 of the active region 34. Should be able to. The auxiliary mask 102 may have a size and a shape capable of supporting the frame 30 to prevent sagging of the frame 30, but preferably have the same shape and size as the frame 30. It is manufactured so as to be able to prevent sagging of the frame 30 to the maximum, and the thickness of the auxiliary mask 102 may be appropriately set to have a strength that can support the frame 30, but preferably Preferably about 5mm.
본 발명에 사용되는 새도우 마스크(100)는 평판 표시 소자의 제작에 통상적으로 사용되는 새도우 마스크를 변형 없이 사용할 수 있으며, 액티브 영역(34)이 새도우 마스크(100)의 두께에 의해서 스크리닝(screening)되는 현상을 최소화하기 위하여 가능한 한 얇은 두께, 예를 들면 100㎛ 이하의 두께를 가지는 것이 바람직하다. 상기 새도우 마스크(100)는 기판을 밀착 지지할 수 있는 강도를 가지는 것이면, 어떠한 것으로도 제작할 수 있으나, 바람직하게는 SUS 등의 금속으로 이루어지는 것이 좋다.The shadow mask 100 used in the present invention may use a shadow mask that is conventionally used for fabricating a flat panel display device without deformation, and the active region 34 is screened by the thickness of the shadow mask 100. In order to minimize the phenomenon, it is desirable to have a thickness as thin as possible, for example 100 mu m or less. The shadow mask 100 may be made of any material as long as the shadow mask 100 has a strength capable of closely supporting the substrate. Preferably, the shadow mask 100 is made of metal such as SUS.
다음으로 도 3b에 도시된 바와 같이, 보조 마스크(102)가 장착된 새도우 마스크(100)의 상부에 증착 물질을 증착하고자 하는 기판(104)을 입수시키고, 상기 기판(104)과 상기 새도우 마스크(100)가 밀착되지 않은 상태에서, 상기 기판(104)과 상기 새도우 마스크(100)를 정렬한다. 기판(104)과 새도우 마스크(100)를 정렬한 후에는 기판(104)을 새도우 마스크(100) 방향으로 밀착시킨다. 이와 같이 기판(104)을 새도우 마스크(100)에 밀착시키면, 기판(104)의 하중에 의하여 기판(104)과 보조 마스크(102)의 사이에 개재된 새도우 마스크(100)의 프레임(30)에 힘이 가해져서 새도우 마스크(100)에 이차적인 텐션(tension)이 가해진다. 이와 같이 새우도 마스크(100)에 텐션을 가함으로서 다수의 홀이 형성되어 지지력이 약한 액티브 영역(34)의 처짐을 억제할 수 있다. 상기 기판(104)은 유기 전계발광 소자 등 평판 표시 장치에서 통상적으로 사용되는 기판으로서 단단하거나, 플렉시블한 기판이 모두 사용될 수 있다.Next, as shown in FIG. 3B, the substrate 104 to which the deposition material is to be deposited is obtained on the shadow mask 100 on which the auxiliary mask 102 is mounted, and the substrate 104 and the shadow mask ( In a state where 100 is not in close contact, the substrate 104 and the shadow mask 100 are aligned. After the substrate 104 is aligned with the shadow mask 100, the substrate 104 is brought into close contact with the shadow mask 100. When the substrate 104 is brought into close contact with the shadow mask 100 as described above, the substrate 104 is attached to the frame 30 of the shadow mask 100 interposed between the substrate 104 and the auxiliary mask 102 by the load of the substrate 104. A force is applied to the secondary mask to apply a secondary tension. As described above, the shrimp may also be tensioned with the mask 100 to form a plurality of holes, thereby preventing sagging of the active region 34 having a weak bearing force. The substrate 104 is a substrate commonly used in a flat panel display device such as an organic electroluminescent device, either a hard or flexible substrate can be used.
이와 같이, 액티브 영역(34)의 처짐을 억제하도록 기판(104)과 새도우 마스크(100)를 밀착한 상태에서, 상기 새도우 마스크(100)의 액티브 영역(34)을 통하여 증작물질을 기판에 증착한다. 이때 상기 증착물질로는 유기물, 무기물 및 또는 금속류 등을 사용할 수 있으며, 구체적으로는 R, G, B 유기 발광물질, 전극 물질 등을 예시할 수 있다. 이와 같이 새도우 마스크(100)의 프레임(30)에 텐션을 가함으로서 액티브 영역(34)의 처짐에 의한 증착 영역의 퍼짐 현상 없이 평판 표시 소자를 제조할 수 있다. 이때 필요한 경우에는 기판(104)과 새도우 마스크(100)를 먼저 정렬한 후, 보조 마스크(102)를 이용하여 새도우 마스크(100)를 밀착 지지하도록 할 수도 있다.As described above, the deposition material is deposited on the substrate through the active region 34 of the shadow mask 100 while the substrate 104 and the shadow mask 100 are in close contact with each other to suppress the deflection of the active region 34. . In this case, as the deposition material, organic materials, inorganic materials, and / or metals may be used. Specifically, R, G, B organic light emitting materials, and electrode materials may be exemplified. By applying tension to the frame 30 of the shadow mask 100 as described above, a flat panel display device can be manufactured without spreading of the deposition region due to sagging of the active region 34. In this case, if necessary, the substrate 104 and the shadow mask 100 may be aligned first, and then the shadow mask 100 may be closely supported using the auxiliary mask 102.
이와 같이 보조 마스크(102)를 사용하면, 액티브 영역(34)의 면적이 적은 새도우 마스크(100)의 처짐은 충분히 억제할 수 있으나, 액티브 영역(34)의 면적이 큰 경우에는 보조 마스크(102)의 사용만으로는 액티브 영역(34)의 처짐을 완전히 방지할 수 없다. 이와 같이 액티브 영역(34)이 큰 새도우 마스크(100)에서 액티브 영역(34)의 처짐을 방지하기 위한 본 발명의 다른 실시예가 도 4에 도시되어 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 평판 표시 장치의 제조방법에서는 보조 마스크(102), 새도우 마스크(100) 및 기판(104)이 순차적으로 정렬(align)된 기판(104)의 반대면에 소정의 간격을 두고 자기장 발생 장치(108)를 장착하고, 증착 물질의 증착 과정을 수행한다.When the auxiliary mask 102 is used as described above, deflection of the shadow mask 100 having a small area of the active region 34 can be sufficiently suppressed. However, when the area of the active region 34 is large, the auxiliary mask 102 is used. The use of only does not completely prevent the deflection of the active region 34. As such, another embodiment of the present invention for preventing sagging of the active region 34 in the shadow mask 100 having the large active region 34 is illustrated in FIG. 4. As shown in FIG. 4, in the method of manufacturing a flat panel display device according to another exemplary embodiment, the substrate 104 in which the auxiliary mask 102, the shadow mask 100, and the substrate 104 are sequentially aligned. The magnetic field generating device 108 is mounted on the opposite side of the substrate at predetermined intervals, and the deposition process of the deposition material is performed.
즉, 새도우 마스크(100)가 장착된 기판(104)의 반대면에 자기장발생장치(108)를 장착하고, 자기장을 인가함으로서, 금속으로 이루어진 새도우 마스크(100)의 액티브 영역(34)을 자기장의 방향으로, 즉 기판(104)의 방향으로 끌어당길 수 있으며, 따라서 새도우 마스크(100)의 액티브 영역(34)과 기판(104)이 서로 밀착된다. 이와 같이, 새도우 마스크(100)의 액티브 영역(34)과 기판(104)이 서로 밀착된 상태에서 액티브 영역(34)을 통하여 증착물질을 기판(104)에 증착함으로서 증착 물질을 기판(104) 상에 오차없이 증착할 수 있다.That is, by mounting the magnetic field generating device 108 on the opposite side of the substrate 104 on which the shadow mask 100 is mounted, and applying a magnetic field, the active region 34 of the shadow mask 100 made of metal may be formed in the magnetic field. Direction, that is, in the direction of the substrate 104, so that the active region 34 of the shadow mask 100 and the substrate 104 are in close contact with each other. As such, the deposition material is deposited on the substrate 104 by depositing the deposition material on the substrate 104 through the active region 34 while the active region 34 and the substrate 104 of the shadow mask 100 are in close contact with each other. It can be deposited without any error.
여기서 상기 자기장 발생 장치(108)는 기판(106)과 동일한 크기를 가지는 것이 바람직하며, 영구 자석 또는 전자석을 사용할 수 있다. 또한 상기 자기장 발생장치로부터 인가되는 자기장의 세기는 상기 액티브 영역(34)의 처짐을 방지할 수 있는 정도이면 충분하며, 사용되는 새도우 마스크(100)의 재질 및 두께에 따라 달라질 수 있으나, 상기 새도우 마스크(100)가 SUS 등의 금속으로 이루어진 경우에는 약 150가우스 정도의 자기장을 발생시키는 것이 바람직하다.The magnetic field generating device 108 preferably has the same size as the substrate 106, and may use a permanent magnet or an electromagnet. In addition, the strength of the magnetic field applied from the magnetic field generator is sufficient to prevent sagging of the active region 34, and may vary depending on the material and thickness of the shadow mask 100 used, but the shadow mask When the 100 is made of a metal such as SUS, it is preferable to generate a magnetic field of about 150 gauss.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 평판 표시장치의 제조공정을 나타낸 것으로서, 도 5에 도시한 바와 같이 보조 마스크(102)를 사용하지 않는 상태에서 새도우 마스크(100)와 기판(104)을 정렬(align)하고, 상기 기판(104)의 배면에 소정의 간격을 두고 자기장 발생 장치(108)를 장착한 다음, 자기장을 인가함으로서 새도우 마스크(100)의 처짐 현상을 방지할 수도 있다. 도 3 내지 5에서는, 상기 자기장 발생 장치(108), 새도우 마스크(100), 및 기판(104)이 중력방향으로 순차적으로 배열된 것을 도시하였으나, 자기장 발생 장치(108), 새도우 마스크(100) 및기판(104)이 중력의 반대 방향으로 배열된 경우에도 자기장 발생 장치(108)에서 형성된 자기장에 의하여 새도우 마스크(100) 및 기판(104)이 밀착되어, 새도우 마스크(100)의 오정렬(misalign)을 방지할 수 있으므로 증착 물질을 기판(104) 상에 오차없이 증착할 수 있다.FIG. 5 illustrates a manufacturing process of a flat panel display according to another exemplary embodiment of the present invention. As shown in FIG. 5, the shadow mask 100 and the substrate 104 are not used without the auxiliary mask 102. Aligning, mounting the magnetic field generating device 108 at a predetermined interval on the back surface of the substrate 104, and then applying a magnetic field may prevent sagging of the shadow mask 100. 3 to 5, the magnetic field generating device 108, the shadow mask 100, and the substrate 104 are sequentially arranged in the direction of gravity, but the magnetic field generating device 108, the shadow mask 100 and Even when the substrate 104 is arranged in a direction opposite to gravity, the shadow mask 100 and the substrate 104 are brought into close contact with each other by the magnetic field formed by the magnetic field generating device 108, thereby misaligning the shadow mask 100. As such, the deposition material may be deposited on the substrate 104 without error.
이상 상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 평판 표시 소자의 제조방법은 보조 마스크를 사용함으로써 새도우 마스크의 처짐 현상을 방지하고, 상기 처짐 현상에 의한 증착물의 퍼짐 현상을 최소화하는 효과가 있다. 또한, 액티브(active) 영역이 넓은 소자를 제조할 경우에는 일정한 세기의 자기장을 발생시키는 자기장 발생 장치를 장착하여 기판과 새도우 마스크 사이에 틈이 발생하는 것을 방지함으로서 금속 새도우 마스크와 기판을 정확히 정렬시킬 수 있다. 본 발명은 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD), 플라스마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel; PDP), 전계 방출 디스플레이(Field Emission Display; FED), 유기 전계발광 소자 등 특정 증착 물질을 기판에 증착할 필요가 있는 다양한 평판 표시 소자의 제작에 사용될 수 있으며, R, G, B 유기 전계발광물질을 기판에 증착할 필요가 있는 유기 전계발광 소자의 제작에 특히 유용하다.As described above, the manufacturing method of the flat panel display device according to the present invention has the effect of preventing the phenomenon of sagging of the shadow mask by using the auxiliary mask, and minimizes the spread phenomenon of the deposit by the sagging phenomenon. In addition, when manufacturing a device having a large active area, a magnetic field generating device that generates a magnetic field of a constant intensity is installed to prevent a gap between the substrate and the shadow mask, thereby accurately aligning the metal shadow mask with the substrate. Can be. According to the present invention, a specific deposition material such as a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), a field emission display (FED), and an organic electroluminescent device is required to be deposited on a substrate. It can be used in the manufacture of a variety of flat panel display device, and is particularly useful in the manufacture of organic electroluminescent device that needs to deposit R, G, B organic electroluminescent material on the substrate.
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