KR100432357B1 - 반도체 디바이스 핸들러의 오토로더 셔터 - Google Patents

반도체 디바이스 핸들러의 오토로더 셔터 Download PDF

Info

Publication number
KR100432357B1
KR100432357B1 KR10-2001-0077339A KR20010077339A KR100432357B1 KR 100432357 B1 KR100432357 B1 KR 100432357B1 KR 20010077339 A KR20010077339 A KR 20010077339A KR 100432357 B1 KR100432357 B1 KR 100432357B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
latch
shutter
autoloader
connecting rod
fixed frame
Prior art date
Application number
KR10-2001-0077339A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20030046990A (ko
Inventor
이응룡
Original Assignee
미래산업 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 미래산업 주식회사 filed Critical 미래산업 주식회사
Priority to KR10-2001-0077339A priority Critical patent/KR100432357B1/ko
Publication of KR20030046990A publication Critical patent/KR20030046990A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100432357B1 publication Critical patent/KR100432357B1/ko

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2865Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
    • G01R31/2867Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/2872Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation
    • G01R31/2874Environmental, reliability or burn-in testing related to electrical or environmental aspects, e.g. temperature, humidity, vibration, nuclear radiation related to temperature

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 오토 로더의 셔터를 개선하여 버튼에 의해 개방될 수 있도록 함으로써 테스트용 트레이를 적재시 편리하도록 한 핸들러의 오토로더 셔터를 제공하는 것을 목적으로 한다.
이를 위하여 본 발명은 핸들러의 몸체에 고정된 고정 프레임과, 상기 고정 프레임의 가이드 홀을 통해 이동하는 연결봉을 구비한 손잡이부와 , 상기 손잡이부와 연결봉으로 체결되어 손잡이부의 이동시 같이 이동하는 래치부와, 상기 연결봉의 외부를 감싸는 탄성부재와, 상기 고정 프레임의 소정개소에 설치되어 상기 래치부와 체결되도록 하는 래치결합부를 포함하며, 상기 양측의 손잡이부를 중앙쪽으로 당김에 따라 연결봉과 래치부가 이동하면서 탄성부재가 압축되고 고정 프레임의 래치결합부와 래치부가 체결되며, 상기 래치결합부는 누름버튼에 의해 래치를 뒤로 밀어내어 탄성부재의 압축력을 해제하여 셔터가 열리는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 핸들러의 오토로더 셔터를 제공한다.

Description

반도체 디바이스 핸들러의 오토로더 셔터{Autoloader Shutter Semiconductor Device Handler}
본 발명은 핸들러에서 복수개의 트레이를 적재하여 공급하는 오토로더(Auto Loader)에 관한 것으로, 특히 반도체 패키지와 같은 디바이스들을 테스트하는 핸들러에서 디바이스들이 수납되는 트레이들을 복수개 적재하여 공급할 수 있도록 한 핸들러용 트레이 오토로더의 셔터에 관한 것이다.
일반적으로, 메모리 혹은 비메모리 반도체 소자 등의 디바이스(Device) 및 이들을 적절히 하나의 기판상에 회로적으로 구성한 모듈(Module)들은 생산 후 여러 가지 테스트과정을 거친 후 출하되는데, 핸들러라 함은 상기와 같은 디바이스 및 모듈램 등을 소정의 과정을 거치며 자동으로 테스트하는데 사용되고 있는 장치를 일컫는다.
통상, 이러한 핸들러 중 많은 것들이 상온 상태에서의 일반적인 성능 테스트 뿐만 아니라, 밀폐된 챔버 내에서 전열히터 및 액화질소 분사시스템을 통해 고온 및 저온의 극한 상태의 환경을 조성하여 상기 디바이스 및 모듈램 등이 이러한 극한 온도 조건에서도 정상적인 기능을 수행할 수 있는가를 테스트하는 고온테스트 및 저온 테스트도 수행할 수 있도록 되어 있다.
상기와 같은 핸들러에서 이루어지는 테스트 과정에 대해 도 1에 도시된 핸들러 구성을 일례로 하여 간략하게 설명하면, 먼저 사용자가 테스트할 디바이스들이 수납된 트레이들을 로딩부(10)에 적재한 다음 핸들러를 가동시키면, X-Y축으로 선형운동하는 제1피커로봇(31)이 로딩부(10)의 디바이스들을 파지하여 버퍼부(40)에 일시적으로 장착하게 되고, 이어서 제 2피커로봇(32)이 버퍼부(40)의 디바이스들을 파지하여 교환부(50)로 이송하여 테스트용 트레이(도시 않음)에 재장착시킨다.
이렇게 테스트할 디바이스들이 재장착된 테스트용 트레이는 별도의 이송수단(도시 않음)에 의해 핸들러 후방에 위치된 챔버부(70)로 이송되어, 고온 또는 저온의 환경으로 조성된 밀폐된 복수의 챔버들을 거치며 소정의 온도 상태 하에서 챔버부(70)의 테스트 사이트(Test Site)에서 테스트가 수행된다.
그런 다음, 테스트 완료된 테스트용 트레이는 다시 상기 교환부(50)로 이송되고, 테스트 완료된 디바이스들이 제 2피커로봇(32)에 의해 버퍼부(40)에 일시 장착된 다음 다시 제 1피커로봇(31)에 의해 테스트결과에 따라 언로딩부(20)의 소정의 트레이에 등급별로 분류되어 장착된다.
그런데, 상기와 같은 종래의 핸들러에 있어서, 상기 로딩부(10)에 트레이를 적재할 때는 작업자가 로딩부의 셔터를 열고 적재하는바, 적재시 약 25개 정도의 트레이를 안고 셔터를 열어야 하는데 현재의 셔터는 트레이를 안은 상태에서 열기 힘들도록 되어 있어 작업시간이 지연되고 원할한 트레이의 공급이 어려워지는 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하고자 안출된 발명으로서, 오토 로더의 셔터를 개선하여 버튼에 의해 개방될 수 있도록 함으로써 테스트용 트레이를 적재시 편리하도록 한 핸들러의 오토로더 셔터를 제공하는 것을 목적으로 한다.
도 1 은 종래 반도체 디바이스 핸들러의 구성을 개략적으로 도시한 평면구성도.
도 2 는 본 발명에 의한 반도체 디바이스 핸들러의 오토로더에 관한 바람직한 일실시예를 도시한 사시도
도 3 은 본 발명에 의한 반도체 디바이스 핸들어의 오토로더 셔터부를 도시한 요부 사시도.
도 4 는 본 발명에 관련된 오토로더 셔터의 래치부를 도시한 투시도.
** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 **
100: 오토로더 102: 테스트용 트레이
110: 적재 프레임 150: 셔터
152: 손잡이 120: 고정 프레임
122: 래치해제버튼 124: 가이드보스
132: 연결봉 140: 래치부
134: 탄성부재 142: 래치
142a: 래치 헤드부 142b: 래치 턱
145: 고정 스프링 144: 지지 프레임
126: 래치결합부
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 핸들러의 몸체에 고정된 고정 프레임과, 상기 고정 프레임의 가이드보스를 통해 이동하는 연결봉을 구비한 손잡이부와, 상기 손잡이부와 연결봉으로 체결되어 손잡이부의 이동시 같이 이동하는 래치부와, 상기 연결봉의 외부를 감싸는 탄성부재와, 상기 고정 프레임의 소정개소에 설치되어 상기 래치부와 체결되도록 하는 래치결합부를 포함하며, 상기 양측의 손잡이부를 중앙쪽으로 당김에 따라 연결봉과 래치부가 이동하면서 탄성부재가 압축되고 고정 프레임의 래치결합부와 래치부가 체결되며, 상기 래치결합부는 누름버튼에 의해 래치를 뒤로 밀어내어 탄성부재의 압축력을 해제하여 셔터가 열리는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 핸들러의 오토로더 셔터를 제공한다.
본 발명의 구성에 대하여 첨부한 도면을 참조하면서 보다 상세하게 설명한다. 참고로 본 발명의 구성을 설명하기에 앞서, 설명의 중복을 피하기 위하여 종래 기술과 일치하는 부분에 대해서는 종래 도면부호를 그대로 인용하기로 한다.
도 2 는 본 발명에 의한 반도체 디바이스 핸들러의 오토로더에 관한 바람직한 일실시예를 도시한 사시도이다.
도면을 참조하면, 상기 오토로더(100)는 직사각형의 트레이(102)를 적재할 수 있도록 대략 직육면체로 적재 프레임(110)이 형성되어 있다. 상기 적재 프레임(110)은 전후방으로 이동될 수 있도록 저면에 가이드 레일(도시생략)이 설치되어 있으며, 트레이(102)를 적재할 때는 상기 적재 프레임(110)을 전방으로 인출시켜 적재한 후 핸들러의 오토로더(100) 내부로 밀어넣게 된다.
상기 오토로더(100)의 전면에는 본 발명에 의한 셔터(150)가 설치되어 있다. 상기 셔터(150)는 양측에 트레이(102)의 양측 전단부를 개폐하는 2개의 셔터바아(155)를 구비하며, 각 셔터바아(155)에 손잡이(152)가 구성되어 중앙측으로 당기면 약 5센티미터 가량 중앙으로 당겨지면서 닫힌다. 상기 셔터(150)를 열 때는 고정 프레임(120)에 부착되어 있는 버튼(122)을 눌러 셔터바아(155)가 다시 양쪽으로 젖혀지도록 한다.
상기 셔터(150)의 구조를 도 3에 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
오토로더(100)의 양측 패널에 고정부착된 고정부(120)에는 가이드보스(124)가 형성되어 있고, 상기 가이드보스(124)를 통해 연결봉(132)이 통과한다. 상기 연결봉(132)의 일측은 손잡이부에 연결되고 타측은 래치가 설치된 프레임(이하 래치부:140)에 연결되어 셔터바아(155), 손잡이(152), 연결봉(132), 래치부(140)는 상기 손잡이(152)를 이동시킴에 따라 동시에 움직이도록 한몸체로 연결되어 있다.
상기 가이드보스(124) 및 연결봉(132)은 도면과 같이 2개 이상 복수개로 설치하여 구조적인 안정성을 취함이 바람직하다.
상기 고정 프레임(120)의 가이드보스(124)를 통과하는 연결봉(132)의 외주면으로는 탄성부재(134)가 형성되어 있다. 상기 탄성부재(134)는 바람직하게는 코일 스프링을 사용함이 적합하나 기타 탄성력이 강한 금속재를 사용하여도 무방하다.
상기 탄성부재(134)는 고정 프레임(120)과 래치부(140) 사이에 개재되며, 손잡이(152)를 중앙쪽으로 당김에 따라 연결봉(132)에 의해 연결된 래치부(140)가 따라가고 이에 따라 고정프레임(120)과 래치부(140)간의 간격이 좁아지면서 탄성부재(134)는 압축된다.
상기 손잡이(152)의 이동에 따라 탄성부재(134)를 압축하면서 연동하는 래치부(140)의 중앙에는 래치(142)가 구비되어 있다.
도 4에는 본 발명에 관련된 래치부(140)의 요부 사시도를 도시하였다.
도면에서 보는 바와 같이, 상기 래치부(140)는 일자형의 지지 프레임(144)의 중앙부에 래치(142)가 설치된 구성으로 이루어져 있다. 상기 래치(142)의 확대도를 살펴보면 고정 스프링(145)에 의해 래치(142)가 고정되어 평형을 유지하고 있음을 알 수 있다.
상기 래치(142)는 도면과 같이 헤드부(142a)가 앞부분은 완만하게 경사져 있고 뒷부분에는 수직으로 턱(142b)이 형성되어 있다. 상기 래치 헤드부(142a)는 진입이 용이하게 앞부분의 단면적은 작고 뒷부분의 단면적은 넓게 되어 있으며, 상기 턱(142b)에 의해 진입후 홀(126a)에 걸리도록 되어 있다.
상기 래치(142)의 일단부는 고정 스프링(145)에 의해 지지 프레임(144:도 3 참조)의 래치 고정대(143:도 3 참조)에 고정되어 있다. 상기 래치(142)는 대략 'ㄷ'자형으로 형성되어 있으며, 헤드부(142a)는 진입이 용이하도록 경사져 있다. 이와 같은 래치(142)는 통상 단일의 몸체를 채용하여도 무방하나 본 발명의 실시예에서는 한몸체로 움직이되 양측에 동시에 걸릴 수 있도록 2개의 래치 로드를 갖도록 하였다.
상기 래치(142)는 고정 스프링(145)의 축(145a)을 중심으로 회전할 수 있되가압력이 해제되면 항상 동일한 위치로 탄성복원되도록 구성된다. 상기 래치(142)는 고정 프레임(120)에 부착된 래치결합부(126)에 의해 맞물리는바 상기 래치결합부(126)의 구조를 설명하면 다음과 같다.
상기 래치결합부(126)는 크게 래치해제로드(122a)를 구비한 래치해제버튼(122)과 과 상기 래치해제버튼(122)에 탄성력을 부여하는 코일 스프링(122b)에 의해 연결되어 있으며 상기 래치해제로드(122a)가 통과되는 래치결합홀(126a)을 구비하고 있다.
상기 래치결합부(126)의 저면은 래치(122)가 진입하기 용이하도록 래치의 경사부(142a)와 동일한 방향으로 경사져 있으며, 진입된 후 래치턱(142b)이 래치결합홀(126a)로 삽입되어 맞물리도록 구성되어 있다.
상기 래치(142)가 래치결합홀(126a)에 맞물리는 동작과 이를 해제하는 동작을 이하 상세하게 설명한다.
본 발명에 의한 오토로더(100)의 셔터에서 양손잡이(152)를 중앙쪽으로 당기면 손잡이부와 연결된 래치부(140)가 이동한다. 상기 래치부(140)가 이동하면서 고정 프레임(120)과의 사이에 개재되어 있던 탄성부재(134)가 압축되고 래치부(140)의 중앙에 형성된 래치(142)가 고정 프레임(120)의 중앙에 형성된 래치결합홀(126a)로 진입한다. 상기 설명한 바와 같이 래치(142)와 래치결합부(126)에는 서로 용이하게 맞물리도록 경사부가 형성되어 있어 진입이 가능하나 'ㄷ'자형으로 형성된 래치가 진입한 후 래치턱(142b)이 래치결합홀(126a)에 삽입되어 걸리므로써 래치(142)는 래치결합부(126)에 체결된다. 이와 같이 작업자는 양손잡이(152)를 중앙으로 잡아당기는 것으로 손쉽게 셔터를 닫을 수 있다.
상기와 같이 닫힌 셔터(150)를 오픈시키기 위해서는 단지 고정 프레임(120)의 래치결합부(126)에 설치되어 있는 래치해제버튼(122)을 누르기만 하면 된다. 래치해제버튼(122)을 누르게 되면 래치해제로드(122a)가 래치결합홀(126a)에 진입되어 있던 래치(142)를 뒤로 밀어내어 래치결합홀(126a)에서 분리시키게 되고 래치(142)에 의해 보존되었던 탄성력이 복원되어 손잡이(152)와 래치부(140)가 뒤로 밀리면서 셔터가 열리게 된다. 상기 래치해제버튼(122)에는 코일 스프링(122b)이 설치되어 있어 버튼을 누른 뒤에는 다시 원상복귀된다.
본 발명에 의한 오토로더 셔터는 강한 탄성에 의한 코일 스프링을 채용하였으므로 원상복귀될때 충격을 받게 된다. 이를 방지하기 위하여 바람직하게는 충격방지용 우레탄을 사용하거나 혹은 쇽 업쇼버(shock absorber)를 채용함이 적합하다.
상기와 같은 구성의 오토로더의 셔터를 채용하여 작업자는 가슴에 다량의 테스트용 트레이를 들고 있다고 하더라도 단지 래치해제버튼을 누름에 의해 셔터를 오픈시킬 수 있으므로 작업시간이 단축되고 생산성을 향상시킬 수 있다.
본 발명은 작업자가 핸들러의 오토로더에 테스트용 트레이를 로딩할 때 트래이를 손에 든 상태에서도 손쉽게 셔터를 열고 트레이를 적재할 수 있으므로 작업시간이 단축되고 생산성이 향상된다.

Claims (4)

  1. 핸들러의 몸체에 고정된 고정 프레임과, 상기 고정 프레임을 관통해 수평 이동하는 연결봉을 구비한 손잡이부와, 상기 손잡이부와 연결봉으로 체결되어 손잡이부의 이동시 같이 이동하는 래치부와, 상기 고정프레임과 래치부 사이에 설치되어 고정프레임에 대해 래치부를 탄성적으로 지지하는 탄성부재와, 상기 고정프레임의 소정개소에 설치되어 상기 래치부와 체결되도록 하는 래치결합부를 포함하며, 상기 양측의 손잡이부를 중앙쪽으로 당김에 따라 연결봉과 래치부가 이동하면서 탄성부재가 압축되고 고정 프레임의 래치결합부와 래치부가 체결되며, 상기 래치결합부는 누름버튼에 의해 래치를 뒤로 밀어내어 탄성부재의 압축력을 해제하여 셔터가 열리는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 핸들러의 오토로더 셔터
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 탄성부재는 코일 스프링인 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 핸들러의 오토로더 셔터.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 래치결합부는 내부에 래치결합홀이 형성되고 상기 래치결합홀에 삽입되는 코일 스프링을 구비한 래치결합부케이스와, 래치해제로드를 구비한 래치해제버튼을 포함하며 상기 래치해제로드가 상기 코일 스프링내부에서 동작되는 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 핸들러의 오토로더 셔터.
  4. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 래치와 래치결합부케이스의 접촉부는 서로 동일한 방향의 경사부가 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 디바이스 핸들러의 오토로더 셔터.
KR10-2001-0077339A 2001-12-07 2001-12-07 반도체 디바이스 핸들러의 오토로더 셔터 KR100432357B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2001-0077339A KR100432357B1 (ko) 2001-12-07 2001-12-07 반도체 디바이스 핸들러의 오토로더 셔터

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2001-0077339A KR100432357B1 (ko) 2001-12-07 2001-12-07 반도체 디바이스 핸들러의 오토로더 셔터

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20030046990A KR20030046990A (ko) 2003-06-18
KR100432357B1 true KR100432357B1 (ko) 2004-05-22

Family

ID=29573650

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2001-0077339A KR100432357B1 (ko) 2001-12-07 2001-12-07 반도체 디바이스 핸들러의 오토로더 셔터

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100432357B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102643286B1 (ko) * 2022-04-21 2024-03-05 세메스 주식회사 지지구조체, 기판지지장치 및 기판처리설비

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980065209A (ko) * 1997-01-06 1998-10-15 김광호 트레이 공급장치
JPH11135594A (ja) * 1997-10-30 1999-05-21 Kokusai Electric Co Ltd カセット搬送方法および装置
KR19990081673A (ko) * 1998-04-30 1999-11-15 정문술 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치
KR20000031527A (ko) * 1998-11-06 2000-06-05 정문술 핸들러의 멀티 스택커

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980065209A (ko) * 1997-01-06 1998-10-15 김광호 트레이 공급장치
JPH11135594A (ja) * 1997-10-30 1999-05-21 Kokusai Electric Co Ltd カセット搬送方法および装置
KR19990081673A (ko) * 1998-04-30 1999-11-15 정문술 수평식 핸들러의 냉각챔버내에서의 테스트 트레이 이송장치
KR20000031527A (ko) * 1998-11-06 2000-06-05 정문술 핸들러의 멀티 스택커

Also Published As

Publication number Publication date
KR20030046990A (ko) 2003-06-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101247547B1 (ko) 유리판의 곤포 장치
US7900776B2 (en) Wafer container with door actuated wafer restraint
JP5202464B2 (ja) 試料試験管ラックを取り扱う研究室システム、試料試験管ラックの配列要素およびラックトレイ受承組立体
CN114312460B (zh) 换电设备解锁装置、换电设备及电池箱快速换电***
JPH04227470A (ja) 熱処理装置における閉塞装置
KR101702772B1 (ko) 기판 수납 용기, 로드 포트 장치 및 기판 처리 장치
EP1903344A1 (en) Pushing block and a handler with the pushing block
US20080075574A1 (en) Picker and head assembly with the pickers
KR20140015444A (ko) 가동체 어시스트 장치
RU2008152321A (ru) Запирающее устройство
US20090081014A1 (en) Invertible front opening unified pod
KR100432357B1 (ko) 반도체 디바이스 핸들러의 오토로더 셔터
CN105849844A (zh) 旁通开关
US20080260976A1 (en) Carrier for carrying a packaged chip and handler equipped with the carrier
KR100423945B1 (ko) 반도체 소자 테스트용 핸들러
KR100835246B1 (ko) 캐리어 모듈, 그를 포함하는 테스트 핸들러, 및 그를이용한 반도체 소자 제조방법
KR20040043925A (ko) 트레이 이송장치
JPH0880989A (ja) ウェーハカセット及びその使用方法
JP2012149459A (ja) 可動体のアシスト装置
KR102422649B1 (ko) 전자부품 테스트용 핸들러
KR20090076297A (ko) 테스트 핸들러
CN216433719U (zh) 夹持装置及测试装置
KR101814702B1 (ko) 반도체 검사 장치로부터 트레이를 반출하기 위한 장치
KR102289097B1 (ko) 테스트핸들러용 가압장치 및 매치플레이트
JP2704130B2 (ja) 収納扉を用いた筺体

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20090507

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee